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HfO_2高k栅介质漏电流机制和SILC效应 被引量:7
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作者 王成刚 韩德栋 +5 位作者 杨红 刘晓彦 王玮 王漪 康晋锋 韩汝琦 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第7期841-846,共6页
利用室温下反应磁控溅射的方法在 p- Si(1 0 0 )衬底上制备了 Hf O2 栅介质层 ,研究了 Hf O2 高 k栅介质的电流传输机制和应力引起泄漏电流 (SIL C)效应 .对 Hf O2 栅介质泄漏电流输运机制的分析表明 ,在电子由衬底注入的情况下 ,泄漏... 利用室温下反应磁控溅射的方法在 p- Si(1 0 0 )衬底上制备了 Hf O2 栅介质层 ,研究了 Hf O2 高 k栅介质的电流传输机制和应力引起泄漏电流 (SIL C)效应 .对 Hf O2 栅介质泄漏电流输运机制的分析表明 ,在电子由衬底注入的情况下 ,泄漏电流主要由 Schottky发射机制引起 ,而在电子由栅注入的情况下 ,泄漏电流由 Schottky发射和 Frenkel-Poole发射两种机制共同引起 .通过对 SIL C的分析 ,在没有加应力前 Hf O2 / Si界面层存在较少的界面陷阱 ,而加上负的栅压应力后在界面处会产生新的界面陷阱 ,随着新产生界面陷阱的增多 ,这时在衬底注入的情况下 ,电流传输机制就不仅仅是由 Schottky发射机制引起 ,而存在 Frenkel- Poole发射机制起作用 .同时研究表明面积对 SIL 展开更多
关键词 HFO2栅介质 泄漏电流输运机制 Schottky发射 Frenkel—Poole发射 SILC PACC 7360 7755 EEACC 2550 2530
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金属硫蛋白(MT)分离纯化技术进展 被引量:2
2
作者 王翔 张大成 +4 位作者 李婷 王玮 任宏伟 韩铁钢 俞梅敏 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期335-337,共3页
较全面地总结了近几年来金属硫蛋白最常见的分离纯化方法 ,并较详细地介绍了磁法分离纯化。
关键词 金属硫蛋白 分离纯化技术 磁法 芯片检测 蛋白质芯片
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针药结合治疗特发性震颤9例 被引量:5
3
作者 杨锦昉 王春琛 +4 位作者 王麟鹏 李彬 陈志刚 刘慧琳 杨清玄 《中国针灸》 CAS CSCD 北大核心 2020年第9期1024-1026,共3页
特发性震颤(essentialtremor,ET)又称原发性震颤,属于中枢神经系统的退行性病变,是一种典型的动作性或姿势性震颤,主要表现为双上肢震颤(90%~95%),也可表现为其他部位如头部(30%)、双下肢(10%~15%)的震颤以及语音震颤(20%)等[1]。约60%... 特发性震颤(essentialtremor,ET)又称原发性震颤,属于中枢神经系统的退行性病变,是一种典型的动作性或姿势性震颤,主要表现为双上肢震颤(90%~95%),也可表现为其他部位如头部(30%)、双下肢(10%~15%)的震颤以及语音震颤(20%)等[1]。约60%的患者有家族史,多数患者在65~70岁前完全外显[2]。ET发病率随年龄的增加而显著增加. 展开更多
关键词 特发性震颤 颤证 针刺 针药结合 镇肝熄风汤
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基于遗传算法的半导体器件模型参数提取 被引量:2
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作者 吴涛 杜刚 +1 位作者 刘晓彦 韩汝琦 《北京大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期687-693,共7页
随着半导体器件特征尺寸的缩小,半导体器件模型也变得越来越复杂,模型参数个数急骤增加,目标函数自变量空间的维数也变得越来越大,传统的一些基于梯度的参数提取方法已经不能很好地解决问题。遗传算法是一种应用基因工程和人工智能模拟... 随着半导体器件特征尺寸的缩小,半导体器件模型也变得越来越复杂,模型参数个数急骤增加,目标函数自变量空间的维数也变得越来越大,传统的一些基于梯度的参数提取方法已经不能很好地解决问题。遗传算法是一种应用基因工程和人工智能模拟的优化算法,近年来在半导体器件模型参数提取领域被广泛使用,这种方法能有效地克服传统参数提取方法中的一些困难。详细阐述了采用遗传算法提取半导体器件模型参数的原理,同时也指出了采用这种方法提取模型参数时的缺点和目前的一些解决方法。 展开更多
关键词 半导体 器件模型 参数提取 遗传算法 爬山法
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电子束直写邻近效应校正技术 被引量:2
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作者 陈宝钦 任黎明 +4 位作者 刘明 王云翔 龙世兵 陆晶 李泠 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第B05期221-225,共5页
通过蒙特卡罗模拟方法研究电子散射过程,探讨邻近效应产生机理并寻求有效的邻近效应校正途径。实验结果表明:邻近效应现象是一种综合效应,可以通过优化工艺条件有效地抑制邻近效应的影响,使邻近效应校正达到预期的效果。
关键词 纳米结构图形 电子柬直写 蒙特卡罗模拟 邻近效应校正
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Low Power Design Orienting 384×288 Snapshot Infrared Readout Integrated Circuits 被引量:1
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作者 刘丹 鲁文高 +2 位作者 陈中建 吉利久 赵宝瑛 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期93-98,共6页
This paper presents a low power design for a 384 x 288 infrared (IR) readout integrated circuit (ROIC). For the character of IR detector ( ro ≈ 100kΩ, Iint ≈ 100nA), a novel pixel structure called quad-share ... This paper presents a low power design for a 384 x 288 infrared (IR) readout integrated circuit (ROIC). For the character of IR detector ( ro ≈ 100kΩ, Iint ≈ 100nA), a novel pixel structure called quad-share buffered direct injection (QSBDI) is proposed and realized. In QSBDI,four neighbor pixels share one buffered amplifier,which creates high injection efficiency, a stable bias, good FPN performance, and low power usage. This ROIC also supports two integration modes (integration then readout and integration while readout), two selectable gains, and four window readout modes. A test 128 × 128 ROIC is designed,fabricated,and tested. The test results show that the ROIC has good linearity. The peak to peak variance of the sub array is about 10mV. The power of pixel stage is only lmW,and the total power dissipation is 37mW at a working frequency of 4MHz. 展开更多
关键词 IR ROIC QSBDI IWR ITR low power WINDOWING
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弯曲时空几何光学中的聚焦定理
7
作者 许殿彦 《大学物理》 北大核心 2006年第1期4-7,16,共5页
严格、详细地证明了弯曲时空几何光学中的聚焦定理.
关键词 弯曲时空 几何光学 聚焦定理 黑洞
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钴基合金表面中性缓蚀清洗剂的研制
8
作者 杨承凤 刘盖 +2 位作者 汪洋 黄旋 刘秀生 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2012年第8期24-27,71,共4页
常规碱性水基清洗剂用于清洗钴基合金时会导致合金中的钴析出。以非离子表面活性剂、金属缓蚀剂、助溶剂和水等为主要成分,采用正交试验方法,研制了一种钴基合金中性缓蚀清洗剂。该清洗剂对人工油污的除油率(CEF)可达99.44%,能彻底地清... 常规碱性水基清洗剂用于清洗钴基合金时会导致合金中的钴析出。以非离子表面活性剂、金属缓蚀剂、助溶剂和水等为主要成分,采用正交试验方法,研制了一种钴基合金中性缓蚀清洗剂。该清洗剂对人工油污的除油率(CEF)可达99.44%,能彻底地清除金属表面的油污,同时可抑制钴基合金中钴的析出。钴基合金试样浸泡结果表明,清洗剂中的缓蚀剂能明显减少钴基合金的腐蚀,防锈效果优良。 展开更多
关键词 中性清洗剂 钴基合金 除油 钴析出 缓蚀
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玩积木的程序员
9
作者 陈亮亮 《软件世界》 2007年第10期91-92,共2页
自从我学习程序设计开始,就不断地听到大家谈论面向对象。在最开始接触C++时,确实被它的OO特性迷住了,相比之前用过的C语言更加丰富多彩。想当初,经常因为写出了一个类而暗自自豪半天。
关键词 程序员 积木 程序设计 面向对象 C++ C语言 学习 特性
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一个适用于短沟HALO结构MOS器件的直接隧穿栅电流模型
10
作者 赵要 许铭真 谭长华 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期1264-1268,共5页
对沟道长度从10μm到0.13μm,栅氧化层厚度为2.5nm的HALO结构nMOS器件的直接隧穿栅电流进行了研究,得到了一个适用于短沟道HALO结构MOS器件的直接隧穿栅电流模型.随着沟道尺寸的缩短,源/漏扩展区占据沟道的比例越来越大,源漏扩展区的影... 对沟道长度从10μm到0.13μm,栅氧化层厚度为2.5nm的HALO结构nMOS器件的直接隧穿栅电流进行了研究,得到了一个适用于短沟道HALO结构MOS器件的直接隧穿栅电流模型.随着沟道尺寸的缩短,源/漏扩展区占据沟道的比例越来越大,源漏扩展区的影响不再可以忽略不计.文中考虑了源/漏扩展区对直接隧穿栅电流的影响,给出了适用于不同HALO掺杂剂量的超薄栅(2~4nm)短沟(0.13~0.25μm)nMOS器件的半经验直接隧穿栅电流模拟表达式. 展开更多
关键词 MOS器件 HALO结构 直接隧穿电流 源/漏扩展区
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纳米级MOSFET的模拟
11
作者 刘晓彦 刘恩峰 +3 位作者 杜刚 刘弋波 夏志良 韩汝琦 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第B05期148-152,共5页
利用从量子波尔兹曼方程简化得到的双量子修正和计入载流子动量的全流体动力学模型,编制了流体动力学半导体器件模拟程序,并对栅长25nm的体硅MOSFET和栅长30nm的FinFET结构进行了模拟。模拟结果表明,改进后的流体动力学模型在工程应... 利用从量子波尔兹曼方程简化得到的双量子修正和计入载流子动量的全流体动力学模型,编制了流体动力学半导体器件模拟程序,并对栅长25nm的体硅MOSFET和栅长30nm的FinFET结构进行了模拟。模拟结果表明,改进后的流体动力学模型在工程应用中能够适应模拟纳米级MOSFET的要求,用于纳米级MOSFET的特性研究和优化设计。 展开更多
关键词 纳米尺度 半导体器件模拟 流体动力学 量子效应 MOSFET
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水下声学调制解调器动态可重构数字系统设计与实现
12
作者 武玲娟 崔小欣 于敦山 《北京大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第5期765-772,共8页
提出一种动态可重构的水下声学调制解调器数字系统,此系统将调制、解调模块定义为可重构模块,根据水下声学信道的检测结果,动态调整其调制解调方式和数据率,以提供低误码率、低能耗的通信。在Xilinx XUPV5 FPGA开发板上完成数字系统的... 提出一种动态可重构的水下声学调制解调器数字系统,此系统将调制、解调模块定义为可重构模块,根据水下声学信道的检测结果,动态调整其调制解调方式和数据率,以提供低误码率、低能耗的通信。在Xilinx XUPV5 FPGA开发板上完成数字系统的实现与软硬件协同验证,结果表明功能正确,数字系统可以动态配置为2FSK和2PSK模式。与传统FPGA实现方法相比,动态可重构的设计方法提高了算法设计的灵活性,节约了数字系统硬件实现的资源。 展开更多
关键词 水声调制解调器 动态可重构 水下无线传感器网络 嵌入式系统
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微米尺度下键合强度的评价方法和测试结构 被引量:5
13
作者 阮勇 贺学锋 +1 位作者 张大成 王阳元 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2005年第8期110-113,共4页
在MEMS器件的设计与加工过程中,键合技术是体硅工艺的一项关键技术。由于MEMS器件的特点,其键合的面积通常是在微米到毫米量级内,传统测试键合强度的方法不再适用,该尺度下键合强度的测试与评价成为MEMS工艺测试的难点之一。文章提出了... 在MEMS器件的设计与加工过程中,键合技术是体硅工艺的一项关键技术。由于MEMS器件的特点,其键合的面积通常是在微米到毫米量级内,传统测试键合强度的方法不再适用,该尺度下键合强度的测试与评价成为MEMS工艺测试的难点之一。文章提出了一种新型的测试结构,对面积为微米量级下键合的最大抗扭强度进行了测试。实验设计一系列的单晶硅悬臂梁结构测试键合面积在微米量级时的最大剪切力,键合面为常用的正方形,其边长从6μm到120μm,计算得出的剪力与采用实体单元有限元分析结果计算出的作用力相对误差为4.9%,这一误差在工程中是可以接受的。实验得出最大剪切扭矩和相应的键合面积的曲线。MEMS器件的设计人员可以根据结论曲线,针对所需的抗扭强度设计相应的键合面积。 展开更多
关键词 MEMS 阳极键合 键合强度 剪切力 硅深刻蚀 感应耦合等离子体 抗扭强度
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H.264/AVC帧内预测器的VLSI实现 被引量:1
14
作者 朱忠平 冯建华 曹喜信 《北京大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期44-48,共5页
提出了一种帧内预测电路的实现方法,在舍弃了平面预测模式情况下,通过多路选择器选择不同加法路径,和大量共用加法器,以较小代价实现了帧内预测所有剩余的预测模式。在基于SMIC CMOS0.18μm最坏工艺条件下,电路规模仅为4000门,关键路径... 提出了一种帧内预测电路的实现方法,在舍弃了平面预测模式情况下,通过多路选择器选择不同加法路径,和大量共用加法器,以较小代价实现了帧内预测所有剩余的预测模式。在基于SMIC CMOS0.18μm最坏工艺条件下,电路规模仅为4000门,关键路径延迟为5.7ns。 展开更多
关键词 H 264、AVC VLSI 帧内预测
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HfO_2高k栅介质等效氧化层厚度的提取 被引量:3
15
作者 陈勇 赵建明 +2 位作者 韩德栋 康晋锋 韩汝琦 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期852-856,共5页
分两步提取了HfO2高k栅介质等效氧化层厚度(EOT).首先,根据MIS测试结构等效电路,采用双频C-V特性测试技术对漏电流和衬底电阻的影响进行修正,得出HfO2高k栅介质的准确C-V特性.其次,给出了一种利用平带电容提取高k介质EOT的方法,该方法... 分两步提取了HfO2高k栅介质等效氧化层厚度(EOT).首先,根据MIS测试结构等效电路,采用双频C-V特性测试技术对漏电流和衬底电阻的影响进行修正,得出HfO2高k栅介质的准确C-V特性.其次,给出了一种利用平带电容提取高k介质EOT的方法,该方法能克服量子效应所产生的反型层或积累层电容的影响.采用该两步法提取的HfO2高k栅介质EOT与包含量子修正的Poisson方程数值模拟结果对比,误差小于5%,验证了该方法的正确性. 展开更多
关键词 高介电常数栅介质 等效氧化层厚度 二氧化铪
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一种新的H.264/AVC标量量化并行VLSI结构(英文)
16
作者 彭春干 于敦山 +1 位作者 曹喜信 盛世敏 《北京大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期522-526,共5页
针对H.264视频编码标准关键技术52级标量量化的VLSI实现过程中,传统结构的速度和面积不能有效满足H.264在高速高并行编码应用中的实时要求,通过采用部分CSD码无符号压缩移位加法树、参考电平连线、对量化系数和步长重新进行分组分段编... 针对H.264视频编码标准关键技术52级标量量化的VLSI实现过程中,传统结构的速度和面积不能有效满足H.264在高速高并行编码应用中的实时要求,通过采用部分CSD码无符号压缩移位加法树、参考电平连线、对量化系数和步长重新进行分组分段编码等方法,有效替代了H.264标量量化过程中出现的矩阵乘法、查表、除法等不利于硬件加速的算法,提出了一种非常适合流水加速的基于4×4块并行的VLSI结构,通过控制级联加法器级数就可以有效调节其速度性能,当级数为2时,其块处理速率可以达到121.6MHz,能够满足4096×2304@120Hz视频的实时处理要求。该结构在面积和功耗方面较传统结构也有较大的改进,采用SMIC 0.13μm工艺单元库,综合时钟频率设为100MHz时,等效门和功耗分别节省了38%和30%。 展开更多
关键词 H.264 VLSI结构 视频编码
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压力传感器在石化行业的应用与国产化探讨 被引量:2
17
作者 刘仁 史创 +2 位作者 王晓浩 唐飞 张大成 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第1期15-18,共4页
分析了石化行业对压力变送器的需求,得出石化行业对压力传感器的要求:测量精度、快速响应、温度特性和静压特性、长期稳定性。微压力传感器具有许多传统压力传感器不具备的优点,能够满足石化行业对压力传感器的要求。介绍了当前石化领... 分析了石化行业对压力变送器的需求,得出石化行业对压力传感器的要求:测量精度、快速响应、温度特性和静压特性、长期稳定性。微压力传感器具有许多传统压力传感器不具备的优点,能够满足石化行业对压力传感器的要求。介绍了当前石化领域正在使用的MEMS压力传感器及其结构特点;对比国内外厂商生产的压力传感器性能,明确了压力传感器国产化问题的关键是如何提高传感器长期稳定性问题。 展开更多
关键词 压力传感器 石化行业 国产化
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一种基于累积分布函数的抖动测量方法 被引量:1
18
作者 郭健 冯建华 叶红飞 《北京大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期381-385,共5页
提出一种基于累积分布函数(CDF)的抖动测量方法,以解决在测试高频时钟信号抖动中遇到的延迟器件不匹配、占用芯片面积过大和受高频振荡信号限制等问题。采用65 nm CMOS工艺完成了测试电路的设计和功能模拟,模拟结果表明该电路可用于测量... 提出一种基于累积分布函数(CDF)的抖动测量方法,以解决在测试高频时钟信号抖动中遇到的延迟器件不匹配、占用芯片面积过大和受高频振荡信号限制等问题。采用65 nm CMOS工艺完成了测试电路的设计和功能模拟,模拟结果表明该电路可用于测量2.5 GHz时钟抖动值,抖动测量精度达到1 ps。 展开更多
关键词 时钟抖动 内建抖动测试 时间数字转换器
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超高精度隧道式硅微加速度计反馈控制电路设计
19
作者 胡启方 王玲 《电子产品世界》 2007年第C00期28-31,共4页
典型隧道加速度计由隧尖、质量块、支承梁、驱动电极、隧尖对应电极以及相应的反馈控制电路组成,其基本结构图和工作原理框图如图1所示;图2显示的是北京大学微电子研究院微米纳米加工国家重点实验室使用MEMS标准工艺加工出来的基于电... 典型隧道加速度计由隧尖、质量块、支承梁、驱动电极、隧尖对应电极以及相应的反馈控制电路组成,其基本结构图和工作原理框图如图1所示;图2显示的是北京大学微电子研究院微米纳米加工国家重点实验室使用MEMS标准工艺加工出来的基于电子隧道穿通的加速度计以及封装形式。 展开更多
关键词 硅微加速度计 反馈控制 控制电路设计 超高精度 隧道式 国家重点实验室 隧道加速度计 EMS标准
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一种低复杂度的PTS优化方法
20
作者 焦玉中 王新安 +2 位作者 倪学文 许应 刘雪娇 《北京大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期979-982,共4页
提出一种新的优化策略,即在迭代处理过程中根据正交频分复用序列峰值点样值的幅度削减效果来选择合适的部分传输序列并确定其相位旋转因子。该PTS方法(部分传输序列法)具有较高的算法收敛速率,因此复杂度非常低。仿真结果显示,与迭代PT... 提出一种新的优化策略,即在迭代处理过程中根据正交频分复用序列峰值点样值的幅度削减效果来选择合适的部分传输序列并确定其相位旋转因子。该PTS方法(部分传输序列法)具有较高的算法收敛速率,因此复杂度非常低。仿真结果显示,与迭代PTS方法相比,在V≥16时,新的PTS方法具有更低的算法复杂度,同时PAPR抑制性能在互补累积分布函数(CCDF)为10-4时提高超过0.28 dB。 展开更多
关键词 正交频分复用 部分传输序列 PAPR抑制 复杂度
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