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超高精度隧道式硅微加速度计反馈控制电路设计

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摘要典型隧道加速度计由隧尖、质量块、支承梁、驱动电极、隧尖对应电极以及相应的反馈控制电路组成，其基本结构图和工作原理框图如图1所示；图2显示的是北京大学微电子研究院微米纳米加工国家重点实验室使用MEMS标准工艺加工出来的基于电子隧道穿通的加速度计以及封装形式。

作者胡启方王玲

机构地区北京大学信息科学技术学院微电子学系中北大学电子科学与技术系

出处《电子产品世界》 2007年第C00期28-31,共4页 Electronic Engineering & Product World

关键词硅微加速度计反馈控制控制电路设计超高精度隧道式国家重点实验室隧道加速度计 EMS标准

分类号 TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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