薄金属膜光学常数的椭偏法测定 被引量：3

1

作者 薛建华 韩丹 +1 位作者 杨秀文 魏江南 《河北科技大学学报》 CAS 2003年第2期77-80,共4页

依据椭偏测光法的原理,采用内外反射法测量透明基底上薄金属膜的光学常数的厚度,并在计算机上利用单纯形法计算得到薄金属膜的折射率、消光系数和几何厚度,并对数据进行了系统误差的修正。

关键词 薄金属膜 光学常数 椭偏测光法 单纯形法 内外反射法 折射率 消光系数 几何厚度

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用于生化分析的SPR效应研究 被引量：3

2

作者 聂奕 刘德明 +1 位作者 元秀华 黄德修 《华中科技大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第8期21-22,31,共3页

研究了一种新的SPR生化分析系统 .从SPR效应的原理入手 ,分析了SPR效应作生化分析时的特性 ,得出了光源和传感头的几个重要参数对SPR效应特性的影响 .以LED作为光源 ,CCD作为光电探测器 ,FP GA为采集控制器设计了集成化的光学系统 .整... 研究了一种新的SPR生化分析系统 .从SPR效应的原理入手 ,分析了SPR效应作生化分析时的特性 ,得出了光源和传感头的几个重要参数对SPR效应特性的影响 .以LED作为光源 ,CCD作为光电探测器 ,FP GA为采集控制器设计了集成化的光学系统 .整个系统结构紧凑 ,易于商用化 . 展开更多

关键词 光学系统 表面等离子体谐振 金属薄膜 折射率 生化分析 SPR效应 反射率

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金属薄膜在短脉冲激光加热下的温度响应 被引量：5

3

作者 周凤玺 李世荣 《兰州大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2006年第2期55-59,共5页

利用非经典的双相延迟 DPL(Dual phase lag)热传导方程,采用稳定的有限差分方法求解了金属薄膜在超短脉冲激光辐射作用下的温度响应．探讨了薄膜内温度响应随温度延迟相与热流延迟相的不同而产生的变化趋势,讨论了在微时间和微空间尺度... 利用非经典的双相延迟 DPL(Dual phase lag)热传导方程,采用稳定的有限差分方法求解了金属薄膜在超短脉冲激光辐射作用下的温度响应．探讨了薄膜内温度响应随温度延迟相与热流延迟相的不同而产生的变化趋势,讨论了在微时间和微空间尺度条件下金属薄膜随不同的激光加热以及薄膜厚度而引起的热响应特征． 展开更多

关键词 微尺度 热传递 金属薄膜 激光加热

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SPR传感器光学参数的确定及应用 被引量：2

4

作者 岳萍 梁宏晞 +1 位作者 顾月清 顾建华 《中国医学物理学杂志》 CSCD 2001年第2期122-123,共2页

本文从菲涅尔公式出发,给出了SPR传感器中金属膜光学参数的确定方法。并以此为基础测定了水,乙醇,氯仿,甘油的折射率。

关键词 表面等离子激元共振 金属薄膜 折射率 应用

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表面等离子共振法测量纳米级金属薄膜厚度数值分析（英文） 被引量：2

5

作者 刘庆纲 解娴 +1 位作者 秦自瑞 郎垚璞 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2018年第1期16-22,共7页

针对纳米级金属薄膜厚度测量的需求,建立了基于表面等离子共振(SPR)法膜厚测量的数学模型,并以K9棱镜-金膜-空气组成的Kretschmann结构为耦合装置,对SPR方法的光强、相位、波长、角度4种调制模式进行数值分析,介绍了这4种调制模式的原理... 针对纳米级金属薄膜厚度测量的需求,建立了基于表面等离子共振(SPR)法膜厚测量的数学模型,并以K9棱镜-金膜-空气组成的Kretschmann结构为耦合装置,对SPR方法的光强、相位、波长、角度4种调制模式进行数值分析,介绍了这4种调制模式的原理,并对其传感器的测量范围、灵敏度等参数进行了分析.结果表明:光强型SPR装置的测量范围最大,相位型SPR装置的灵敏度最高.在实际金属薄膜厚度测量的应用中,除了传感器的测量范围和灵敏度外,还需考虑其后续处理装置、算法的复杂性及性价比,结合诸多因素选择合适的SPR传感器. 展开更多

关键词 SPR效应 金属薄膜 厚度 测量模型 数值分析

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制备工艺对超薄NiFe薄膜AMR效应的影响 被引量：1

6

作者 胡凌桐 张万里 +1 位作者 彭斌 张文旭 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2018年第8期26-29,35,共5页

NiFe薄膜广泛用于制作磁阻器件。本文系统研究了Ta缓冲层厚度、NiFe薄膜厚度、退火温度和退火时间对厚度小于20nm的超薄NiFe薄膜AMR效应的影响。研究结果表明:随着Ta缓冲层厚度、NiFe薄膜厚度以及退火温度的增加,AMR系数呈现先升高后降... NiFe薄膜广泛用于制作磁阻器件。本文系统研究了Ta缓冲层厚度、NiFe薄膜厚度、退火温度和退火时间对厚度小于20nm的超薄NiFe薄膜AMR效应的影响。研究结果表明:随着Ta缓冲层厚度、NiFe薄膜厚度以及退火温度的增加,AMR系数呈现先升高后降低的变化规律。最佳的超薄NiFe薄膜AMR效应的工艺条件为,Ta缓冲层为5nm,NiFe薄膜为11nm,退火温度为350℃,退火时间为3.5h。本文工作可以支持超薄NiFe薄膜磁阻器件的开发。 展开更多

关键词 NiFe薄膜 Ta缓冲层 AMR效应 真空磁场退火 磁控溅射 超薄金属薄膜

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微纳米尺度金属导电材料热疲劳研究进展

7

作者 张广平 陈红蕾 +1 位作者 罗雪梅 张滨 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第3期357-366,共10页

世界已逐渐进入以物联网和智能制造为主导的工业4.0时代,特别是人工智能和大数据处理的强烈需求,微纳米尺度器件的研发制造及广泛使用的日趋活跃使得小尺度材料得到广泛关注。由于这些材料的几何尺度和微观结构尺度的约束效应,其热疲劳... 世界已逐渐进入以物联网和智能制造为主导的工业4.0时代,特别是人工智能和大数据处理的强烈需求,微纳米尺度器件的研发制造及广泛使用的日趋活跃使得小尺度材料得到广泛关注。由于这些材料的几何尺度和微观结构尺度的约束效应,其热疲劳损伤行为与块体材料不同。同时,材料尺度由微米向纳米量级的转变也会引起损伤机制的转变,使材料表现出不同的损伤形式,产生显著的尺寸效应。本文综述了近年来国内外开展的有关金属薄膜/线的热疲劳实验方法、热疲劳损伤行为及演化和热疲劳影响因素的研究进展,探讨了微纳米尺度金属材料热疲劳的微观机制和尺寸效应,并对这一领域的研究前景进行展望。 展开更多

关键词 金属薄膜 互连线 交流电 热疲劳 尺寸效应

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超薄金属膜在太赫兹波段的光学特性研究 被引量：5

8

作者 马凤英 池泉 +6 位作者 苏建坡 杜艳丽 张微微 陈明 刘建立 郭茂田 袁斌 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期610-613,共4页

超薄金属膜在太赫兹波段的探测器、反射镜、波导器件以及太赫兹量子级联激光器中得到了广泛应用。超薄金属膜的光学常数不仅是这些器件设计中不可缺少的参数,而且是开发新型光电材料的一个重要依据。文章运用太赫兹差分时域光谱技术对... 超薄金属膜在太赫兹波段的探测器、反射镜、波导器件以及太赫兹量子级联激光器中得到了广泛应用。超薄金属膜的光学常数不仅是这些器件设计中不可缺少的参数,而且是开发新型光电材料的一个重要依据。文章运用太赫兹差分时域光谱技术对超薄金属铬、镍和钛膜的光学特性研究,获得其在太赫兹波段的折射率和消光系数,并根据菲涅尔公式计算入射介质为高阻GaAs时,GaAs/Metal界面的反射谱,三种金属在0.3～1.5THz的波段范围内的平均反射率均超过80%。研究超薄金属膜在太赫兹波段的反射特性,为设计性能优良的太赫兹辐射源、探测器及太赫兹光学元件奠定基础。 展开更多

关键词 太赫兹差分时域光谱技术 超薄金属膜 光学参数 太赫兹光学元件

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膜层厚度对金属薄膜光学常数的影响 被引量：4

9

作者 卢进军 李向阳 孙雪平 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第5期602-606,共5页

从麦克斯韦方程出发,可以得到超薄金属膜层光学常数n、k与其厚度有关系的理论依据。采用电阻热蒸发和电子束热蒸发的方法在K9玻璃基底上分别沉积了不同厚度的Cu膜、Cr膜、Ag膜,由椭偏法检测、Drude模型拟合,获得了不同厚度Cu膜、Cr膜、A... 从麦克斯韦方程出发,可以得到超薄金属膜层光学常数n、k与其厚度有关系的理论依据。采用电阻热蒸发和电子束热蒸发的方法在K9玻璃基底上分别沉积了不同厚度的Cu膜、Cr膜、Ag膜,由椭偏法检测、Drude模型拟合,获得了不同厚度Cu膜、Cr膜、Ag膜光学常数n、k随波长λ的变化规律。超薄金属薄膜与块状金属的光学常数相差较大,随着薄膜厚度的增加,n、k值趋近于块状金属。通过对样品膜层吸收、色散特性的分析,发现连续金属薄膜在可见光波段对长波的吸收较大,而且相比于介质薄膜平均色散率高10mn～102nm量级。 展开更多

关键词 超薄金属薄膜 光学常数 色散 吸收 椭偏法

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超薄金属基电磁屏蔽玻璃研究进展

10

作者 侯焕然 石晓飞 +3 位作者 金扬利 王衍行 李媛媛 祖成奎 《硅酸盐通报》 CAS 北大核心 2024年第4期1197-1210,共14页

电磁屏蔽玻璃是国防、民生等领域的重要应用材料,但是电磁性能和光学性能往往难以兼顾提升。超薄金属基透明电磁屏蔽薄膜是电磁屏蔽玻璃领域常用的功能性材料。本文对超薄金属基电磁屏蔽玻璃的屏蔽设计原理进行了详细阐述,重点综述了降... 电磁屏蔽玻璃是国防、民生等领域的重要应用材料,但是电磁性能和光学性能往往难以兼顾提升。超薄金属基透明电磁屏蔽薄膜是电磁屏蔽玻璃领域常用的功能性材料。本文对超薄金属基电磁屏蔽玻璃的屏蔽设计原理进行了详细阐述,重点综述了降低超薄金属薄膜阈值厚度的方法,回顾了近年来不同结构的超薄金属基电磁屏蔽玻璃的光学及电磁屏蔽性能,并对电磁屏蔽玻璃的未来发展趋势进行了讨论。 展开更多

关键词 电磁屏蔽玻璃 超薄金属薄膜 电磁防护 电磁屏蔽效能 透明电磁屏蔽 磁控溅射

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多层光变防伪膜的非均匀垂直偏振光反射特性 被引量：2

11

作者 王安玲 刘福平 +1 位作者 朱晓峰 杨长春 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第8期203-208,共6页

基于非均匀光波在导电介质中传播时其相移传播方向和振幅衰减方向的不一致性,利用光波动方程的解由电磁场边界条件导出非均匀垂直偏振光在多层超薄金属膜与透明介质膜组合膜系中光波的传输递推公式.为验证方法的可靠性,给出了不同厚度... 基于非均匀光波在导电介质中传播时其相移传播方向和振幅衰减方向的不一致性,利用光波动方程的解由电磁场边界条件导出非均匀垂直偏振光在多层超薄金属膜与透明介质膜组合膜系中光波的传输递推公式.为验证方法的可靠性,给出了不同厚度金属膜防伪光变膜系的能量反射率算例,并与现有算法进行对比,结果表明:两种算法得到的能量反射曲线的分布特征具有很好的相似性,但本文算法表现出金属膜具有强的吸收特性和窄带反射效应. 展开更多

关键词 多层防伪光变膜 非均匀波 超薄金属膜 垂直偏振波 反射特性

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NUMERICAL SIMULATION FOR MEASURING YIELD STRENGTH OF THIN METAL FILM BY NANOINDENTATION METHOD

12

作者 Ma, Dejun Xu, Kewei He, Jiawen 《中国有色金属学会会刊：英文版》 EI CSCD 1997年第3期66-69,共4页

ＮＵＭＥＲＩＣＡＬＳＩＭＵＬＡＴＩＯＮＦＯＲＭＥＡＳＵＲＩＮＧＹＩＥＬＤＳＴＲＥＮＧＴＨＯＦＴＨＩＮＭＥＴＡＬＦＩＬＭＢＹＮＡＮＯＩＮＤＥＮＴＡＴＩＯＮＭＥＴＨＯＤ①ＭａＤｅｊｕｎ，ＸｕＫｅｗｅｉ，ＨｅＪｉａｗｅｎＳ... ＮＵＭＥＲＩＣＡＬＳＩＭＵＬＡＴＩＯＮＦＯＲＭＥＡＳＵＲＩＮＧＹＩＥＬＤＳＴＲＥＮＧＴＨＯＦＴＨＩＮＭＥＴＡＬＦＩＬＭＢＹＮＡＮＯＩＮＤＥＮＴＡＴＩＯＮＭＥＴＨＯＤ①ＭａＤｅｊｕｎ，ＸｕＫｅｗｅｉ，ＨｅＪｉａｗｅｎＳｔａｔｅＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙ... 展开更多

关键词 NANOINDENTATION METHOD thin metal film mechanical properties finite element METHOD

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贮氚金属薄膜源的优化与制备

13

作者 颜廷志 王瑞丰 《东北电力大学学报》 2017年第4期61-66,共6页

为提高能量密度,以贮氚金属薄膜作为平板型β辐射伏特效应核电池的放射源。利用Materials Studio软件中的CASTEP模块计算了氚在贮存金属薄膜中的扩散速度。用MC-SET和MCNP软件模拟了氚源在钯、钪和钛三种金属薄膜中的饱和厚度,为提高放... 为提高能量密度,以贮氚金属薄膜作为平板型β辐射伏特效应核电池的放射源。利用Materials Studio软件中的CASTEP模块计算了氚在贮存金属薄膜中的扩散速度。用MC-SET和MCNP软件模拟了氚源在钯、钪和钛三种金属薄膜中的饱和厚度,为提高放射源利用率提供参考。建立了实验室氢加载系统,可以实现在不同温度和压力下氢气向金属薄膜的扩散,制备贮氚金属薄膜。 展开更多

关键词 CASTEP 蒙特卡罗 β辐射伏特效应 贮氚金属薄膜

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三层一维非金属薄膜材料热传导效应的研究 被引量：1

14

作者 李荣 《山东大学学报（理学版）》 CAS CSCD 北大核心 2012年第7期39-43,共5页

从声子散射模型出发,用拉普拉斯变换法得到三层一维非金属薄膜在简谐温度边界条件下温度响应的解。通过算例分析,讨论了在微尺度条件下非金属薄膜的热响应特征。计算表明,热响应温度和热传播速度随特征参数E的变化而变化。在薄膜中不同... 从声子散射模型出发,用拉普拉斯变换法得到三层一维非金属薄膜在简谐温度边界条件下温度响应的解。通过算例分析,讨论了在微尺度条件下非金属薄膜的热响应特征。计算表明,热响应温度和热传播速度随特征参数E的变化而变化。在薄膜中不同位置处,当E<0.1时,波动特性明显,最高响应温度在波的传播方向上先减小后增大;当E>0.1时,最高响应温度持续减小。当E取较大值时,热传播速度也较大,达到最大响应温度的热响应时间几乎相同。而在薄膜后表面,热传播速度随E的增大而增大。另外,当E<0.25,最大热扰动响应温度随E的增大而减小;当E>0.25时,最大热扰动响应温度随E的增大而增大。 展开更多

关键词 声子散射模型 微尺度 非金属薄膜 拉普拉斯变换

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