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热化学气相沉积法制备定向碳纳米管薄膜 被引量:1
1
作者 刘长虹 程国安 艾云龙 《南昌大学学报(理科版)》 CAS 北大核心 2005年第1期54-58,共5页
采用热化学气相沉积法(CVD),以乙炔为碳源,在单晶硅上制备了定向碳纳米管薄膜。通过扫描电子显微镜(SEM)观察了碳管薄膜及衬底表面形貌。结果表明,以多孔硅为衬底生长的碳纳米管管径均匀且离散分布,定向性良好。生长前氨对催化剂膜的预... 采用热化学气相沉积法(CVD),以乙炔为碳源,在单晶硅上制备了定向碳纳米管薄膜。通过扫描电子显微镜(SEM)观察了碳管薄膜及衬底表面形貌。结果表明,以多孔硅为衬底生长的碳纳米管管径均匀且离散分布,定向性良好。生长前氨对催化剂膜的预处理具有刻蚀作用,可显著提高碳管的生长密度,从而获得碳纳米管阵列膜。 展开更多
关键词 碳纳米管薄膜 cvd 定向 氨预处理
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CVD·SiC-C 梯度涂层中的残余应力及应力缓和 被引量:5
2
作者 刘桂新 金宗哲 王廷籍 《材料科学进展》 CSCD 1991年第6期498-501,共4页
本文采用热 CVD 方法,在 ZrB_2-SiC 复合陶瓷基体上制备 CVD·SiC-C 梯度涂层。采用XRD,SEM,及 X 射线应力分析方法,研究了 CVD·SiC-C 梯度涂层的相组成、显微结构、残余应力及弯曲强度等性能。结果表明,CVD·SiC-C 梯度... 本文采用热 CVD 方法,在 ZrB_2-SiC 复合陶瓷基体上制备 CVD·SiC-C 梯度涂层。采用XRD,SEM,及 X 射线应力分析方法,研究了 CVD·SiC-C 梯度涂层的相组成、显微结构、残余应力及弯曲强度等性能。结果表明,CVD·SiC-C 梯度涂层可以缓解 SiC 与 ZrB_2基体间的热应力及界面应力,涂层中的残余应力得到明显缓解;高温退火处理对 CVD·SiC-C 涂层中的残余应力亦有缓解作用;梯度涂层显著改善了基材的弯曲强度。 展开更多
关键词 涂层 应力 陶瓷涂层 金属表面
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热CVD法制备纳米硅粉及其表征 被引量:3
3
作者 杨红 金达莱 +3 位作者 马照军 王勇 汪新颜 姚奎鸿 《浙江大学学报(理学版)》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期280-284,共5页
采用简单的热CVD反应法成功制备了纳米硅粉、X射线衍射和透射电镜结果表明:该产物是无定形的球形纳米粉体,粒径为20~100nm.粉体粒径随分解温度敏感,温度升高粒径减小,但高于700℃时急剧增加.傅立叶红外分析表明,粉体存在Si~H... 采用简单的热CVD反应法成功制备了纳米硅粉、X射线衍射和透射电镜结果表明:该产物是无定形的球形纳米粉体,粒径为20~100nm.粉体粒径随分解温度敏感,温度升高粒径减小,但高于700℃时急剧增加.傅立叶红外分析表明,粉体存在Si~H键,且H含量随分解温度升高而降低.进一步研究表明,该无定形纳米硅粉经700℃退火处理可转变为晶体硅. 展开更多
关键词 cvd 纳米硅粉 均相分解
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硅烷流量对硅烷热CVD法制备纳米硅粉的影响 被引量:1
4
作者 汪新颜 金达莱 +2 位作者 马照军 王勇 姚奎鸿 《浙江理工大学学报(自然科学版)》 2007年第5期545-548,共4页
纳米硅粉的制备方法很多,但采用硅烷(SiH4)热CVD法制备纳米硅粉较于其它方法有很多优势。文章研究了在特定的温度和压力下硅烷流量对硅粉制备的影响,并对制得的硅粉进行XRD、SEM和粒径分析表征,从而获得硅烷热CVD法制备硅粉一些关于硅... 纳米硅粉的制备方法很多,但采用硅烷(SiH4)热CVD法制备纳米硅粉较于其它方法有很多优势。文章研究了在特定的温度和压力下硅烷流量对硅粉制备的影响,并对制得的硅粉进行XRD、SEM和粒径分析表征,从而获得硅烷热CVD法制备硅粉一些关于硅烷流量等关键控制参数,为该法多参数优化控制以及将来的大规模工业应用做准备。 展开更多
关键词 硅烷 cvd 流量 硅粉
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热解CVD法同质外延金刚石单晶的研究 被引量:1
5
作者 李胜华 张志明 荘志诚 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第3期73-77,共5页
以有机低分子化合物丙酮与氢气为反应气体,用热解CVD 法在形状不规则的金刚石小颗粒上,外延出规整的立方八面体单晶金刚石颗粒,表面呈三角形或截角三角形形状,经反射高能电子衍射结构分析,确认是单晶。文中还讨论了金刚石结构中{111}面... 以有机低分子化合物丙酮与氢气为反应气体,用热解CVD 法在形状不规则的金刚石小颗粒上,外延出规整的立方八面体单晶金刚石颗粒,表面呈三角形或截角三角形形状,经反射高能电子衍射结构分析,确认是单晶。文中还讨论了金刚石结构中{111}面最容易显露的实验结果. 展开更多
关键词 金刚石 单晶 热解cvd 同质外延
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Study the Removal of Fluoride from Aqueous Medium by Using Nano-Composites
6
作者 Tapan K. Rout Reeta Verma +1 位作者 Robert V. Dennis Sarbajit Banerjee 《Journal of Encapsulation and Adsorption Sciences》 2015年第1期38-52,共15页
Endemic fluorosis disease has become a major geo-environmental health care issue caused by fluoride ion. High-efficiency and low-cost materials to uptake fluoride from water have been a chal-lenge for scientists and e... Endemic fluorosis disease has become a major geo-environmental health care issue caused by fluoride ion. High-efficiency and low-cost materials to uptake fluoride from water have been a chal-lenge for scientists and engineers. Here, we report a low-cost process by utilising low-cost starting materials to develop nanocomposite adsorbents for fluoride uptake from water. Bermuda grass as a starting source material converted into nanocomposite carbon fibers upon heat treatment at 800&deg;C for one hour in Nitrogen atmosphere in the presence of metal oxides. Iron oxide-based nanocomposite (IBNC) is performing high (≈97%) removal of fluoride ion at a contact time of 60 minutes (pH 4) followed by titania-based nanocomposite (TBNC) (≈92%) and micro carbon fiber (≈88%) respectively. The phenomenon of fluoride ion uptake is realised by Freundlich adsorption model, and both adsorption capacity and adsorption intensity for IBNC are higher than those for TBNC and micro carbon fiber. 展开更多
关键词 ADSORPTION Nano-Oxides Grafted Carbon Fiber thermal cvd FLUORIDE
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热CVD制备定向竹节型碳纳米管生长机制分析 被引量:1
7
作者 李刚 余宗胜 徐先锋 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期1-4,共4页
用热化学气相沉积(CVD)技术,用乙炔为碳源,氮气为载气,氢气为还原气体,氨气为刻蚀气体,在单晶硅上制备出定向竹节型结构碳纳米管薄膜。用透射电镜(TEM),扫描电镜(SEM)的X衍射能量色散能谱仪(EDS)和X射线衍射仪(XRD)分析碳纳米管的精细结... 用热化学气相沉积(CVD)技术,用乙炔为碳源,氮气为载气,氢气为还原气体,氨气为刻蚀气体,在单晶硅上制备出定向竹节型结构碳纳米管薄膜。用透射电镜(TEM),扫描电镜(SEM)的X衍射能量色散能谱仪(EDS)和X射线衍射仪(XRD)分析碳纳米管的精细结构,成分和晶型及结晶度,并对制备的碳纳米管的生长机制进行分析和推测。结果表明:在生长碳纳米管的过程中起催化作用的是金属镍颗粒而不是碳化镍,催化剂颗粒呈不同的形貌存在碳纳米管顶部,并遵循顶端生长方式。 展开更多
关键词 热化学气相沉积 碳纳米管 生长机制 竹节型
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SiO_2/Si衬底上热化学气相沉积法直接生长石墨烯 被引量:1
8
作者 陈彩云 于晓华 +4 位作者 戴丹 江南 詹肇麟 刘忠 刘建雄 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期205-208,共4页
采用化学气相沉积法,以Si O2/Si为衬底、镍膜为催化层,研究不同催化层厚度对石墨烯生长的影响。选择拉曼光谱,透射电子显微镜等手段对石墨烯的层数和质量进行表征。结果表明,随着Ni膜厚度的增加,石墨烯的缺陷减小,而且层数也减少,当Ni... 采用化学气相沉积法,以Si O2/Si为衬底、镍膜为催化层,研究不同催化层厚度对石墨烯生长的影响。选择拉曼光谱,透射电子显微镜等手段对石墨烯的层数和质量进行表征。结果表明,随着Ni膜厚度的增加,石墨烯的缺陷减小,而且层数也减少,当Ni膜厚度为300 nm时,可以在Si O2/Si基板上获得高质量的单层石墨烯。 展开更多
关键词 石墨烯 SIO2/SI 镍膜 热化学气相沉积
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铁催化薄膜的微观结构对碳纳米管阵列生长的影响
9
作者 刘华平 程国安 +2 位作者 赵勇 郑瑞廷 梁昌林 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期682-686,699,共6页
本文利用热化学气相沉积法(TCVD),系统地研究了NH3预处理对硅基底上沉积的催化剂铁膜的结构及所制备的碳纳米管形态的影响。研究结果表明,利用氨气对硅基底上的催化剂铁膜进行适当的预处理不仅可以将催化剂颗粒细化,还可以使催化剂在碳... 本文利用热化学气相沉积法(TCVD),系统地研究了NH3预处理对硅基底上沉积的催化剂铁膜的结构及所制备的碳纳米管形态的影响。研究结果表明,利用氨气对硅基底上的催化剂铁膜进行适当的预处理不仅可以将催化剂颗粒细化,还可以使催化剂在碳纳米管的制备过程中保持较高的催化活性,促进分解出的活性碳原子在催化剂中扩散和析出,增强碳纳米管的成核和生长,从而合成出纯度较高、定向性好的碳纳米管阵列。 展开更多
关键词 Fe薄膜 热化学气相沉积 碳纳米管阵列 催化剂
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气相生长金刚石膜对衬底金刚石性能的影响 被引量:3
10
作者 张铁臣 金曾孙 +2 位作者 吕宪义 郭伟力 邹广田 《高压物理学报》 CAS CSCD 北大核心 1990年第1期36-41,共6页
本文以高压合成金刚石为衬底材料,用热解CVD法在衬底金刚石表面生长了金刚石晶体。结果表明,生长金刚石后的衬底金刚石热性能有明显改善。
关键词 热解cvd 金刚石 衬底 气相生长 金刚石膜
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SELECTIVE DEPOSITION OF DIAMOND FILMS BY THERMAL CVD OF TUNGSTEN FILAMENT 被引量:1
11
作者 于三 金曾孙 +1 位作者 吕宪义 邹广田 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 1991年第17期1438-1440,共3页
Ⅰ. INTRODUCTIONThe preparation and application studies of diamond thin films as a new type of multifunction materials have made a great progress in recent years. Up to now, the initial applications of diamond thin fi... Ⅰ. INTRODUCTIONThe preparation and application studies of diamond thin films as a new type of multifunction materials have made a great progress in recent years. Up to now, the initial applications of diamond thin films prepared by various methods based on chemical vapor deposi- 展开更多
关键词 DIAMOND THIN films selective DEPOSITION thermal cvd method.
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热解法生长金刚石薄膜的形貌分析 被引量:2
12
作者 陈本敬 王秀琼 +1 位作者 杨巧勤 苏玉长 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 1990年第3期255-259,共5页
本文利用扫描电镜对热解化学汽相沉积法生长的金刚石薄膜组织进行了观察分析,看到了九种不同形貌的金刚石薄膜组织,讨论了这些组织的特点。
关键词 热解法 化学气相沉积 金刚石 薄膜
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Microstructure and Deposition Mechanism of C/SiCN Composites Prepared by Rapid Electro-thermal Pyrolysis CVD
13
作者 夏熠 QIAO Shengru WANG Qiangqiang 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2013年第4期688-692,共5页
Carbon fiber-reinforced silicon carbonitride ceramic matrix composites (C/SiCN) were prepared by rapid electro-thermal pyrolysis CVD using liquid polymer hexamethyldisilazane (HMDS, (CH3)3SiNHSi(CH3)3) as prec... Carbon fiber-reinforced silicon carbonitride ceramic matrix composites (C/SiCN) were prepared by rapid electro-thermal pyrolysis CVD using liquid polymer hexamethyldisilazane (HMDS, (CH3)3SiNHSi(CH3)3) as precursor. Microstructure morphology and production technique of C/SiCN composites were investigated. Scanning electron microscopy and transmission electron microscopy were respectively employed to characterize microstructures of the as-received C/SiCN composites samples. The high temperature pyrolysis of HMDS results in destruction of molecular chain, fracture of bonds, as well as liquid-gas-solid conversion from polymer to ceramic. Microstructures observation indicates that there is a high degree of coalescence between SiCN matrix and C fiber. The deposition model of liquid precursor electro-thermal pyrolysis CVD is different from that of gas precursor isothermal chemical vapor infiltration. Rapid liquid flow and slow gas diffusion are key factors for the difference of two methods. Preparation of rapid electro-thermal pyrolysis CVD consists of four steps including liquid polymer infiltration, polymer pyrolysis, rapid deposition of pyrolyzed substances and rapid densification, respectively. 展开更多
关键词 C/SiCN composite electro-thermal cvd MICROSTRUCTURE deposition model
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Influence of Nickel Catalyst Film Thickness and Cooling Condition for Synthesis of Monolayer Graphene by Thermal Chemical Vapor Deposition at 800 ℃
14
作者 Kazunori Ichikawa Hiroshi Akamatsu +2 位作者 Yoshiyuki Suda Yoshiyuki Nonoguchi Yukiharu Uraoka 《材料科学与工程(中英文B版)》 2015年第9期341-346,共6页
关键词 薄膜厚度 镍催化剂 冷却条件 石墨 单层 蒸汽沉积 化学气相沉积 合成方法
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