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Sol-Gel法合成TiO_2纳米粉末和薄膜 被引量:57
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作者 包定华 顾豪爽 +1 位作者 邝安祥 黄桂玉 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1996年第3期453-458,共6页
用Sol-Gel法成功地合成了TiO_2纳米粉末和薄膜.研究了工艺参数如热处理温度,保温时间等因素对材料结构和物性的影响,粉末的平均粒径为3~100nm,比表面积为17~251m ̄2/g,其在室温至750℃之间经历无... 用Sol-Gel法成功地合成了TiO_2纳米粉末和薄膜.研究了工艺参数如热处理温度,保温时间等因素对材料结构和物性的影响,粉末的平均粒径为3~100nm,比表面积为17~251m ̄2/g,其在室温至750℃之间经历无定形态→锐钛矿→锐钛矿与金红石共存→金红石的相交;以石英玻璃和单晶硅为基片,采用勺胶法获得了沿(101)择优取向的金红石薄膜,研究表明,薄膜经锐钛矿转变为金红石的转变温度固基片不同而异,但比凝胶粉末的转变温度高. 展开更多
关键词 二氧化钛陶瓷 sol-gel工艺 纳米粉末 薄膜
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六角晶系钡铁氧体纳米晶微波吸收剂的晶化特性研究 被引量:14
2
作者 郭方方 徐劲峰 +1 位作者 徐政 张栓勤 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期871-874,共4页
采用柠檬酸sol gel工艺 ,制备了W型、M型平面六角晶系的钡铁氧体纳米晶。采用XRD ,TEM和热分析对其物相组成、显微结构、晶化过程等进行研究 ,发现采用本文所述工艺 ,通过对晶化条件的控制 ,可避免形成α Fe2 O3非磁性伴生相 ,在 75 0&#... 采用柠檬酸sol gel工艺 ,制备了W型、M型平面六角晶系的钡铁氧体纳米晶。采用XRD ,TEM和热分析对其物相组成、显微结构、晶化过程等进行研究 ,发现采用本文所述工艺 ,通过对晶化条件的控制 ,可避免形成α Fe2 O3非磁性伴生相 ,在 75 0°C的较低温度下 ,就可得到均匀单一的铁氧体纳米晶。本文首次详细探讨了晶化反应机制和晶化条件对纳米晶粒子尺寸及分布、形貌和微波吸收性能的影响。 展开更多
关键词 晶化条件 钡铁氧体 纳米晶粒 晶化过程 晶系 sol-gel工艺 Α-FE2O3 微波吸收 磁性 特性研究
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Sol-Gel法制备Ba_xSr_(1-x)TiO_3铁电薄膜化学机制的探讨 被引量:8
3
作者 金承钰 丁永平 孟中岩 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期287-292,共6页
用FTIR分析,结合DSC、XRD、AFM实验结果,展示了sol-gel法制备BaxSr1-xTiO3(BST)薄膜热演化过程的化学机制.研究表明:螯合剂HACAC的引入减缓钛醇盐水解速率、改善晶化途径、降低结晶起始... 用FTIR分析,结合DSC、XRD、AFM实验结果,展示了sol-gel法制备BaxSr1-xTiO3(BST)薄膜热演化过程的化学机制.研究表明:螯合剂HACAC的引入减缓钛醇盐水解速率、改善晶化途径、降低结晶起始温度,从而制得了晶化完善、致密无裂纹的BST薄膜. 展开更多
关键词 BST薄膜 sol-gel工艺 铁电薄膜
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钛酸丁酯乙酸钡溶胶系统中的化学机制 被引量:9
4
作者 周方桥 梁鸿东 陈志雄 《华中科技大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期33-36,共4页
为用溶胶 凝胶技术制备BaTiO3 薄膜 ,以乙酸钡、钛酸丁酯、乙酸、乙醇等为原料配制的前驱溶液系统 ,加入适量的乙酰丙酮作螯合剂 ,可得到性能稳定的溶胶 ;利用FTIR分析 ,揭示了该溶液系统中的相关的化学反应机制 .分析结果表明 :该溶液... 为用溶胶 凝胶技术制备BaTiO3 薄膜 ,以乙酸钡、钛酸丁酯、乙酸、乙醇等为原料配制的前驱溶液系统 ,加入适量的乙酰丙酮作螯合剂 ,可得到性能稳定的溶胶 ;利用FTIR分析 ,揭示了该溶液系统中的相关的化学反应机制 .分析结果表明 :该溶液系统的胶化主要取决于钛酸丁酯的逐步水解并与包括乙酸钡在内的其他有机分子的聚合 ;乙酸不仅作为乙酸钡的溶剂 ,而且能有效地减缓钛酸丁酯的水解速率而维持溶胶的稳定性 ; 展开更多
关键词 钛酸丁酯 乙酸钡 溶胶系统 化学机制 BaTiO3薄膜 sol-gel工艺 红外光谱分析 溶胶-凝胶技术 钛酸钡薄膜
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TiO_2薄膜的Sol-gel制备及结构分析 被引量:10
5
作者 包定华 顾豪爽 +1 位作者 黄桂玉 邝安祥 《功能材料》 EI CAS CSCD 1995年第6期528-531,共4页
以正钛酸丁酯、无水乙醇和冰醋酸为原料,采用Sol-gel工艺匀胶技术在石英玻璃和单晶硅衬底上成功地制备了TiO_2薄膜,薄膜表面均匀、致密,无裂纹。研究表明,随热处理温度的提高,薄膜经锐钛矿转变为金红石结构,其转变温... 以正钛酸丁酯、无水乙醇和冰醋酸为原料,采用Sol-gel工艺匀胶技术在石英玻璃和单晶硅衬底上成功地制备了TiO_2薄膜,薄膜表面均匀、致密,无裂纹。研究表明,随热处理温度的提高,薄膜经锐钛矿转变为金红石结构,其转变温度因衬底不同而异,但比凝度粉末的转变温度高。金红石结构的TiO_2薄膜具有一定的择优取向性,其品位大小为0.05~0.15μm. 展开更多
关键词 薄膜 sol-gel工艺 制备结构 二氧化钛
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Y_2O_3-SnO_2常温气敏薄膜的Sol-Gel制备及性能研究 被引量:5
6
作者 方国家 刘祖黎 +3 位作者 吉向东 王汉忠 黄宜军 姚凯伦 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期69-74,共6页
以无机盐SnCl2·2H2O,Y(NO3)3·6H2O为原料,无水乙醇为溶剂,采用溶胶-凝胶工艺制备了Y2O3掺杂的SnO2薄膜.采用差热-失重分析研究了Y2O3掺杂的SnO2干凝胶粉末的热分解、晶化过程.研... 以无机盐SnCl2·2H2O,Y(NO3)3·6H2O为原料,无水乙醇为溶剂,采用溶胶-凝胶工艺制备了Y2O3掺杂的SnO2薄膜.采用差热-失重分析研究了Y2O3掺杂的SnO2干凝胶粉末的热分解、晶化过程.研究了Y2O3-SnO2薄膜的电学和气敏性能.从实验中得到了Y2O3掺杂份量对SnO2薄膜电学及气敏性能的影响.实验表明Y2O3掺杂的SnO2薄膜在常温下对NOx具有较好的灵敏度和选择性,并具有较好的响应恢复性能;在常温下对H2S气体也具有一定的灵敏度. 展开更多
关键词 sol-gel工艺 Y2O3-SnO2薄膜 制备 气敏元件
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PTCR纳米陶瓷粉及其烧结体的制备 被引量:3
7
作者 李东升 畅柱国 +2 位作者 吴淑荣 熊为淼 王尧宇 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2003年第9期971-974,共4页
The PTCR(positive temperature coefficient of resistance) nanosized ceramic pow der was prepared by Sol-Gel process and characterized by XRD, DSC, SEM and BET techniques. The results showed that the nanopowder has an a... The PTCR(positive temperature coefficient of resistance) nanosized ceramic pow der was prepared by Sol-Gel process and characterized by XRD, DSC, SEM and BET techniques. The results showed that the nanopowder has an average crystallite si ze of 35nm with sphere-shaped, whose specific surface area is 27.80m2·g-1 and the crystal structure is abnormal cubical perovskite phase at room temperature. In addition, the nanopowder was pressed into pellets and then sintered accordin g to improved technique which was built based on the data of thermal analysis of the PTCR green-compact to yield PTCR ceramic materials with peculiar microstru cture and higher properties, which has a resistivity at room temperature of ~20 Ω·cm, a temperature coefficient of resistivity of ~19%·℃-1, a withstand v oltage intensity of >160V·mm-1 and a resistivity jump of >105. 展开更多
关键词 PTCR纳米陶瓷粉 烧结工艺 制备 sol-gel工艺 热敏电阻 烧结体
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Sol-gel工艺制备氧化铝超微细粉及其机理的研究 被引量:4
8
作者 余家国 朱颉安 《武汉工业大学学报》 CSCD 1991年第3期40-46,共7页
本文采用Sol-gel工艺制备了不同晶型的氧化铝超微细粉,γ—Al_2O_3、θ—Al_2O_3粒度可达100~200A,呈针状,α—Al_2O_3的平均粒度为500A左右,呈卵圆形。并用FT—IR、XRD、DTA/TG和TEM等手段研究了氧化铝凝胶在煅烧过程中的物相和显微... 本文采用Sol-gel工艺制备了不同晶型的氧化铝超微细粉,γ—Al_2O_3、θ—Al_2O_3粒度可达100~200A,呈针状,α—Al_2O_3的平均粒度为500A左右,呈卵圆形。并用FT—IR、XRD、DTA/TG和TEM等手段研究了氧化铝凝胶在煅烧过程中的物相和显微结构的变化。发现氧化铝凝胶在低于300℃时干燥是稳定的,其物相变化过程为γ—AlO(OH)、β—Al(OH)_3(少量)→γ—AlO(OH)(100℃)→γ—Al_2O_3(400℃)→θ—Al_2O_3(1000℃)→α—Al_2O_3(1200℃)。 展开更多
关键词 氧化铝 超微细粉 sol-gel工艺 陶瓷
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V_2O_5光电薄膜的溶胶-凝胶制备及性能研究 被引量:4
9
作者 方国家 王汉忠 吉向东 《襄樊学院学报》 2001年第2期16-21,共6页
以V_2O_5为原料,苯甲醇、异丁醇为溶剂,采用溶胶—凝胶(Sol-Gel)工艺制备了V_2O_5薄膜. 采用差热-失重(DTA-TG)、付里叶红外光谱(FT-IR)、X-射线衍射(XRD)等分析手段研究了V_2O_5薄膜的结构特性. 并研究了V_2O_5薄膜的透射光谱... 以V_2O_5为原料,苯甲醇、异丁醇为溶剂,采用溶胶—凝胶(Sol-Gel)工艺制备了V_2O_5薄膜. 采用差热-失重(DTA-TG)、付里叶红外光谱(FT-IR)、X-射线衍射(XRD)等分析手段研究了V_2O_5薄膜的结构特性. 并研究了V_2O_5薄膜的透射光谱、气敏、伏安特性及温阻特性. 实验发现沉积在ITO导电玻璃衬底上的V_2O_5薄膜,烧结温度越高,透光性能越好;V_2O_5薄膜在常温下对NOx气体具有一定的气敏性能. 展开更多
关键词 sol-gel工艺 V2O5薄膜 物相 晶格常数 结构分析 气敏性能 透射光谱 伏安特性 ITO导电玻璃衬底
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紫外曝光在ZrO_2薄膜上引入微结构的研究 被引量:1
10
作者 徐翔 周斌 +3 位作者 沈军 倪星元 徐超 侯今强 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期126-127,130,共3页
以锆酸丁酯和苯甲酰丙酮为源,结合 Sol-gel 工艺,以溶液浸渍法制备具有负性光刻胶性质的 ZrO_2光敏凝胶。再通过掩膜紫外曝光经显影工艺获得光栅周期在2~10μm,深度120~200nm 的 ZrO_2薄膜光栅。采用紫外分光光度计、红外分光光度计、... 以锆酸丁酯和苯甲酰丙酮为源,结合 Sol-gel 工艺,以溶液浸渍法制备具有负性光刻胶性质的 ZrO_2光敏凝胶。再通过掩膜紫外曝光经显影工艺获得光栅周期在2~10μm,深度120~200nm 的 ZrO_2薄膜光栅。采用紫外分光光度计、红外分光光度计、AFM 监控图形转移过程研究了图形精确转移的工艺并优化了工艺参数。 展开更多
关键词 sol-gel ZrO2 光敏凝胶 光栅 ZRO2薄膜 紫外曝光 sol-gel工艺 微结构 紫外分光光度计 红外分光光度计
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前驱体溶剂对铅基反铁电厚膜介电性能的影响 被引量:4
11
作者 王静 耿文平 +2 位作者 张亚婷 丑修建 张文栋 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2010年第9期9-12,共4页
采用sol-gel工艺制备了Pb0.97La0.02(Zr0.95Ti0.05)O3反铁电厚膜材料,研究了不同前驱体溶剂(乙酸和乙二醇乙醚)对反铁电厚膜介电性能的影响。结果表明:由乙二醇乙醚作为前驱体溶剂制备的反铁电厚膜材料,在室温下反铁电态稳定,其AFE-FE... 采用sol-gel工艺制备了Pb0.97La0.02(Zr0.95Ti0.05)O3反铁电厚膜材料,研究了不同前驱体溶剂(乙酸和乙二醇乙醚)对反铁电厚膜介电性能的影响。结果表明:由乙二醇乙醚作为前驱体溶剂制备的反铁电厚膜材料,在室温下反铁电态稳定,其AFE-FE相的相变电场强度为184.05×103V/cm,FE-AFE相的相变电场强度为68.24×103V/cm,饱和极化强度为88.8×10-6C/cm2。 展开更多
关键词 sol-gel工艺 前驱体溶剂 反铁电厚膜 介电性能
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复合材料一体化制造工艺研究 被引量:2
12
作者 贺光军 李鹏举 《纤维复合材料》 CAS 2004年第3期23-26,共4页
对复合材料一体化制造过程中的编织预成型体织造技术、RTM工艺及Sol-gel工艺进行了介绍 ,并对具体工艺过程进行了分析和探讨。
关键词 复合材料 预成型体织造技术 RTM工艺 sol-gel工艺 软编 硬编 混合编
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PLT晶种层对PLZT薄膜介电性能的影响 被引量:2
13
作者 张卫华 南瑞华 +1 位作者 赵高扬 赵卫 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2006年第2期11-14,共4页
采用sol-gel工艺,以钛酸铅镧(PLT)作为晶种层,在Pt/TiO2/Si基板上,制备了锆钛酸铅镧(PLZT)薄膜。研究了有晶种层的PLZT薄膜的结晶温度及介电性能。结果表明:引入PLT晶种层的PLZT薄膜,在600℃热处理可得到良好的钙钛矿结构,比无晶种层薄... 采用sol-gel工艺,以钛酸铅镧(PLT)作为晶种层,在Pt/TiO2/Si基板上,制备了锆钛酸铅镧(PLZT)薄膜。研究了有晶种层的PLZT薄膜的结晶温度及介电性能。结果表明:引入PLT晶种层的PLZT薄膜,在600℃热处理可得到良好的钙钛矿结构,比无晶种层薄膜降低了约100℃;其相对介电常数为1177(1 kHz),提高约60%,介质损耗为0.10~0.13,降低幅度最高可达40%~50%。 展开更多
关键词 无机非金属材料 锆钛酸铅锎(PLZT)薄膜 sol-gel工艺 钛酸铅镧晶种层 介电性能
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Sol-Gel工艺合成莫来石粉作为三维氧化物纤维增强复合材料多孔基体的应用研究(英文) 被引量:2
14
作者 王义 刘海韬 +1 位作者 程海峰 王军 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第S1期171-175,共5页
利用sol-gel工艺以双相Al_2O_3-SiO_2溶胶为原料,制备了近化学计量比的斜方莫来石陶瓷粉。然后,利用浆料浸渍-烧结结合sol-gel工艺制备了三维NextelTM440纤维增强多孔莫来石(N440/p-M)陶瓷基复合材料。对莫来石粉末块体陶瓷和N440/p-M... 利用sol-gel工艺以双相Al_2O_3-SiO_2溶胶为原料,制备了近化学计量比的斜方莫来石陶瓷粉。然后,利用浆料浸渍-烧结结合sol-gel工艺制备了三维NextelTM440纤维增强多孔莫来石(N440/p-M)陶瓷基复合材料。对莫来石粉末块体陶瓷和N440/p-M复合材料的性能进行了研究。结果表明:1200和1300℃煅烧的莫来石粉末块体陶瓷具有相似的孔隙率,且都表现为典型的多孔结构;由于相邻纤维束丝的遮挡效应,N440/p-M复合材料中的莫来石陶瓷粉沿浸渍方向呈梯度分布;相比于致密基体复合材料而言,N440/p-M多孔基体复合材料表现出典型的韧性断裂行为,且力学性能较优;大量的基体附着在N440/p-M复合材料断口拔出纤维的表面,表明基体裂纹能够有效地在基体中的微孔中传递,并在纤维/基体界面发生偏转。 展开更多
关键词 陶瓷基复合材料 氧化物 莫来石 微观结构 sol-gel工艺
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Se化Cu_2In_2O_5法制备CuInSe_2薄膜的机理及性能研究 被引量:2
15
作者 杨静 马鸿文 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期146-148,共3页
黄铜矿型CuInSe2 (CIS)多晶薄膜具有优良的光伏特性。在对现有制备工艺进行对比分析的基础上 ,首次采用sol-gel法制备了Cu2 In2 O5(CIO)薄膜 ,经Se化获得了结构均匀、表面平整、组成接近于化学计量比的CIS薄膜 ,其电阻率介于 10 5~ 10 ... 黄铜矿型CuInSe2 (CIS)多晶薄膜具有优良的光伏特性。在对现有制备工艺进行对比分析的基础上 ,首次采用sol-gel法制备了Cu2 In2 O5(CIO)薄膜 ,经Se化获得了结构均匀、表面平整、组成接近于化学计量比的CIS薄膜 ,其电阻率介于 10 5~ 10 6Ω·cm之间 ,与国外采用其它高成本工艺制备的薄膜性能相当。基于上述实验 ,对Se化CIO法制备CIS半导体薄膜的机理及材料的光伏性能进行了分析。 展开更多
关键词 CulnSe2 sol-gel工艺 硒化 性能 多晶薄膜
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室温快质子导电玻璃 被引量:2
16
作者 张中太 张俊英 唐子龙 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期1-3,共3页
本文介绍了室温质子导电玻璃及提高质子导电率的几种方法 :H+ 注入法 ,sol -gel(溶胶 -凝胶 )工艺和复合强化法。与传统熔融 -淬火玻璃相比 ,从大量研究成果总结出各种方法对导电率的提高 ,并从基体的结构变化和导电机制方面分析各种方... 本文介绍了室温质子导电玻璃及提高质子导电率的几种方法 :H+ 注入法 ,sol -gel(溶胶 -凝胶 )工艺和复合强化法。与传统熔融 -淬火玻璃相比 ,从大量研究成果总结出各种方法对导电率的提高 ,并从基体的结构变化和导电机制方面分析各种方法提高质子导电率的原因 ,为发展新型快质子导体提供理论基础。对室温快质子导电进行了展望 ,以期发展实用性低温燃料电池。 展开更多
关键词 质子导电 玻璃 质子注入 导电玻璃 燃料电泄 sol-gel工艺
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SOL-GEL法制备BA_(1-X)SR_XTIO_3薄膜的光学性质研究 被引量:2
17
作者 阳生红 张曰理 莫党 《中山大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期29-32,共4页
采用Sol—Gel工艺,在Si(100)衬底上制备了Ba1-xSrxTiO3(0.1≤x≤0.3)多晶薄膜,并用椭偏光谱仪在光子能量为2.0—5.2eV的范围内,测量了不同Sr含量x下Ba1-xSrxTiO3多晶薄膜的椭偏光谱。建立适当的拟合模型,用最优化法获得了... 采用Sol—Gel工艺,在Si(100)衬底上制备了Ba1-xSrxTiO3(0.1≤x≤0.3)多晶薄膜,并用椭偏光谱仪在光子能量为2.0—5.2eV的范围内,测量了不同Sr含量x下Ba1-xSrxTiO3多晶薄膜的椭偏光谱。建立适当的拟合模型,用最优化法获得了所有样品的光学常数(折射率n和消光系数k)谱及能隙宽度Eg。比较这些结果发现:在低能区,Ba1-xSrxTiO3薄膜的折射率n随Sr含量x的增加无明显变化,但其吸收边向高能方向移动。表明Ba离子被Sr离子取代后,Ba1-xSrxTiO3薄膜的能隙宽度Eg增大。 展开更多
关键词 椭偏光谱 光学常数谱 sol-gel工艺 BST薄膜
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SnO_2∶Sb∶Ni低温气敏薄膜的制备及性能研究
18
作者 曹妩媚 刘祖黎 姚凯伦 《华中科技大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第9期99-102,共4页
以无机盐SnCl4 ·5H2 O ,SbCl5,NiCl2 ·6H2 O为原料 ,采用溶胶 凝胶工艺制备了Sb2 O3 和NiO掺杂的SnO2 薄膜 .研究了SnO2 ∶Sb∶Ni薄膜的电学和气敏性能 .实验研究表明 ,由于锑的掺杂 ,所制得的SnO2 ∶Sb∶Ni薄膜电阻较低 ,室... 以无机盐SnCl4 ·5H2 O ,SbCl5,NiCl2 ·6H2 O为原料 ,采用溶胶 凝胶工艺制备了Sb2 O3 和NiO掺杂的SnO2 薄膜 .研究了SnO2 ∶Sb∶Ni薄膜的电学和气敏性能 .实验研究表明 ,由于锑的掺杂 ,所制得的SnO2 ∶Sb∶Ni薄膜电阻较低 ,室温下其电阻只有 1 2 0kΩ/□ .而NiO作为催化剂 ,使其对NOx 气体具有较高的灵敏度和良好的选择性 .与SnO2 ∶Sb薄膜相比 ,其工作温度大大降低 ,在常温下对NOx 气体 (主要成分是NO)也具有一定的灵敏度 ;并且水汽不影响其对NOx 气体的灵敏度 .SnO2 ∶Sb∶Ni薄膜工作温度的降低主要是薄膜表面缺陷和颈连粒子的存在所致 . 展开更多
关键词 sol-gel工艺 气敏薄膜 电学性能 SnO2:Sb:Ni薄膜 二氧化锡薄膜 掺杂 气敏性能
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结构设计对铁电薄膜系统电滞回线的影响 被引量:1
19
作者 王华 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期153-158,共6页
为制备符合Si集成铁电器件要求的高质量Si基铁电薄膜,采用溶胶-凝胶(sol-gel)工艺,制备了MFM及MFS结构的铁电薄膜系统.研究了不同结构及不同衬底对铁电薄膜系统铁电性能及电滞回线的影响,并对这些差异产生的主要影响因素进行了分析.在... 为制备符合Si集成铁电器件要求的高质量Si基铁电薄膜,采用溶胶-凝胶(sol-gel)工艺,制备了MFM及MFS结构的铁电薄膜系统.研究了不同结构及不同衬底对铁电薄膜系统铁电性能及电滞回线的影响,并对这些差异产生的主要影响因素进行了分析.在此基础上,提出并制备了Ag/Pb(Zr0 52Ti0.48)O3/Bi4Ti3O12/p-Si多层结构,该结构铁电薄膜系统的铁电性能及电滞回线的对称性有明显改善,有望应用于Si集成铁电器件. 展开更多
关键词 铁电薄膜 电滞回线 solgel工艺
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无机溶胶-凝胶途径制备V_2O_5薄膜的实验研究
20
作者 吉向东 方国家 +1 位作者 王汉忠 蔡从保 《襄樊学院学报》 2002年第5期18-21,共4页
以分析纯V2O5粉末为原料,H2O2为溶剂,采用溶胶—凝胶(Sol-Gel)工艺,以无机途径成功制备了V2O5 薄膜. 研究了在不同衬底上制备薄膜的可行性及工艺过程,不同温度热处理及不同厚度V2O5薄膜的透射光谱及300℃热处理薄膜的温阻特性. 实验发... 以分析纯V2O5粉末为原料,H2O2为溶剂,采用溶胶—凝胶(Sol-Gel)工艺,以无机途径成功制备了V2O5 薄膜. 研究了在不同衬底上制备薄膜的可行性及工艺过程,不同温度热处理及不同厚度V2O5薄膜的透射光谱及300℃热处理薄膜的温阻特性. 实验发现在石英玻璃及普通载玻片上可制备均匀透明度的薄膜,100℃热处理的V2O5薄膜透光性能最好,而300℃热处理V2O5薄膜在紫外及近紫外线区(350nm~450nm)的吸收率最高. 该工作对于V2O5光电薄膜的大面积、低成本制备具有一定的参考价值. 展开更多
关键词 sol-gel工艺 V2O5薄膜 无机途径 透光率 温阻特性
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