高光泽度的硅酸腐片制备研究

1

作者 由佰玲 孙希凯 +4 位作者 邓春星 周迎朝 董楠 原宇乐 谢艳 《机车电传动》 北大核心 2021年第5期138-141,共4页

为提高酸腐片光泽度和实现稳定量产,通过优化硅单晶片加工流程,将双面研磨硅片进行旋转磨削加工,然后对该硅片进行酸性腐蚀;制备的酸腐片表面光泽度达到360 Gu以上(反射率大于98%),腐蚀液的寿命延长到50 000片;该制备技术使得酸腐片的... 为提高酸腐片光泽度和实现稳定量产,通过优化硅单晶片加工流程,将双面研磨硅片进行旋转磨削加工,然后对该硅片进行酸性腐蚀;制备的酸腐片表面光泽度达到360 Gu以上(反射率大于98%),腐蚀液的寿命延长到50 000片;该制备技术使得酸腐片的应用领域得到拓展,并降低生产成本和提高生产效率。 展开更多

关键词 酸腐片 旋转磨削 移除量 损伤层 反射率

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芯片背面磨削减薄技术研究 被引量：7

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作者 王仲康 杨生荣 《电子工业专用设备》 2010年第1期23-27,共5页

通过实验数据和实物照片列出了减薄工艺参数、检测结果;并结合实例研究了现代磨削减薄系统多采用的硅片自旋转磨削技术,探讨脆性材料进行延性域磨削的加工机理。

关键词 背面减薄 自旋转磨削 亚表面损伤层 总厚度误差 延性域 崩边

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硅片自旋转磨削中基于力的微接触机理 被引量：2

3

作者 任庆磊 魏昕 +1 位作者 谢小柱 胡伟 《吉林大学学报（工学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第3期796-802,共7页

建立了杯型金刚石砂轮稳定延性域磨削过程中砂轮微单元与硅片的微接触力学模型,采用力分解法研究了其自旋转磨削微观作用机理。法向分解分别运用接触力学中的赫兹理论和"空腔模型"理论分析得出硅片上对应弹性和塑性阶段的载... 建立了杯型金刚石砂轮稳定延性域磨削过程中砂轮微单元与硅片的微接触力学模型,采用力分解法研究了其自旋转磨削微观作用机理。法向分解分别运用接触力学中的赫兹理论和"空腔模型"理论分析得出硅片上对应弹性和塑性阶段的载荷和应力分布情况,以及砂轮微单元上相应的应力分布情况;切向分解运用微观摩擦学理论分析得出滑动摩擦力以及法、切向合成微接触总应力的情况。分析与试验对比结果证明了本文方法有效,可为硅片自旋转磨削机理研究提供理论支撑。 展开更多

关键词 机械制造及自动化 自旋转磨削 微接触 硅片 砂轮微单元

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大尺寸硅片自旋转磨削运动分析及仿真 被引量：1

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作者 陈卓 魏昕 +1 位作者 任庆磊 谢小柱 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2009年第5期1-6,12,共7页

本文利用数学矩阵方法,建立大尺寸硅片自旋转磨削运动的理论模型,研究了砂轮半径、硅片和砂轮旋转速度、旋转方向等因素的选择及各因素对磨削轨迹的影响,同时还研究了磨粒合成运动速度的变化规律。研究结果表明,随着砂轮半径的增大,磨... 本文利用数学矩阵方法,建立大尺寸硅片自旋转磨削运动的理论模型,研究了砂轮半径、硅片和砂轮旋转速度、旋转方向等因素的选择及各因素对磨削轨迹的影响,同时还研究了磨粒合成运动速度的变化规律。研究结果表明,随着砂轮半径的增大,磨削轨迹的曲率减小,选用较小直径砂轮将更有利硅片表面质量的提高。当转速比i大于零,随着i值的增大,磨削轨迹的曲率逐渐减小。在转速比i小于零的情形,当转速比i=-2时,磨削轨迹曲率为0,磨削轨迹的形状接近一条直线。磨粒合成运动速度随砂轮转速和硅片转速的增大而增大。 展开更多

关键词 硅片自旋转磨削 磨削轨迹 磨粒合成运动速度

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硅片自旋转磨削中基于作用力的微观接触仿真研究 被引量：1

5

作者 任庆磊 魏昕 +1 位作者 谢小柱 胡伟 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2016年第2期19-23,共5页

采用杯型金刚石砂轮进行硅片自旋转磨削是典型的硅片超精密磨削加工形式。本试验从其磨削过程中抽象出砂轮微单元与硅片的微观接触作为研究对象,建立基于作用力的仿真模型,采用软件LS–DYNA对自旋转磨削微观作用过程进行了模拟,对作用... 采用杯型金刚石砂轮进行硅片自旋转磨削是典型的硅片超精密磨削加工形式。本试验从其磨削过程中抽象出砂轮微单元与硅片的微观接触作为研究对象,建立基于作用力的仿真模型,采用软件LS–DYNA对自旋转磨削微观作用过程进行了模拟,对作用过程中硅片与砂轮微单元的应力应变情况进行了有限元分析。结果表明:硅片材料存在相应弹性转塑性和塑性转脆性的临界位移与载荷;在硅片塑性区域切向滑动时可在硅片表面产生塑性沟槽与隆起;砂轮微单元上的磨损可依据其仿真数据作出判断。研究为硅片磨削及砂轮磨损机理研究提供支撑。 展开更多

关键词 硅片 自旋转磨削 微观接触 砂轮微单元 仿真

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YAG晶体自旋转磨削过程崩边尺寸模型

6

作者 张强 李琛 +1 位作者 黄书强 张飞虎 《工具技术》 北大核心 2023年第9期132-135,共4页

YAG晶体具有高脆性和高硬度的特点,加工过程中容易产生边缘崩碎,严重影响晶体元件的使用精度和寿命。基于划痕断裂力学模型建立了考虑应变率效应的YAG晶体自旋转磨削过程工件崩边尺寸理论模型,并开展YAG晶体自旋转磨削实验对理论模型的... YAG晶体具有高脆性和高硬度的特点,加工过程中容易产生边缘崩碎,严重影响晶体元件的使用精度和寿命。基于划痕断裂力学模型建立了考虑应变率效应的YAG晶体自旋转磨削过程工件崩边尺寸理论模型,并开展YAG晶体自旋转磨削实验对理论模型的可靠性进行了验证,同时分析了磨削工艺参数对崩边尺寸的影响规律。结果表明:理论模型预测结果与实验结果相近,模型可靠;随着砂轮转速的增加,崩边尺寸逐渐减小;随着工件转速和进给速度的增加,崩边尺寸逐渐增大。 展开更多

关键词 自旋转磨削 崩边 模型 YAG晶体 应变率

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标准麻花钻直主切削刃刃磨参数的研究 被引量：1

7

作者 戴俊平 张义龙 +1 位作者 武慧敏 黄伦 《煤矿机械》 北大核心 2014年第10期147-149,共3页

通过对标准麻花钻刃磨参数的分析,建立标准麻花钻刃磨模型,为得到刃磨后主切削刃为直线刃,根据刃磨的空间几何关系,提出标准麻花钻的附加旋转刃磨参数,并依据优化的刃磨参数表得到相应的附件旋转角度刃磨参数表。

关键词 标准麻花钻 直主切削刃 附加参数

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单片机控制的小型锥面密封副研配装置研制

8

作者 刘旭 贾光政 边颖聪 《机床与液压》 北大核心 2017年第8期169-172,共4页

为了提高小型锥面密封副的密封性能,减小表面粗糙度,研制了一种单片机控制的小型锥面密封副研配装置。采用了垂直布局方案,该装置主要由旋转研磨机构、升降机构、定位夹紧机构和机座支架组成。简述了装置的工作原理,并根据各机构功能,... 为了提高小型锥面密封副的密封性能,减小表面粗糙度,研制了一种单片机控制的小型锥面密封副研配装置。采用了垂直布局方案,该装置主要由旋转研磨机构、升降机构、定位夹紧机构和机座支架组成。简述了装置的工作原理,并根据各机构功能,完成了结构设计;采用STC89C52单片机作为控制系统,步进电机作为驱动元件,提高了小型锥面密封副的密封性能和效率。 展开更多

关键词 小型锥面密封副 旋转研磨机构 密封性能

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单晶硅磨削表面脆塑转变表征方法 被引量：1

9

作者 葛琦 周平 +1 位作者 赵林杰 王紫光 《机电工程技术》 2019年第10期69-73,共5页

为了对单晶硅磨削表面脆塑转变特征进行有效的表征,研究了单晶硅脆塑性磨削模式下的表面形貌。首先,基于工件旋转法磨削原理,对单晶硅进行了磨削试验。然后,利用三维形貌轮廓仪和扫描电子显微镜对不同磨削速度下的单晶硅表面形貌进行了... 为了对单晶硅磨削表面脆塑转变特征进行有效的表征,研究了单晶硅脆塑性磨削模式下的表面形貌。首先,基于工件旋转法磨削原理,对单晶硅进行了磨削试验。然后,利用三维形貌轮廓仪和扫描电子显微镜对不同磨削速度下的单晶硅表面形貌进行了测量和分析。最后,利用表面脆性破碎面积百分比Sbf、表面破碎率Sc、分形维数DL、表面纹理纵横比Str等参数对单晶硅磨削表面脆塑转变特征进行了研究。通过不同表征方法的对比分析,得出了基于参数Str的单晶硅磨削表面脆塑转变特征的有效表征方法。 展开更多

关键词 单晶硅 工件旋转磨削 脆塑转变 表面粗糙度

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硅片自旋转磨削表面粗糙度建模与分析 被引量：1

10

作者 董成祥 魏昕 +2 位作者 谢小柱 任庆磊 胡伟 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2013年第6期21-25,共5页

通过对单晶硅材料不同去除机理的研究,分析了单晶硅材料磨削过程中不同去除形式所对应的磨粒去除深度。结合硅片自旋转磨削中砂轮与硅片相对运动特点,分别建立了针对硅片不同材料去除机理的表面粗糙度模型,通过实验对模型进行了对比,结... 通过对单晶硅材料不同去除机理的研究,分析了单晶硅材料磨削过程中不同去除形式所对应的磨粒去除深度。结合硅片自旋转磨削中砂轮与硅片相对运动特点,分别建立了针对硅片不同材料去除机理的表面粗糙度模型,通过实验对模型进行了对比,结果表明所建立的模型符合实验结果,并得出以下结论:采用自旋转磨削硅片时,表面粗糙度值随砂轮转速和硅片转速的增大而减小,随砂轮轴向进给速度增大而增大,且这三个工艺参数中,砂轮轴向进给速度对硅片表面粗糙度值的影响最大。 展开更多

关键词 硅片 自旋转磨削 表面粗糙度

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单晶硅反射镜的超精密磨削工艺 被引量：13

11

作者 王紫光 康仁科 +2 位作者 周平 高尚 董志刚 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第5期1087-1095,共9页

为了实现单晶硅反射镜高效低损伤的超精密加工,研究了基于工件旋转法磨削原理的单晶硅反射镜超精密磨削工艺。通过形貌检测和成份测试的方法分析了该工艺采用的超细粒度金刚石砂轮的组织结构特征,并对单晶硅进行了超精密磨削试验,研究... 为了实现单晶硅反射镜高效低损伤的超精密加工,研究了基于工件旋转法磨削原理的单晶硅反射镜超精密磨削工艺。通过形貌检测和成份测试的方法分析了该工艺采用的超细粒度金刚石砂轮的组织结构特征,并对单晶硅进行了超精密磨削试验,研究了超细粒度金刚石砂轮的磨削性能。通过砂轮主轴角度与工件面形之间的数学关系实现对磨削工件面形的控制。最后,采用超细粒度金刚石砂轮对Φ100mm×5mm的单晶硅反射镜进行了超精密磨削试验验证。试验结果表明,超细粒度金刚石砂轮磨削后的单晶硅表面粗糙度Ra值小于10nm,亚表面损伤深度小于100nm,磨削后的单晶硅反射镜面形PV值从初始的8.1μm减小到1.5μm。由此说明采用该工艺磨削单晶硅反射镜能够高效地获得低损伤表面和高精度面形。 展开更多

关键词 单晶硅反射镜 工件旋转法磨削 表面/亚表面损伤 面形控制 超细粒度金刚石砂轮

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半球陀螺谐振子超声旋转磨削加工关键技术研究 被引量：6

12

作者 刘运凤 赵鸿 +1 位作者 荆君涛 魏士亮 《航空精密制造技术》 2011年第6期1-4,8,共5页

针对Al2O3陶瓷材料半球陀螺谐振子的难加工性,基于超声旋转磨削加工技术研究了其加工过程关键技术,包括超声振动频率选取,刀具结构参数和切削力对谐振子加工影响,以及壁厚均匀性加工。通过模态分析确定超声振动频率;建立了刀具结构参数... 针对Al2O3陶瓷材料半球陀螺谐振子的难加工性,基于超声旋转磨削加工技术研究了其加工过程关键技术,包括超声振动频率选取,刀具结构参数和切削力对谐振子加工影响,以及壁厚均匀性加工。通过模态分析确定超声振动频率;建立了刀具结构参数与薄壁壳体加工表面质量之间数学模型;利用有限元软件研究在切削力作用下谐振子受力变化情况;并分析了由于装夹误差造成的壁厚加工不均匀现象,建立了其数学模型。 展开更多

关键词 半球陀螺谐振子 超声旋转磨削加工 关键技术

原文传递

深冷条件下多重旋转碾压超细晶铜的组织与磨损性能

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作者 周华 贾南 +2 位作者 陆亚轩 孟祥晨 黄永宪 《辽宁石油化工大学学报》 CAS 2024年第2期50-54,共5页

通过碾压式搅拌头在深冷条件下对铜板进行多重旋转碾压,采用超景深显微镜、光学显微镜、摩擦磨损仪对碾压后样品的表面形貌、组织和性能进行了分析。结果表明,在深冷条件下多重旋转碾压后,样品表面成形良好,表层出现明显的超细晶区;在... 通过碾压式搅拌头在深冷条件下对铜板进行多重旋转碾压,采用超景深显微镜、光学显微镜、摩擦磨损仪对碾压后样品的表面形貌、组织和性能进行了分析。结果表明,在深冷条件下多重旋转碾压后,样品表面成形良好,表层出现明显的超细晶区;在转速为50 r/min时,超细晶成形机制为晶粒的剪切破碎;在转速为500 r/min时,晶粒细化机制为动态再结晶和强制冷却抑制再结晶晶粒的长大;在深冷条件下多重旋转碾压制备的超细晶层可提高材料的耐磨性。 展开更多

关键词 多重旋转碾压 超细晶 再结晶机制 磨损性能

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砂轮粒度、砂轮转速对42CrMo钢磨削淬硬层的影响 被引量：1

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作者 刘克铭 马壮 +1 位作者 张连勇 刘波 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2012年第12期196-198,共3页

在MM7132平面磨床上对正火态的42CrMo钢进行了磨削淬火试验,研究了砂轮粒度及砂轮转速对淬硬层深度及组织的影响。结果表明:磨削深度在0.1～0.6 mm变化时,砂轮粒度对淬硬层深度影响不明显,砂轮转速由1500 r/min增加至3000 r/min过程中,... 在MM7132平面磨床上对正火态的42CrMo钢进行了磨削淬火试验,研究了砂轮粒度及砂轮转速对淬硬层深度及组织的影响。结果表明:磨削深度在0.1～0.6 mm变化时,砂轮粒度对淬硬层深度影响不明显,砂轮转速由1500 r/min增加至3000 r/min过程中,磨削淬火的工艺稳定性得到提高。磨削淬火后,42CrMo钢的完全淬硬区显微硬度为510～850 HV,完全淬硬区由细小的板条状马氏体组成,过渡区由马氏体、铁素体、珠光体以及回火索氏体组织组成。 展开更多

关键词 粉末冶金法 碳酸氢铵 羟基磷灰石 TI-6AL-4V 力学性能 孔隙率

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预见性护理干预在冠状动脉旋磨术患者中的应用效果

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作者 王柯娜 贾晓辉 潘亚娟 《临床研究》 2023年第11期175-178,共4页

目的 研究预见性护理在冠状动脉旋磨术(RA)患者中的应用效果。方法 前瞻性选取阜外华中心血管病医院2021年1月至2021年12月收治的95例RA患者作为研究对象,采用随机抽签法分为对照组(47例)、观察组(48例)。其中对照组给予常规护理干预,... 目的 研究预见性护理在冠状动脉旋磨术(RA)患者中的应用效果。方法 前瞻性选取阜外华中心血管病医院2021年1月至2021年12月收治的95例RA患者作为研究对象,采用随机抽签法分为对照组(47例)、观察组(48例)。其中对照组给予常规护理干预,观察组在此基础上给予预见性护理干预。比较两组负性情绪[汉密尔顿抑郁量表(HAMD)、汉密尔顿焦虑量表(HAMA)]、并发症发生率、心电图指标(T波倒置导联数、ST段下移导联数、T波低平导联数)及护理满意度。结果 术前、出院前1 d观察组HAMD、HAMA评分低于对照组;观察组并发症发生率(6.25%)低于对照组(21.28%);出院前1 d观察组T波倒置导联数、ST段下移导联数、T波低平导联数少于对照组;观察组护理满意度(100.00%)高于对照组(85.11%),差异有统计学意义(P<0.05)。结论 预见性护理能有效改善RA患者消极情绪,提高护理满意度,促进心电图指标恢复,有助于减少并发症发生。 展开更多

关键词 预见性护理 冠状动脉旋磨术 并发症 心功能

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超声旋转磨削中刀具结合剂对切削力影响研究 被引量：1

16

作者 刘运凤 赵鸿 +1 位作者 荆君涛 魏士亮 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2012年第4期55-59,共5页

研究了超声旋转磨削加工陶瓷材料中金刚石刀具结合剂对其切削性能的影响。通过对单个金刚石颗粒在超声旋转磨削加工过程中的运动分析,推导出切削力理论公式;同时通过实验得到陶瓷基、铁基和青铜基三种结合剂刀具加工Si3N4工程陶瓷(致密... 研究了超声旋转磨削加工陶瓷材料中金刚石刀具结合剂对其切削性能的影响。通过对单个金刚石颗粒在超声旋转磨削加工过程中的运动分析,推导出切削力理论公式;同时通过实验得到陶瓷基、铁基和青铜基三种结合剂刀具加工Si3N4工程陶瓷(致密度70%)过程中X、Y、Z方向上的切削力。通过分析理论公式和试验数据,发现在超声旋转磨削加工过程中,刀具结合剂种类直接决定了刀具的磨损形式和磨损程度,是影响切削力大小的主要原因之一。 展开更多

关键词 超声旋转磨削加工 刀具结合剂 切削力 磨损形式

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冲击射流下旋转热管砂轮冷凝器传热特性

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作者 张立勇 陈佳佳 +1 位作者 姜华飞 徐幼林 《制冷学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第2期94-103,共10页

轴向旋转热管砂轮是用于强化磨削弧区换热的新型砂轮,其冷凝器换热性能的优劣直接影响整个热管砂轮的换热性能。本文结合冷凝器设计方法设计了热管砂轮冷凝器,并借助数值模拟的方法对轴向旋转热管砂轮冷凝器的换热性能进行分析,以优化... 轴向旋转热管砂轮是用于强化磨削弧区换热的新型砂轮,其冷凝器换热性能的优劣直接影响整个热管砂轮的换热性能。本文结合冷凝器设计方法设计了热管砂轮冷凝器,并借助数值模拟的方法对轴向旋转热管砂轮冷凝器的换热性能进行分析,以优化旋转热管砂轮冷凝器的结构参数。研究不同的翅片高度(f=0~8 mm)、喷嘴到翅片顶部距离(d=3~11 mm)、低温空气射流速度(v_(j)=45~115 m/s)和砂轮转速(n=150~1180 r/min)等对冷凝器换热性能的影响,结果表明:当翅片高度为6 mm时,获得最佳传热性能,对流换热表面传热系数约为459 W/(m^(2)·K),与无翅片结构相比,对流换热表面传热系数提高36%;当喷嘴到翅片顶部距离为5 mm时,换热性能最好,传热系数为459 W/(m^(2)·K);当低温空气射流速度提高时,对流换热表面传热系数随之提高,射流速度为115 m/s时对流换热表面传热系数最高,可达459 W/(m^(2)·K),与射流速度为45 m/s时相比提高43%;当砂轮转速提高,对流换热表面传热系数也随之升高,砂轮转速为1180 r/min时对流换热表面传热系数最高,达到459 W/(m^(2)·K),与150 r/min时相比提高4%。 展开更多

关键词 传热系数 冷凝器 旋转热管砂轮 冲击射流

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基于PMAC的凸轮轴变速磨削加工研究 被引量：7

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作者 杨占玺 韩秋实 孙志永 《组合机床与自动化加工技术》 2005年第7期87-88,94,共3页

凸轮轴磨削加工是一种特殊的非圆磨削加工,很多实验已证明采用恒速磨削加工的凸轮轴凸轮轮廓存在很多缺陷,而采用变速磨削加工方式可以提高凸轮轴磨削加工精度,并对此已经达成了共识。文章根据文献[1]中提出的凸轮轴变速磨削加工时C轴... 凸轮轴磨削加工是一种特殊的非圆磨削加工,很多实验已证明采用恒速磨削加工的凸轮轴凸轮轮廓存在很多缺陷,而采用变速磨削加工方式可以提高凸轮轴磨削加工精度,并对此已经达成了共识。文章根据文献[1]中提出的凸轮轴变速磨削加工时C轴的变速规律,在基于PMAC的数控凸轮轴磨床实验装置上,利用PMAC的循环程序缓冲区存储大量加工程序代码,实现了凸轮轴磨削加工的变速控制,取得了比较好的控制效果。 展开更多

关键词 数控凸轮轴 变速磨削 PMAC

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钢轨打磨仿真试验台测试条件对试验结果的影响

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作者 吉媛 贺春江 +2 位作者 张金 郭鑫宇 牛思仝 《高速铁路新材料》 2024年第4期1-5,共5页

利用钢轨打磨仿真试验台,对打磨试验中砂轮转速、打磨功率、打磨时间、工件转速对试验结果的影响进行了综合研究,并对试验数据及现象进行了定性分析,得出了科学的打磨仿真试验测试条件。试验结果表明:单独提高砂轮转速时,打磨压力减小,... 利用钢轨打磨仿真试验台,对打磨试验中砂轮转速、打磨功率、打磨时间、工件转速对试验结果的影响进行了综合研究,并对试验数据及现象进行了定性分析,得出了科学的打磨仿真试验测试条件。试验结果表明:单独提高砂轮转速时,打磨压力减小,工件磨削量减小,砂轮磨耗率减小,砂轮温升和工件温升下降;单独增大打磨功率时,打磨压力先快速增大后趋于缓慢,工件磨削量在13.50~14.25 kW时突然剧烈增加,砂轮磨耗率在10.50~11.25 kW和13.50~14.25 kW处突然剧烈增加,工件温升和砂轮温升先增大后趋于稳定;单独增加打磨时间时,打磨压力基本稳定,工件磨削量增加,砂轮磨耗率、砂轮温升和工件温升先增加后趋于平稳;单独提高工件转速时,工件磨削量减小,砂轮磨耗率减小。综合考虑现场实际工况和实验室内模拟效果,将打磨仿真试验台的测试条件定为打磨功率7.50~11.25 kW,打磨时间16 min,砂轮转速2400 r/min,工件转速10.85 km/h。 展开更多

关键词 打磨仿真试验台 砂轮转速 打磨功率 打磨时间 工件转速

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