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石笋氧同位素和微量元素记录的陕南地区4200~2000a B.P.高分辨率季风降雨变化 被引量:35
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作者 谭亮成 蔡演军 +3 位作者 安芷生 程海 易亮 艾思本 《第四纪研究》 CAS CSCD 北大核心 2014年第6期1238-1245,共8页
基于陕南祥龙洞石笋XL2的19个^(230)Th年龄、218个氧同位素分析以及896个Sr/Ca分析数据,高分辨率重建了4200~1972a B.P.期间陕南地区季风降雨变化。重建结果显示陕南地区这一时期季风降雨有显著的127~105a和57a周期,可能分别受控于太阳... 基于陕南祥龙洞石笋XL2的19个^(230)Th年龄、218个氧同位素分析以及896个Sr/Ca分析数据,高分辨率重建了4200~1972a B.P.期间陕南地区季风降雨变化。重建结果显示陕南地区这一时期季风降雨有显著的127~105a和57a周期,可能分别受控于太阳活动、PDO和/或AMO的变化。重建时段有3次百年尺度的干旱事件,分别发生于2200~2100a B.P.,2900~2700a B.P.和3600~3400a B.P.,其中2900~2700a B.P.干旱事件对应于北大西洋地区2.8ka冷事件。对比研究显示,尽管祥龙洞石笋和董哥洞石笋δ^(18)O记录整体一致,但除了2900~2700a B.P.干旱事件之外,其他两次干旱事件在董哥洞石笋记录中并不明显。而尽管总体上祥龙洞和和尚洞石笋δ^(18)O记录的差异要大,但XL2的3次干旱事件在和尚洞记录都有明显体现。有精确年代控制的祥龙洞、董哥洞及和尚洞石笋氧同位素记录的差异,揭示晚全新世我国季风降雨在十-百年尺度存在区域差异。 展开更多
关键词 陕南 石笋 氧同位素 微量元素 季风降雨
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贵州白骨洞石笋记录的全新世季风气候演化与突变 被引量:16
2
作者 吴江滢 汪永进 孔兴功 《海洋地质与第四纪地质》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期55-60,共6页
通过对贵州白骨洞BG1石笋13个230Th年龄的测试和390个氧同位素数据的分析,建立了12.8~3.3 kaBP数十年尺度的亚洲季风降水序列,其长期演化趋势与北纬33°夏季日辐射能量曲线基本一致.石笋δ18O记录指示10.5~5.8 kaBP为本区气候湿润... 通过对贵州白骨洞BG1石笋13个230Th年龄的测试和390个氧同位素数据的分析,建立了12.8~3.3 kaBP数十年尺度的亚洲季风降水序列,其长期演化趋势与北纬33°夏季日辐射能量曲线基本一致.石笋δ18O记录指示10.5~5.8 kaBP为本区气候湿润期,此后进入季风降水衰退期.在12.8~10.1 kaBP时段,平均分辨率为37 a的石笋降水记录与格陵兰冰心气温记录具有良好对应关系:(1) 两者在新仙女木事件(YD)的变化细节及突变特征上表现出良好的一致性;(2)由YD事件向全新世转换的过程中两者都表现为3个阶梯式上升阶段,这种一致性有可能说明热带海气耦合驱动了北半球气候突变事件.在7.0~3.3 kaBP时段,平均分辨率为15 a的石笋δ18O序列记录了5次较为显著的降水减少期,可分别对应于冰心记录中的5个冷事件,高低纬气候的相似性可部分归因于太阳活动的影响. 展开更多
关键词 氧同位素 季风降水 全新世 贵州石笋
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Variational features of precipitation δ^(18)O in Northeast Qinghai-Tibet Plateau 被引量:12
3
作者 章新平 施雅风 姚檀栋 《Science China Chemistry》 SCIE EI CAS 1995年第7期854-864,共11页
There is a marked positive correlation between δ^(18)O in atmospheric precipitation and temperature in the Northeast Qinghai-Tihet Plateau.The amount effect in Tuotuohe station is notable as the temperature is greate... There is a marked positive correlation between δ^(18)O in atmospheric precipitation and temperature in the Northeast Qinghai-Tihet Plateau.The amount effect in Tuotuohe station is notable as the temperature is greater than or equal to 7.3℃,so is in Xining as 8.3℃.The analytic results show that the synoptic and climatic significance of different time scales is different,and their degrees are also different. Moreover,the relations between the weather systems in the Northeast Qinghai-Tibet Plateau and δ^(18)O in precipitation are analyzed.Under the influence of continental air mass the δ^(18)O change in the Plateau is synchronous with that of temperature and under the oceanic air mass originated from the Bengal Bay and the Arabian Sea there is a marked negative correlation between δ^(18)O and precipitation amount or temperature in the monsoon region of the Plateau and also positive one between δ^(18)O and temperature in the non-monsoon region. 展开更多
关键词 NORTHEAST Qinghai-Tibet Plateau oxygen ISOTOPE temperature precipitation AMOUNT weather system.
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阿拉善地区降水同位素特征与水汽来源 被引量:13
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作者 王帅 饶文波 +4 位作者 金可 张文兵 陈堂清 郑芳文 王雅宁 《河海大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2019年第5期411-419,共9页
基于2013—2015年阿拉善高原阿右旗的降水氢氧稳定同位素组成数据,分析阿拉善高原降水δD和δ18 O的特征与变化规律,揭示当地的水汽来源与迁移路径。结果表明:(a)阿拉善高原降水δD和δ18 O的变化呈现明显的季节特征,即夏季偏高,冬季偏... 基于2013—2015年阿拉善高原阿右旗的降水氢氧稳定同位素组成数据,分析阿拉善高原降水δD和δ18 O的特征与变化规律,揭示当地的水汽来源与迁移路径。结果表明:(a)阿拉善高原降水δD和δ18 O的变化呈现明显的季节特征,即夏季偏高,冬季偏低。(b)主要气象参数(降水量、气温、大气湿度和风速)中,气温是控制阿拉善高原降水δD和δ18 O的主导因素;通过与周边区域的比较,阿拉善高原当地大气降水线的斜率和截距较低,这是由阿拉善高原降水受到非平衡蒸发作用强烈所致;(c)HYSPLIT气团轨迹模型模拟和降水同位素分析揭示了阿拉善高原阿右旗降水主要来自西风和极低气团。 展开更多
关键词 氢氧同位素 降水 气象参数 HYSPLIT气团轨迹模型 水汽来源 阿拉善高原 阿右旗
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Effect of precipitants on Ni-CeO_2 catalysts prepared by a co-precipitation method for the reverse water-gas shift reaction 被引量:11
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作者 王路辉 刘辉 +2 位作者 刘源 陈英 杨淑清 《Journal of Rare Earths》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第10期969-974,共6页
A series of Ni-CeO2 catalysts were prepared by co-precipitation method with Na2CO3, NaOH, and mixed precipitant (Na2CO3:NaOH; 1:1 ratio) as precipitant, respectively. The effect of the precipitants on the catalyti... A series of Ni-CeO2 catalysts were prepared by co-precipitation method with Na2CO3, NaOH, and mixed precipitant (Na2CO3:NaOH; 1:1 ratio) as precipitant, respectively. The effect of the precipitants on the catalytic performance, physical and chemical properties of Ni-CeO2 catalysts was investigated with the aid of X-ray diffraction (XRD), Bmmaner-Emmett-Teller method (BET), Fou- rier-transform infrared spectroscopy (FT-IR), thermogravimetry (TG), and H2-TPR characterizations. The Ni-CeO2 catalysts were exam- ined with respect to their catalytic performance for the reverse water-gas shift reaction, and their catalytic activities were ranked as: Ni-CeO2-CP (Na2CO3:NaOH=I:I)〉Ni-CeO2-CP(Na2CO3)〉Ni-CeO2-CP(NaOH)- Correlating to the characteristic results, it was found that the catalyst prepared by co-precipitation with mixed precipitant (Na2CO3:NaOH; 1:1 ratio) as precipitant hadthe most amount of oxygen vacancies accompanied with highly dispersed Ni particles, which made the corresponding Ni-CeO2-CP(Na2CO3:NaOH=I: 1) catalyst exhibit the highest catalytic activity. While the precipitant of Na2CO3 or NaOH resulted in less or no oxygen vacancies in Ni-CeO2 catalysts. As a result, Ni-CeO2-CP(Na2CO3) and Ni-CeO2-CP(NaOH) catalysts presented poor catalytic performance. 展开更多
关键词 reverse water-gas shift reaction Ni-CeO2 catalyst CO-precipitation oxygen vacancy PRECIPITANT rare earths
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大直径直拉硅片的快速热处理 被引量:5
6
作者 余学功 马向阳 杨德仁 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期490-493,共4页
主要研究了快速热处理 ( RTP)对大直径直拉 ( CZ)硅片的清洁区 ( DZ)和氧沉淀的影响 .通过在 Ar、N2 、O2 三种不同气氛中 ,在不同温度下 RTP发现在大直径 CZ硅片中氧沉淀的行为及 DZ的宽度与 RTP的温度、气氛有很大关系 .在实验的基础... 主要研究了快速热处理 ( RTP)对大直径直拉 ( CZ)硅片的清洁区 ( DZ)和氧沉淀的影响 .通过在 Ar、N2 、O2 三种不同气氛中 ,在不同温度下 RTP发现在大直径 CZ硅片中氧沉淀的行为及 DZ的宽度与 RTP的温度、气氛有很大关系 .在实验的基础上 ,讨论了在大直径 CZ硅中 RTP对氧沉淀和 DZ的影响机理 . 展开更多
关键词 快速热处理 大直径直拉硅片 清洁区 氧沉淀
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Ф400mm直拉硅单晶生长过程中氧浓度对微缺陷影响的数值模拟 被引量:9
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作者 曾庆凯 关小军 +4 位作者 潘忠奔 张怀金 王丽君 禹宝军 刘千千 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期1150-1156,共7页
针对大直径直拉硅的微缺陷控制问题,模拟研究了初始氧浓度对于直径400 mm直拉硅单晶生长过程中原生点缺陷、空洞和氧沉淀演变规律。结果表明:晶体生长过程中氧沉淀和空洞的浓度及尺寸受晶体所经历的热历史和初始氧浓度的共同影响。当温... 针对大直径直拉硅的微缺陷控制问题,模拟研究了初始氧浓度对于直径400 mm直拉硅单晶生长过程中原生点缺陷、空洞和氧沉淀演变规律。结果表明:晶体生长过程中氧沉淀和空洞的浓度及尺寸受晶体所经历的热历史和初始氧浓度的共同影响。当温度降低时,氧沉淀和空洞浓度降低,空洞尺寸增大,氧沉淀尺寸随初始氧浓度不同变化规律相异。在较低初始氧浓度时,随温度降低氧沉淀尺寸减小,在较高氧浓度时,氧沉淀尺寸增加。在相同热条件下,高温时,随初始氧浓度增加,空洞浓度先降低后升高,随后又继续降低;低温时,空洞浓度先不变后降低。 展开更多
关键词 CZ硅 数值模拟 空洞 氧沉淀 初始氧浓度
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掺锗CZSi原生晶体中氧的微沉淀 被引量:2
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作者 张维连 李嘉席 +4 位作者 陈洪建 孙军生 张建新 张恩怀 赵红生 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第10期1073-1077,共5页
利用锗硅单晶 (锗浓度约为 10 19cm-3 )切制成的籽晶和一般无位错硅单晶生长的缩细颈工艺以及从晶体头部至尾部平稳降低拉速的工艺 ,生长了直径为 6 0、5 0和 40mm ,掺锗量为 0 1%和 0 5 % (锗硅重量比 )的锗硅单晶 .利用化学腐蚀 ... 利用锗硅单晶 (锗浓度约为 10 19cm-3 )切制成的籽晶和一般无位错硅单晶生长的缩细颈工艺以及从晶体头部至尾部平稳降低拉速的工艺 ,生长了直径为 6 0、5 0和 40mm ,掺锗量为 0 1%和 0 5 % (锗硅重量比 )的锗硅单晶 .利用化学腐蚀 金相显微镜法、扫描电子显微镜 (SEM)能谱分析和X射线双晶衍射等方法观测了掺锗硅的原生晶体中缺陷及氧的沉淀的状况 .发现用CZ法生长的锗硅原生晶体与常规工艺生长的CZSi晶体不同 ,体内存在着较高密度的氧微沉淀 .在晶体尾部 ,由于锗的分凝使熔体中锗高度富集 ,出现了“组分过冷”现象 ,在晶粒间界应力较大处有锗的析出并出现了枝状结晶生长 .晶体中高密度氧的微沉淀经过 12 5 0℃热处理 1h后会溶解消失 . 展开更多
关键词 掺锗直拉硅 氧沉淀 分凝 晶体缺陷 CZ法
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碳基无金属电催化剂及其在氧还原与氧析出中的应用
9
作者 钟雨晴 《化工技术与开发》 CAS 2024年第6期57-61,共5页
2009年,N掺杂纳米管成为第1个应用于氧还原反应(ORR)的C-MFECs。除了ORR之外,C-MFECs对析氧反应(OER)等电催化现象也具有积极作用,并应用于许多领域,包括金属与空气燃料电池、水循环利用、可再生燃料电池、太阳能电池、燃料生产和化学... 2009年,N掺杂纳米管成为第1个应用于氧还原反应(ORR)的C-MFECs。除了ORR之外,C-MFECs对析氧反应(OER)等电催化现象也具有积极作用,并应用于许多领域,包括金属与空气燃料电池、水循环利用、可再生燃料电池、太阳能电池、燃料生产和化学药品以及清洁水等。化学反应通过存在的原子或结构缺陷(如原子或边角的缺口)来改变电子配置和(或)调校光线,从而影响光学特征。有些C-MFECs的性能甚至比贵金属、加工金属和/或混合使用的贵金属都要好。要将C-MFEC应用于实际研究,还需要展开更多的研究。本文系统论述了过去5年C-MFECs的最新研究成果,探讨了C-MFECs应用于能量转化与存储领域的可能性。 展开更多
关键词 碳基无金属电催化剂 氧还原 氧析出 锌空气电池
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Geology and mineralization of the Dongping supergiant alkalic-hosted Au-Te deposit(>100 t Au)in Northern Hebei Province,China:A review
10
作者 Shi-min Zhen Da-zhao Wang +2 位作者 Zhong-jian Zha Hai-jun Bai Jiang Wang 《China Geology》 CAS CSCD 2024年第3期533-550,共18页
The Dongping deposit is the largest alkalic-hosted gold deposit in China containing>100 t of Au.This paper presents a new understanding for Dongping ore system,based on the previous studies.The mineralization origi... The Dongping deposit is the largest alkalic-hosted gold deposit in China containing>100 t of Au.This paper presents a new understanding for Dongping ore system,based on the previous studies.The mineralization originally occurred at 400-380 Ma,simultaneous with emplacement of the Shuiquangou alkaline complex,and was overprinted by the hydrothermal activity in the Yanshanian.Isotope compositions of ores indicate metals of the deposit are mainly provided by the Shuiquangou complex.Ore-forming fluids are characterized by increasing oxygen fugacity and decreasing sulfur fugacity,while tellurium fugacity increased in the Stage II-2 and decreased in Stage II-3.These systematic changes are closely related to the processes of mineral precipitation and fluid evolution.Sulfide precipitation from Stage Ⅰ to Stage Ⅱ was triggered by fluid boiling,which leads to the precipitation of Pb-Bi-Te,due to decrement of sulfur fugacity.Condensation of gas phase containing high concentration of H_2Te leads to precipitation of Te-Au-Ag minerals and native tellurium.Based on these hypotheses,this paper present a polyphase metallogenic model as follow.During the Devonian,fluids were released from alkaline magmas,which carried ore-forming materials form the surrounding rocks and precipitate the early ores.During the Jurassic-Cretaceous,fluorine-rich fluids exsolved from highly factionated Shangshuiquan granite,which extracted and concentrated Au from the Shuiquangou complex and the Sanggan Group metamorphic rocks,and finally formed the Dongping gold deposit. 展开更多
关键词 Mineralization and alteration Alkaline intrusion Au deposit Physicochemical conditions Metallogenic model oxygen fugacity Sulfur fugacity Mechanisms of mineral precipitation Fluid boiling Fluorine-enriched fluid Dongping gold deposit North China Craton Mineral exploration engineering
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直拉硅中氮在高温退火过程中对氧沉淀的影响 被引量:5
11
作者 蒋乐 杨德仁 +3 位作者 余学功 马向阳 徐进 阙端麟 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第8期2000-2004,共5页
研究了掺氮直拉硅单晶 (NCZ)中氮在高温退火过程中对氧沉淀的影响 .通过不同温度高温退火后 ,测量氧沉淀的生成量和观察硅片体内微缺陷 (BMD)密度与高温形核时间的变化关系 ,同时用透射电子显微镜 (TEM)观察氧沉淀及相关缺陷的微观结构 ... 研究了掺氮直拉硅单晶 (NCZ)中氮在高温退火过程中对氧沉淀的影响 .通过不同温度高温退火后 ,测量氧沉淀的生成量和观察硅片体内微缺陷 (BMD)密度与高温形核时间的变化关系 ,同时用透射电子显微镜 (TEM)观察氧沉淀及相关缺陷的微观结构 .实验结果表明高温退火后氮对硅中氧沉淀形核有明显的促进作用 ,在相同退火条件下NCZ硅中BMD密度要远远高于相应的普通直拉硅 .这是由于氮在高温下与氧反应形成氮氧复合体 (N V O)促进了氧沉淀的形核 ,而且TEM的结果表明氧沉淀的形态都是平板状 ,周围存在应力场 . 展开更多
关键词 直拉硅单晶 掺氮 高温退火过程 氧沉淀 超大规模集成电路
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Application of Stable Isotope Tracing Technologies in Identification of Transformation among Waters in Sanjiang Plain,Northeast China 被引量:6
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作者 XU Yingying YAN Baixing +2 位作者 LUAN Zhaoqing ZHU Hui WANG Lixia 《Chinese Geographical Science》 SCIE CSCD 2013年第4期435-444,共10页
In order to investigate the transformation among the precipitation,groundwater,and surface water in the Sanjiang Plain,Northeast China,precipitation and groundwater samples which were collected at the meteorological s... In order to investigate the transformation among the precipitation,groundwater,and surface water in the Sanjiang Plain,Northeast China,precipitation and groundwater samples which were collected at the meteorological station of the Sanjiang Mire Wetland Experimental Station,Chinese Academy of Sciences and the surface water which collected from the Wolulan River were used to identify the transformation of three types of water.The isotope composition of different kinds of water sources were analyzed via stable isotope(deuterium and oxygen-18) investigation of natural water.The results show a clear seasonal difference in the stable isotopes in precipitation.During the cold half-year,the mean stable isotope in precipitation in the Sanjiang Plain reaches its minimum with the minimum temperature.The δ18O and δD values are high in the rainy season.In the Wolulan River,the evaporation is the highest in August and September.The volume of evaporation and the replenishment to the river is mostly same.The groundwater is recharged more by the direct infiltration of precipitation than by the river flow.The results of this study indicate that the water bodies in the Sanjiang Plain have close hydrologic relationships,and that the transformation among each water system frequently occurs. 展开更多
关键词 hydrogen and oxygen stable isotopes GROUNDWATER precipitation water cycle RECHARGE
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液氧中水分与二氧化碳冰晶杂质特性可视化实验及分析
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作者 陈虹 梁益涛 +3 位作者 高旭 陈强 孙庆国 黄永华 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期989-995,共7页
针对低温推进剂中高沸点杂质过冷结晶可能堵塞滤网影响输送的问题,本文设计并搭建了能够显微观察液氧中冰晶与二氧化碳杂质状态的实验系统。可视化研究了不同温度液氧中微量水、二氧化碳杂质的生成及性状变化特征。发现当水分、二氧化... 针对低温推进剂中高沸点杂质过冷结晶可能堵塞滤网影响输送的问题,本文设计并搭建了能够显微观察液氧中冰晶与二氧化碳杂质状态的实验系统。可视化研究了不同温度液氧中微量水、二氧化碳杂质的生成及性状变化特征。发现当水分、二氧化碳共存于液氧时,部分水分率先形成细密冰晶,并与二氧化碳一同生成松散絮状结构;当该结构内的水冰晶达到饱和态后,其形状基本不再改变,而残余的水分逐渐形成游离态冰晶;絮状结构在90K降温到65 K的过程中发生崩解,杂质的平均尺寸减小了50%以上,有利于含杂质液氧通过滤网。研究所获得的微量杂质冰晶性状变化规律,可为实际应用中火箭充注管路滤网设计和流动阻力计算提供实验参考依据。 展开更多
关键词 液氧 水分 二氧化碳 杂质 结晶 可视化 低温 溶液
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多晶硅吸杂效能的研究 被引量:5
14
作者 闵靖 陈一 +4 位作者 宗祥福 李积和 姚保纲 陈青松 周志美 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1995年第3期293-298,共6页
用透射电镜(TEM)、扫描电镜(SEM)和光学显微镜研究了淀积在单晶衬底上的多晶硅层的吸杂能力。研究显示多晶硅还存在两种吸杂的效能:一是能增强内吸杂;二是即使多晶硅在工艺流程中耗尽,在衬底中产生的层错和位错会继续起着... 用透射电镜(TEM)、扫描电镜(SEM)和光学显微镜研究了淀积在单晶衬底上的多晶硅层的吸杂能力。研究显示多晶硅还存在两种吸杂的效能:一是能增强内吸杂;二是即使多晶硅在工艺流程中耗尽,在衬底中产生的层错和位错会继续起着吸杂作用。 展开更多
关键词 多晶硅吸杂 增强吸杂 氧沉淀 洁净层
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直拉单晶硅中氧沉淀的高温消融和再生长 被引量:5
15
作者 符黎明 杨德仁 +2 位作者 马向阳 郭杨 阙端麟 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期52-55,共4页
重点研究了直拉(CZ)硅中氧沉淀在快速热处理(RTP)和常规炉退火过程中的高温消融以及再生长行为.实验发现,RTP是一种快速消融氧沉淀的有效方式,比常规炉退火消融氧沉淀更加显著.硅片经RTP消融处理后,在氧沉淀再生长退火过程中,硅中体微缺... 重点研究了直拉(CZ)硅中氧沉淀在快速热处理(RTP)和常规炉退火过程中的高温消融以及再生长行为.实验发现,RTP是一种快速消融氧沉淀的有效方式,比常规炉退火消融氧沉淀更加显著.硅片经RTP消融处理后,在氧沉淀再生长退火过程中,硅中体微缺陷(BMD)的密度显著增加,BMD的平均尺寸略有增加;而经过常规炉退火消融处理后,在后续退火过程中,BMD的密度变化不大,但BMD的尺寸明显增大.氧沉淀消融处理后,后续退火的温度越高,氧沉淀的再生长越快. 展开更多
关键词 直拉单晶硅 氧沉淀 消融 再生长
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掺入杂质级等价元素锗的CZSi晶体性能研究
16
作者 张维连 冀志江 +1 位作者 刘彩池 王志军 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1994年第4期352-356,共5页
直拉硅单晶中掺入等价元素锗可以有效地抑制氧施主,提高硅片机械强度,改善氧沉淀的状况。研究了锗的最低有效浓度并探讨了其机理。
关键词 直拉硅单晶 等价掺杂 晶体 半导体材料 性能
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锗对CZSi中氧沉淀成核和沉淀形态的影响
17
作者 张维连 檀柏梅 +1 位作者 张颖怀 孙军生 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2001年第1期92-96,共5页
CZSi中掺入等价元素锗 ,能影响低温退火时氧沉淀过饱和成核的成核速率与密度。在70 0℃退火时 ,抑制杆状氧沉淀的生成 ,在 90 0℃退火时 ,锗对氧沉淀的形态和长大几乎没有影响。实验表明 ,锗并不作为氧沉淀的成核中心 ,氧沉淀及其衍生... CZSi中掺入等价元素锗 ,能影响低温退火时氧沉淀过饱和成核的成核速率与密度。在70 0℃退火时 ,抑制杆状氧沉淀的生成 ,在 90 0℃退火时 ,锗对氧沉淀的形态和长大几乎没有影响。实验表明 ,锗并不作为氧沉淀的成核中心 ,氧沉淀及其衍生的二次缺陷中也不包含锗。文中对锗影响氧沉淀的成核与形态进行了简要的讨论。 展开更多
关键词 直拉单晶硅 氧沉淀 CZSI 沉淀形态
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硅光单体电源铝背场吸杂对非平衡少子寿命的影响 被引量:2
18
作者 任丙彦 左燕 +6 位作者 霍秀敏 励旭东 王文静 许颖 赵玉文 朱惠民 傅洪波 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第8期942-945,共4页
采用 1 0 0 m m厚度 4 0 0 μm、电阻率为 0 .8~ 2 Ω· cm的 p(1 0 0 ) CZ硅片制作硅光单体电源 ,并对 RTP和铝背场烧结工艺进行了研究 .实验发现 :快速热退火工艺对硅片少子寿命产生一定影响 .铝背场烧结和适当的快速热处理促... 采用 1 0 0 m m厚度 4 0 0 μm、电阻率为 0 .8~ 2 Ω· cm的 p(1 0 0 ) CZ硅片制作硅光单体电源 ,并对 RTP和铝背场烧结工艺进行了研究 .实验发现 :快速热退火工艺对硅片少子寿命产生一定影响 .铝背场烧结和适当的快速热处理促成了硅片界面晶格应力对重金属杂质的吸附作用 ,并减少了载流子的复合中心 ,从而提高了光生载流子的扩散长度 。 展开更多
关键词 RTP 氧沉淀 少子寿命 吸杂
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CZSi中Ge增强氧外扩散现象
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作者 张维连 檀柏梅 +2 位作者 孙军生 张恩怀 张志成 《半导体杂志》 1999年第4期15-17,共3页
在退火处理时,Ge 易与Si 中O 形成易挥发的GeO 复合体,使硅片表面洁净区的形成受氧的外扩散和GeO 挥发两种因素制约。即从效果上看,Ge 增强了氧的外扩散。
关键词 CZSI 氧沉淀 氧外扩散 退火处理
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淀积在硅片上起杂质吸除用的多晶硅的研究 被引量:3
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作者 闵靖 邹子英 +3 位作者 李积和 陈青松 周子美 陈一 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2001年第4期401-404,共4页
在器件的高温工艺过程中多晶硅再结晶,晶粒不断地长大,多晶硅层厚因高温氧化而减薄直到完全耗尽。在多晶硅层完全去除后在硅衬底中诱生出高密度的氧化层错起吸除中心作用。多晶硅能促进硅片内的氧沉淀成核和生长,起内吸杂作用。本文提... 在器件的高温工艺过程中多晶硅再结晶,晶粒不断地长大,多晶硅层厚因高温氧化而减薄直到完全耗尽。在多晶硅层完全去除后在硅衬底中诱生出高密度的氧化层错起吸除中心作用。多晶硅能促进硅片内的氧沉淀成核和生长,起内吸杂作用。本文提出了多晶硅持续吸杂的机理。 展开更多
关键词 多晶硅吸杂 内吸杂 增强吸杂 氧沉淀 氧化层错 洁净层
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