基于频率调制和双冷却通道的机械振子的基态冷却

1

作者 高晓元 王铁 +2 位作者 管思宇 杨珺雅 朱爱东 《延边大学学报（自然科学版）》 CAS 2020年第3期203-209,225,共8页

基于光电力学系统提出了一个机械振子的基态冷却方案.在该系统中,机械振子的一端通过辐射压力与光学腔耦合,另一端通过电容与超导微波腔耦合,通过对光腔、微波腔和机械振子进行周期性的频率调制将机械振子冷却到基态.采用协方差矩阵的... 基于光电力学系统提出了一个机械振子的基态冷却方案.在该系统中,机械振子的一端通过辐射压力与光学腔耦合,另一端通过电容与超导微波腔耦合,通过对光腔、微波腔和机械振子进行周期性的频率调制将机械振子冷却到基态.采用协方差矩阵的方法对冷却动力学进行了数值模拟与分析,结果表明采用双冷却通道和频率调制所得的冷却速率远高于标准单腔光力系统,并且该系统可有效抑制斯托克斯加热过程,因此本文方案可有效提高机械振子的冷却效率. 展开更多

关键词 光电机械耦合系统 基态冷却 频率调制

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Development of Miniature Spectrometers

2

作者 ZHANG Zhi-guo 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 2007年第2期132-135,共4页

Spectrometer is an essential and necessary optical element used for measuring the chemical components and content of the matter. The development of miniature spectrometers can be traced back to 1980s. The development ... Spectrometer is an essential and necessary optical element used for measuring the chemical components and content of the matter. The development of miniature spectrometers can be traced back to 1980s. The development state and different manufacturing methods of micro-spectrometers are presented. Finally, we analyze the miniaturization trend of spectrometers. Some groundwork for the scientific research is offered by introducing micro-spectrometers development. 展开更多

关键词 MICRO-SPECTROMETER micro-opto-electro-mechanical system （MOEMS） Fourier transform interferometer（FTS） spectroscopy

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微型近红外光谱仪关键技术研究进展 被引量：15

3

作者 庾繁 温泉 +2 位作者 雷宏杰 黄良坤 温志渝 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2018年第10期24-30,共7页

综述了近年来国内外阵列检测型、光栅扫描型、滤光片型、傅里叶变换型和阿达玛变换型等多种类型微型近红外光谱仪关键技术的研究进展,详细讨论了各种类型的优缺点、适合的应用领域及存在的问题。最后,对微型近红外光谱仪的应用和发展趋... 综述了近年来国内外阵列检测型、光栅扫描型、滤光片型、傅里叶变换型和阿达玛变换型等多种类型微型近红外光谱仪关键技术的研究进展,详细讨论了各种类型的优缺点、适合的应用领域及存在的问题。最后,对微型近红外光谱仪的应用和发展趋势进行了总结和展望。 展开更多

关键词 光谱学 微型光谱仪 微光机电系统 近红外波段

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用于微型光谱仪的硅基多级微反射镜设计与制作研究 被引量：10

4

作者 王波 梁中翥 +8 位作者 孔延梅 梁静秋 付建国 郑莹 朱万彬 吕金光 王维彪 裴舒 张军 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期907-912,共6页

提出了一种基于微光机电系统技术实现的空间调制方式的微型傅里叶变换光谱仪,介绍了其分光干涉系统结构及工作原理.对其核心部件多级微反射镜的制作方法进行了研究,采用硅在KOH溶液中的各向异性腐蚀方法制作多级微反射镜,硅腐蚀后形成的... 提出了一种基于微光机电系统技术实现的空间调制方式的微型傅里叶变换光谱仪,介绍了其分光干涉系统结构及工作原理.对其核心部件多级微反射镜的制作方法进行了研究,采用硅在KOH溶液中的各向异性腐蚀方法制作多级微反射镜,硅腐蚀后形成的(111)反射面的表面粗糙度均方根小于10nm. 展开更多

关键词 傅里叶变换光谱仪 多级微反射镜 微光机电系统 空间调制

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静电驱动MOEMS保险机构的设计与试验 被引量：7

5

作者 刘加凯 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期334-340,共7页

为了提高引信状态控制的安全性,增强其抵抗引信内、外强电磁干扰的能力,提出了一种应用于微小型引信安全系统的硅基微光机电保险机构。该机构采用光纤作为过程能量传输的载体,通过静电驱动方式实现对光纤光路错位与对准的控制,达到引信... 为了提高引信状态控制的安全性,增强其抵抗引信内、外强电磁干扰的能力,提出了一种应用于微小型引信安全系统的硅基微光机电保险机构。该机构采用光纤作为过程能量传输的载体,通过静电驱动方式实现对光纤光路错位与对准的控制,达到引信安全与解除保险的目的。设计了MOEMS保险机构的总体结构和耦合光路,并对它进行SOI+DRIE工艺设计和加工。通过开展静电微驱动器性能测试试验和光路性能测试试验得出,静电微驱动器能够实现130μm的大位移输出,MOEMS保险机构的解除保险时间和恢复保险时间分别为13 ms和5 ms,光能传输效率为46.1%。所设计的MOEMS保险机构能够满足功能要求,具备天然的抗电磁干扰能力,有效提高了引信的本征安全性。 展开更多

关键词 微光机电系统 引信 保险机构 静电微驱动器 光路耦合

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光传送网中光开关器件的进展 被引量：4

6

作者 谢世钟 陈明华 王国忠 《中兴通讯技术》 2002年第4期13-17,共5页

随着波分复用技术的广泛应用和光联网的发展,光开关将成为组建未来光网络的关键器件。光开关的类型有光微电机械开关、马赫-曾德干涉仪型开关、热光效应光开关、液晶光开关、喷墨气泡光开关、光栅开关和声光开关等。文章概述了这些光开... 随着波分复用技术的广泛应用和光联网的发展,光开关将成为组建未来光网络的关键器件。光开关的类型有光微电机械开关、马赫-曾德干涉仪型开关、热光效应光开关、液晶光开关、喷墨气泡光开关、光栅开关和声光开关等。文章概述了这些光开关的原理,并进而介绍了光开关器件的最新进展。 展开更多

关键词 光传送网 光开关器件 光联网 光微电机械开关 多功能集成 波分复用

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一种新型谐振式微机电系统扫描镜及其利萨如图形显示 被引量：5

7

作者 燕斌 苑伟政 +1 位作者 乔大勇 刘耀波 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期215-221,共7页

研制了一种基于微光机电系统(MOEMS)技术的新型谐振式扫描镜,该扫描镜采用绝缘体上硅(SOI)加工工艺,静电梳齿驱动,利用工艺中残余应力的释放产生垂直梳齿偏差,作为启动电极。针对该器件的机电性能,设计并搭建了一套光学系统测试其性能... 研制了一种基于微光机电系统(MOEMS)技术的新型谐振式扫描镜,该扫描镜采用绝缘体上硅(SOI)加工工艺,静电梳齿驱动,利用工艺中残余应力的释放产生垂直梳齿偏差,作为启动电极。针对该器件的机电性能,设计并搭建了一套光学系统测试其性能。结果表明,该器件具有加工工艺简单、低成本、低电压和大的扫描角度等优点。此外,将所制造的两个扫描镜进行合理组合,搭建了利萨如图形的显示装置,显示图案与Matlab软件仿真结果基本一致。 展开更多

关键词 集成光学 微光机电系统 扫描镜 绝缘体上硅 利萨如图形 激光投影

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一种新型SOG周期可调光栅的制作及其衍射性能测试 被引量：5

8

作者 燕斌 苑伟政 +3 位作者 虞益挺 乔大勇 孙瑞康 李太平 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第11期3128-3132,共5页

研制了一种基于微光机电系统(MOEMS)技术的新型微型可编程光栅——周期可调光栅。该光栅采用玻璃体上硅(SOG)加工工艺,静电梳齿驱动,具有操作简单、连续可调和宽调制等特点。该光栅在静电驱动力的作用下,周期的变化引起特定级次下单色... 研制了一种基于微光机电系统(MOEMS)技术的新型微型可编程光栅——周期可调光栅。该光栅采用玻璃体上硅(SOG)加工工艺,静电梳齿驱动,具有操作简单、连续可调和宽调制等特点。该光栅在静电驱动力的作用下,周期的变化引起特定级次下单色光衍射角的变化及复色光光谱的偏移。针对该光栅的衍射特性,设计及搭建两套光学系统,根据光栅结构设计参数的理论计算与测量结果基本一致,充分表明该光栅能对光具有良好的调制作用。为该器件在微型光谱仪和光开关的应用提供了技术参考。 展开更多

关键词 微光机电系统(MOEMS) 微型可编程光栅 周期可调光栅 玻璃体上硅(SOG) 衍射特性

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混合集成微型光纤光谱仪的实验测定 被引量：5

9

作者 陈刚 温志渝 +2 位作者 温中泉 蒋子平 黄尚廉 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期1232-1237,共6页

文中简述了所研制微型光谱仪的基本原理和基本结构,并对该微型光谱仪进行了实验测试和标定。在实验中采用汞灯作为测试所用的光源,分别使用不同芯径和数值孔径的光纤作为光输入元件,实验结果表明该光谱仪具有很好的线性度,在采用50μm... 文中简述了所研制微型光谱仪的基本原理和基本结构,并对该微型光谱仪进行了实验测试和标定。在实验中采用汞灯作为测试所用的光源,分别使用不同芯径和数值孔径的光纤作为光输入元件,实验结果表明该光谱仪具有很好的线性度,在采用50μm的多模光纤时,光谱分辨率可达13.8nm,在采用9μm的单模光纤时分辨率可以达到5.5nm。 展开更多

关键词 反射式混合集成微型光纤光谱仪 结构 实验测试 微型光机电系统 光电阵列探测器

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基于微型光机电系统扫描镜技术的激光散斑抑制方法 被引量：4

10

作者 唐国先 石云波 +3 位作者 刘俊 赵幸娟 柴鹏兰 王瑞荣 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2011年第6期105-109,共5页

激光固有的时间和空间相干性,造成的散斑现象成为实现激光显示技术的瓶颈。针对激光显示的消散斑问题,提出了一种基于微型光机电系统(MOEMS)扫描镜技术的散斑抑制方法,并设计了一种简单的二维扫描镜结构,为开发非运动式、小体积、低功... 激光固有的时间和空间相干性,造成的散斑现象成为实现激光显示技术的瓶颈。针对激光显示的消散斑问题,提出了一种基于微型光机电系统(MOEMS)扫描镜技术的散斑抑制方法,并设计了一种简单的二维扫描镜结构,为开发非运动式、小体积、低功耗、高速低成本电调制的MOEMS,实现对激光散斑的抑制,标准化消相干器件的工艺的开发和规模化生产技术提供了参考。 展开更多

关键词 激光 显示技术 散斑抑制 微型光机电系统扫描镜 消相干

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MOEMS光开关中双光纤耦合对准误差仿真与试验研究 被引量：4

11

作者 刘浩田 曹云 +2 位作者 席占稳 聂伟荣 徐娜 《南京理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第2期143-149,共7页

为了提高激光点火/起爆系统中微光机电系统(Micro-opto-electro-mechanical system,MOEMS)光开关的传能效率,研究了双光纤耦合对准误差对开关传能特性的影响。利用ZEMAX仿真软件建立了双光纤耦合模型,仿真分析了不同偏移方式对传能效率... 为了提高激光点火/起爆系统中微光机电系统(Micro-opto-electro-mechanical system,MOEMS)光开关的传能效率,研究了双光纤耦合对准误差对开关传能特性的影响。利用ZEMAX仿真软件建立了双光纤耦合模型,仿真分析了不同偏移方式对传能效率和输出光束分布的影响;进一步搭建了双光纤耦合传能效率测试平台,通过设计系列尺寸的光纤偏移固定微通道,实现了双光纤轴向、横向和角度多种方式不同误差的偏移。试验得到了双光纤在不同偏移情况下的传输效率及光斑图像,为后续MOEMS光开关的设计及改进提供一定依据。 展开更多

关键词 微光机电系统 光开关 激光点火 光纤耦合 传能特性

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基于单质量块微纳光栅泰伯效应的双轴MOEMS加速度计

12

作者 杜艺鑫 金丽 +2 位作者 解琨阳 吴倩楠 李孟委 《微纳电子技术》 CAS 2024年第4期98-104,共7页

对一种基于单质量块微纳光栅泰伯效应双轴微光机电系统(MOEMS)加速度计进行了设计、加工与测试。利用有限元分析和时域有限差分法分别对双轴加速度计的敏感结构和光栅参数进行仿真优化。在保证加速度计高集成度的同时,为了实现双轴加速... 对一种基于单质量块微纳光栅泰伯效应双轴微光机电系统(MOEMS)加速度计进行了设计、加工与测试。利用有限元分析和时域有限差分法分别对双轴加速度计的敏感结构和光栅参数进行仿真优化。在保证加速度计高集成度的同时,为了实现双轴加速度的高精度测量,采用不同周期的两组光栅进行双轴加速度检测,通过磁控溅射工艺将两组光栅结构沉积在质量块的不同区域,最终通过阳极键合方式实现该双轴MOEMS加速度计的制备。实验结果表明,光栅泰伯效应双轴MOEMS加速度计x轴与y轴的灵敏度分别为3.36和3.54 V/g,零偏稳定性分别为25.53和20.91μg@1 s。该研究为实现高精度多轴加速度计提供了一种新的方法。 展开更多

关键词 微光机电系统(MOEMS) 双轴MOEMS加速度计 泰伯效应 微纳光栅 阳极键合

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微纳光栅MOEMS加速度计优化设计与测试

13

作者 王策 张晓玉 +4 位作者 金丽 解琨阳 贾鑫瑞 张鹏 李孟委 《微纳电子技术》 CAS 2024年第4期114-120,共7页

提出了一种基于微纳光栅泰伯效应的微光机电系统(MOEMS)加速度计,通过Comsol软件对加速度计结构和光栅结构参数进行优化,使其在20g量程范围内获得较大的结构灵敏度和衍射效应灵敏度,同时通过仿真分析了该结构的交叉轴串扰情况。由于受... 提出了一种基于微纳光栅泰伯效应的微光机电系统(MOEMS)加速度计,通过Comsol软件对加速度计结构和光栅结构参数进行优化,使其在20g量程范围内获得较大的结构灵敏度和衍射效应灵敏度,同时通过仿真分析了该结构的交叉轴串扰情况。由于受外界温度起伏影响,双层光栅结构间距受热膨胀系数的影响产生相对位移。为了减小由于温度起伏对光栅加速度计零偏的影响,采用温度闭环反馈控制技术将加速度计温度变化控制在±10 mK范围内。经实验测试,加速度计零偏稳定性达3.7μg,相较于无温控情况提升了近7倍。最终实现光栅MOEMS加速度计的灵敏度达5.23 V/g,线性相关系数为99.9%,分辨率达286.8μg。 展开更多

关键词 微光机电系统(MOEMS) 光栅加速度计 泰伯效应 温度闭环反馈控制 零偏稳定性

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光栅MOEMS加速度计温度特性

14

作者 邰鹏 金丽 +2 位作者 解琨阳 张敏娟 李孟委 《微纳电子技术》 CAS 2024年第5期127-133,共7页

由于硅微机械加速度计受温度影响,导致硅弹性模量和热膨胀系数发生变化,造成微光机电系统(MOEMS)加速度计标度因数漂移、测量稳定性下降等问题。首先,采用COMSOL软件对光栅MOEMS加速度计微机械结构部分进行了温度特性仿真,分析了硅弹性... 由于硅微机械加速度计受温度影响,导致硅弹性模量和热膨胀系数发生变化,造成微光机电系统(MOEMS)加速度计标度因数漂移、测量稳定性下降等问题。首先,采用COMSOL软件对光栅MOEMS加速度计微机械结构部分进行了温度特性仿真,分析了硅弹性模量温度系数和热膨胀系数对光栅MOEMS加速度计微机械结构标度因数和零位的影响。其次,设计了温控精度达0.1℃的温度控制系统,并利用该系统对加速度计进行温度控制。最后,对光栅泰伯效应MOEMS加速度计温度特性展开测试,结果表明,加速度计的标度因数随温度升高而增大,零偏稳定性随温度的升高而降低,加速度计标度因数温度系数为0.30 V·g^(-1)·℃^(-1),零偏稳定性温度系数为-7.78μg/℃,其变化趋势与仿真结果一致。这为实现全温范围下高精度MOEMS加速度计奠定了基础。 展开更多

关键词 微光机电系统(MOEMS)加速度计 光栅泰伯效应 热仿真 温度特性 温控电路 标度因数 零偏稳定性

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基于Fabry-Perot干涉仪的闭环微光机电加速度计 被引量：3

15

作者 冯丽爽 刘惠兰 +1 位作者 林恒 张春熹 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期691-694,共4页

设计了一种闭环反馈差动式双FP腔的微光机电(MOEMS)加速度计,介绍了其工作原理及系统构成.利用惯性敏感单元将对载体加速度的测量转变为对载体位移的测量,利用光纤自聚焦透镜的端面与质量块组成的FP腔测量载体位移.为了提高系统的测量... 设计了一种闭环反馈差动式双FP腔的微光机电(MOEMS)加速度计,介绍了其工作原理及系统构成.利用惯性敏感单元将对载体加速度的测量转变为对载体位移的测量,利用光纤自聚焦透镜的端面与质量块组成的FP腔测量载体位移.为了提高系统的测量灵敏度和抑制温度等环境因素的影响,设计了一种差动式双FP腔测量机构.为提高微加速度计的输出线性度和动态测量范围,提出了采用静电力平衡技术构成闭环加速度计.建立了其数学模型,对所设计的加速度计重要参数指标———灵敏度、敏感头受载、固有频率等一一进行了详细计算和分析.在此基础上完成了设计背景要求下加速度计参数的优化设计,结果表明:该系统精度可以达到5×10-6g以上. 展开更多

关键词 微光机电系统 加速度计 法布里-珀罗干涉仪 闭环

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MOEMS 2D扫描镜的研究进展 被引量：3

16

作者 马天义 余跃 +1 位作者 许敬 吴建东 《传感器与微系统》 CSCD 2016年第6期1-3,8,共4页

微光电子机械系统(MOEMS)扫描镜凭借其在成本、功耗和封装上的优势,在军民用多领域都有广泛的应用前景。在分析MOEMS扫描镜的分类方式的基础上,针对静电驱动中的微机械集成方式,展开框架式和无框架式两种MOEMS扫描镜的工作原理的探讨,... 微光电子机械系统(MOEMS)扫描镜凭借其在成本、功耗和封装上的优势,在军民用多领域都有广泛的应用前景。在分析MOEMS扫描镜的分类方式的基础上,针对静电驱动中的微机械集成方式,展开框架式和无框架式两种MOEMS扫描镜的工作原理的探讨,并给出了典型产品及系统应用,总结了目前在MOEMS扫描镜的系统应用方面存在的难点问题。介绍了国内MOEMS扫描镜的研究现状,并分析了与国外产品的差距。 展开更多

关键词 微光电子机械系统 扫描镜 静电驱动 框架式

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可调谐微腔发光二极管微光机电系统悬臂梁的特性 被引量：2

17

作者 关宝璐 郭霞 +4 位作者 顾晓玲 杨浩 邓军 高国 沈光地 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期245-248,共4页

采用微机械表面加工技术,成功设计并研制出具有GaAs基微光机电系统(MOEMS)悬臂梁结构的可调谐微腔发光二极管。对其工作特性进行了分析,测量得到悬臂梁载荷-位移关系曲线,并对微光机电系统悬臂梁可调谐微腔发光二极管进行调谐光谱测量... 采用微机械表面加工技术,成功设计并研制出具有GaAs基微光机电系统(MOEMS)悬臂梁结构的可调谐微腔发光二极管。对其工作特性进行了分析,测量得到悬臂梁载荷-位移关系曲线,并对微光机电系统悬臂梁可调谐微腔发光二极管进行调谐光谱测量。实验结果表明,在直流电流40mA,调谐电压范围4～22V时,波长从974.5nm蓝移至956.9nm,室温下波长调谐最大达到17.6nm。在实验基础上,采用有限元方法对具有分布布拉格反射镜(DBR)结构的悬臂梁动力学特性进行了研究,模拟结果与实验结果吻合较好。当悬臂梁长度为400μm时,最大位移达到411nm,最大调谐电压达到24V。 展开更多

关键词 光学器件 可调谐微腔光子器件 微光机电系统 悬臂梁 有限元

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基于体硅工艺的微反射镜的原理性实验

18

作者 王子旸 徐永青 +2 位作者 杨拥军 尤政 任大海 《清华大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第8期1057-1060,共4页

基于体硅工艺的微反射镜具有体积小、质量轻、驱动电压低、偏转角度大等优点,在激光敌我识别和光通信等领域都有着广泛的应用。该文设计了一种基于体硅工艺的微反射镜,其偏转角度可以通过驱动电压控制;对这种结构建立了理论模型,对吸合... 基于体硅工艺的微反射镜具有体积小、质量轻、驱动电压低、偏转角度大等优点,在激光敌我识别和光通信等领域都有着广泛的应用。该文设计了一种基于体硅工艺的微反射镜,其偏转角度可以通过驱动电压控制;对这种结构建立了理论模型,对吸合电压、吸合角度和固有频率进行了分析;简要介绍了这种微反射镜的加工工艺;并对微反射镜样机做了原理性实验研究。微反射镜镜面面积为1240μm×980μm,最大偏转角度约为2.6°,吸合电压约为27V,固有频率为750Hz左右。 展开更多

关键词 物理光学仪器 微光机电系统 微反射镜 激光

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基于微光机电系统的微光学自适应微镜的研究 被引量：2

19

作者 吕赛君 裴旦 +2 位作者 白剑 侯西云 杨国光 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第7期1271-1274,共4页

提出了一种利用热应力改变镜面曲率的可调焦微光学自适应微镜。与传统自适应微镜相比，采用该原理制作的微镜具有驱动电压低和驱动力较大的优点，而且制作简单。以硅为基底进行了表面热氧化、光刻显影、HF酸刻蚀、KOH湿法刻蚀，溅射铝... 提出了一种利用热应力改变镜面曲率的可调焦微光学自适应微镜。与传统自适应微镜相比，采用该原理制作的微镜具有驱动电压低和驱动力较大的优点，而且制作简单。以硅为基底进行了表面热氧化、光刻显影、HF酸刻蚀、KOH湿法刻蚀，溅射铝膜等微加工工艺的研究，获得硅铝双金属可调焦微反射镜4×4阵列，单元尺寸3mm×3mm，单晶硅基底厚60μm，硅表面溅射的铝膜厚150nm。该微镜的镜面填充率为100％，可变形镜面占总镜面面积的79％。利用激光波面干涉仪对可调焦微反射镜的动态性能进行了测试。实验表明，该微镜可产生单向连续变形，最大变形量15．8μm，非线性滞后27％，工作电压0～2．5V，可调焦范围∞～0．036m。 展开更多

关键词 自适应光学 微反射镜 微光机电系统 微光学

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外参数激励MOEMS扫描镜动力学过程与追踪控制 被引量：1

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作者 王肖伊 王琪 +1 位作者 李赟玺 杨亚非 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第9期135-141,共7页

随着MOEMS扫描镜的发展,其较高的谐振频率及IC兼容的低成本等优点在激光3D图像传感器中应用前景广阔,研究外参数激励MOEMS扫描镜动力学特性与控制问题具有重要的理论和应用价值。从欧拉方程出发,建立静电驱动MOEMS扭转动力学模型,利用四... 随着MOEMS扫描镜的发展,其较高的谐振频率及IC兼容的低成本等优点在激光3D图像传感器中应用前景广阔,研究外参数激励MOEMS扫描镜动力学特性与控制问题具有重要的理论和应用价值。从欧拉方程出发,建立静电驱动MOEMS扭转动力学模型,利用四阶Runge-Kutta算法仿真表明:在外参数指令信号激励下,MOEMS扫描镜扭转状态经历阻尼运动、周期、倍周期和混沌等动力学过程,其中周期运动存在着一个较大的参数控制范围。根据Lyapunov稳定性理论,设计了一种连续混沌系统追踪控制器,使受控的MOEMS扫描镜扭转状态收敛于任意期望的指令信号。实验表明,李萨如图指令信号适用于激光3D图像传感器;几何矢量指令信号适用于激光3D打印系统,理论分析与实验相一致。 展开更多

关键词 激光图像传感器 光学微机电系统 振动分析 机器人和机器控制

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