期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到972篇文章
< 1 2 … 49 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
硅集成电路光刻技术的发展与挑战 被引量：44
1
作者 王阳元 康晋锋 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期225-237,共13页
从微电子集成电路技术发展的趋势 ,介绍了集成电路技术发展对光刻曝光技术的需求 ,综述了当前主流的DU V光学曝光技术和新一代曝光技术中的 15 7nm光学曝光、13nm EUV曝光、电子束曝光、X射线曝光、离子束曝光和纳米印制光刻技术的发展... 从微电子集成电路技术发展的趋势 ,介绍了集成电路技术发展对光刻曝光技术的需求 ,综述了当前主流的DU V光学曝光技术和新一代曝光技术中的 15 7nm光学曝光、13nm EUV曝光、电子束曝光、X射线曝光、离子束曝光和纳米印制光刻技术的发展状况及所面临的技术挑战 .同时 ,对光学曝光技术中采用的各种分辨率增强技术如偏轴照明 (OAI)、光学邻近效应校正 (OPC)、移相掩膜 (PSM)、硅片表面的平整化、光刻胶修剪 (resist trimm ing)、抗反射功能和表面感光后的多层光刻胶等技术的原理进行了介绍 。 展开更多
关键词 光刻 硅集成电路 微电子
下载PDF
微电子封装技术的发展与展望 被引量：28
2
作者 李枚 《半导体杂志》 2000年第2期32-36,共5页
微电子技术的发展 ,推动着微电子封装技术的不断发展、封装形式的不断出新。介绍了微电子封装的基本功能与层次 ,微电子封装技术发展的三个阶段 ,并综述了微电子封装技术的历史、现状、发展及展望。
关键词 微电子 集成电路 封装技术
下载PDF
光刻机的演变及今后发展趋势 被引量：32
3
作者 李艳秋 《微细加工技术》 2003年第2期1-5,11,共6页
微电子技术的发展一直是光刻设备和技术发展与变革的动力。通过介绍光刻机的演变和所面临的挑战,揭示下一代光刻设备的发展潜力,结合比较极紫外光刻机和电子束曝光机的开发现状和特点,预言将来以极紫外光刻机、电子束曝光机和某种常规... 微电子技术的发展一直是光刻设备和技术发展与变革的动力。通过介绍光刻机的演变和所面临的挑战,揭示下一代光刻设备的发展潜力,结合比较极紫外光刻机和电子束曝光机的开发现状和特点,预言将来以极紫外光刻机、电子束曝光机和某种常规光刻机结合,来实现工业需要的各种图形的制备。 展开更多
关键词 光刻机 发展趋势 极紫外光刻机 电子束曝光机 微电子技术
下载PDF
面向21世纪的微电子技术 被引量：21
4
作者 王阳元 张兴 《世界科技研究与发展》 CSCD 1999年第4期4-11,共8页
本文对２１ 世纪微电子技术的发展趋势作了一个展望。本文认为２１ 世纪初的微电子技术仍将以硅基 Ｃ Ｍ Ｏ Ｓ 电路为主流工艺，但将突破目前所谓的物理“限制”，继续快速发展；集成电路将逐步发展成为集成系统；微电子技术将与其他... 本文对２１ 世纪微电子技术的发展趋势作了一个展望。本文认为２１ 世纪初的微电子技术仍将以硅基 Ｃ Ｍ Ｏ Ｓ 电路为主流工艺，但将突破目前所谓的物理“限制”，继续快速发展；集成电路将逐步发展成为集成系统；微电子技术将与其他技术结合形成一系列新的增长点，例如微机电系统（ Ｍ Ｅ Ｍ Ｓ） 、 Ｄ Ｎ Ａ 芯片等将得到突飞猛进的发展。具体地，超微细光刻技术、虚拟工厂技术、铜互连及低κ互连绝缘介质、高κ栅绝缘介质、 Ｓ Ｏ Ｉ 技术等将在近几年内得到快速发展。２１ 展开更多
关键词 微电子技术 集成系统 微光机电系统 DNA芯片 21世纪 发展趋势 CMOS电路
下载PDF
斑点叉尾鮰的生物学与生理生化特性研究 被引量：27
5
作者 向建国 周进 金宏 《湖南农业大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2004年第4期355-358,共4页
对11尾斑点叉尾鮰的部分可量可数性状、生长特点、食性等生物学特性以及血细胞数目、肌肉成分和部分微量元素等生化特性进行了研究.结果表明,斑点叉尾鮰的红细胞数为2.16×106个/mm3,白细胞数为6 900个/mm3 ,鲜肉中粗蛋白含量为15.7... 对11尾斑点叉尾鮰的部分可量可数性状、生长特点、食性等生物学特性以及血细胞数目、肌肉成分和部分微量元素等生化特性进行了研究.结果表明,斑点叉尾鮰的红细胞数为2.16×106个/mm3,白细胞数为6 900个/mm3 ,鲜肉中粗蛋白含量为15.76%,粗脂肪含量为8.66%,水分含量为74.56%,微量元素中铁为1.76 mg/kg,锌为0.366 mg/kg,鲜样中赖氨酸、蛋氨酸、精氨酸比为1.89?0.27?1.61. 展开更多
关键词 斑点叉尾鮰 生物学特性 生化特性 营养成分 微量元素
下载PDF
微电子封装中芯片焊接技术及其设备的发展 被引量：17
6
作者 葛劢冲 《电子工业专用设备》 2000年第4期5-10,共6页
概述了微电子封装中引线键合、载带自动键合、倒装芯片焊料焊凸键合、倒装芯片微型焊凸键合等芯片焊接技术及其设备的发展 ,同时报告了世界著名封装设备制造公司芯片焊接设备的现状及发展趋势。
关键词 微电子封装技术 焊接设备 芯片焊接技术
下载PDF
现代表面技术的应用 被引量：20
7
作者 顾迅 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 1999年第4期1-6,共6页
阐述了现代表面技术应用的重要性以及在结构材料、功能材料、新型材料、光电子学、微电子学、微型机电系统、环境工程等领域中的应用概况，展望了表面技术的应用前景。
关键词 表面技术 结构材料 功能材料 光电子学 微电子学
下载PDF
面向产业需求的21世纪微电子技术的发展(上) 被引量：18
8
作者 王阳元 黄如 +1 位作者 刘晓彦 张兴 《物理》 CAS 北大核心 2004年第6期407-413,共7页
微电子产业是国民经济与国防建设的战略性基础产业 .对此 ,我国经历了发展时期的奋斗 ,现正处于微电子产业迅速崛起的前夕 ,预计经过 1 0— 1 5年左右时间的努力 ,将把我国建设成为微电子产业和科学技术的强国 .文章着重介绍了 2 1世纪... 微电子产业是国民经济与国防建设的战略性基础产业 .对此 ,我国经历了发展时期的奋斗 ,现正处于微电子产业迅速崛起的前夕 ,预计经过 1 0— 1 5年左右时间的努力 ,将把我国建设成为微电子产业和科学技术的强国 .文章着重介绍了 2 1世纪微电子产业的发展需求 ,面向这个需求 ,讨论了 2 1世纪微电子科学技术的主要发展方向 .认为 :一方面 ,特征尺寸将继续等比例缩小 (scalingdown) ,包括新结构、新工艺、新材料的器件设计与制备技术以及光刻技术、互连技术将迅速发展 ;基于特征尺寸继续等比例缩小 ,系统芯片 (SOC)将取代目前的集成电路 (IC)最终成为主流产品 ;另一方面 ,纳电子学也将得到突破性进展 ,量子器件、分子电子器件等的相关研究日益活跃 ,期望最终达到可集成的目标 ;此外 ,微电子技术与其他领域相结合诞生出的新的技术增长点和新的学科———微机电系统(MEMS)技术等也将继续快速发展 .文章阐述了相关发展方向存在的挑战和可能的解决方案 。 展开更多
关键词 微电子技术 等比例缩小 系统芯片 纳电子学 微机电系统
原文传递
SCB火工品的研究与发展 被引量：19
9
作者 祝逢春 徐振相 +4 位作者 周彬 陈西武 秦志春 田桂蓉 侯素娟 《爆破器材》 CAS 北大核心 2003年第1期18-23,共6页
文章评述了半导体桥火工品问世以来的研究成果与发展趋势。主要内容有半导体桥作用机理、半导体桥的结构与封装、半导体桥火工品的特点、半导体桥火工品的应用、半导体桥火工品的研究和发展趋势。
关键词 SCB 火工品 研究 发展 半导体桥 微电子 封装
下载PDF
微系统三维异质异构集成与应用 被引量：22
10
作者 郝继山 向伟玮 《电子工艺技术》 2018年第6期317-321,共5页
微系统已经成为电子产品和技术发展的重要方向之一,其核心实现路径是三维异质异构集成,受到国内外广泛关注。三维异质异构集成是从芯片到系统的技术桥梁,解决从1μm到10μm尺度的集成与互连问题,有晶圆级集成和系统级集成两个层次和多... 微系统已经成为电子产品和技术发展的重要方向之一,其核心实现路径是三维异质异构集成,受到国内外广泛关注。三维异质异构集成是从芯片到系统的技术桥梁,解决从1μm到10μm尺度的集成与互连问题,有晶圆级集成和系统级集成两个层次和多种集成形态。现在和未来,三维异质异构集成技术将是各领域中微系统智能传感节点中的核心实现手段。 展开更多
关键词 微系统 三维异质异构集成 体系架构 算法 微电子 微光子 MEMS
下载PDF
预警机发展七十年 被引量：22
11
作者 曹晨 《中国电子科学研究院学报》 北大核心 2015年第2期113-118,137,共7页
1945年投入使用世界首型预警机,七十年来,预警机装备和技术持续发展。研究主要从定位、产品形态和技术形态等三个方面对预警机的发展历程进行了总结。预警机已经从空中雷达站、空中指挥所正在演变为空中作战体系的枢纽,在打击链的各个... 1945年投入使用世界首型预警机,七十年来,预警机装备和技术持续发展。研究主要从定位、产品形态和技术形态等三个方面对预警机的发展历程进行了总结。预警机已经从空中雷达站、空中指挥所正在演变为空中作战体系的枢纽,在打击链的各个环节中将发挥更多作用;微电子技术、计算机技术、通信与网络技术和软件技术的发展趋势,正在推动预警机在产品和技术形态方面具备一体化、分布式、智能化和人性化的特征,从而对预警机的设计和使用产生重要影响。 展开更多
关键词 预警机 打击链 微电子 计算机 通信与网络 软件
下载PDF
混合集成电路技术发展与展望 被引量：20
12
作者 李振亚 赵钰 《中国电子科学研究院学报》 2009年第2期119-124,共6页
混合集成电路(HIC)作为微电子领域的一个重要分支,它的发展得益于军事电子装备的高性能、多功能、小型化和高可靠的要求。文章概要介绍了HIC技术和产品发展现状,简要分析了国内外HIC技术和产品存在的差距,展望了HIC未来发展趋势,最后提... 混合集成电路(HIC)作为微电子领域的一个重要分支,它的发展得益于军事电子装备的高性能、多功能、小型化和高可靠的要求。文章概要介绍了HIC技术和产品发展现状,简要分析了国内外HIC技术和产品存在的差距,展望了HIC未来发展趋势,最后提出发展我国HIC的目标和建议。 展开更多
关键词 微电子 混合集成电路 现状 趋势
下载PDF
可再生能源互联网中的微电子技术 被引量：18
13
作者 黄如 叶乐 廖怀林 《中国科学：信息科学》 CSCD 2014年第6期728-742,共15页
可再生能源互联网对电子系统提出了五大要求:高效性、安全性、可靠性、便利性、宽泛性.为了实现上述要求,可再生能源互联网需要多学科、多方面、多层次的创新.微电子技术将会渗透到可再生能源互联网的各个层级,是可再生能源互联网的重... 可再生能源互联网对电子系统提出了五大要求:高效性、安全性、可靠性、便利性、宽泛性.为了实现上述要求,可再生能源互联网需要多学科、多方面、多层次的创新.微电子技术将会渗透到可再生能源互联网的各个层级,是可再生能源互联网的重要支撑性技术之一.文章重点围绕固态变压器、分布式储能技术、信息采集芯片技术、通信芯片技术四个方面,阐述了可再生能源互联网中的微电子技术所面临的特殊要求、技术挑战及未来可能的发展趋势. 展开更多
关键词 可再生能源互联网 微电子 固态变压器 分布式储能 信息采集芯片 自供能
原文传递
直线电机在微电子领域中的应用 被引量：5
14
作者 刘伟 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第4期311-314,共4页
直线电机是一种做直线运行的驱动电机。它的性能优劣直接影响到设备的精度、生产效率及产品的质量。文章介绍了如何用工业控制器和直线电机驱动器实现直线电机的超高速、高精度、无过冲、无振荡控制。直线电机的速度环由驱动器用ＰＰ算... 直线电机是一种做直线运行的驱动电机。它的性能优劣直接影响到设备的精度、生产效率及产品的质量。文章介绍了如何用工业控制器和直线电机驱动器实现直线电机的超高速、高精度、无过冲、无振荡控制。直线电机的速度环由驱动器用ＰＰ算法闭合，位置环由工业控制器用带速度前馈的ＰＩＤ算法闭合。 展开更多
关键词 直线电机 工业控制器 驱动器 微电子学
下载PDF
“EDA技术”课程实验教学的探索 被引量：17
15
作者 谢小东 李平 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2012年第6期181-183,共3页
结合申报"四川省精品课程"和"国家特色专业"的成功经验,从实验安排、实验内容、实验教材和实验平台等角度对该课程的实验教学进行了讨论,目的是使该课程开出特色、突出实用性,成为学生实实在在的"饭碗"... 结合申报"四川省精品课程"和"国家特色专业"的成功经验,从实验安排、实验内容、实验教材和实验平台等角度对该课程的实验教学进行了讨论,目的是使该课程开出特色、突出实用性,成为学生实实在在的"饭碗"课程。 展开更多
关键词 微电子学 EDA 教学特色
下载PDF
21世纪微电子芯片设计技术发展方向 被引量：7
16
作者 徐善锋 初秀琴 +1 位作者 李玉山 来新泉 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2001年第5期313-316,共4页
文章主要阐述了 2 1世纪微电子芯片技术及其发展的三个方向 :1 )遵照 Moore定律和按比例缩小原理继续高速发展 ;2 )系统芯片 (SOC) ;3 )智能芯片 。
关键词 专用集成电路 微电子芯片 电路设计
下载PDF
激光清洗技术的现状及展望 被引量：16
17
作者 刘雨佳 刘建华 《航空精密制造技术》 2010年第2期60-62,共3页
介绍了激光清洗技术的原理和方法,并展望了激光清洗技术在空间领域,海洋船舶甚至日常工作中的应用前景。
关键词 激光清洗 微电子
原文传递
后摩尔时代的微电子研究前沿与发展趋势 被引量：16
18
作者 孙玲 黎明 +6 位作者 吴华强 周鹏 黄森 张丽佳 潘庆 李建军 张兆田 《中国科学基金》 CSCD 北大核心 2020年第5期652-659,共8页
集成电路是信息社会的基石,当前集成电路的发展仅靠缩小器件尺寸已经难以为继,未来格局将由后摩尔时代新器件技术决定,其基础研究正面临着新材料、新结构、新原理等诸多挑战。基于国家自然科学基金委员会第231期双清论坛会议成果,本综... 集成电路是信息社会的基石,当前集成电路的发展仅靠缩小器件尺寸已经难以为继,未来格局将由后摩尔时代新器件技术决定,其基础研究正面临着新材料、新结构、新原理等诸多挑战。基于国家自然科学基金委员会第231期双清论坛会议成果,本综述围绕超越摩尔定律微电子发展路径中的核心问题,总结了国内外集成电路领域近年来取得的主要研究进展,探讨了以能效、功耗、复杂度、容错度为牵引的后摩尔时代微电子前沿研究方向,分析了我国在该领域亟需关注和解决的重要基础科学问题。 展开更多
关键词 微电子 集成电路 摩尔定律 后摩尔 新器件 科学问题
原文传递
微纳机电系统(MEMS/NEMS)前沿 被引量：16
19
作者 李志宏 《中国科学：信息科学》 CSCD 2012年第12期1599-1615,共17页
微纳机电系统(MEMS/NEMS)将处理热、光、磁、化学、生物等结构和器件通过微电子工艺及其他一些微加工工艺制作到芯片上,并通过与电路以及相互之间的集成来构筑复杂的微型系统.由于微纳机电系统具有高度的交叉性与渗透性,而使其研究和发... 微纳机电系统(MEMS/NEMS)将处理热、光、磁、化学、生物等结构和器件通过微电子工艺及其他一些微加工工艺制作到芯片上,并通过与电路以及相互之间的集成来构筑复杂的微型系统.由于微纳机电系统具有高度的交叉性与渗透性,而使其研究和发展呈现出多样性.本文立足于微纳机电系统与集成电路的交叉,侧重讨论微纳机电系统与CMOS集成电路的集成、微纳机电系统技术与纳米技术的融合,以及与现代生物技术的交叉,就一些典型的器件与工艺,介绍一些前沿发展和趋势. 展开更多
关键词 微纳机电系统 单片集成 微电子 纳米技术
原文传递
芯片尺寸封装技术 被引量：12
20
作者 杜晓松 杨邦朝 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2000年第6期418-421,共4页
芯片尺寸封装 (CSP)技术是近年来发展最为迅速的微电子封装新技术。文中介绍了该技术的基本概念、特点、主要类型及其应用现状和展望。
关键词 芯片尺寸封装 电子封装技术 微电子 集成电路
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 2 … 49 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部