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基于EMD的MEMS陀螺仪随机漂移分析方法 被引量:17
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作者 李文华 汪立新 +1 位作者 沈强 李成 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第9期1927-1932,共6页
为了抑制微机械电子系统(MEMS)陀螺仪的随机漂移,基于经验模态分解(EMD)和模态集合选择标准,结合时间序列建模滤波法,提出了一种改进的MEMS陀螺仪随机漂移分析方法。首先,通过EMD将MEMS陀螺仪原始数据分解为多个本征模态函数(IMF),利用... 为了抑制微机械电子系统(MEMS)陀螺仪的随机漂移,基于经验模态分解(EMD)和模态集合选择标准,结合时间序列建模滤波法,提出了一种改进的MEMS陀螺仪随机漂移分析方法。首先,通过EMD将MEMS陀螺仪原始数据分解为多个本征模态函数(IMF),利用模态集合选择标准将IMF分为噪声IMF、噪声与信号混合IMF和信号IMF三类;然后,对混合IMF进行重构、时间序列建模及自适应卡尔曼滤波(AKF);最后,将3类信号重构,实现MEMS陀螺仪信号去噪。实验表明:所提方法有更好的去噪效果和实时性,提高了MEMS陀螺仪的使用精度。 展开更多
关键词 微机械电子系统(mems)陀螺仪 自适应卡尔曼滤波(AKF) 时间序列模型 ALLAN方差 经验模态分解(EMD)
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基于Allan方差的MEMS陀螺仪随机误差辨识与抑制 被引量:16
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作者 马群 王庆 +1 位作者 阳媛 盛浩 《传感器与微系统》 CSCD 2019年第6期62-65,共4页
为了提高某型微机电系统(MEMS)陀螺仪输出精度,静态采集该型MEMS陀螺仪原始数据,通过Allan方差分析法,对陀螺仪随机误差成分进行辨识;以z轴输出为例,利用时间序列分析法,建立其随机误差的自回归滑动平均(ARMA)模型。根据拟合后的模型参... 为了提高某型微机电系统(MEMS)陀螺仪输出精度,静态采集该型MEMS陀螺仪原始数据,通过Allan方差分析法,对陀螺仪随机误差成分进行辨识;以z轴输出为例,利用时间序列分析法,建立其随机误差的自回归滑动平均(ARMA)模型。根据拟合后的模型参数设计卡尔曼滤波器,对原始数据进行滤波处理,再对预滤波后的数据进行Allan方差分析。结果表明:滤波后的量化噪声、角度随机游走、零偏不稳定性误差系数分别减小了2. 8%,19. 8%和8. 1%。卡尔曼滤波器能够有效抑制MEMS陀螺仪的随机误差,提高输出精度。 展开更多
关键词 微机电系统(mems)陀螺仪 随机误差 ALLAN方差 自回归滑动平均模型 卡尔曼滤波
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改进的MEMS陀螺随机噪声自适应滤波算法 被引量:13
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作者 唐晓红 赵鲁阳 +2 位作者 李鲁明 何为 王沛 《传感器与微系统》 CSCD 2018年第10期133-136,共4页
针对微机电系统(MEMS)陀螺仪随机噪声建模时,自回归滑动平均(ARMA)模型中有色噪声白化问题,提出了将有色噪声作为系统状态方程控制项,以改进解耦自适应Kalman滤波算法,从而提高MEMS陀螺仪的噪声补偿效果。实验结果表明:经改进算法滤波后... 针对微机电系统(MEMS)陀螺仪随机噪声建模时,自回归滑动平均(ARMA)模型中有色噪声白化问题,提出了将有色噪声作为系统状态方程控制项,以改进解耦自适应Kalman滤波算法,从而提高MEMS陀螺仪的噪声补偿效果。实验结果表明:经改进算法滤波后,MEMS陀螺仪噪声均方差减小85.1%,随机误差项减小41.9%;与标准Kalman滤波算法、解耦自适应Kalman滤波算法相比,改进算法的随机误差项分别减小30.5%,10.1%,能更好地降低MEMS陀螺仪随机噪声。 展开更多
关键词 微机电系统陀螺仪 自回归滑动平均模型 ALLAN方差 KALMAN滤波 自适应滤波
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双质量块调谐输出式硅MEMS陀螺仪的理论计算及仿真 被引量:12
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作者 李建利 房建成 +1 位作者 盛蔚 董海峰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期484-491,共8页
提出了一种双质量块调谐输出式硅MEMS陀螺仪。采用两块反相、同频、等幅振动质量块作为敏感单元,通过测量谐振器谐振频率变化来计算转速的大小。推导了哥氏力与输入转速的传递函数,用瑞利-里茨法求得在轴向力作用下梁的固有频率方程,利... 提出了一种双质量块调谐输出式硅MEMS陀螺仪。采用两块反相、同频、等幅振动质量块作为敏感单元,通过测量谐振器谐振频率变化来计算转速的大小。推导了哥氏力与输入转速的传递函数,用瑞利-里茨法求得在轴向力作用下梁的固有频率方程,利用马蒂厄方程分析了双端音叉谐振器的运动数学表达式及陀螺仪标度因数方程。ANSYS分析表明:谐振器固有谐振频率为4.0431×106Hz;在谐振器端部施加1×106Pa预载荷后,谐振频率偏移量为20.7 kHz。仿真结果验证了理论推导的正确性。该陀螺仪减少了振动噪声及能量损耗,消除了外界共模加速度引起的误差。 展开更多
关键词 微机电系统 陀螺仪 双质量块 双端音叉谐振器 频率输出
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基于优化KF的MEMS陀螺阵列信号融合方法 被引量:12
5
作者 刘洁瑜 沈强 +1 位作者 李灿 秦伟伟 《系统工程与电子技术》 EI CSCD 北大核心 2016年第12期2705-2710,共6页
针对微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)陀螺仪准确度低、噪声大的问题,采用陀螺阵列技术降噪以提高陀螺的使用精度。采用Allan方差法分析陀螺信号误差噪声项,依据分析结果对测量模型进行了简化,利用噪声相关性设计了一... 针对微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)陀螺仪准确度低、噪声大的问题,采用陀螺阵列技术降噪以提高陀螺的使用精度。采用Allan方差法分析陀螺信号误差噪声项,依据分析结果对测量模型进行了简化,利用噪声相关性设计了一种卡尔曼滤波器(Kalman filter,KF)对陀螺阵列进行数据融合,并对最优估计过程进行了改进,降低了数据处理的复杂度和计算量,同时从理论上分析了各参数对阵列性能的影响。为提高滤波器的动态性能,将自回归(autoregressive,AR)模型应用于陀螺真实角速率的建模。采用6个陀螺构成的阵列进行了验证实验。实验结果表明:与单个陀螺相比,陀螺阵列的噪声在静态条件下降低了144.2倍,在恒速率和正弦速率条件下噪声分别降低了18.18倍和5.36倍,证明了此建模方法和融合方法的有效性。 展开更多
关键词 微机电系统陀螺仪 陀螺阵列 自回归模型 数据融合 卡尔曼滤波
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BPNN辅助KF的MEMS陀螺仪数据处理方法 被引量:7
6
作者 段志强 刘洁瑜 +2 位作者 汪立新 李新三 沈强 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第2期284-288,共5页
针对微机电系统(MEMS)陀螺仪数据误差建模不精确或无法给出模型的情况,提出了误差反馈(BP)神经网络辅助卡尔曼滤波对陀螺仪数据进行降噪处理的方法。分析卡尔曼滤波器的系统噪声方差Q矩阵可知,当模型不精确时可通过Q补偿。基于BP神经网... 针对微机电系统(MEMS)陀螺仪数据误差建模不精确或无法给出模型的情况,提出了误差反馈(BP)神经网络辅助卡尔曼滤波对陀螺仪数据进行降噪处理的方法。分析卡尔曼滤波器的系统噪声方差Q矩阵可知,当模型不精确时可通过Q补偿。基于BP神经网络优化Q值原理,首先把采集到的MEMS陀螺仪数据输入卡尔曼滤波器得到Q;再把新息、滤波增益、量测噪声方差输入神经网络,把Q作为神经网络的输出,神经网络优化系统噪声协方差矩阵得到Q*;最后将Q*作为卡尔曼滤波算法系统噪声方差矩阵。实验结果表明,在建模不精确的情况下该方法也能有效提高陀螺仪的精度。 展开更多
关键词 微机电系统(mems)陀螺仪 数据处理 误差建模 卡尔曼滤波 BP神经网络
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MEMS陀螺仪驱动谐振频率的温度补偿方法 被引量:6
7
作者 刘玉县 汤丽 +1 位作者 陈婷 何春华 《传感器与微系统》 CSCD 2019年第5期52-54,58,共4页
微机电系统(MEMS)陀螺的模态谐振频率和品质因子具有较强的温度敏感性,使得MEMS陀螺的输出零偏随温度漂移。为了解决零偏随温度漂移问题,提出了一种基于MEMS微机械陀螺的驱动谐振频率做温度基准的零偏温度补偿方法。温度在-40~60℃范... 微机电系统(MEMS)陀螺的模态谐振频率和品质因子具有较强的温度敏感性,使得MEMS陀螺的输出零偏随温度漂移。为了解决零偏随温度漂移问题,提出了一种基于MEMS微机械陀螺的驱动谐振频率做温度基准的零偏温度补偿方法。温度在-40~60℃范围内变化,经多次循环测量陀螺零偏,获得零偏与温度之间的变化关系,并在此基础上,对零偏进行建模分析。利用谐振频率与温度的线性关系,以驱动谐振频率为温度参考,对陀螺零偏进行实时温度补偿。实验结果表明:上电零偏稳定性由补偿前的143. 81°/h变为补偿后的26. 51°/h,降低了5. 42倍;温度在-40~60℃范围内变化,补偿前后的零偏稳定性分别为1368. 05°/h和62. 86°/h,降低了22倍。 展开更多
关键词 微机电系统(mems)陀螺 驱动谐振频率 零偏 实时温度补偿
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基于MEMS陀螺仪的地下管线测绘系统 被引量:6
8
作者 杨毅 林斌 娄高峰 《传感器与微系统》 CSCD 2020年第12期88-91,95,共5页
研究并实现基于微机电系统(MEMS)陀螺仪的高速数据的采集、多传感器数据融合、高实时数据的存储以及数据读取等功能的地下管线测绘系统;并运用管道测绘算法对读取的数据进行解算,最终得到测量管道的三维轨迹。所设计的系统以STM32芯片... 研究并实现基于微机电系统(MEMS)陀螺仪的高速数据的采集、多传感器数据融合、高实时数据的存储以及数据读取等功能的地下管线测绘系统;并运用管道测绘算法对读取的数据进行解算,最终得到测量管道的三维轨迹。所设计的系统以STM32芯片为核心主控,实现对MEMS陀螺仪高速数据的完整接收以及里程信息的同步测量,运用MEMS-惯性测量单元(IMU)/里程计/不完全约束的组合定位算法对读取的数据进行导航解算,最终实现310 m长度管道的定位误差在0.15%以内。 展开更多
关键词 管道测绘 微机电系统(mems)陀螺仪 STM32芯片 里程计
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基于LMS与MAF的MEMS陀螺降噪算法 被引量:5
9
作者 胡佳 蔡成林 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2021年第9期132-134,共3页
为了减小微机电系统(MEMS)陀螺输出信号中的噪声分量,提出一种改进最小均方(LMS)算法结合移动平均滤波(MAF)的降噪方法。首先通过改进LMS算法对陀螺数据进行预处理,然后量化分析MAF不同滑动窗口长度以及滤波器收敛因子对陀螺仪噪声抑制... 为了减小微机电系统(MEMS)陀螺输出信号中的噪声分量,提出一种改进最小均方(LMS)算法结合移动平均滤波(MAF)的降噪方法。首先通过改进LMS算法对陀螺数据进行预处理,然后量化分析MAF不同滑动窗口长度以及滤波器收敛因子对陀螺仪噪声抑制的效果;最后,采用MEMS陀螺仪惯性测量单元搭建测试环境,将所提出算法应用于实际降噪研究中,并分别与小波降噪以及传统LMS进行对比。采用Allan方差(AV)对MEMS陀螺仪随机误差参数进行辨识,结果表明:经过LMS-MAF算法滤波处理后的陀螺各项误差系数明显减小,角随机游走、量化噪声、零偏不稳定性、速度斜坡、速度随机游走均降低90%以上,大大降低了陀螺仪噪声,有效提高了陀螺仪精度。 展开更多
关键词 微机电系统陀螺 最小均方算法 移动平均滤波 信号降噪 ALLAN方差
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电容式环形微机电振动陀螺的设计 被引量:4
10
作者 寇志伟 曹慧亮 +2 位作者 石云波 张英杰 刘俊 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期842-848,共7页
针对环形振动陀螺结构对称、模态特性参数相同与抗干扰特性好的特点,提出了一种新型的电容式环形微机电振动陀螺。设计了S形弹性支撑梁形式的硅基环形振动陀螺敏感结构,并仿真分析了陀螺的工作模态与幅频响应特性。根据环形振动陀螺的... 针对环形振动陀螺结构对称、模态特性参数相同与抗干扰特性好的特点,提出了一种新型的电容式环形微机电振动陀螺。设计了S形弹性支撑梁形式的硅基环形振动陀螺敏感结构,并仿真分析了陀螺的工作模态与幅频响应特性。根据环形振动陀螺的动力学特性,研究了陀螺的机电接口形式与硅基电极的设置方法,建立了硅基电极的电学参数模型与陀螺的角速度敏感模型。基于深离子刻蚀技术设计了简单可行的传感器制备流程,并成功制备了陀螺的敏感结构。实验测试结果显示,该环形微机电振动陀螺驱动与检测模态的谐振频率分别为9 028.86Hz与9 036.15Hz,品质因数分别为25 051与25 026,标度因数为0.589 7mV/((°)·s^(-1))。实验结果验证了陀螺设计与研究方法的正确性,为高性能硅基微机电陀螺的研制提供了一种可行的方案。 展开更多
关键词 微机电系统 环形微机电陀螺 敏感结构 电容电极 加工工艺
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Suppressing the mechanical quadrature error of a quartz double-H gyroscope through laser trimming 被引量:2
11
作者 赵克 冯立辉 +4 位作者 王茜蒨 刘明智 王本国 崔芳 孙雨南 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第11期622-628,共7页
In this paper, we introduce a z-axis quartz gyroscope using a double-H tuning fork, which has a high sensitivity. However, it also causes a large mechanical quadrature error. The laser trimming method is used to suppr... In this paper, we introduce a z-axis quartz gyroscope using a double-H tuning fork, which has a high sensitivity. However, it also causes a large mechanical quadrature error. The laser trimming method is used to suppress this error at quartz level. The trimming law is obtained through the finite element method (FEM). A femtosecond laser processing system is used to trim the gold balancing masses on the beams, and experimental results are basically consistent with the simulated ones. The mechanical quadrature error is suppressed by 96%, from 26.3° s-1 to 1.1° s-1. Nonlinearity changes from 1.48% to 0.30%, angular random walk (ARW) is reduced from 2.19° h-1/2 to 1.42° h-1/2, and bias instability is improved by a factor of 7.7, from 197.6° h-1 to 25.4° h-1. 展开更多
关键词 femtosecond laser trimming micro-electro-mechanical system mems gyroscope finite elementmethod (FEM) simulation
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一种低成本陀螺仪信号温漂补偿方法的研究 被引量:3
12
作者 季凯源 熊天武 《舰船电子对抗》 2019年第4期97-99,共3页
在高动态、恶劣温度环境下,微机电系统(MEMS)陀螺仪受温度变化的影响巨大。通过理论推导研究陀螺仪温度漂移的影响,并设计试验进行验证。根据试验结果建立温漂补偿模型,对陀螺仪温漂进行补偿,能够有效地改善陀螺仪测量精度。
关键词 mems陀螺仪 温度漂移 建模补偿
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抗过载微陀螺结构的高灵敏设计与仿真 被引量:3
13
作者 褚伟航 李孟委 +1 位作者 王宾 吴承根 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期833-836,共4页
为解决高过载微陀螺难以实现高灵敏检测的问题,设计了一种高灵敏且高过载的微陀螺结构。设计的微陀螺结构驱动模态与检测模态的频率高度匹配,提高了微陀螺的结构灵敏度。该微陀螺采用面内检测方式,驱动与检测模态阻尼类型主要为滑膜阻尼... 为解决高过载微陀螺难以实现高灵敏检测的问题,设计了一种高灵敏且高过载的微陀螺结构。设计的微陀螺结构驱动模态与检测模态的频率高度匹配,提高了微陀螺的结构灵敏度。该微陀螺采用面内检测方式,驱动与检测模态阻尼类型主要为滑膜阻尼,实现了在大气压环境下微陀螺的高品质因数Q值设计。微陀螺均采用双悬臂梁设计,增加了微陀螺结构的稳定性,进而提高了其抗过载能力。最后通过微陀螺的器件级仿真,得到了所设计陀螺结构在驱动方向过载能力约为100 000g(g=9.8m/s^2),检测方向过载能力约为70 000g的前提下,结构灵敏度为53nm/[(°)/s]。 展开更多
关键词 微机电系统(mems)陀螺 结构设计 结构灵敏度 高过载
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MEMS陀螺混合误差标定方法研究 被引量:3
14
作者 龚大伟 刘宇 +2 位作者 钟懿 向高林 吕玲 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2016年第2期298-303,共6页
微机电系统(MEMS)陀螺仪具有尺寸小,可靠性强的特点,已广泛应用于各种微姿态仪中,而陀螺的安装误差是影响姿态仪输出精度的主要因素之一。现有的陀螺安装误差模型是建立在确定的刻度因子和零偏基础上,但实际应用中,陀螺的刻度因子存在误... 微机电系统(MEMS)陀螺仪具有尺寸小,可靠性强的特点,已广泛应用于各种微姿态仪中,而陀螺的安装误差是影响姿态仪输出精度的主要因素之一。现有的陀螺安装误差模型是建立在确定的刻度因子和零偏基础上,但实际应用中,陀螺的刻度因子存在误差,且零偏随温度和转速发生变化。该文提出了一种改进的误差标定和补偿方法,并针对模型中MEMS的零偏温度和转速非线性误差问题,运用BP神经网络,实现了模型零偏动态补偿。实验表明,采用该文提出的标定方法,陀螺的角速率误差由1.5(°)/s提高至0.05(°)/s。验证了标定方法的可行性。 展开更多
关键词 BP神经网络 微机电系统(mems)陀螺仪 安装误差 零偏补偿 温度 转速
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基于自适应KF动态虚拟陀螺数据融合算法的研究 被引量:3
15
作者 熊泰然 陈雯雯 +2 位作者 陈宏宇 高海云 吉言超 《上海航天(中英文)》 CSCD 2021年第6期124-130,共7页
微机电系统(MEMS)陀螺与光纤陀螺相比,传感器的精度较低。为了提高MEMS陀螺的精度,通过组合多个相同陀螺实现虚拟陀螺的功能,同时提高虚拟陀螺的静态和动态性能。通过分析陀螺的Allan方差,并考虑陀螺之间的相关性,建立陀螺的测量模型;... 微机电系统(MEMS)陀螺与光纤陀螺相比,传感器的精度较低。为了提高MEMS陀螺的精度,通过组合多个相同陀螺实现虚拟陀螺的功能,同时提高虚拟陀螺的静态和动态性能。通过分析陀螺的Allan方差,并考虑陀螺之间的相关性,建立陀螺的测量模型;使用自回归(AR)模型建立预测模型,对卡尔曼滤波(KF)算法进行优化;搭建多MEMS陀螺仪硬件平台,获取数据并实时计算,融合多陀螺数据输出最优估计值,使用高精度转台分别在静态和动态条件下测试滤波效果。实验结果表明:静态条件下虚拟陀螺误差的方差可降低为单个陀螺的1/94,动态条件下降低为单个陀螺的1/18。基于自适应KF的虚拟陀螺可以显著提高精度。 展开更多
关键词 微机电系统 虚拟陀螺 ALLAN方差 实时计算 自适应KF
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联合滤波算法在MEMS陀螺降噪中的应用 被引量:3
16
作者 彭关龙 陈科 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第3期154-157,共4页
针对微机电系统(MEMS)陀螺仪输出噪声大、精度低的问题,提出将卡尔曼(Kalman)阵列与实时小波阈值联合滤波方法用于MEMS陀螺降噪中。首先,利用Kalman阵列进行预处理,然后利用实时小波阈值算法对信号进行后处理,以达到对陀螺随机噪声抑制... 针对微机电系统(MEMS)陀螺仪输出噪声大、精度低的问题,提出将卡尔曼(Kalman)阵列与实时小波阈值联合滤波方法用于MEMS陀螺降噪中。首先,利用Kalman阵列进行预处理,然后利用实时小波阈值算法对信号进行后处理,以达到对陀螺随机噪声抑制的目的。将此算法应用在MEMS陀螺的动静态实验中,实验结果表明:在静态实验中,所提算法在陀螺噪声方差上降低了近45倍,效果明显优于Kalman阵列和实时小波阈值滤波方法;在动态实验中,所提算法在陀螺噪声方差上降低了5倍,相较于Kalman阵列、实时小波阈值滤波算法,噪声方差分别减少了60.1%,37.1%。 展开更多
关键词 微机电系统陀螺仪 卡尔曼阵列 实时小波 联合滤波
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Novel On-Line North-Seeking Method Based on a Three-Axis MEMS Gyroscope 被引量:1
17
作者 Yu Liu Gaojun Xiang +1 位作者 Junqi Guo Min Zhou and Hongzhi Liu 《Journal of Beijing Institute of Technology》 EI CAS 2018年第4期623-629,共7页
A novel on-line north-seeking method based on a three-axis micro-electro-mechanical system(MEMS)gyroscope is designed.This system processes data by using a Kalman filter to calibrate the installation error of the thre... A novel on-line north-seeking method based on a three-axis micro-electro-mechanical system(MEMS)gyroscope is designed.This system processes data by using a Kalman filter to calibrate the installation error of the three-axis MEMS gyroscope in complex environment.The attitude angle updating for quaternion,based on which the attitude instrument will be rotated in real-time and the true north will be found.Our experimental platform constitutes the dual-axis electric rotary table and the attitude instrument,which is developed independently by our scientific research team.The experimental results show that the accuracy of north-seeking is higher than 1°,while the maximum root mean square error and the maximum mean absolute error are 0.906 7 and 0.910 0,respectively.The accuracy of north-seeking is much higher than the traditional method. 展开更多
关键词 micro-electro-mechanical system(mems)gyroscope QUATERNION rotating system in realtime NORTH-SEEKING
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基于静电调修的圆盘结构MEMS陀螺仪 被引量:2
18
作者 张林欣 王俊铎 沈文江 《传感器与微系统》 CSCD 2020年第5期71-73,80,共4页
设计了一种采用微机电系统(MEMS)技术的绝缘体上硅(SOI)与玻璃阳极键合工艺的陀螺仪。分析了提高陀螺仪性能的主要手段,结合实际工艺能力,设计了较大电容极板正对面积的器件。利用真空腔、网络分析仪、跨阻放大器、直流电源,进行扫频实... 设计了一种采用微机电系统(MEMS)技术的绝缘体上硅(SOI)与玻璃阳极键合工艺的陀螺仪。分析了提高陀螺仪性能的主要手段,结合实际工艺能力,设计了较大电容极板正对面积的器件。利用真空腔、网络分析仪、跨阻放大器、直流电源,进行扫频实验,得到了器件的幅频响应特性。基于MEMS陀螺仪的工作原理,设计静电调修的方法,实现了器件驱动轴和敏感轴的谐振频率裂解从293.75 Hz缩小到6.25 Hz。 展开更多
关键词 微机电系统(mems)陀螺仪 静电调修 圆盘结构 阳极键合
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石英微机电陀螺的频率干扰特性研究 被引量:2
19
作者 林日乐 谢佳维 +6 位作者 王伟 董勇 蒋昭兴 冉龙明 李文蕴 罗华 朱振忠 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第2期186-188,共3页
石英微机电陀螺是一种哥氏(Coriolis)振动陀螺,其敏感芯片采用音叉式结构,工作时音叉处于谐振状态。敏感芯片具有多阶模态,前9阶模态覆盖频率为3~21 kHz。敏感芯片的部分模态易受外部振动影响而导致敏感芯片产生共振,使陀螺产生零位偏... 石英微机电陀螺是一种哥氏(Coriolis)振动陀螺,其敏感芯片采用音叉式结构,工作时音叉处于谐振状态。敏感芯片具有多阶模态,前9阶模态覆盖频率为3~21 kHz。敏感芯片的部分模态易受外部振动影响而导致敏感芯片产生共振,使陀螺产生零位偏移误差,陀螺的零位偏移误差可达0.5(°)/s。该文分析了敏感芯片模态共振误差机理,提出通过结构错频设计避免外部环境特定频率对敏感芯片的影响,从而抑制了零位偏移误差,零位偏移误差减小到约0.03(°)/s,提高了陀螺的振动环境适应性。 展开更多
关键词 石英 微机电陀螺 频率干扰 模式 振动
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MEMS陀螺芯片的晶圆级真空封装 被引量:2
20
作者 刘福民 张乐民 +2 位作者 张树伟 刘宇 王学锋 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第1期15-18,23,共5页
微机电系统(MEMS)陀螺需要真空封装以确保其检测精度,晶圆级真空封装可以使MEMS微结构避免芯片切割过程中的粘连以及颗粒污染,提高芯片的成品率。为实现MEMS陀螺芯片的晶圆级真空封装,提出了一种全硅MEMS陀螺芯片的晶圆级真空封装结构方... 微机电系统(MEMS)陀螺需要真空封装以确保其检测精度,晶圆级真空封装可以使MEMS微结构避免芯片切割过程中的粘连以及颗粒污染,提高芯片的成品率。为实现MEMS陀螺芯片的晶圆级真空封装,提出了一种全硅MEMS陀螺芯片的晶圆级真空封装结构方案,并突破了Si-SiO_(2)直接键合、吸气剂制备、金-硅(Au-Si)键合等关键技术,实现了MEMS芯片的晶圆级真空封装。Si-SiO_(2)直接键合和Au-Si共晶键合的剪切强度分别达到了56.5 MPa和35.5 MPa,表明晶圆级封装中晶圆键合强度满足晶圆级真空封装的需要。晶圆级真空封装实现陀螺仪谐振最大Q值为103879,对应的真空压力为2 Pa左右,陀螺仪芯片已达到MEMS陀螺工程化的需要。 展开更多
关键词 晶圆级真空封装 微机电系统陀螺仪 硅-二氧化硅直接键合 金-硅键合 吸气剂
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