提高微细电解加工精度的研究 被引量：10

1

作者 王明环 朱荻 徐惠宇 《电加工与模具》 2005年第3期30-32,36,共4页

对影响微细电解加工精度的因素进行了详细的分析,提出了改善加工精度的方法,如以循环进刀代替直接进刀方式、采用脉冲加工电源、改善阴极的结构设计以及采用非线性电解液等。最后,结合实验对这些方法的可行性与有效性进行了验证。

关键词 加工精度 微细 非线性电解液 进刀方式 脉冲加工 结构设计

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加工间隙内电解产物对微细电解加工的影响分析 被引量：10

2

作者 马晓宇 李勇 +1 位作者 吕善进 胡满红 《电加工与模具》 2008年第6期31-35,共5页

微细电解加工时,由于间隙微小,生成的电解产物因难以从加工区域中移除而降低了加工速度甚至中断加工。为保证加工的持续进行,利用工具电极作间歇快速回退是移除间隙内的电解产物、更新电解液的有效途径之一。论文研究分析了间歇回退加... 微细电解加工时,由于间隙微小,生成的电解产物因难以从加工区域中移除而降低了加工速度甚至中断加工。为保证加工的持续进行,利用工具电极作间歇快速回退是移除间隙内的电解产物、更新电解液的有效途径之一。论文研究分析了间歇回退加工情况下电解产物移除速率对加工速度的影响,结果表明:加工速度并不随加工间隙的减小而单调增大,实际加工速度存在极限值(极大值)。为兼顾加工效率和加工精度,应以与之对应的间隙值作为实际加工间隙。 展开更多

关键词 微细电解加工 电解产物 加工速度 间歇回退

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电解铣削加工技术研究进展及展望 被引量：7

3

作者 曲宁松 刘洋 +1 位作者 张峻中 房晓龙 《电加工与模具》 2021年第2期1-14,共14页

电解铣削加工技术具有加工柔性好、工具电极无损耗及与待加工材料力学性能无关等特点,在高效、精密加工难切削加工材料制作的复杂结构方面具有重要的应用前景,成为电解加工技术研究的热点。详细介绍了国内外研究者在电解铣削的材料去除... 电解铣削加工技术具有加工柔性好、工具电极无损耗及与待加工材料力学性能无关等特点,在高效、精密加工难切削加工材料制作的复杂结构方面具有重要的应用前景,成为电解加工技术研究的热点。详细介绍了国内外研究者在电解铣削的材料去除机制、加工过程建模及加工工艺等方面的研究进展,发现目前距离该技术的规模化工程应用仍有加工精度、表面质量及加工效率等方面的诸多挑战,需在加工过程中就精确建模、提高加工效率、创新复杂型面加工工艺及复合加工方法等取得突破性进展,从而为规模化工程应用奠定技术基础。 展开更多

关键词 电解加工 电解铣削 微细电解加工 材料去除机制 加工过程模型 复合加工

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微细特种加工组合系统及应用 被引量：1

4

作者 贾宝贤 郭景哲 王冬生 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期1117-1120,共4页

为了改善微细特种加工工艺,提出并研究了具有实体工具的微细特种加工的组合技术.对几种微细特种加工工艺进行分析,找出其共同特征.将微细电火花、微细超声、微细电解加工组合在同一系统中.采用了模块化设计,针对该系统研制了基本模块,... 为了改善微细特种加工工艺,提出并研究了具有实体工具的微细特种加工的组合技术.对几种微细特种加工工艺进行分析,找出其共同特征.将微细电火花、微细超声、微细电解加工组合在同一系统中.采用了模块化设计,针对该系统研制了基本模块,配备了视频显微系统.用微细电火花工艺加工出直径5μm的微细轴和直径6μm的微细孔以及形状复杂的微结构,用倒置式电火花-超声复合工艺加工出深径比>25的微细孔,用微细超声工艺加工出直径13μm的微细孔,用微细电解工艺加工出直径100μm的微细孔.这种组合扩大了微细特种加工的范围,提高了加工效率. 展开更多

关键词 微细加工 电火花加工 超声加工 电解加工 特种加工

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微细电火花加工及表面重铸层电解去除装置的设计 被引量：2

5

作者 褚旭阳 全学军 《机床与液压》 北大核心 2020年第4期71-74,85,共5页

微细电火花加工工件表面的重铸层影响加工精度和使用性能,为此设计了具有微细电火花加工及电解去除表面重铸层功能的集成装置。该装置由运动平台、伺服控制、脉冲电源等关键部分组成,集成了微细电火花和微细电解加工功能。针对不同加工... 微细电火花加工工件表面的重铸层影响加工精度和使用性能,为此设计了具有微细电火花加工及电解去除表面重铸层功能的集成装置。该装置由运动平台、伺服控制、脉冲电源等关键部分组成,集成了微细电火花和微细电解加工功能。针对不同加工方法采用不同的控制策略,解决了微细电火花加工与电解加工在同一设备上的集成问题。通过实验验证,该装置可以很好地实现微细电火花加工表面重铸层的在线去除,且去除厚度可通过改变加工参数的形式来控制。 展开更多

关键词 微细电火花加工 电解加工 重铸层

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电化学腐蚀法制备倒锥状微细电极的试验研究 被引量：2

6

作者 谢岩甫 刘壮 陈伟 《电加工与模具》 2011年第1期18-22,共5页

以电化学腐蚀加工法为基础,提出了一种加工复杂形状微细电极的工艺方法。利用端面绝缘的方法改变阳极的局部导电性,使阳极和阴极之间的电场分布发生变化,从而得到倒锥状微细电极。通过试验成功地制备出倒锥状微细电极,并结合对比圆柱状... 以电化学腐蚀加工法为基础,提出了一种加工复杂形状微细电极的工艺方法。利用端面绝缘的方法改变阳极的局部导电性,使阳极和阴极之间的电场分布发生变化,从而得到倒锥状微细电极。通过试验成功地制备出倒锥状微细电极,并结合对比圆柱状电极进行了微孔电解加工试验,结果证明倒锥状电极在微孔电解加工中能获得更好的加工定域性。 展开更多

关键词 电化学腐蚀 微细电解加工 微细电极制备 加工定域性

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金属微孔网板微细电解加工技术研究 被引量：2

7

作者 王磊 朱荻 +1 位作者 曲宁松 王明环 《电加工与模具》 2007年第2期24-27,共4页

提出了采用微细圆柱群电极电解加工金属网板微孔的工艺方法。以电化学腐蚀法制备了直径(72μm)一致的单排微细圆柱群电极,并用此群电极为工具阴极,进行了网板微孔的电解加工工艺试验,实现了金属微孔网板的稳定电解加工。

关键词 微细电解加工 群电极 微孔网板

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摩擦副表面微坑结构的微细电解加工技术研究 被引量：1

8

作者 薛宝 曲宁松 +1 位作者 李寒松 陈建宁 《电加工与模具》 2008年第1期32-35,共4页

降低发动机的机械损失一直是研究热点,在摩擦副表面加工微坑,作为改善滑动摩擦的方法已引起了研究者的重视。提出了采用微细圆柱群电极电解加工微坑的工艺方法。以电火花反拷贝的方法制备了直径为250μm的单排微细圆柱群电极,进行微坑... 降低发动机的机械损失一直是研究热点,在摩擦副表面加工微坑,作为改善滑动摩擦的方法已引起了研究者的重视。提出了采用微细圆柱群电极电解加工微坑的工艺方法。以电火花反拷贝的方法制备了直径为250μm的单排微细圆柱群电极,进行微坑的排电极电解加工工艺实验,获得了平均直径361μm、深度7.8μm的摩擦副表面微坑。 展开更多

关键词 微细电解加工 微坑 电火花加工 群电极

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电解转印法加工凹坑阵列结构试验研究 被引量：4

9

作者 杜海涛 曲宁松 +1 位作者 李寒松 钱双庆 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期172-178,共7页

为得到降低摩擦副表面磨损所需的微小凹坑阵列结构,提出电解转印法加工凹坑阵列的工艺方法。对电解转印法加工过程进行有限元仿真,分析光刻胶膜厚度对凹坑尺寸和形状的影响。用光刻的方法制作尺寸均一,单个孔径为100μm的阴极平板。进... 为得到降低摩擦副表面磨损所需的微小凹坑阵列结构,提出电解转印法加工凹坑阵列的工艺方法。对电解转印法加工过程进行有限元仿真,分析光刻胶膜厚度对凹坑尺寸和形状的影响。用光刻的方法制作尺寸均一,单个孔径为100μm的阴极平板。进行微细电解加工试验,试验分析脉冲电源频率和脉冲占空比对加工结果的影响。结果表明,采用电解转印法加工微小凹坑阵列结构,可以获得平均直径为200μm,深度10μm的凹坑阵列。 展开更多

关键词 光刻 微细电解加工 凹坑阵列

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三维微细电解加工微型腔侧壁缺陷的形成机理与改进机制

10

作者 伍朝志 伍晓宇 +1 位作者 徐斌 雷建国 《电加工与模具》 2020年第5期27-30,35,共5页

针对三维微细电解加工较大深度的微型腔时侧壁存在大量微孔缺陷的问题,采用一种三维叠层微电极振动辅助电解加工三维微型腔的方法,分别利用纯NaNO3电解液和含有均匀悬浮B4C粉末的NaNO3电解液进行微细电解加工实验,制备深度大于800μm、... 针对三维微细电解加工较大深度的微型腔时侧壁存在大量微孔缺陷的问题,采用一种三维叠层微电极振动辅助电解加工三维微型腔的方法,分别利用纯NaNO3电解液和含有均匀悬浮B4C粉末的NaNO3电解液进行微细电解加工实验,制备深度大于800μm、具有复杂孤岛结构的三维微型腔,并聚焦研究三维微型腔侧壁缺陷的形成机理与改进机制。结果表明,在NaNO3电解液中添加B4C粉末后,可避免微细电解加工产生微盲孔与微孔条纹,侧壁质量得到明显提升。 展开更多

关键词 三维微细电解加工 振动辅助 气膜 微盲孔

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微细电解加工系统三维实体零件几何尺寸信息的提取研究

11

作者 韩金臻 张长富 +1 位作者 张振羽 孙立力 《河南机电高等专科学校学报》 CAS 2013年第6期5-7,36,共4页

针对目前微细电解加工系统存在的零件信息输入直观性差、过程复杂等问题,提出利用SolidWorks进行零件三维建模并自动提取加工所需几何信息的方法。利用VB作为开发工具,调用SolidWorks API函数建立了零件几何尺寸信息提取与保存功能模块... 针对目前微细电解加工系统存在的零件信息输入直观性差、过程复杂等问题,提出利用SolidWorks进行零件三维建模并自动提取加工所需几何信息的方法。利用VB作为开发工具,调用SolidWorks API函数建立了零件几何尺寸信息提取与保存功能模块,实现了微细电解加工三维实体零件建模与工艺规划子系统的互联。研究表明:利用SolidWorks API开发的用户功能模块可以有效获得加工所需的几何信息,有助于建立微细电解加工系统设计模块与工艺模块互连模块之间的信息沟通。 展开更多

关键词 微细电解加工系统 SOLID WORKS 三维实体建模 几何信息提取

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微细电化学加工电源的设计与研究 被引量：7

12

作者 杨光 郑云飞 李勇 《电加工与模具》 2002年第2期25-28,共4页

加工电源的频率、波形等输出特性在很大程度上影响微细电化学加工的效果。本文提出的微细电化学加工电源系统包括硬件和软件两个模块 ,其中硬件模块包括计算机、接口电路、功率放大电路和信号检测电路 ;软件模块包括驱动程序和控制程序... 加工电源的频率、波形等输出特性在很大程度上影响微细电化学加工的效果。本文提出的微细电化学加工电源系统包括硬件和软件两个模块 ,其中硬件模块包括计算机、接口电路、功率放大电路和信号检测电路 ;软件模块包括驱动程序和控制程序。该电源系统可产生多种波形 ,且能实现对加工过程的自适应控制 ,从而满足微细电化学加工工艺研究的需求。 展开更多

关键词 加工电源 状态检测 自适应控制 微细电化学加工 设计

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微细电解加工用电极的侧壁绝缘及应用实验 被引量：11

13

作者 刘改红 李勇 +2 位作者 陈旭鹏 马晓宇 朱效谷 《电加工与模具》 2009年第4期28-31,39,共5页

介绍了一种微细电解加工用电极的侧壁绝缘方法及其应用实验。采用旋涂法在电极表面涂敷液态环氧树脂并固化处理，重复该过程形成多层绝缘薄膜，用机械磨削法去除电极端部的绝缘膜，使电极端面导电。通过基础工艺实验优化了旋涂法工艺参... 介绍了一种微细电解加工用电极的侧壁绝缘方法及其应用实验。采用旋涂法在电极表面涂敷液态环氧树脂并固化处理，重复该过程形成多层绝缘薄膜，用机械磨削法去除电极端部的绝缘膜，使电极端面导电。通过基础工艺实验优化了旋涂法工艺参数，通过对比实验验证了侧壁绝缘电极的微孔加工效果。旋涂法可制得膜厚为5～10 μm的侧壁绝缘电极，采用该电极加工可显著减小微孔直径及锥度，提高微细电解加工尺寸精度。 展开更多

关键词 微细电解加工 微细电极 侧壁绝缘 微细孔

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微细阵列方形轴孔的电火花和电化学组合加工工艺研究 被引量：8

14

作者 翁明浩 王振龙 《电加工与模具》 2007年第5期5-8,共4页

对微细阵列轴孔的电火花、电化学组合加工工艺进行了分析和研究。用微细电火花线切割机加工出3×3至10×10系列方形阵列电极,宽度在25-90μm,加工中采用降低加工电压、加工电流、进给速度和减小工作液冲击等方法,获得了质量较... 对微细阵列轴孔的电火花、电化学组合加工工艺进行了分析和研究。用微细电火花线切割机加工出3×3至10×10系列方形阵列电极,宽度在25-90μm,加工中采用降低加工电压、加工电流、进给速度和减小工作液冲击等方法,获得了质量较好的阵列电极,并分别利用微细电化学加工和微细电火花加工两种工艺方法进行阵列孔加工。在加工过程中通过适度间歇抬刀、超声振动、循环流动工作液等方法,较好地解决了微弧放电、排屑、加工区温度过高等加工难题,获得了质量较好的大小在30-100μm相应的阵列孔,从而实现了微细阵列轴孔的电火花、电化学组合加工,为大规模微细阵列轴孔的加工开辟了高效、可行的新工艺方法。 展开更多

关键词 微细电火花加工 微细电化学加工 阵列电极 阵列孔

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微细电加工应用技术研究 被引量：5

15

作者 李勇 《电加工与模具》 2009年第B04期32-37,共6页

微细电加工要达到工业应用的目的,需兼顾加工效率和加工精度两方面的要求。以微细孔、微细三维结构的加工为目标,进行了微细孔电火花加工、三维微细结构电火花伺服扫描加工及微细电化学加工技术的研究开发。设计出微细电极的损耗补偿进... 微细电加工要达到工业应用的目的,需兼顾加工效率和加工精度两方面的要求。以微细孔、微细三维结构的加工为目标,进行了微细孔电火花加工、三维微细结构电火花伺服扫描加工及微细电化学加工技术的研究开发。设计出微细电极的损耗补偿进给和导向机构,开发出三维微细结构的电火花伺服扫描加工工艺,研究了采用阵列微细电极的微细电化学加工方法。微细孔电火花加工可连续加工直径小至100μm的孔。伺服扫描电火花加工可便捷地在小于1mm2区域内加工出三维微细结构。提出的微细电化学加工技术路线拟将微细电解加工应用于阵列微细孔和三维微细结构的加工。 展开更多

关键词 微细电火花加工 微细电化学加工 电极损耗 伺服进给 伺服扫描

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微细电解加工技术的概况与展望 被引量：4

16

作者 谢岩甫 刘壮 陈伟 《电加工与模具》 2010年第6期1-6,35,共7页

概括总结了微细电解加工的典型技术,综合分析了近几年微细电解加工技术的研究成果和最新进展,包括脉冲电源、新型电解液、复合加工、微器件加工以及基础理论等方面,展望了其未来的研究重点和发展趋势。

关键词 微细电解加工 技术概况 展望

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纳秒脉冲电流提高微细电化学加工精度的研究 被引量：3

17

作者 张朝阳 朱荻 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第14期1716-1719,1723,共5页

分析了电极反应的暂态过程,探讨了超短脉冲电流提高电化学加工精度的机理,并根据法拉第定律和巴特勒伏尔摩方程建立了电化学暂态加工的数学模型。在微细电化学加工系统中,采用纳秒级的超短脉冲电流,通过加工试验验证了理论分析,加工出... 分析了电极反应的暂态过程,探讨了超短脉冲电流提高电化学加工精度的机理,并根据法拉第定律和巴特勒伏尔摩方程建立了电化学暂态加工的数学模型。在微细电化学加工系统中,采用纳秒级的超短脉冲电流,通过加工试验验证了理论分析,加工出了直径为20μm的微小孔。 展开更多

关键词 微细电化学加工 纳秒脉冲电流 理论模型 加工精度

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间歇回退对微细电解加工的影响分析及实验研究 被引量：3

18

作者 马晓宇 李勇 《航天制造技术》 2009年第6期6-11,共6页

微细电解加工时,微小加工间隙内的电解产物难以移除,会降低加工效率、影响加工稳定性和质量。分析了电解产物对加工的影响机理,提出了利用工具电极间歇快速回退移除加工间隙内电解产物、增强电解液更新的方法,研究了间歇回退对加工稳定... 微细电解加工时,微小加工间隙内的电解产物难以移除,会降低加工效率、影响加工稳定性和质量。分析了电解产物对加工的影响机理,提出了利用工具电极间歇快速回退移除加工间隙内电解产物、增强电解液更新的方法,研究了间歇回退对加工稳定性、效率以及精度的影响规律,研究结果表明:对于加工稳定性和效率而言,工具电极的间歇回退时机存在最优值,此时加工较稳定、效率较高;对于加工精度而言,单次进给时间较短时有利于提高加工的尺寸精度。 展开更多

关键词 微细电解加工 工具电极 间歇回退 电解产物 电解液更新

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综合改善微细电解加工精度的工艺研究 被引量：3

19

作者 马晓宇 李勇 +1 位作者 胡满红 刘改红 《电加工与模具》 2009年第5期24-29,共6页

电解加工的阳极电化学溶解原理使其在微细加工领域具有巨大的发展潜力,但杂散腐蚀和流场条件恶劣制约加工精度的提高。分析了影响微细电解加工的主要因素,提出综合改善微细电解加工精度的工艺途径。理论分析和实验研究均表明:将LIGA工... 电解加工的阳极电化学溶解原理使其在微细加工领域具有巨大的发展潜力,但杂散腐蚀和流场条件恶劣制约加工精度的提高。分析了影响微细电解加工的主要因素,提出综合改善微细电解加工精度的工艺途径。理论分析和实验研究均表明:将LIGA工艺制备高质量微细阵列电极、电极侧壁绝缘、高频脉冲电流及非线性电解液加工、电极间歇回退伺服控制等方法有机结合,能有效约束电场、改善流场,提高微细电解加工的精度。 展开更多

关键词 微细电解加工 加工精度 电场约束 间歇回退

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超声扰动在微孔电解加工中作用机理的研究 被引量：2

20

作者 王蕾 赵志强 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2016年第10期83-88,共6页

深入分析了超声扰动电解液在微孔电解加工中的作用机理,提出了超声空化效应是引起加工间隙内电解液流场参数分布发生变化的主要因素。借助有限元分析软件COMSOL Multiphysics建立加工间隙区内声场的仿真模型,对声压的分布变化进行分析... 深入分析了超声扰动电解液在微孔电解加工中的作用机理,提出了超声空化效应是引起加工间隙内电解液流场参数分布发生变化的主要因素。借助有限元分析软件COMSOL Multiphysics建立加工间隙区内声场的仿真模型,对声压的分布变化进行分析求解。通过对仿真结果的分析,验证了超声扰动作用在加工间隙区域内存在空化效应。进行了微孔电解加工实验,比较了不同频率的超声波对加工间隙区域的作用效果,结果显示:在一定范围内的低频率超声扰动更容易在加工间隙区域中形成超声空化,更有利于提高微孔电解加工的精度。 展开更多

关键词 超声 微细电解加工 电解液流场 空化效应

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