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基于柔性MEMS皮肤技术温度传感器阵列的研究 被引量:22
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作者 肖素艳 车录锋 +1 位作者 李昕欣 王跃林 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期674-680,共7页
采用MEMS皮肤技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功研制出8×8阵列铂薄膜热敏电阻温度传感器。实验采用热氧化硅片为机械载体,以便于旋涂液态聚酰亚胺柔性衬底上器件的加工。最后用湿法腐蚀方法将柔性器件从载体上释放下来。试验表明聚酰... 采用MEMS皮肤技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功研制出8×8阵列铂薄膜热敏电阻温度传感器。实验采用热氧化硅片为机械载体,以便于旋涂液态聚酰亚胺柔性衬底上器件的加工。最后用湿法腐蚀方法将柔性器件从载体上释放下来。试验表明聚酰亚胺衬底上的铂薄膜热敏电阻与温度的变化具有良好的线性,其电阻温度系数达0.0023/℃。与固态聚酰亚胺膜衬底相比,采用旋涂液态聚酰亚胺解决了制备中遇到的两大主要困难:其一,消除了涂聚酰亚胺衬底与载体界面之间的气泡,聚酰亚胺衬底表面能保持良好平整度;其二,制备过程中由于热循环而使柔性衬底产生的热膨胀明显减小。这种柔性温度传感器阵列易贴于高曲率物体表面以探测小面积温度场分布。 展开更多
关键词 皮肤技术 聚酰亚胺 柔性衬底 铂薄膜电阻 温度传感器
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CVD growth of fingerprint-like patterned 3D graphene film for an ultrasensitive pressure sensor 被引量:18
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作者 Kailun Xia Chunya Wang +2 位作者 Muqiang Jian Qi Wang Yingying Zhang 《Nano Research》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第2期1124-1134,共11页
With the rapid development of wearable devices, flexible pressure sensors with high sensitivity and wide workable range are highly desired. In nature, there are many well-adapted structures developed through natural s... With the rapid development of wearable devices, flexible pressure sensors with high sensitivity and wide workable range are highly desired. In nature, there are many well-adapted structures developed through natural selection, which inspired us for the design of biomimetic materials or devices. Particularl3 human fingertip skin, where many epidermal ridges amplify external stimulations, might be a good example to imitate for highly sensitive sensors. In this work, based on unique chemical vapor depositions (CVD)-grown three-dimensional (3D) graphene films that mimic the morphology of fingertip skin, we fabricated flexible pressure sensing membranes, which simultaneously showed a high sensitivity of 110 (kPa)-1 for 0-0.2 kPa and wide workable pressure range (up to 75 kPa). Hierarchical structured polydimethylsiloxane (PDMS) films molded from natural leaves were used as the supporting elastic films for the graphene films, which also contribute to the superior performance of the pressure sensors. The pressure sensor showed a low detection limit (0.2 Pa), fast response (〈 30 ms), and excellent stability for more than 10,000 loading/unloading cycles. Based on these features, we demonstrated its applications in detecting tiny objects, sound, and human physiological signals, showing its potential in wearable electronics for health monitoring and human/machine interfaces. 展开更多
关键词 electronic skin flexible pressure sensor three-dimensional (3D)graphene film fingertip skin hierarchical structures
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Flexible N-Doped reduced graphene oxide/carbon Nanotube-MnO_(2) film as a Multifunctional Material for High-Performance supercapacitors, catalysts and sensors 被引量:8
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作者 Chuanyin Xiong Mengrui Li +2 位作者 Wei Zhao Chao Duan Yonghao Ni 《Journal of Materiomics》 SCIE EI 2020年第3期523-531,共9页
A flexible 3D N-doped reduced graphene oxide(N-RGO)/carbon nanotube(CNT)eMnO_(2) hybrid film was constructed with outstanding supercapacitor,excellent oxygen reduction reaction(ORR)and good sensing performances.The re... A flexible 3D N-doped reduced graphene oxide(N-RGO)/carbon nanotube(CNT)eMnO_(2) hybrid film was constructed with outstanding supercapacitor,excellent oxygen reduction reaction(ORR)and good sensing performances.The resultant hybrid film possessed large specific capacitances of 418 F g^(-1) and 209 mF cm^(-2) in aqueous and solid electrolytes,and outstanding capacitance retentions of 95% and 94% were obtained for both electrolytes after experiencing 5000 cycles.A simple supercapacitor based on the resultant flexible hybrid film was further fabricated with a much smaller time constant τ0(0.38 s)than that of typical activated-carbon supercapacitors,suggesting a quick response frequency.Moreover,the assembled supercapacitor device showed high energy densities of 45.72 and 92.13 Wh kg^(-1) and simultaneously sustained large power densities of 12,526 and 15873 W kg^(-1) under a scan rate of 50 mV s^(-1) in aqueous and solid electrolytes,respectively.Furthermore,the resultant flexible film showed excellent performance in the ORR and can also be used to assemble a strain sensor with an excellent sensing performance for bending strain. 展开更多
关键词 flexible film SUPERCAPACITOR Energy density ORR Strain sensor
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锂离子电池安全检测传感器研究进展 被引量:4
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作者 赵星 王澎 +3 位作者 抄佩佩 李宁 梁新苗 董红磊 《交通信息与安全》 CSCD 北大核心 2022年第6期127-136,共10页
近年来,由于热失控引发的锂离子电池安全事故频繁发生,严重影响了新能源汽车运行安全,作为保障车辆运行安全的有效手段,对电池系统进行安全检测尤为重要。为提高锂离子电池的性能、延长循环寿命,减少热失控安全事故的发生,需要利用传感... 近年来,由于热失控引发的锂离子电池安全事故频繁发生,严重影响了新能源汽车运行安全,作为保障车辆运行安全的有效手段,对电池系统进行安全检测尤为重要。为提高锂离子电池的性能、延长循环寿命,减少热失控安全事故的发生,需要利用传感器技术对电池工作状态进行实时监控和检测。根据电池正常和异常工作状态下各物理量的变化,常用的安全检测信号有应力应变、温度以及特征气体等。目前,用于检测上述信号的安全检测传感器在电池状态检测方面已得到了广泛的应用。然而,传统的传感器存在着体积大、灵敏度低、不耐电解液腐蚀等问题。对新型光纤布拉格光栅传感器、柔性薄膜传感器以及半导体式气体传感器的工作原理进行概述,总结了上述3种传感器在锂离子电池应力应变、温度和气体检测的应用现状,并从稳定性以及灵敏度等角度指出当前研究的不足,如光纤布拉格光栅传感器电池体系适用性差,插入式薄膜传感器影响电池性能,半导体气体传感器精度和寿命低等问题。如何以经济、安全和实用的方式将传感器安装到电芯中,减轻实际应用中传感器对电池循环性能的影响以及提高传感器信号传递的稳定性、精度、灵敏度,是锂离子电池安全传感器开发面临的挑战,仍然需要在传感器、电池设计等方面开展大量实验研究。 展开更多
关键词 锂离子电池 电池失效 安全检测传感器 光纤布拉格光栅传感器 柔性薄膜传感器 半导体式气体传感器
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Ultrasensitive stretchable patches for joint motion monitoring
5
作者 LI Tengteng LI Ziwei +8 位作者 HAO Yafeng WU Huijia ZHU Pu MA Fupeng LI Fengchao YU Jiangang LIU Meihong LEI Cheng LIANG Ting 《Journal of Measurement Science and Instrumentation》 CAS CSCD 2024年第3期285-291,共7页
Wearable devices have great application potential in the next generation of smart portable electronics,especially in the fields of medical monitoring,soft robotics,artificial intelligence,and human-machine interfaces.... Wearable devices have great application potential in the next generation of smart portable electronics,especially in the fields of medical monitoring,soft robotics,artificial intelligence,and human-machine interfaces.Piezoelectric flexible strain sensors are key components of wearable devices.However,existing piezoelectric flexible strain sensors have certain limitations in weak signal monitoring due to their large modulus and low sensitivity.To solve this problem,the concept of Kirigami(paper-cutting)was introduced in this study to design the sensor structure.By comparing the Kirigami structures of different basic structures,the serpentine structure was determined as the basic configuration of the sensor.The serpentine structure not only provides excellent tensile properties,but also significantly improves the sensitivity of the sensor,which performs well in monitoring weak signals.On this basis,the adhesion properties of the flexible sensor were analyzed and tested,and the optimal ratio of the substrate was selected for preparation.In addition,a low-cost and rapid prototyping process for stretchable patches was established in this study.Using this technology,we prepared the sensor device and tested its performance.Finally,we successfully developed a flexible sensor with a sensitivity of 0.128 mV/μɛand verified its feasibility for wrist joint motion monitoring applications.This result opens up new avenues for the recovery care of tenosynovitis patients after surgery. 展开更多
关键词 flexible sensor piezoelectric film motion monitoring wearable sensor
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阵列式柔性薄膜传感器的快速扫描实现
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作者 刘丰铨 尹锡轩 +3 位作者 郭伟东 牛鑫蕊 东浩 胡正发 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第8期102-105,共4页
柔性薄膜传感器由于具有极高的柔韧性和可拓展性,可生产出不同大小的面积形状,通过阵列式排布,可以设计出大尺寸、多样化与数据实时特点的集成传感器模块。但对于大尺寸阵列式柔性薄膜的数据实时采集的方法仍存在挑战,本文基于STM32单... 柔性薄膜传感器由于具有极高的柔韧性和可拓展性,可生产出不同大小的面积形状,通过阵列式排布,可以设计出大尺寸、多样化与数据实时特点的集成传感器模块。但对于大尺寸阵列式柔性薄膜的数据实时采集的方法仍存在挑战,本文基于STM32单片机以及一块4×4(可拓展)的阵列式柔性薄膜,经STM32控制,实现阵列式快速扫描,实时快速地定位出信号来源并反馈出在该薄膜单元的压力变化值。 展开更多
关键词 柔性薄膜 阵列式 快速扫描 传感器 压力应变
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Direct fabrication of flexible tensile sensors enabled by polariton energy transfer based on graphene nanosheet films 被引量:2
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作者 Xi Zhang Junchi Ma +7 位作者 Wenhao Huang Jichen Zhang Chaoyang Lyu Yu Zhang Bo Wen Xin Wang Jing Ye Dongfeng Diao 《Nanotechnology and Precision Engineering》 CAS CSCD 2023年第1期1-11,共11页
A fundamental problem in the direct manufacturing of flexible devices is the low melting temperature of flexible substrates,which hinders the development of flexible electronics.Proposed here is an electron-cyclotron-... A fundamental problem in the direct manufacturing of flexible devices is the low melting temperature of flexible substrates,which hinders the development of flexible electronics.Proposed here is an electron-cyclotron-resonance sputtering system that can batch-fabricate devices directly on flexible substrates under a low temperature by virtue of the polariton energy transfer between the plasma and the material.Flexible graphene nanosheet-embedded carbon(F-GNEC)films are manufactured directly on polyimide,polyethylene terephthalate,and polydimethylsiloxane,and how the substrate bias(electron energy),microwave power(plasma flux and energy),and magnetic field(electron flux)affect the nanostructure of the F-GNEC films is investigated,indicating that electron energy and flux contribute to the formation of standing graphene nanosheets in the film.The films have good uniformity of distribution in a large size(17 mm×17 mm),and tensile and angle sensors with a high gauge factor(0.92)and fast response(50 ms)for a machine hand are obtained by virtue of the unique nanostructure of the F-GNEC film.This work sheds light on the quantum manufacturing of carbon sensors and its applications for intelligent machine hands and virtual-reality technology. 展开更多
关键词 Direct flexible fabrication Graphene nanosheets film Polariton energy transfer flexible sensor Quantum manufacturing
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基于传感器阵列的柔性接头组件成型工艺过程压力测试系统 被引量:2
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作者 刘兵 吕中卿 +1 位作者 刘承佳 张龙飞 《固体火箭技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第5期642-647,共6页
针对固体火箭发动机柔性接头组件室温粘接、加压固化成型工艺过程中存在的加压压力分布参数难以在线监测等问题,建立了采用薄膜压力传感器阵列的柔性接头成型压力测试系统,用于监测成型过程中柔性接头组件所受压力的大小和分布。研究了... 针对固体火箭发动机柔性接头组件室温粘接、加压固化成型工艺过程中存在的加压压力分布参数难以在线监测等问题,建立了采用薄膜压力传感器阵列的柔性接头成型压力测试系统,用于监测成型过程中柔性接头组件所受压力的大小和分布。研究了压力测试系统在柔性接头成型工艺条件下的在线监测适用性,分析了柔性接头组件受压变化及结构误差的影响。结果表明,该研究建立的压力测试系统具有1%左右的测试线性度和10 k Hz以上的动态响应特性,能够有效测试1.5 MPa以下曲面压力场,最大压差为0.03 MPa,所测压力分布反映了成型过程中的变化,满足接头成型工艺测试要求。测试结果对于理解柔性接头成型工艺过程中的粘接剂流动等,为通过进一步优化工艺参数和减少结构误差、实现对柔性接头成型质量的有效控制有所帮助。 展开更多
关键词 传感器阵列 固体火箭发动机 柔性接头 压力测试系统 工艺监测 薄膜传感器
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基于rGO@PMMA/PBA复合乳胶膜的电容式非接触传感器制备与性能分析 被引量:1
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作者 王刚 杨雷 +2 位作者 周青 严家兴 李剑浩 《浙江理工大学学报(自然科学版)》 2023年第2期219-227,共9页
为解决当下电容式非接触传感器制备过程复杂、传感性能不足以及电介质对性能影响不明的难题,将还原氧化石墨烯@聚甲基丙烯酸甲酯(rGO@PMMA)分散液与聚丙烯酸正丁酯(PBA)胶乳共混后烘干,制备rGO@PMMA/PBA柔性复合薄膜传感器。通过扫描电... 为解决当下电容式非接触传感器制备过程复杂、传感性能不足以及电介质对性能影响不明的难题,将还原氧化石墨烯@聚甲基丙烯酸甲酯(rGO@PMMA)分散液与聚丙烯酸正丁酯(PBA)胶乳共混后烘干,制备rGO@PMMA/PBA柔性复合薄膜传感器。通过扫描电子显微镜(SEM)、红外光谱仪及紫外光谱仪表征复合粒子表面形貌和rGO的吸附性能,使用电感电容电阻测试仪表(LCR表)探究不同介电性薄膜传感器的非接触传感性能。结果表明:氧化石墨烯(GO)吸附到PMMA上出现褶皱表面,经抗坏血酸(Vc)还原后的rGO仍可稳定吸附于PMMA颗粒表面,形成rGO@PMMA复合粒子;当rGO@PMMA/PBA复合膜中复合粒子rGO@PMMA的含量高至10.0%时,rGO@PMMA/PBA复合膜仍然具有柔性;膜的介电常数和导电性随着膜中复合粒子rGO@PMMA填充量的增高不断增大和增强;传感器性能最优时的复合粒子rGO@PMMA填充量为0.20%,此时的传感器具有柔性以及最小的物体感知尺寸和最远的感知距离,并能辨识浅埋沙土下的物体及方位。该研究结果为制备高性能柔性薄膜非接触式电容传感器提供了一种新方法。 展开更多
关键词 石墨烯 复合粒子 柔性复合薄膜 非接触 传感器
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应用于手部关节运动的压电驻极体柔性传感器 被引量:2
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作者 胡宇涵 咸婉婷 +2 位作者 刘志远 徐冬 陈宝成 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第5期157-160,共4页
采用压电驻极体材料聚丙烯(PP)薄膜作为柔性敏感膜,采用膨化及电晕极化工艺对压电驻极体薄膜进行处理,使薄膜的杨氏模量降低,进一步提升其电极化能力,从而提高压电薄膜的压电系数d_(33),进一步增强压电活性。采用准静态压电实验的方法... 采用压电驻极体材料聚丙烯(PP)薄膜作为柔性敏感膜,采用膨化及电晕极化工艺对压电驻极体薄膜进行处理,使薄膜的杨氏模量降低,进一步提升其电极化能力,从而提高压电薄膜的压电系数d_(33),进一步增强压电活性。采用准静态压电实验的方法测量薄膜的压电特性,得出本实验中样品d_(33)数值在150~200 pC/N之间。同时发现常温下的薄膜存在电荷衰减现象,因此,采用冷压封装的手段进行处理,提升薄膜的电荷储存稳定性。设计制作出的阵列式压电传感器的输出信号可在不同弯曲角度下表现出不同的特性,表明该传感器可以表征手指的弯曲。实验证明:所制备的敏感膜样品具备了较强的压电活性,在无需进行电路二级放大情况下可以完成可穿戴条件下人体生命体征和人体肢体运动监测。 展开更多
关键词 压电驻极体 柔性敏感膜 压电特性 传感器
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基于柔性薄膜传感器的服装压力检测仪研制 被引量:2
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作者 刘杰 高志 《纺织学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第12期159-165,共7页
为增大服装压力检测装置中传感器与人体贴合的顺应性,进而提高服装压力测量的精确度,提出了使用柔性薄膜传感器进行服装压力测量的方法。以聚氯乙烯作为柔性基体,包覆导电纤维制成柔性传感器,将传感器连通缓冲气室,与气泵、排气阀构成... 为增大服装压力检测装置中传感器与人体贴合的顺应性,进而提高服装压力测量的精确度,提出了使用柔性薄膜传感器进行服装压力测量的方法。以聚氯乙烯作为柔性基体,包覆导电纤维制成柔性传感器,将传感器连通缓冲气室,与气泵、排气阀构成气动回路,实现服装压力与气室压力的转换;基于开发的柔性传感器,选用可编程逻辑控制器作为主控单元,研制了一款可触屏操作和存储、打印数据的服装压力检测仪;完成系统标定后通过重复性实验,验证了检测仪的测量精度和可行性,6次测量结果最大标准偏差为0.0885。研究认为,该检测仪可准确完成多点服装压力的实时测量,适用于压力服装的出厂压力检测,也为服装压力检测方法的研究、控制元件选择等提供新思路。 展开更多
关键词 服装压力检测 柔性薄膜传感器 可编程逻辑控制器 触摸屏界面设计 多项式拟合方法
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Low-Temperature Formation of a WO<sub>3</sub>Thin Film by the Sol-Gel Method Using Photo-Irradiation and Fabrication of a Flexible Hydrogen Sensor
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作者 Tomoji Ohishi Kenta Ueguri Keigo Nakamura 《Materials Sciences and Applications》 2020年第2期135-149,共15页
Hydrogen has been recently attracted much attention with respect to high energy-conversion efficiency and low environmental burden. However, hydrogen gas is dangerous due to an explosive gas and a fast combustion rate... Hydrogen has been recently attracted much attention with respect to high energy-conversion efficiency and low environmental burden. However, hydrogen gas is dangerous due to an explosive gas and a fast combustion rate. Therefore, the development of hydrogen sensor with high accuracy and reliability that can detect hydrogen easily is required. Especially, a flexible hydrogen sensor is useful because it has a high degree of freedom with respect to the shape of location in which the sensor is to be located. A flexible hydrogen sensor—namely, a WO3 thin film formed on a PET film by the sol-gel method using photo irradiation—based on gasochromism of WO3 was developed. By irradiating a thin film, which was prepared by using WO3 precursor solution synthesized by the sol-gel method, with ultraviolet rays, a high-purity WO3 film could be prepared on PET at low temperature. The sensor was structured as a polystyrene (PS) film containing palladium (Pd) laminated on a WO3 film. The WO3 layer was porous, so the PS containing Pd atoms solution penetrated the WO3 layer. WO3 reacted with hydrogen gas and instantly turned blue as the transmittance of the WO3 layer changed. The sensor showed high reactivity even for hydrogen concentration below 4% (1%, 0.5%, 0.25%, and 0.1%), which was the lower limit of hydrogen ignition, and a linear relationship between hydrogen concentration and change in transmittance was found. Moreover, the resistance of the WO3 film significantly and instantaneously changed due to hydrogen-gas exposure, and the hydrogen concentration and resistance change showed a linear relationship. It is therefore possible to quantitatively detect low concentrations of hydrogen by using changes in transmittance and resistance as indices. Since these changes occur selectively under hydrogen at room temperature and normal pressure, they form the basis of a highly sensitive hydrogen sensor. Since the developed sensor is flexible, it has a high degree of freedom with respect to the shape of location in which the sensor 展开更多
关键词 Tungsten Oxide Sol-Gel Method Photo-Irradiation PET film flexible Hydrogen sensor
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基于柔性衬底的磁声表面波谐振器 被引量:1
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作者 刘婉 鲁亚巍 +1 位作者 胡文彬 白飞明 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第4期439-443,共5页
针对在柔性衬底上制备非晶软磁薄膜的技术难题,该文研究并制作了一种基于柔性聚酰亚胺(PI)衬底的磁声表面波(MSAW)谐振器。通过在柔性PI衬底上溅射沉积了非晶FeCoSiB磁致伸缩薄膜和ScAlN压电薄膜,光刻制备了叉指电极,并形成IDT/ScAlN/Fe... 针对在柔性衬底上制备非晶软磁薄膜的技术难题,该文研究并制作了一种基于柔性聚酰亚胺(PI)衬底的磁声表面波(MSAW)谐振器。通过在柔性PI衬底上溅射沉积了非晶FeCoSiB磁致伸缩薄膜和ScAlN压电薄膜,光刻制备了叉指电极,并形成IDT/ScAlN/FeCoSiB/PI层状结构,成功获得了柔性MSAW谐振器。采用X线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)分析了薄膜的结构和表面形貌及利用振动样品磁强计(VSM)和短路微带线法测试了FeCoSiB薄膜的静态磁性和高频磁谱特性,最后在探针台上利用矢量网络分析仪对器件进行测试,并与COMSOL仿真结果进行对比。实验结果表明,该MSAW器件有两个谐振峰,其中瑞利波出现在28.32 MHz,兰姆波出现在93.69 MHz。 展开更多
关键词 柔性电子 声表面波 磁电复合薄膜 磁场传感器
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柔性可穿戴电子的新进展 被引量:34
14
作者 卢忠花 王卿璞 +2 位作者 鲁海瑞 袁帅 王丹丹 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第11期685-691,701,共8页
综述了近期柔性可穿戴电子的研究进展以及在现代生活中的发展应用,阐明了柔性薄膜电子在医学和生活娱乐等领域的发展方向和潜在应用,特别是在医疗领域,柔性电子的发展与应用将是人们未来生命健康监测与治疗的主流方向。详细介绍了以聚... 综述了近期柔性可穿戴电子的研究进展以及在现代生活中的发展应用,阐明了柔性薄膜电子在医学和生活娱乐等领域的发展方向和潜在应用,特别是在医疗领域,柔性电子的发展与应用将是人们未来生命健康监测与治疗的主流方向。详细介绍了以聚酰亚胺等聚合物材料为基底的薄膜电子器件的发展类型,并且阐述了分别以聚合物薄膜材料和导电织物为基底的柔性电子设计。论述了制约柔性可穿戴电子在未来发展研究中的问题,并对柔性可穿戴电子的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 柔性可穿戴电子 导电织物 高分子聚合物 薄膜电子器件 柔性传感器
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全柔性热膜微传感器阵列制造工艺及性能优化 被引量:9
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作者 马炳和 赵建国 +1 位作者 邓进军 苑伟政 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期1971-1977,共7页
为了测量飞机、流体管腔等气动面上的温度、剪应力等流场参数分布,以镍作为热敏材料,利用MEMS微加工技术在聚酰亚胺衬底上制作出了一种全柔性的热膜微传感器阵列。该传感器阵列的整体厚度薄(100μm以内)、软性可弯,可以紧贴曲型壁面从... 为了测量飞机、流体管腔等气动面上的温度、剪应力等流场参数分布,以镍作为热敏材料,利用MEMS微加工技术在聚酰亚胺衬底上制作出了一种全柔性的热膜微传感器阵列。该传感器阵列的整体厚度薄(100μm以内)、软性可弯,可以紧贴曲型壁面从边界层底部实现非破坏性的动态流场参数测量。设计了器件阵列结构,研发了基于溅射成型与退火热处理的微加工工艺。结合工艺与测试实验,系统地分析了氩气压强、衬底温度、溅射功率、退火温度等工艺参数对电阻温度系数的影响规律。为了获得更高的器件灵敏度,通过优化工艺参数提高了柔性热膜微传感器的电阻温度系数,使其达到了4.64×10-3/℃,并且保持了好的线性度。 展开更多
关键词 柔性热膜传感器阵列 电阻温度系数 微加工
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基于深度置信网络的制动器故障诊断方法 被引量:5
16
作者 李倩 刘惠康 +1 位作者 皮瑶 喻青 《高技术通讯》 CAS 2021年第10期1075-1080,共6页
针对吊车制动器故障诊断中故障机理复杂、先验知识欠缺、传统的故障诊断方法精度不高和人工依赖大等问题,本文提出一种基于深度置信网络(DBN)的制动器故障诊断方法。该方法通过柔性薄膜传感器阵列获取制动器不同工况的实时特征数据及信... 针对吊车制动器故障诊断中故障机理复杂、先验知识欠缺、传统的故障诊断方法精度不高和人工依赖大等问题,本文提出一种基于深度置信网络(DBN)的制动器故障诊断方法。该方法通过柔性薄膜传感器阵列获取制动器不同工况的实时特征数据及信号,利用网络的无监督特征学习和有监督微调,构建制动器故障诊断的深层网络模型,从而实现了对制动器的故障诊断及预测。最后,分别与支持向量机(SVM)和遗传算法(GA)优化的BP神经网络(GA-BP)进行了对比研究,通过实验证明了本文方法的优越性。 展开更多
关键词 深度置信网络(DBN) 吊车制动器 故障诊断 柔性薄膜传感器阵列
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基于柔性薄膜传感器的翼面攻角测试研究 被引量:3
17
作者 王锋 韩俊博 焦国太 《中北大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2013年第6期673-677,共5页
针对常规嵌入式大气数据传感系统对飞行器性能和结构的影响,采用全柔薄膜传感阵列代替传统的阵列压力传感器,提出了一种利用新型传感材料粘贴在被测体表面的测试方法,分析了全柔衬底压力传感阵列布置及攻角测量原理,通过仿真得到测量传... 针对常规嵌入式大气数据传感系统对飞行器性能和结构的影响,采用全柔薄膜传感阵列代替传统的阵列压力传感器,提出了一种利用新型传感材料粘贴在被测体表面的测试方法,分析了全柔衬底压力传感阵列布置及攻角测量原理,通过仿真得到测量传感器阵列上各点的压力数据,然后进行数据处理,得到攻角参数信息,从而可以进行飞行器的控制和姿态调整.该研究可以为飞行器翼面攻角数据测量系统的设计提供参考. 展开更多
关键词 攻角 柔性薄膜传感器阵列 压力传感器
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AgNWs-TPU/PVDF柔性薄膜电容传感器的制备和性能 被引量:3
18
作者 孙丽颖 钱建华 赵永芳 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第6期441-448,共8页
用醇还原法制备长径比约为800的银纳米线(AgNWs)并分散成网状结构,用溶液流延法使用聚偏氟乙烯(PVDF)和不同质量分数的聚氨酯(TPU)制备柔韧性PVDF/TPU复合薄膜,然后将AgNWs网固定在PVDF/TPU柔性薄膜的表面作为电容的极板制备出柔性薄膜... 用醇还原法制备长径比约为800的银纳米线(AgNWs)并分散成网状结构,用溶液流延法使用聚偏氟乙烯(PVDF)和不同质量分数的聚氨酯(TPU)制备柔韧性PVDF/TPU复合薄膜,然后将AgNWs网固定在PVDF/TPU柔性薄膜的表面作为电容的极板制备出柔性薄膜电容式传感器。用扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见光谱和X射线衍射(XRD)等手段表征了AgNWs的结构,使用电子强力拉伸仪、方块电阻仪、三电极系统和LCR数字电桥检测了柔性薄膜电容式传感器的性能。结果表明:网状结构的AgNWs电容单侧极板上的方阻为15.635 mΩ/sq;TPU与PVDF质量比为2∶8的薄膜其断裂伸长率为91.2%,韧性最好,其比电容为375μF/g;随着传感器弯曲角度的增大其输出电容值随之增大,输出电容值与弯曲角度在一定范围内呈线性关系,弯曲角度为180°时输出最大电容为436μF。 展开更多
关键词 有机高分子材料 银纳米线 柔性薄膜 电容式传感器 聚氨酯
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Experimental Research on Boundary Shear Stress in Typical Meandering Channel 被引量:1
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作者 CHEN Kai-hua XIA Yun-feng +2 位作者 ZHANG Shi-zhao WEN Yun-cheng XU Hua 《China Ocean Engineering》 SCIE EI CSCD 2018年第3期365-373,共9页
A novel instrument named Micro-Electro-Mechanical System(MEMS) flexible hot-film shear stress sensor was used to study the boundary shear stress distribution in the generalized natural meandering open channel, and the... A novel instrument named Micro-Electro-Mechanical System(MEMS) flexible hot-film shear stress sensor was used to study the boundary shear stress distribution in the generalized natural meandering open channel, and the mean sidewall shear stress distribution along the meandering channel, and the lateral boundary shear stress distribution in the typical cross-section of the meandering channel was analysed. Based on the measurement of the boundary shear stress, a semi-empirical semi-theoretical computing approach of the boundary shear stress was derived including the effects of the secondary flow, sidewall roughness factor, eddy viscosity and the additional Reynolds stress, and more importantly, for the first time, it combined the effects of the cross-section central angle and the Reynolds number into the expressions. Afterwards, a comparison between the previous research and this study was developed. Following the result, we found that the semi-empirical semi-theoretical boundary shear stress distribution algorithm can predict the boundary shear stress distribution precisely. Finally, a single factor analysis was conducted on the relationship between the average sidewall shear stress on the convex and concave bank and the flow rate, water depth, slope ratio,or the cross-section central angle of the open channel bend. The functional relationship with each of the above factors was established, and then the distance from the location of the extreme sidewall shear stress to the bottom of the open channel was deduced based on the statistical theory. 展开更多
关键词 boundary shear stress flume physical model river bend MEMS flexible hot-film shear stress sensor
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基于柔性薄膜阵列压力传感器的抱闸故障诊断 被引量:2
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作者 皮瑶 刘惠康 李倩 《高技术通讯》 CAS 2021年第8期836-843,共8页
抱闸制动装置广泛应用于工业提升装置、民用曳引式电梯,针对抱闸制动器的运行状态监测和故障诊断,本文提出一种基于柔性薄膜阵列压力传感器的故障诊断方法,运用卷积神经网络(CNN)对传感器的数据进行处理达到故障诊断的目的。本文在LeNet... 抱闸制动装置广泛应用于工业提升装置、民用曳引式电梯,针对抱闸制动器的运行状态监测和故障诊断,本文提出一种基于柔性薄膜阵列压力传感器的故障诊断方法,运用卷积神经网络(CNN)对传感器的数据进行处理达到故障诊断的目的。本文在LeNet5模型的基础上引入跨连接部分,将网络结构中提取的低层次特征与高层次特征相结合,经过全连接层达到多分类的目的。通过训练来自柔性薄膜阵列压力传感器的实验数据,该模型实现了4种基本抱闸故障和正常状态的自动识别。实验结果表明,改进的LeNet卷积神经网络模型在抱闸故障诊断上的检测正确率达到99.19%,该模型在同一训练数据集上的表现明显优于传统的LeNet5模型。 展开更多
关键词 柔性薄膜阵列压力传感器 LeNet模型 跨连接 抱闸制动器 故障诊断
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