期刊文献+
共找到33篇文章
< 1 2 >
每页显示 20 50 100
超短脉冲激光加工技术在半导体制造中的应用
1
作者 张彩云 胡北辰 张志耀 《电子工艺技术》 2024年第6期1-4,共4页
随着集成电路高集成度、高性能的发展,对半导体制造技术提出更高要求。超短脉冲激光加工作为一种精密制造技术,正逐步成为半导体制造的重要工艺。阐述了超短脉冲激光加工技术特点和激光与材料相互作用过程,重点介绍了超快激光精密加工... 随着集成电路高集成度、高性能的发展,对半导体制造技术提出更高要求。超短脉冲激光加工作为一种精密制造技术,正逐步成为半导体制造的重要工艺。阐述了超短脉冲激光加工技术特点和激光与材料相互作用过程,重点介绍了超快激光精密加工技术在硬脆半导体晶体切割、半导体晶圆划片中的应用,并提出相关技术提升方向。 展开更多
关键词 超短脉冲激光 激光加工 半导体制造 晶体切割 晶圆划切
下载PDF
LGS晶体优化切型声表面波特性计算 被引量:2
2
作者 杨虹 黄文奇 《北京信息科技大学学报(自然科学版)》 2011年第5期16-18,24,共4页
针对La3Ga5SiO14(LGS)压电晶体的特性,利用2种边界条件下克里斯托夫方程,计算了LGS晶体典型欧拉角为切型的相速度、能流角、各项异性因子,机电耦合系数和频率温度系数等声表面波(SAW)性质。计算结果表明,对欧拉角为(90.0°,20.0... 针对La3Ga5SiO14(LGS)压电晶体的特性,利用2种边界条件下克里斯托夫方程,计算了LGS晶体典型欧拉角为切型的相速度、能流角、各项异性因子,机电耦合系数和频率温度系数等声表面波(SAW)性质。计算结果表明,对欧拉角为(90.0°,20.0°,122.2°)和(90.0°,17.5°,121.9°)等切型,LGS晶体同时具有低能流角,低温度频率系数和适中的机电耦合系数,可用于高温环境下声表面波器件制作。 展开更多
关键词 LGS晶体 声表面波 切型
下载PDF
一种新型XT切型晶体温度补偿电路的设计 被引量:2
3
作者 董自健 乔国垒 《电子科技》 2008年第11期18-19,34,共3页
XT切型晶体振荡器常用作精密计时的频率源,其频率精度-温度特性是典型的抛物线形状。低温区的晶体频率精度会随着温度变低而变差;而高温区的晶体频率精度会随着温度变高而变差。文中介绍了一种具有双斜率温度系数的温度补偿电路,以补偿... XT切型晶体振荡器常用作精密计时的频率源,其频率精度-温度特性是典型的抛物线形状。低温区的晶体频率精度会随着温度变低而变差;而高温区的晶体频率精度会随着温度变高而变差。文中介绍了一种具有双斜率温度系数的温度补偿电路,以补偿这种抛物线形状的温度特性。设计的温度补偿电路简单、体积小、功耗低、易于集成。 展开更多
关键词 晶体 XT切型 温度补偿 抛物线
下载PDF
单轴晶体为内包层的双包层光导纤维HE_(11)模的特性研究
4
作者 谭志红 张晓萍 《兰州大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2002年第3期37-41,共5页
研究了以单轴晶体为内包层 ,且晶体光轴沿光纤轴线 (Z轴 )方向的双包层光纤的传输特性 .给出了 3个区域中电磁场满足的波动方程及其解 ,得出了矢量模的精确特征方程 .重点研究了晶体主轴折射率比 kcl,几何参数 S,光学参数 R对 HE11模色... 研究了以单轴晶体为内包层 ,且晶体光轴沿光纤轴线 (Z轴 )方向的双包层光纤的传输特性 .给出了 3个区域中电磁场满足的波动方程及其解 ,得出了矢量模的精确特征方程 .重点研究了晶体主轴折射率比 kcl,几何参数 S,光学参数 R对 HE11模色散和截止特性的影响 .研究结果发现晶体主轴折射率比 kcl对 HE11模的传输和截止特性有显著影响 .研究结果对利用该类双包层光纤设计新型无源光器件具有重要的参考价值 . 展开更多
关键词 半轴晶体 内包层 双包层光导纤维 HE11模 双包层光纤 色散特性 截止特性 传输特性
下载PDF
水晶切割胶黏剂的选择
5
作者 柳军 《化工中间体》 2015年第2期63-64,共2页
本文通过实验筛选几种市场上常见的胶黏剂并选出一种耐水胶黏剂并提出了水晶切割的新工艺。使用选定的胶黏剂,可以用水来替代煤油作为乳液来悬浮金刚砂,然后进行水晶切割。本文通过对胶黏剂耐水性能的研究确定了工艺的可行性。工业生产... 本文通过实验筛选几种市场上常见的胶黏剂并选出一种耐水胶黏剂并提出了水晶切割的新工艺。使用选定的胶黏剂,可以用水来替代煤油作为乳液来悬浮金刚砂,然后进行水晶切割。本文通过对胶黏剂耐水性能的研究确定了工艺的可行性。工业生产水晶切片是把水晶用胶黏剂粘接然后在煤油中进行切割。采用水切割水晶后可以降低了切割成本,并且无毒无刺激性气味。因此有利于改善工作环境,减少环境污染。 展开更多
关键词 水晶 切割 胶黏剂 乳液
下载PDF
Rayleigh-Type Wave in A Rotated Piezoelectric Crystal Imperfectly Bonded on a Dielectric Substrate
6
作者 Guoquan Nie Menghe Wang 《Computers, Materials & Continua》 SCIE EI 2019年第4期257-274,共18页
Propagation characteristics of Rayleigh-type wave in a piezoelectric layered system are theoretically investigated.The piezoelectric layer is considered as a cubic crystal with finite thickness rotated about Y-axis an... Propagation characteristics of Rayleigh-type wave in a piezoelectric layered system are theoretically investigated.The piezoelectric layer is considered as a cubic crystal with finite thickness rotated about Y-axis and is imperfectly bonded onto a semi-infinite dielectric substrate.The imperfect interface between the two constituents is assumed to be mechanically compliant and dielectrically weakly conducting.The exact dispersion relations for electrically open or shorted boundary conditions are obtained.The numerical results show that the phase velocity of Rayleigh-type wave is symmetric with respect to the cut orientation of 45°and can achieve the maximum propagation speed in this orientation.The mechanical imperfection plays an important role in the dispersion relations,further the normal imperfection can produce a significant reduction of phase velocity comparing with the tangential imperfection.Comparing with the mechanical imperfection the electrical imperfection makes a relatively small reduction of phase velocity of Rayleigh-type wave.The obtained results can provide some fundamentals for understanding of piezoelectric semiconductor and for design and application of piezoelectric surface acoustic wave devices. 展开更多
关键词 Piezoelectric cubic crystal Rayleigh-type wave imperfect interface cut orientation dispersion relation
下载PDF
一种新型耐振小型石英晶体谐振器
7
作者 崔峰 《电讯技术》 北大核心 2002年第1期81-85,共5页
本文在理论分析的基础上 。
关键词 晶体谐振器 石英晶体 振荡器
下载PDF
液晶显示器生产中的切割工艺及设备分析 被引量:15
8
作者 陈艳 张建华 《电子工艺技术》 2002年第5期208-210,共3页
分析了液晶显示器生产中的切割工艺过程 ,并详细介绍了本公司生产的HX - 45 0玻璃划线机和LP - 45 0玻璃裂片机这两种主要的切割设备。
关键词 液晶显示器 切割工艺 切割设备 玻璃划线机 玻璃裂片机
下载PDF
一种高双折射光子晶体光纤的模式特性分析 被引量:13
9
作者 张晓娟 赵建林 崔莉 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期1379-1383,共5页
应用全矢最频域有限差分法,分析了所提出的一种高双折射光子晶体光纤的模式截止、损耗、模场半径及数值孔径等特性。数值模拟结果表明,通过设置合适的结构参量,可使这种高双折射光子晶体光纤在保持模式双折射为10^-3量级的前提下,... 应用全矢最频域有限差分法,分析了所提出的一种高双折射光子晶体光纤的模式截止、损耗、模场半径及数值孔径等特性。数值模拟结果表明,通过设置合适的结构参量,可使这种高双折射光子晶体光纤在保持模式双折射为10^-3量级的前提下,能够在600~1800nm波长范围内保持单模传输,并且限制损耗可低于10^-4dB/m量级,同时还可以获得较大的数值孔径,因而聚光能力增强。此外,通过采用高斯曲线拟合基模的模场分布,得到的模场半径与实际模场半径吻合得很好。 展开更多
关键词 光子晶体光纤 截止特性 限制损耗 频域有限差分
原文传递
沿光轴通光的LiNbO_3的横向电光调制特性 被引量:11
10
作者 李克武 王志斌 +2 位作者 张瑞 王国梁 王耀利 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期1227-1232,共6页
为了克服现有电光器件的缺陷,选取晶体生长工艺成熟、价格低廉、折射率及电光系数较大的LiNbO3作为电光晶体材料,研究了沿其光轴方向通光的横向电光效应。加工制作了x切、(xzl)45°切和y切3种不同切型的横向电光调制器,并对他们的... 为了克服现有电光器件的缺陷,选取晶体生长工艺成熟、价格低廉、折射率及电光系数较大的LiNbO3作为电光晶体材料,研究了沿其光轴方向通光的横向电光效应。加工制作了x切、(xzl)45°切和y切3种不同切型的横向电光调制器,并对他们的调制性能做了实验分析。研究结果表明,沿LiNbO3光轴方向通光的横向电光调制有相同的电光参量,折射率感应主轴的位置与电场方向有关;3种不同切型的横向体电光调制器的零场泄露均很小,静态消光比均优于1 000∶1,半波电压实测值与理论值的相对误差不超过1.7%;相同调制电压下,它们的调制深度相同,且调制性能稳定。该项研究可为该类电光调制器件的设计和应用提供参考,拓展它们在光通信和光学测量领域的应用。 展开更多
关键词 铌酸锂 电光晶体 电光调制器 横向电光调制 晶体切型 半波电压 调制深度
下载PDF
八角格子光子晶体光纤的传输特性 被引量:7
11
作者 谭晓玲 耿优福 +1 位作者 王鹏 姚建铨 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期729-733,共5页
基于带有各向异性完全匹配层吸收边界条件的紧凑二维频域有限差分法(2D-FDFD)对八角格子光子晶体光纤(O-PCF)的模式分布、模式截止特性以及色散特性进行了数值模拟。通过计算八角格子光子晶体光纤前20个模式分布发现,其模场形状比六角... 基于带有各向异性完全匹配层吸收边界条件的紧凑二维频域有限差分法(2D-FDFD)对八角格子光子晶体光纤(O-PCF)的模式分布、模式截止特性以及色散特性进行了数值模拟。通过计算八角格子光子晶体光纤前20个模式分布发现,其模场形状比六角格子光子晶体光纤(H-PCF)的好,更接近于圆形;利用有效面积方法分析了八角格子和六角格子光子晶体光纤基模和二阶模的截止特性,得到了非限制模、基模和多模的相图。比较发现相同填充率和空气孔间距时,八角格子光子晶体光纤的单模运转区域要比六角格子光子晶体光纤的宽,且更易用于色散补偿。 展开更多
关键词 光纤光学 光子晶体光纤 频域有限差分 模式截止 有效面积
原文传递
La_3Ga_5SiO_(14)晶体压电系数的温度特性 被引量:4
12
作者 赵明磊 王增梅 +3 位作者 袁多荣 王矜奉 王春雷 王渊旭 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期65-69,共5页
测量了(yxf)-30°切La3Ga5SiO14(LGS)晶体30~300℃温度范围内的谐振特性.室温时压电常数d11和d14分别为5.59×10-12C/N和-5.01×10-12C/N.在室温至300℃范围内(yxl)-30°切La3Ga5SiO14晶片厚度切变振动的谐振频率和机... 测量了(yxf)-30°切La3Ga5SiO14(LGS)晶体30~300℃温度范围内的谐振特性.室温时压电常数d11和d14分别为5.59×10-12C/N和-5.01×10-12C/N.在室温至300℃范围内(yxl)-30°切La3Ga5SiO14晶片厚度切变振动的谐振频率和机电耦合系数k′26都随温度升高而升高,因此压电常数d11和d14也随温度升高而略有升高. 展开更多
关键词 谐振特性 晶片 La3Ga5SiO14晶体 谐振频率 温度特性 压电常数 室温 压电系数 温度范围 振动
下载PDF
蓝光LD抽运Pr^(3+):YLF直接获得橙红光的实验研究 被引量:4
13
作者 金玉实 李青松 +1 位作者 董渊 金光勇 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2017年第2期24-26,32,共4页
对蓝光二极管(LD)泵浦Pr:YLF晶体输出橙红光进行了实验研究,分析了不同偏振方向的晶体和不同透过率的输出镜对橙红光输出功率的影响。在a切Pr^(3+):YLF晶体吸收功率为4.5W时最高输出639.7nm激光功率为491m W。c切Pr^(3+):YLF晶体在吸收... 对蓝光二极管(LD)泵浦Pr:YLF晶体输出橙红光进行了实验研究,分析了不同偏振方向的晶体和不同透过率的输出镜对橙红光输出功率的影响。在a切Pr^(3+):YLF晶体吸收功率为4.5W时最高输出639.7nm激光功率为491m W。c切Pr^(3+):YLF晶体在吸收功率为3.3W时最高输出607.3nm激光功率为177m W。 展开更多
关键词 Pr^3+:YLF晶体 蓝光LD a切 c切
下载PDF
Simultaneous Multimode Oscillation of Stress-Compensated Cut Quartz Resonator with Narrow-Band Wide Variable-Range Quartz Crystal Oscillator 被引量:1
14
作者 Tomio Sato Tetsuya Akitsu 《Engineering(科研)》 2014年第13期973-988,共16页
A multimode-quartz-crystal oscillator was developed to excite stable dual-mode resonance at different frequencies: The oscillation of the 3rd harmonic resonance of the principle C-mode and an additional resonance B-mo... A multimode-quartz-crystal oscillator was developed to excite stable dual-mode resonance at different frequencies: The oscillation of the 3rd harmonic resonance of the principle C-mode and an additional resonance B-mode of SC-cut crystal. Harmonic combinations of the 3rd and fundamental mode of B-mode with the 3rd harmonics of C-mode are demonstrated. The measurement of the temperature dependence of the oscillation frequency is demonstrated along with the stability determined by root Allan variance. Dependence on the open conductance of the active circuit and the dependence on the coupling capacitors are discussed. 展开更多
关键词 Temperature Sensing Piezoelectric Sensor DUAL-MODE QUARTZ crystal Resonance Stress-Compensated cut (SC-cut)
下载PDF
小型SC切恒温晶体振荡器的研制 被引量:2
15
作者 蔡林洋 刘刚 +2 位作者 高俊雄 王耘波 喻骞宇 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2002年第4期316-319,共4页
论述了高稳定度、小体积恒温晶体振荡器 (OCXO)的热学结构设计和测温控温方法。采用 SC切三次泛音石英晶体谐振器作为振荡元件 ,利用 DS1 82 0作为温度探测器 ,以 PIC1 6 F84作为微控制器 ,通过 PID算法和脉宽调制技术 (PWM)对振荡电路... 论述了高稳定度、小体积恒温晶体振荡器 (OCXO)的热学结构设计和测温控温方法。采用 SC切三次泛音石英晶体谐振器作为振荡元件 ,利用 DS1 82 0作为温度探测器 ,以 PIC1 6 F84作为微控制器 ,通过 PID算法和脉宽调制技术 (PWM)对振荡电路进行温度调节与控制 ,以达到恒温目的。研制出体积为 40 mm× 40 mm× 1 4mm、频温特性达 1 0 展开更多
关键词 恒温晶体振荡器 SC切晶体 频温特性
下载PDF
光学低通滤波器的频率特性和光谱特性 被引量:3
16
作者 潘奕捷 林家明 +2 位作者 商庆坤 杨隆荣 沙定国 《光学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期513-515,518,共4页
光学低通滤波器是利用石英晶体的双折射效应和红外截止滤光片设计而成的。它在CCD摄像机传感器前可以有效地降低或消除离散光电探测器对不同空间频率目标成像所产生的拍频效应或条纹混叠现象,并能消除红外光对彩色还原的影响,从而提高了... 光学低通滤波器是利用石英晶体的双折射效应和红外截止滤光片设计而成的。它在CCD摄像机传感器前可以有效地降低或消除离散光电探测器对不同空间频率目标成像所产生的拍频效应或条纹混叠现象,并能消除红外光对彩色还原的影响,从而提高了CCD摄像机成像的视觉效果。 展开更多
关键词 光学低通滤波器 奈奎斯特频率 石英晶体双折射 红外光截止
原文传递
氟化铅晶体的生长与Cherenkov辐射特性 被引量:3
17
作者 沈定中 任国浩 +2 位作者 王绍华 邓群 殷之文 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期12-16,共5页
采用脱氧剂非真空坩埚下降法生长出的大尺寸PbF_2晶体具有优异的Cherenkov辐射特性,其透光截止波长最短可达245um,能量分辨率优于32%/,辐照损伤很弱,用365um的过滤光漂白后,透光能力几乎可以完全恢复到辐照之前的水平.
关键词 辐射 晶体生长 氟化铅晶体
下载PDF
SiC单晶刻划过程的脆塑性转变特征研究 被引量:3
18
作者 丁子成 李淑娟 +1 位作者 李梓 崔丹 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第11期2614-2625,共12页
SiC单晶化学性能稳定、导热系数高、热膨胀系数小、耐磨性能好,广泛用于大功率器件产业。但由于其材料的硬度很大,加工非常困难。脆性材料塑性域加工为提高该类材料的表面质量,降低加工时间和成本提供了有效的途径。本文采用不同刀具角... SiC单晶化学性能稳定、导热系数高、热膨胀系数小、耐磨性能好,广泛用于大功率器件产业。但由于其材料的硬度很大,加工非常困难。脆性材料塑性域加工为提高该类材料的表面质量,降低加工时间和成本提供了有效的途径。本文采用不同刀具角度和刀尖圆弧半径的单点金刚石刀具对4H-SiC单晶进行刻划实验,利用声发射、摩擦力传感器来监测刻划过程中声发射信号强度以及摩擦力的变化,并通过LeicaDCM3D以及SEM观察划痕沟槽表面形貌、切屑状态,综合分析以获得4H-SiC单晶在不同角度、刀尖圆弧半径下塑脆转变的临界切削深度。结果表明,增大刀具角度有利于塑性域加工;在相同条件下,刀尖圆弧半径越大,临界切削深度越大。 展开更多
关键词 SIC单晶 脆性材料 塑性域加工 临界切削深度
下载PDF
两类超宽带单偏振单模光子晶体光纤的设计 被引量:2
19
作者 姜凌红 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2019年第4期71-78,共8页
基于模式截止法,设计了两种超宽带单偏振单模方形阵列液晶填充光子晶体光纤,利用全矢量有限元法分析了光纤纤芯中额外空气孔、纤芯孔间距及纤芯液晶填充孔径对单偏振单模传输特性的影响。所设计的带宽可调谐的超宽带单芯单偏振单模光子... 基于模式截止法,设计了两种超宽带单偏振单模方形阵列液晶填充光子晶体光纤,利用全矢量有限元法分析了光纤纤芯中额外空气孔、纤芯孔间距及纤芯液晶填充孔径对单偏振单模传输特性的影响。所设计的带宽可调谐的超宽带单芯单偏振单模光子晶体光纤,其单偏振单模传输可在0.75~2.59μm波段范围内调谐,限制损耗低于0.1dB·km^(-1)对应的单偏振单模传输带宽为970nm。所设计的另一种光纤是在0.98~1.74μm波段范围内具有单偏振单模传输特性的双芯光子晶体光纤,将其应用于波分复用系统的波分解复用器中,制备了一种长度仅为1.06mm的光子晶体光纤波分器,实现了具有单偏振单模传输特性的1.31μm和1.55μm光分束。 展开更多
关键词 光纤光学 光子晶体光纤 单偏振单模 模式截止法 液晶填充 限制损耗
原文传递
电可调谐的聚合物液晶光子晶体 被引量:2
20
作者 孙晓红 陶肖明 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期424-429,共6页
设计了一个无顶的(top-cut)六角棱镜,高h为3.73 cm,侧面与底面夹角α为66°。利用此棱镜和光全息刻蚀的方法,在光抗材料上制作了对称六角结构、蜂窝结构和椭圆柱非对称等结构的光子晶体(PhC);并且在聚合物分散液晶(PDLC)材料上制作... 设计了一个无顶的(top-cut)六角棱镜,高h为3.73 cm,侧面与底面夹角α为66°。利用此棱镜和光全息刻蚀的方法,在光抗材料上制作了对称六角结构、蜂窝结构和椭圆柱非对称等结构的光子晶体(PhC);并且在聚合物分散液晶(PDLC)材料上制作了大面积电可调谐的PhC结构。PhC的理论干涉模式和实验制作结构相比较,结果吻合得非常好。研究了PhC的远场衍射模式和电转换特性,对称的六角衍射模式更好地揭示了PhC的六角结构。晶体结构中液晶微滴的尺寸最小可到10 nm,直流转换电压最小达到13.3 V/μm。 展开更多
关键词 全息 光子晶体 无顶六角棱镜 聚合物分散液晶 电转换
下载PDF
上一页 1 2 下一页 到第
使用帮助 返回顶部