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炭/炭复合材料化学气相沉积工艺进展 被引量:8
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作者 于澍 黄启忠 +2 位作者 黄伯云 熊翔 张传福 《粉末冶金材料科学与工程》 EI 2006年第5期262-267,共6页
对多种化学气相沉积工艺进行了分析对比,指出在炭/炭复合材料的研制与开发中,以等温等压(ICVD)的工艺为最优。该工艺能很好地控制工艺参数,特别是对于装了大量异形件的高炉膛,所沉积的样件不仅密度均匀而且性能稳定,虽然其工艺周期较长... 对多种化学气相沉积工艺进行了分析对比,指出在炭/炭复合材料的研制与开发中,以等温等压(ICVD)的工艺为最优。该工艺能很好地控制工艺参数,特别是对于装了大量异形件的高炉膛,所沉积的样件不仅密度均匀而且性能稳定,虽然其工艺周期较长,但在实际生产中,可以通过多料柱的高炉膛来降低成本,是比较成熟、稳定的生产工艺。近年来兴起的其他工艺,主要关注沉积速度和沉积机理,大多局限于实验室研究,距工业化大生产还有很大的距离。 展开更多
关键词 炭/炭复合材料 化学气相沉积(CVD) 工艺
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SSP衬底上多晶硅薄膜电池的研究 被引量:1
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作者 郜小勇 卢景霄 +2 位作者 李仲明 许颖 励旭东 《郑州大学学报(自然科学版)》 CAS 2001年第2期39-41,共3页
从简化步骤、降低成本的角度出发 ,采用快速热化学气相沉积 (RTCVD)法在低纯颗粒带硅 (SSP)衬底上制备出了多晶硅薄膜太阳电池 .测试结果表明 ,实验室制备的无钝化、无减发射膜的多晶硅薄膜太阳电池获得了 3 .5 7%的转换效率 .并在此基... 从简化步骤、降低成本的角度出发 ,采用快速热化学气相沉积 (RTCVD)法在低纯颗粒带硅 (SSP)衬底上制备出了多晶硅薄膜太阳电池 .测试结果表明 ,实验室制备的无钝化、无减发射膜的多晶硅薄膜太阳电池获得了 3 .5 7%的转换效率 .并在此基础上提出采用氢钝化、减反射、快速生长和隔离技术 。 展开更多
关键词 颗粒带硅 热化学 气相沉积 多晶硅薄膜 太阳电池 转换效率 氢钝化 快速生长
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激光热解沉积微透镜中衬底温度场的研究 被引量:2
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作者 姚惠贞 宋国瑞 王东 《华南理工大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 1994年第1期27-35,共9页
激光化学汽相沉积(LCVD)能在激光波长级区域内实现选择性沉积,再利用高斯光束的特性,可以实现在石英衬底上沉积球形剖面介质膜用作做透镜。其沉积生成形状与沉积速率有关,而沉积速率又与衬底温度及其分布有关。本文通过数学推... 激光化学汽相沉积(LCVD)能在激光波长级区域内实现选择性沉积,再利用高斯光束的特性,可以实现在石英衬底上沉积球形剖面介质膜用作做透镜。其沉积生成形状与沉积速率有关,而沉积速率又与衬底温度及其分布有关。本文通过数学推导与计算机处理,详细描述了激光诱导石英衬底的温度分布,并通过高斯光束光斑扩束方法测量石英衬底表面温度分布。理论与实验相符,从而摸索了改善石英衬底温度分布以实现直接沉积微透镜的要求。 展开更多
关键词 激光化学 温度场 微透镜 衬底
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双层石墨烯NO2气敏特性 被引量:2
4
作者 高致慧 房瑞阳 +3 位作者 李辉 贺威 李玲 林伟豪 《深圳大学学报(理工版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第3期273-277,共5页
使用化学气相沉积法生长石墨烯,制备单层和双层石墨烯气敏传感样品,采用拉曼光谱和光学显微镜对所制样品进行表征,通过气敏响应测试,比较单层和双层石墨烯对NO_2的气敏特性.结果表明,双层石墨烯相对单层石墨烯在低NO_2气体体积分数下解... 使用化学气相沉积法生长石墨烯,制备单层和双层石墨烯气敏传感样品,采用拉曼光谱和光学显微镜对所制样品进行表征,通过气敏响应测试,比较单层和双层石墨烯对NO_2的气敏特性.结果表明,双层石墨烯相对单层石墨烯在低NO_2气体体积分数下解吸附时间缩短,响应度提升.在NO_2气体体积分数为10^(-6)量级时,双层石墨烯比单层石墨烯的响应时间提高近10倍,解吸附时间缩短近4倍,且探测下限达到50×10^(-9). 展开更多
关键词 电化学分析 物理无机化学 石墨烯 气体传感 二氧化氮 光谱分析 化学气相沉积法 气敏响应测试
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前驱B膜沉积时间对MgB_2薄膜超导特性的影响 被引量:1
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作者 吴燕平 张松 +2 位作者 付尧 王旭 邓朝勇 《低温与超导》 CAS 北大核心 2014年第1期49-52,64,共5页
利用化学气相沉积法(CVD)在多晶Al2O3衬底上制备出了系列MgB2超导薄膜,研究了前驱硼膜沉积时间对MgB2薄膜超导特性的影响,通过XRD、SEM和R-T曲线对超导MgB2薄膜进行了表征。延长前驱硼膜的沉积时间,得到的硼膜结晶度越高,结构更致密。... 利用化学气相沉积法(CVD)在多晶Al2O3衬底上制备出了系列MgB2超导薄膜,研究了前驱硼膜沉积时间对MgB2薄膜超导特性的影响,通过XRD、SEM和R-T曲线对超导MgB2薄膜进行了表征。延长前驱硼膜的沉积时间,得到的硼膜结晶度越高,结构更致密。经退火后制备的MgB2薄膜表面富余的Mg可以改善晶粒间的连接,提升T c值。该实验沉积10min前驱硼膜得到的MgB2超导薄膜T c值为34K,且超导转变宽度比较窄。延长前驱硼膜沉积时间到15min后,薄膜的T c值降低,这是由于前驱硼膜较多,Mg和硼反应不充分所导致的。 展开更多
关键词 MGB2超导薄膜 化学气相沉积 沉积时间
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等离子体化学镀膜技术在粉末冶金行业的应用 被引量:1
6
作者 汤青云 陈益平 +1 位作者 徐玲 段冬平 《湖南城市学院学报(自然科学版)》 CAS 2009年第4期48-51,共4页
介绍了等离子体化学工艺,特别着重介绍了溅射镀膜与等离子体化学气相沉积在粉末冶金中的应用.
关键词 等离子体化学 溅射镀膜 化学气相沉积 粉末冶金
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MPCVD法金刚石薄膜的生长影响因素
7
作者 芦宝娟 《贵州科技工程职业学院学报》 2009年第1期9-11,共3页
金刚石具有许多优异的性能,但天然金刚石的价格也比较昂贵。金刚石薄膜的各种性质与天然金刚石几乎相同,具有非常广阔的工业前景。本文采用乙醇和氢气作为工作气源,利用微波等离子体化学气相沉积法,在较低的温度下制备了金刚石薄膜... 金刚石具有许多优异的性能,但天然金刚石的价格也比较昂贵。金刚石薄膜的各种性质与天然金刚石几乎相同,具有非常广阔的工业前景。本文采用乙醇和氢气作为工作气源,利用微波等离子体化学气相沉积法,在较低的温度下制备了金刚石薄膜,并研究了反应气压对金刚石薄膜生长的影响。 展开更多
关键词 微波等离子 化学气相沉积 金刚石薄膜 乙醇
原文传递
微波等离子CVD低温沉积金刚石薄膜的研究
8
作者 芦宝娟 《价值工程》 2014年第24期297-299,共3页
金刚石具有许多优异的性能,但天然金刚石的价格也比较昂贵。金刚石薄膜的各种性质与天然金刚石几乎相同,具有非常广阔的工业前景。本文采用乙醇和氢气作为工作气源,利用微波等离子体化学气相沉积法,在较低的温度下制备了金刚石薄膜,并... 金刚石具有许多优异的性能,但天然金刚石的价格也比较昂贵。金刚石薄膜的各种性质与天然金刚石几乎相同,具有非常广阔的工业前景。本文采用乙醇和氢气作为工作气源,利用微波等离子体化学气相沉积法,在较低的温度下制备了金刚石薄膜,并研究了乙醇浓度、反应气压对金刚石薄膜生长的影响。 展开更多
关键词 微波等离子 化学气相沉积 金刚石薄膜 乙醇
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层状GaS二维纳米片的制备及表征
9
作者 唐顼婉 段曦东 《中国科技论文在线精品论文》 2020年第1期69-74,共6页
利用物理气相沉积法制备GaS二维纳米片,通过改变不同的生长条件对GaS纳米片实行可调控生长.采用光学显微镜(optical microscope,OM)、原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)、激光共聚焦显微拉曼光谱仪(laser co-focusing micro-Ra... 利用物理气相沉积法制备GaS二维纳米片,通过改变不同的生长条件对GaS纳米片实行可调控生长.采用光学显微镜(optical microscope,OM)、原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)、激光共聚焦显微拉曼光谱仪(laser co-focusing micro-Raman spectrometer,LCRS)、扫描电子显微镜(scanning electron microscope,SEM)、X射线衍射仪(X-ray diffraction,XRD)及透射电子显微镜(transmission electron microscope,TEM)等分析仪器,对样品的化学成分及形貌结构进行一系列表征.结果表明:制备的GaS纳米片为三角形结构,横向尺寸为1~4μm,样品所得最薄三角形纳米片的厚度为2.5 nm,纳米片内表面组成均匀,为六方晶系,单晶结构,结晶性好,可以长时间在空气中稳定存在. 展开更多
关键词 物理化学 二维材料 物理气相沉积 硫化镓纳米片 可调控生长
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SiOx包装阻隔薄膜的发展现状及其制备方法 被引量:17
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作者 韩尔立 陈强 +1 位作者 葛袁静 张广秋 《包装工程》 CAS CSCD 北大核心 2005年第6期76-78,共3页
S iOx阻隔薄膜具有优异的阻隔性,并且光透过性和微波透过性好,在阻隔包装领域的应用前景广泛,介绍了S iOx包装阻隔薄膜的制备方法:物理气相沉积,等离子体聚合及大气下等离子体聚合等。
关键词 SIOX薄膜 阻隔性 物理气相沉积 等离子体化学气相沉积
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从微波能应用技术的发展探索其产业化前景 被引量:4
11
作者 季天仁 《工业加热》 CAS 2004年第5期1-4,共4页
简述了近期国内外微波能应用技术的发展动态,特别是在微波化学;微波等离子体材料改性及化学汽相沉积(MPCVD)制备新材料;微波高温烧结;微波低温干燥;微波橡胶硫化;微波废橡胶脱硫再生等新的交叉学科领域和新技术的发展趋势。同时,提出了... 简述了近期国内外微波能应用技术的发展动态,特别是在微波化学;微波等离子体材料改性及化学汽相沉积(MPCVD)制备新材料;微波高温烧结;微波低温干燥;微波橡胶硫化;微波废橡胶脱硫再生等新的交叉学科领域和新技术的发展趋势。同时,提出了开拓微波能应用技术在这些领域产业化发展的问题和良好的发展前景。 展开更多
关键词 微波能 微波化学 微波等离子体 化学汽相沉积(CVD) 微波高温烧结 微波低温干燥 微波橡胶硫化 微波废橡胶脱硫再生
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核壳结构Al@PTFE复合材料的制备与性能研究 被引量:3
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作者 吕英迪 于宪峰 +5 位作者 姚冰洁 姜俊 石强 郑晓东 郭涛 邱少君 《火炸药学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第6期811-818,共8页
为进一步提高纳米铝粉的应用性能以及能量水平,采用化学气相沉积(CVD)技术制备了具有核壳结构的Al@PTFE复合材料,研究了反应时间、反应温度等参数对材料制备过程的影响;采用X射线粉末衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电镜电子能谱... 为进一步提高纳米铝粉的应用性能以及能量水平,采用化学气相沉积(CVD)技术制备了具有核壳结构的Al@PTFE复合材料,研究了反应时间、反应温度等参数对材料制备过程的影响;采用X射线粉末衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电镜电子能谱成像分析(TEM-MAPPING)、X射线电子能谱(XPS)等方法分析了材料的结构与组成;采用氧弹法测试了样品的燃烧热,对Al@PTFE复合材料在空气气氛下的燃烧产物进行了结构表征,并分析了复合材料的放热过程。结果表明,Al@PTFE复合材料的最佳制备条件为:采用六氟环氧丙烷与氩气体积比为1∶1,流速为100mL/min,300℃裂解条件下反应60min;Al@PTFE复合材料具有良好的核壳结构,表面包覆层为聚四氟乙烯,厚度约4.5nm;Al@PTFE复合材料在440℃附近存在一个明显的预点火放热过程以及失重现象,失重率为3.5%,与原料纳米铝粉相比,Al-PTFE复合材料燃烧热提升了4.1%,能量显著提高。 展开更多
关键词 应用化学 纳米铝粉 化学气相沉积 核壳结构 聚四氟乙烯 PTFE
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HMX颗粒的气相沉积包覆研究 被引量:3
13
作者 李茂果 杜自卫 廖宏 《真空》 CAS 2013年第6期23-26,共4页
本文通过真空气相沉积技术,在HMX炸药颗粒表面成功包覆了石蜡和paralene膜,并且在膜较薄情况下实现了包覆度100%。测试了HMX气相包覆颗粒的机械感度和静电火花感度。结果表明,paralene膜由于模量很高,不能降低HMX的机械感度,但石蜡包覆... 本文通过真空气相沉积技术,在HMX炸药颗粒表面成功包覆了石蜡和paralene膜,并且在膜较薄情况下实现了包覆度100%。测试了HMX气相包覆颗粒的机械感度和静电火花感度。结果表明,paralene膜由于模量很高,不能降低HMX的机械感度,但石蜡包覆HMX后,对HMX颗粒的机械感度和静电感度的降感效果优于同等石蜡含量的水悬浮法造型粉。同时,DSC实验表明,PC、石蜡对HMX的热分解影响很小,是与HMX良好相容的材料。 展开更多
关键词 有机化学 HMX 真空气相沉积 感度
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一种新型结构碳材料——碳管套碳纳米丝
14
作者 段新超 王小平 +2 位作者 王丽军 王隆洋 张雷 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期321-324,共4页
以氢气和甲烷为气源,利用钟罩式微波等离子体化学气相沉积(MW PCVD)系统制备了一种新型结构碳材料——碳管套碳纳米丝,用扫描电子显微镜和拉曼光谱仪对它的形态结构和成份进行了分析。这种新型结构碳材料,具有与碳纳米管、碳纳米丝相似... 以氢气和甲烷为气源,利用钟罩式微波等离子体化学气相沉积(MW PCVD)系统制备了一种新型结构碳材料——碳管套碳纳米丝,用扫描电子显微镜和拉曼光谱仪对它的形态结构和成份进行了分析。这种新型结构碳材料,具有与碳纳米管、碳纳米丝相似的性质,并在某些领域(如电子源探针、纳米电子器件等)具有很好的应用前景。 展开更多
关键词 碳管 微波等离子体化学气相沉积 碳管套碳纳米丝
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MgB2/B/MgB2约瑟夫森结的制备与直流特性
15
作者 周章渝 肖寒 +2 位作者 王松 傅兴华 闫江 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第18期199-205,共7页
本文采用MgB_2薄膜的混合物理化学气相沉积制备技术和金属掩膜版工艺,以B膜为势垒层在单晶Al_2O_3(0001)基底上制作了纵向三明治结构的MgB_2/B/MgB_2约瑟夫森结.应用标准四引线法对该超导结的R-T曲线和不同温度下的直流I-V曲线进行了测... 本文采用MgB_2薄膜的混合物理化学气相沉积制备技术和金属掩膜版工艺,以B膜为势垒层在单晶Al_2O_3(0001)基底上制作了纵向三明治结构的MgB_2/B/MgB_2约瑟夫森结.应用标准四引线法对该超导结的R-T曲线和不同温度下的直流I-V曲线进行了测量研究.实验结果表明,制作的MgB_2/B/MgB_2约瑟夫森结超导开启温度为31.3 K,4.2 K时临界电流密度为0.52 A/cm^2,通过对直流特性I-V曲线的微分拟合,清晰地观测到MgB_2的3D带的能隙?π为2.13 meV. 展开更多
关键词 MgB2/B/MgB2约瑟夫森结 金属掩膜版工艺 混合物理化学气相沉积
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新型结构碳材料——碳纳米针
16
作者 张雷 王小平 +4 位作者 王丽军 段新超 王隆洋 雷通 吕承瑞 《微细加工技术》 2008年第5期53-55,共3页
采用钟罩式微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)设备,以氢气和甲烷作为反应气源,制备了一种新型结构碳材料——碳纳米针。通过扫描电子显微镜和拉曼光谱仪对其形态结构和成份进行了分析研究,结果表明,该种新型结构碳材料具有与碳纳米棒、... 采用钟罩式微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)设备,以氢气和甲烷作为反应气源,制备了一种新型结构碳材料——碳纳米针。通过扫描电子显微镜和拉曼光谱仪对其形态结构和成份进行了分析研究,结果表明,该种新型结构碳材料具有与碳纳米棒、碳纳米丝相似的性质,而且由于这种碳纳米针独特的结构,更适用于作为扫描探针显微镜的电子探针,从而使得其在某些领域(如电子源探针、扫描探针显微技术、纳米电子器件等)具有潜在的应用前景。 展开更多
关键词 纳米碳材料 微波等离子体化学气相沉积 碳纳米针
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