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H_n^+离子的产生和鉴别 被引量:8
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作者 杨百方 缪竞威 +8 位作者 师勉恭 唐阿友 朱洲森 高小观 代云方 李宗培 袁其清 江忠友 李道德 《四川大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1999年第2期236-240,共5页
作者从高频离子源产生的离子束中,分析证实存在H+4和H+5的团簇离子.对1.8MeV的H+4和H+5信号的能谱测量表明,它们极容易分解成H+4,H+3,H+2[H2]和H+[H]等产物.并从实验事实出发。
关键词 高频离子源 鉴别 静电加速器 氢分子离子
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小型感性耦合射频等离子体中和器的实验研究 被引量:9
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作者 贺建武 马隆飞 +3 位作者 薛森文 章楚 段俐 康琦 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第7期1673-1680,共8页
为了研究适用于百瓦级电推力器的离子束流中和技术,基于电子鞘层模型、射频等离子体最优放电技术和通过插入探针实现快速点火的方法,设计了一套小型感性耦合射频等离子体中和器(RF plasma neutralizer,RPN)。实验研究了RPN中和器的稳定... 为了研究适用于百瓦级电推力器的离子束流中和技术,基于电子鞘层模型、射频等离子体最优放电技术和通过插入探针实现快速点火的方法,设计了一套小型感性耦合射频等离子体中和器(RF plasma neutralizer,RPN)。实验研究了RPN中和器的稳定工作条件和电子引出特性,实现了RPN中和器稳定工作和电子有效引出。实验结果表明:电子引出特性主要取决于发射孔附近阳极斑的形成与否,而阳极斑的形成又主要受结构设计、工质流量和偏置电压等运行条件的影响;通过对RPN运行条件的优化试验,获得了55~150m A可调电子束流范围和较高的工质利用系数(3.9~10.5),满足离子束流中和需求;另外,实验中还观察到了电子束流随工质流量或偏置电压的迟滞现象。 展开更多
关键词 感性耦合等离子体 中和器 离子推力器 空心阴极 电子源
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用于静电加速器的高频离子源的设计和调试 被引量:6
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作者 詹福如 余增亮 +5 位作者 胡纯栋 胡素华 张束清 李军 陈斌 王绍虎 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2000年第3期226-228,共3页
研制了一台高频离子源 ,通过实验调试取得了引出电压、聚焦电压及放电气压对引出束流影响的变化曲线 ,从而获得高频离子源的最佳工作条件 。
关键词 高频离子源 束流强度 束径包络 静电加速器
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静电加速器高频离子源引出电极的光学设计 被引量:3
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作者 卢超 余增亮 詹福如 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2002年第3期173-177,201,共6页
高频离子源管道式引出电极的几何参数对束流引出具有重要影响。本文通过建立束流最佳引出数学模型 ,对引出电极的几何参数进行了离子光学计算 ,确定了适合引出H+ ,N+ ,Ar+ 等多种束流的引出电极合适的几何参数 ,并综合气耗、束流强度等... 高频离子源管道式引出电极的几何参数对束流引出具有重要影响。本文通过建立束流最佳引出数学模型 ,对引出电极的几何参数进行了离子光学计算 ,确定了适合引出H+ ,N+ ,Ar+ 等多种束流的引出电极合适的几何参数 ,并综合气耗、束流强度等因素设计了用于 5 5MeV静电加速器高频离子源的引出电极。 展开更多
关键词 静电加速器 高频离子源 引出电极 离子光学设计
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射频离子源束流特性分析 被引量:5
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作者 赵淼 雷光玖 +2 位作者 李明 谢炜民 张贤明 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2018年第2期152-157,共6页
介绍了为HL-2A装置设计的引出束功率为1MW的射频离子源研制情况。目前,在测试平台上,该离子源已经成功引出了束能量和束电流分别为35ke V和12.4A、束质子比为79%、脉宽为100ms的氢离子束,达到了其设计束功率的44%。用红外热成像的方法... 介绍了为HL-2A装置设计的引出束功率为1MW的射频离子源研制情况。目前,在测试平台上,该离子源已经成功引出了束能量和束电流分别为35ke V和12.4A、束质子比为79%、脉宽为100ms的氢离子束,达到了其设计束功率的44%。用红外热成像的方法测量了离子束能量密度分布。结果表明,在距离引出系统地电极1.3m处,束密度分布遵循高斯分布。引出束的最佳导流系数为1.689×10–6A?V-3/2左右,随射频功率改变有较小的变化。根据这些实验结果,采取了相关改进措施来改善离子源的引出束性能。 展开更多
关键词 射频离子源 中性束 束流特性
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The development of data acquisition and processing application system for RF ion source 被引量:3
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作者 Xiaodan ZHANG Xiaoying WANG +3 位作者 Chundong HU Caichao JIANG Yahong XlE Yuanzhe ZHAO 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第7期124-129,共6页
As the key ion source component of nuclear fusion auxiliary heating devices, the radio frequency (RF) ion source is developed and applied gradually to offer a source plasma with the advantages of ease of control and... As the key ion source component of nuclear fusion auxiliary heating devices, the radio frequency (RF) ion source is developed and applied gradually to offer a source plasma with the advantages of ease of control and high reliability. In addition, it easily achieves long-pulse steady-state operation. During the process of the development and testing of the RF ion source, a lot of original experimental data will be generated. Therefore, it is necessary to develop a stable and reliable computer data acquisition and processing application system for realizing the functions of data acquisition, storage, access, and real-time monitoring. In this paper, the development of a data acquisition and processing application system for the RF ion source is presented. The hardware platform is based on the PXI system and the software is programmed on the LabVIEW development environment. The key technologies that are used for the implementation of this software programming mainly include the long-pulse data acquisition technology, multi- threading processing technology, transmission control communication protocol, and the Lempel-Ziv-Oberhumer data compression algorithm. Now, this design has been tested and applied on the RF ion source. The test results show that it can work reliably and steadily. With the help of this design, the stable plasma discharge data of the RF ion source are collected, stored, accessed, and monitored in real-time. It is shown that it has a very practical application significance for the RF experiments. 展开更多
关键词 rf ion source data acquisition data processing TCP LZO algorithm
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离子束刻蚀技术与设备常见故障分析 被引量:3
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作者 程壹涛 刘成群 吴海 《电子工业专用设备》 2021年第5期33-38,共6页
介绍了离子束刻蚀技术的特点及其基本原理,并以某型号离子束刻蚀机为例,重点介绍了该设备组成结构与工作原理。同时,根据以往维修经验,总结归纳了该设备的常见故障,并对故障原因进行了深入分析,给出了相应的解决措施。
关键词 离子束刻蚀 射频离子源 中和器 离子光学系统
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高频H型放电离子源的场特性 被引量:3
8
作者 唐平瀛 丁伯南 戴晶怡 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第9期932-936,共5页
 从Maxwell方程组出发,推导了高频H型放电离子源放电空间的场分布,并采用Mafia软件进行了三维实体建模,计算了高频离子源放电击穿前和稳定工作后的电磁场分布,得到了高频离子源放电空间电磁场分布的直观图像。通过比较击穿前高频电场...  从Maxwell方程组出发,推导了高频H型放电离子源放电空间的场分布,并采用Mafia软件进行了三维实体建模,计算了高频离子源放电击穿前和稳定工作后的电磁场分布,得到了高频离子源放电空间电磁场分布的直观图像。通过比较击穿前高频电场的轴向和环向分量,得出了轴向电场在高频离子源击穿中起主要作用的结论,并进而推导出了高频离子源的击穿判据,得出了气体击穿时离子源击穿电压和放电管内气压的关系,与实验结果符合较好。 展开更多
关键词 高频离子源 击穿判据 场分布
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基于CSS的NBI射频离子源控制程序设计 被引量:3
9
作者 胡纯栋 陈光亚 +4 位作者 谢亚红 蒋才超 崔庆龙 骆翠萍 赵远哲 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2017年第11期39-44,共6页
离子源是中性束注入器(Neutral Beam Injector,NBI)的关键子系统之一,根据射频离子源的实验和运行需求,本文设计了一套基于物理实验与工业控制系统(Experimental Physics and Industrial Control System,EPICS)架构的控制程序,实现对射... 离子源是中性束注入器(Neutral Beam Injector,NBI)的关键子系统之一,根据射频离子源的实验和运行需求,本文设计了一套基于物理实验与工业控制系统(Experimental Physics and Industrial Control System,EPICS)架构的控制程序,实现对射频离子源实验和调试过程的远程监控功能。NBI射频离子源控制程序通过集成开发平台(Control System Studio,CSS)的交互界面开发模块(Best OPI Yet,BOY)实现友好的人机交互界面,使用Jython实现界面逻辑,支持服务器/客户端和EPICS两种通信架构。程序已经上线近半年,实验表明,射频离子源控制程序具备了放电模式设置、时序幅值设置、设备状态实时监控、采集数据实时波形显示等功能,满足了射频离子源实验的远程控制和数据可视化的需求。 展开更多
关键词 射频离子源 控制程序 物理实验与工业控制系统 集成开发平台
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EAST中性束注入射频离子源放电模拟研究 被引量:3
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作者 张黎 许永建 +3 位作者 谢亚红 韦江龙 梁立振 胡纯栋 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2019年第2期76-81,共6页
中性束注入加热是核聚变中非常重要的一种辅助加热手段,离子源所能达到的性能决定了东方超环(Experimental Advanced Superconducting Tokamak, EAST)中性束注入所能达到的指标。为了实现长脉冲和高功率加热的需求,采用射频离子源取代... 中性束注入加热是核聚变中非常重要的一种辅助加热手段,离子源所能达到的性能决定了东方超环(Experimental Advanced Superconducting Tokamak, EAST)中性束注入所能达到的指标。为了实现长脉冲和高功率加热的需求,采用射频离子源取代传统的热阴极离子源已成为未来离子源发展的一种趋势。本文对射频离子源的结构设计和放电特性进行了理论模拟研究,给出了线圈匝数、匝间距、驱动器尺寸、放电气压和射频功率等参数与等离子体参数间的关系,为接下来射频离子源的研制和实验奠定一定的理论基础。 展开更多
关键词 中性束注入 射频离子源 理论模拟 放电特性
原文传递
大面积NBI射频离子源电气参数设计分析 被引量:2
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作者 陈俞钱 谢亚红 +2 位作者 胡纯栋 蒋才超 崔庆龙 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期243-246,共4页
为探究射频离子源驱动器线圈电气参数对射频放电的影响,主要进行了射频离子源等离子体激发的物理分析,并计算了射频电源的频率选择与线圈放电电流、线圈匝间电压以及放电气压之间的关系,设计了射频离子源驱动器的主要参数。研制的射频... 为探究射频离子源驱动器线圈电气参数对射频放电的影响,主要进行了射频离子源等离子体激发的物理分析,并计算了射频电源的频率选择与线圈放电电流、线圈匝间电压以及放电气压之间的关系,设计了射频离子源驱动器的主要参数。研制的射频离子源驱动器装置,成功获得氢等离子体射频放电。实验结果和理论计算结果符合很好。 展开更多
关键词 射频离子源 EAST NBI射频驱动器
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高频离子源的光学设计 被引量:2
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作者 祖秀兰 娄本超 +4 位作者 李艳 刘湾 胡永宏 张钦龙 周长庚 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期172-175,共4页
ns-200中子发生器采用的是高频离子源,面临着提高离子源的性能,增大引出束流的技术改造问题。为此开展了高频离子源的设计研制工作。高频离子源采用管道式引出结构和三圆筒单透镜聚焦系统。根据设计指标要求和离子光学原理,经过计算和优... ns-200中子发生器采用的是高频离子源,面临着提高离子源的性能,增大引出束流的技术改造问题。为此开展了高频离子源的设计研制工作。高频离子源采用管道式引出结构和三圆筒单透镜聚焦系统。根据设计指标要求和离子光学原理,经过计算和优化,确定了引出系统和聚焦系统的主要参数。采用传输矩阵和束矩阵(σ矩阵)相结合的数值计算方法,运用LEADS软件模拟计算了束流传输过程,模拟计算的结果与理论设计相吻合。在ns-200中子发生器上进行了初步的实验,表明设计的高频离子源束流光学系统是合理的。 展开更多
关键词 高频离子源 引出电极 离子光学设计 模拟计算
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The development of data acquisition and control system for extraction power supply of prototype RF ion source 被引量:1
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作者 Meichu HUANG Chundong HU +4 位作者 Yuanzhe ZHAO Caichao JIANG Yahong XIE Shiyong CHEN Qinglong CUI 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第8期104-111,共8页
A 16 kV/20 A power supply was developed for the extraction grid of prototype radio frequency(RF) ion source of neutral beam injector. To acquire the state signals of extraction grid power supply(EGPS) and control ... A 16 kV/20 A power supply was developed for the extraction grid of prototype radio frequency(RF) ion source of neutral beam injector. To acquire the state signals of extraction grid power supply(EGPS) and control the operation of the EGPS, a data acquisition and control system has been developed. This system mainly consists of interlock protection circuit board, photoelectric conversion circuit, optical fibers, industrial compact peripheral component interconnect(CPCI) computer and host computer. The human machine interface of host computer delivers commands and data to program of the CPCI computer, as well as offers a convenient client for setting parameters and displaying EGPS status. The CPCI computer acquires the status of the power supply. The system can turn-off the EGPS quickly when the faults of EGPS occur. The system has been applied to the EGPS of prototype RF ion source. Test results show that the data acquisition and control system for the EGPS can meet the requirements of the operation of prototype RF ion source. 展开更多
关键词 rf ion source data acquisition control system TCP/IP protocol beam extraction
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强流RF离子源研制及初步实验 被引量:1
14
作者 顾玉明 胡纯栋 +4 位作者 谢亚红 谢远来 李军 梁立振 陈俞钱 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2016年第4期338-343,共6页
介绍了RF离子源驱动源的结构设计及RF线圈的热流固耦合分析。RF离子源采用外置天线的感应耦合方式,采用双射频驱动源设计,每个射频驱动源功率约60k W,总体功率为120k W,可产生均匀高密度的等离子体,以满足稳定的长脉冲运行的要求。在完... 介绍了RF离子源驱动源的结构设计及RF线圈的热流固耦合分析。RF离子源采用外置天线的感应耦合方式,采用双射频驱动源设计,每个射频驱动源功率约60k W,总体功率为120k W,可产生均匀高密度的等离子体,以满足稳定的长脉冲运行的要求。在完成上述工作的基础上完成了RF离子源样机组装和初步实验测试。 展开更多
关键词 rf离子源 等离子体发生器 结构设计 热流固耦合分析
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Achievement of 1000 s plasma generation of RF source for neutral beam injector
15
作者 Chundong HU Yahong XIE +7 位作者 Yongjian XU Caichao JIANG Jianglong WEI Yuming GU Qinglong CUI Lizhen LIANG Shiyong CHEN Yuanlai XIE 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第2期5-8,共4页
A radio frequency(RF) ion source was developed for neutral beam injector in Institute of Plasma Physics, Chinese Academy of Sciences(ASIPP). A cylindrical driver based RF plasma source was tested and optimized for lon... A radio frequency(RF) ion source was developed for neutral beam injector in Institute of Plasma Physics, Chinese Academy of Sciences(ASIPP). A cylindrical driver based RF plasma source was tested and optimized for long pulse operation. Recently, the plasma source achieved 1000 s stable plasma discharge with RF power of 35 k W and source pressure of 0.7 Pa for the first time.The heat loading on each of driver components such as the Faraday shield(FS), RF coil and expansion chamber was measured by the water flow calorimeter system. The experiment results showed that FS is the component with highest heat loading and the heat loading on FS was about 65.8% of total heat loading on source. The details of the long pulse operation of RF plasma source are presented in this paper. 展开更多
关键词 NEUTRAL beam INJECTOR rf ion source water flow CALORIMETER LONG PULSE
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中子管射频离子源前端电路设计 被引量:1
16
作者 王蔚 乔双 《东北师大学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2019年第1期94-98,共5页
设计了一套中子管用小功率射频离子源前端电路.该射频离子源前端电路主体由MC1648压控振荡器产生的信号源、功率放大器、耦合天线及阻抗匹配电路等部分组成.利用Smith圆图对前端电路主体进行了设计研究,结果实现了可产生稳定工作频率13.... 设计了一套中子管用小功率射频离子源前端电路.该射频离子源前端电路主体由MC1648压控振荡器产生的信号源、功率放大器、耦合天线及阻抗匹配电路等部分组成.利用Smith圆图对前端电路主体进行了设计研究,结果实现了可产生稳定工作频率13.56MHz、最大输出功率为4 W的高频正弦波. 展开更多
关键词 射频离子源 MC1648 SMITH圆图 阻抗匹配
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射频电感耦合离子源放电室内放电等离子体的二维磁流体模拟研究 被引量:1
17
作者 聂军伟 陈庆川 +3 位作者 黄琪 冯春堂 赵哲 耿少飞 《真空》 CAS 2013年第1期67-70,共4页
为了研究平面盘香形射频离子源等离子体放电特性,对射频电感耦合离子源内的放电等离子体运用磁流体动力学建立二维磁流体模型进行数值模拟,得到了放电室内等离子体参数分布。结果发现电子由于受双极性电势的约束主要分布在放电室的中心... 为了研究平面盘香形射频离子源等离子体放电特性,对射频电感耦合离子源内的放电等离子体运用磁流体动力学建立二维磁流体模型进行数值模拟,得到了放电室内等离子体参数分布。结果发现电子由于受双极性电势的约束主要分布在放电室的中心,放电等离子体吸收能量的区域主要在放电室内距天线1 cm附近。对比电子的温度和离子密度分布,在低气压条件下,电子加热的区域和产生电离的区域是分开的,电子加热的区域出现在线圈附近,而最强的电离过程发生在双极性电势最高的位置附近。 展开更多
关键词 电感耦合等离子体 数值模拟 磁流体动力学 射频离子源
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等离子抛光石英玻璃特性研究
18
作者 郑才国 陈庆川 +2 位作者 聂军伟 李民久 陈美艳 《真空》 CAS 2020年第4期72-76,共5页
离子束具有加工精度高、可控性好、加工面洁净无污染等优点,利用其加工超光滑光学元件可避免传统机械加工方法所带来的亚表面损伤。本文将射频等离子体应用于石英玻璃的加工,对射频等离子体抛光效应进行了研究。分析通过改变离子束的能... 离子束具有加工精度高、可控性好、加工面洁净无污染等优点,利用其加工超光滑光学元件可避免传统机械加工方法所带来的亚表面损伤。本文将射频等离子体应用于石英玻璃的加工,对射频等离子体抛光效应进行了研究。分析通过改变离子束的能量、束流和入射角等工艺参数,对抛光效果的影响。试验结果表明,表面粗糙度RMS随着离子束能量的增大先降低后升高,离子束抛光能量为600eV时,粗糙度到达最小,为1.73RMS/nm,离子束束流为200mA时,粗糙度到达最小为1.26RMS/nm。表面粗糙度随抛光时间增加先降低后升高。 展开更多
关键词 离子束抛光 入射角 射频离子源 表面粗糙度
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低能大束斑射频离子源
19
作者 易书卷 陈开芹 黄培基 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 1989年第1期58-60,共3页
一、引言 射频离子源素有结构简单。维护运行方便,质子比高等优点;并且造价低,在大规模工业应用上与其他源型相比,具有优越的竞争能力。 目前,仅限于单孔引出,射频离子源最大引出质子流强,均在5mA以下,且没有开发这种离子源型的应用。... 一、引言 射频离子源素有结构简单。维护运行方便,质子比高等优点;并且造价低,在大规模工业应用上与其他源型相比,具有优越的竞争能力。 目前,仅限于单孔引出,射频离子源最大引出质子流强,均在5mA以下,且没有开发这种离子源型的应用。我们研制的毫安级射频离子源,其特点是低能、大束斑。 展开更多
关键词 射频离子源 离子辅助镀 表面改性
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基于PWM控制方式的射频离子源送气系统设计
20
作者 卜英南 雷光玖 +1 位作者 张贤明 李明 《测控技术》 CSCD 北大核心 2013年第8期87-90,共4页
针对射频离子源实验对放电室气压精确控制的要求,提出了基于PWM控制方式的送气系统设计方案。结合真空系统的数学方程,利用Matlab-Simulink工具对PWM控制方式的送气过程进行仿真和分析,验证该控制方式的可行性。该送气系统以数字信号控... 针对射频离子源实验对放电室气压精确控制的要求,提出了基于PWM控制方式的送气系统设计方案。结合真空系统的数学方程,利用Matlab-Simulink工具对PWM控制方式的送气过程进行仿真和分析,验证该控制方式的可行性。该送气系统以数字信号控制器为核心控制单元,采用前馈补偿和气压反馈PID控制策略,通过调节PWM占空比控制送气流量,以实现对离子源放电室气压的有效控制。实验结果显示了PWM控制方式能够对气压进行精确控制,基于该控制方式的送气系统能够满足射频离子源放电实验要求。 展开更多
关键词 气压控制 射频离子源 PWM控制方式
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