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运用混合式立体化教学模式培养应用型创新人才——《微电子工艺》课程教学的改革与实践 被引量:25
1
作者 张瑞 姚凌江 吴向文 《现代教育技术》 CSSCI 2010年第1期77-81,共5页
文章以培养应用型创新人才为目标,在探讨了当前《微电子工艺》课程教学中存在的问题与难点的基础上,以松绑教育与整合教学两种理论为指导,提出了"混合式立体化"教学模式,并进行了相应的教学实践及探索,最后对其实践效果进行... 文章以培养应用型创新人才为目标,在探讨了当前《微电子工艺》课程教学中存在的问题与难点的基础上,以松绑教育与整合教学两种理论为指导,提出了"混合式立体化"教学模式,并进行了相应的教学实践及探索,最后对其实践效果进行了调查分析。该模式的运用对全面改革《工艺》课程教学有着重要的理论与实践意义。 展开更多
关键词 微电子工艺 应用型创新人才 混合式立体化教学 教学模式
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集成电路技术发展动态 被引量:11
2
作者 王红 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期515-522,542,共9页
近年来,许多文献对微电子技术或集成电路的发展动态进行了报道,对集成电路的市场需求、技术要求及应用前景进行了论述。主要侧重于技术层面,对硅集成电路技术(包括数字集成电路和模拟集成电路)涉及到的材料、器件、工艺、电路等的发展... 近年来,许多文献对微电子技术或集成电路的发展动态进行了报道,对集成电路的市场需求、技术要求及应用前景进行了论述。主要侧重于技术层面,对硅集成电路技术(包括数字集成电路和模拟集成电路)涉及到的材料、器件、工艺、电路等的发展动态进行综述。 展开更多
关键词 硅集成电路 模拟集成电路 数字集成电路 微电子器件 微电子工艺
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《微电子工艺》的理论教学与学生实践能力培养 被引量:10
3
作者 罗小蓉 张波 李肇基 《实验科学与技术》 2007年第1期77-79,共3页
就《微电子工艺》课程的理论与实验教学进行了探讨。结合笔者的教学实践,介绍了《微电子工艺》课程教学内容的选取、教学方式的改革与探索,强调了将教师的理论教学、实验教学与学生的自主学习相结合的教学方式,以激发学生的学习兴趣,培... 就《微电子工艺》课程的理论与实验教学进行了探讨。结合笔者的教学实践,介绍了《微电子工艺》课程教学内容的选取、教学方式的改革与探索,强调了将教师的理论教学、实验教学与学生的自主学习相结合的教学方式,以激发学生的学习兴趣,培养动手能力,提高教学效果。 展开更多
关键词 微电子工艺 教学方法 实验 能力
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激光直写系统制作掩模和器件的工艺 被引量:4
4
作者 侯德胜 冯伯儒 +2 位作者 张锦 杜春雷 邱传凯 《微细加工技术》 EI 1999年第1期55-61,共7页
激光直写系统是国际上90年代制作集成电路光刻掩模版的新型专用设备。微细加工光学技术国家重点实验室从加拿大引进了国内第一台激光直写系统。利用这台系统,通过高精度激光束在光致抗蚀剂上扫描曝光,将设计图形直接转移到掩模或硅... 激光直写系统是国际上90年代制作集成电路光刻掩模版的新型专用设备。微细加工光学技术国家重点实验室从加拿大引进了国内第一台激光直写系统。利用这台系统,通过高精度激光束在光致抗蚀剂上扫描曝光,将设计图形直接转移到掩模或硅片上。激光直写系统的应用,可以分成一次曝光制作光刻掩模和多次套刻曝光制作器件两个方面。介绍使用激光直写系统制作光刻掩模和套刻器件的具体工艺。 展开更多
关键词 激光直写 光刻掩模 半导体器件 微电子工艺
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基于OBE的微电子工艺课程实验设计
5
作者 李严 殷树娟 +1 位作者 李涵 邓伟 《集成电路应用》 2024年第5期92-93,共2页
阐述微电子工艺实验教学中的问题及原因,提出解决思路,并给出实验设计方案和具体的实验案例,从而达到实践环节加深理论教学的目的,使学生具备解决微电子工艺问题的实际能力。
关键词 微电子工艺 OBE 教学设计 制造工艺 实践能力
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微电子工艺多媒体教学系统的设计 被引量:3
6
作者 曹一江 翟志芳 +2 位作者 殷景华 王东兴 宋明歆 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1362-1365,共4页
为改进传统的教学方式,用信息化时代的新技术、新手段来提高教学水平和教学质量,介绍微电子工艺计算机辅助教学(CAI)系统设计及开发过程.系统主框架采用Borland公司的Delph i软件开发,同时也使用了F lash、Photoshop、F ireworks等辅助... 为改进传统的教学方式,用信息化时代的新技术、新手段来提高教学水平和教学质量,介绍微电子工艺计算机辅助教学(CAI)系统设计及开发过程.系统主框架采用Borland公司的Delph i软件开发,同时也使用了F lash、Photoshop、F ireworks等辅助工具. 展开更多
关键词 多媒体 计算机辅助教学 微电子工艺 课件 DELPHI
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基于分子动力学的Cu_3Sn/Cu界面元素扩散行为数值模拟 被引量:1
7
作者 余波 李晓延 +1 位作者 姚鹏 朱永鑫 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第8期50-54,共5页
文中采用修正的嵌入原子势函数(modified embedded atomic method,MEAM)的分子动力学模拟,研究了无铅焊点中Cu_3Sn/Cu界面元素的扩散过程,对界面元素的扩散行为进行了分析计算,获得了界面各元素的扩散激活能,根据元素扩散的经验公式得... 文中采用修正的嵌入原子势函数(modified embedded atomic method,MEAM)的分子动力学模拟,研究了无铅焊点中Cu_3Sn/Cu界面元素的扩散过程,对界面元素的扩散行为进行了分析计算,获得了界面各元素的扩散激活能,根据元素扩散的经验公式得出界面过渡区的厚度表达式.结果表明,扩散过程中主要是铜晶格中Cu原子向Cu_3Sn晶格中扩散.其中,铜晶格内原子以较慢的速率扩散,但可以深入Cu_3Sn晶格内部,Cu_3Sn中原子以较快的速率扩散,但难以进入铜晶格内部.结合阿伦尼乌斯关系和爱因斯坦扩散定律,计算得到界面处铜晶格原子的扩散激活能为172.76 k J/mol,界面处Cu_3Sn晶格中Cu原子扩散激活能为52.48 k J/mol,Sn原子扩散激活能为77.86 k J/mol. 展开更多
关键词 微电子封装 扩散 Cu3Sn/Cu界面 分子动力学
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小型电动机变频调速系统集成技术研究
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作者 张晓仙 《现代制造技术与装备》 2016年第12期66-66,68,共2页
本文论述微电子工艺集成电机变频调速系统对小型电动机变频调速系统集成技术,每个角度分别从问题解决方案和可行性问题进行论述,希望对有关理论研究和实践提供一些理论参考依据。
关键词 微电子工艺 封装工艺 集成
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微电子元件制造过程中的应力分析 被引量:2
9
作者 徐千军 余寿文 《计算结构力学及其应用》 CSCD 1996年第1期9-16,共8页
本文分析了一个典型的微电子元件在创造过程中残余应力的分布和演化.与以往大多数类似的分析工作的不同之处在于,我们并不是对一个已成型的结构再回过头去仅仅分析其温度历史下相应的应力状态,而是追踪了该结构成型过程的各个方面,... 本文分析了一个典型的微电子元件在创造过程中残余应力的分布和演化.与以往大多数类似的分析工作的不同之处在于,我们并不是对一个已成型的结构再回过头去仅仅分析其温度历史下相应的应力状态,而是追踪了该结构成型过程的各个方面,尤其是由于工艺过程中结构几何形状的变化而引起的应力重分布.采用的方法则是控制某些材料所对应的单元在某一特定的时刻以后才起作用,这种方法对于各种制造过程的分析非常有效. 展开更多
关键词 有限元 应力分析 微电子元件 成型过程
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微力电系统中多层膜的端部应力集中 被引量:2
10
作者 余寿文 徐千军 《机械强度》 CAS CSCD 北大核心 1995年第2期7-13,共7页
微电子技术的发展对其本身及封装的结构可靠性提出了更高的要求,微机械的出现又使得微电子机械元器件的电学行为和力学行为密不可分,从而扩展成为一个统一的微力电系统。微力电系统的强度问题主要是多层膜在制造和使用过程中,由于不... 微电子技术的发展对其本身及封装的结构可靠性提出了更高的要求,微机械的出现又使得微电子机械元器件的电学行为和力学行为密不可分,从而扩展成为一个统一的微力电系统。微力电系统的强度问题主要是多层膜在制造和使用过程中,由于不同材料热学与力学参量的失配引起的残余热应力,特别是在界面和端部的应力集中。本文应用有限元方法分析了在不同的端部几何形状和组合形状下,多层膜中应力沿界面的分布。对于微电子元件在成型过程中产生的残余应力,则同时讨论了温度历史和结构几何形状变化引起的应力重分布。对计算结果的分析和比较,可以帮助我们加深对结构和工艺优化问题的深入理解。 展开更多
关键词 微力电系统 微电子元件 薄膜 应力集中 机械学
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教研资源共享的“微电子工艺实验”改革 被引量:3
11
作者 廖荣 《实验科学与技术》 2016年第3期108-109,170,共3页
为了加强学生对微电子制造过程的感性认识和对学科特点的认知,在原有的微电子平面工艺实验的基础上,对"微电子工艺实验"教学模式进行改革,引入氧化锌基薄膜场效应晶体管工艺制造技术及半导体测试分析实验,使教学与科研资源共... 为了加强学生对微电子制造过程的感性认识和对学科特点的认知,在原有的微电子平面工艺实验的基础上,对"微电子工艺实验"教学模式进行改革,引入氧化锌基薄膜场效应晶体管工艺制造技术及半导体测试分析实验,使教学与科研资源共享,建立了由教学内容的准备、多媒体教学、实际动手流片、完善有效的实验考核方案四部分组成的教学方式,激发了同学们学习的热情,取得了较好的教学效果。 展开更多
关键词 微电子工艺实验 薄膜场效应晶体管 教学改革 流水实验
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面向多品种、小批量微电子制造过程的SPC技术应用研究 被引量:2
12
作者 刘岗岗 王旭亮 +2 位作者 胡锐 唐拓 卢辉昊 《电子质量》 2020年第1期5-8,共4页
统计过程控制(SPC)是质量管理中一种常用的工具,但由于高可靠微电子元器件生产企业绝大部分都是多品种、小批量生产,工序常规的SPC模型已经不能对这类生产型企业工序状态进行有效的监控。该文着重探讨分析一种嵌套回归SPC模型,这种SPC... 统计过程控制(SPC)是质量管理中一种常用的工具,但由于高可靠微电子元器件生产企业绝大部分都是多品种、小批量生产,工序常规的SPC模型已经不能对这类生产型企业工序状态进行有效的监控。该文着重探讨分析一种嵌套回归SPC模型,这种SPC模型更适合成本较高的多品种、小批量生产模式,即能降低分析控制成本,又能很好地解决多品种、小批量生产统计过程控制所需数据不足的问题。 展开更多
关键词 微电子制造 统计过程控制 低成本
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微电子生产过程调度问题基于指标快速预报的分解算法 被引量:2
13
作者 张龙 许川佩 +1 位作者 刘民 董明宇 《控制与决策》 EI CSCD 北大核心 2020年第1期139-146,共8页
微电子生产过程调度问题具有规模大和约束复杂等特点,如菜单、Setup时间和组批约束等,其优化调度具有一定难度.针对以最小化平均流经时间为调度目标的较大规模微电子生产过程调度问题,提出一种基于指标快速预报的分解方法(DM-IFP).首先... 微电子生产过程调度问题具有规模大和约束复杂等特点,如菜单、Setup时间和组批约束等,其优化调度具有一定难度.针对以最小化平均流经时间为调度目标的较大规模微电子生产过程调度问题,提出一种基于指标快速预报的分解方法(DM-IFP).首先,通过松弛不可中断约束,设计一种代理方法,即基于机器负载的操作完工时间快速预测方法(CTP-ML);其次,设计基于CTP-ML的问题分解方法,将原问题迭代分解为多个连续交迭的子问题;然后,提出一种基于双信息素的蚁群算法(ACO-D)用于求解分解后的子问题,其全局调度目标采用CTP-ML获取,有效保证了全局优化性能;最后,针对一些不同规模的仿真数据,将所提出方法与一些代表性的算法进行详尽的数值对比,计算结果表明所提出方法在所获解的质量和收敛性上均有改善. 展开更多
关键词 微电子生产过程 调度 蚁群算法 分解 预测
原文传递
现代微电子技术及其发展综述 被引量:1
14
作者 李兴 刘盾 张建民 《天津职业技术师范学院学报》 2003年第4期35-37,46,共4页
介绍了当前超大规模集成电路技术的发展现状及几种主要生产工艺,如化学机械抛光、离子注入、物理气相沉积、化学气相沉积、刻蚀等,并对今后使ULSI特征尺寸从0.13μm进一步减小的研究方向以及材料的选择等方面进行了探讨。
关键词 微电子技术 化学机械抛光 快速热处理 低电阻率
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微电子工艺实践课程网络教学平台的开发 被引量:1
15
作者 李伙全 陈磊 刘剑霜 《科教文汇》 2012年第25期58-59,共2页
本文作者分析了传统的微电子工艺实践教学存在的不足,构建了微电子工艺实践教学网络平台。该网络教学平台包括课程信息、研究型教学、网络自主学习等功能模块。网络教学平台能帮助学生全面地掌握微电子工艺实践教学内容,有效地实现了教... 本文作者分析了传统的微电子工艺实践教学存在的不足,构建了微电子工艺实践教学网络平台。该网络教学平台包括课程信息、研究型教学、网络自主学习等功能模块。网络教学平台能帮助学生全面地掌握微电子工艺实践教学内容,有效地实现了教师的主导作用与学生主体作用的最佳组合,提高了课程的教学质量与效益。将网络教学平台用于开展研究型教学,有助于创新人才的培养。 展开更多
关键词 微电子工艺 实践教学 网络教学平台
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真空微电子器件硅锥阴极的工艺研究 被引量:1
16
作者 关辉 朱长纯 刘君华 《微电子学》 CAS CSCD 1992年第4期70-73,共4页
本文介绍了利用半导体硅材料制作的真空微电子器件的核心部件,场致发射硅锥阴极,的工艺研究及实验结果。提出了两步腐蚀的工艺方案,制成了形状理想的锥体阴极。
关键词 硅锥阴极 微电子器件 工艺 设计
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微电子技术与蜂窝电话
17
作者 岳云 《微电子技术》 1999年第5期9-12,共4页
80年代,许多具有革命性意义的电子产品为芯片制造商提供了新的发展机遇。进入90年代以后,越来越多的数字化产品的面市加速了整机便携性的提高。本文以蜂窝电话为例阐述了微电子技术在此进程中所起的重要作用。
关键词 微电子技术 蜂窝电话 IC加工工艺
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“微电子工艺基础”教学的应用能力培养 被引量:6
18
作者 王红航 张华斌 +3 位作者 罗仁泽 陈卉 文毅 胡云峰 《电气电子教学学报》 2009年第2期117-118,共2页
独立学院应用型人才培养模式在我国教育的研究还是空白。笔者根据电子科学与技术专业应用型人才培养模式要求,结合多年的教学实践,在"微电子工艺基础"课程教学内容、教学方式和考核方式等方面进行了探索,提出了将教师的任务... 独立学院应用型人才培养模式在我国教育的研究还是空白。笔者根据电子科学与技术专业应用型人才培养模式要求,结合多年的教学实践,在"微电子工艺基础"课程教学内容、教学方式和考核方式等方面进行了探索,提出了将教师的任务驱动式教学与学生的自主式学习相结合、同时辅以必要的实验实践环节为特色的教学方法。实践证明,这种该方法对培养合格的微电子应用型人才是有效的。 展开更多
关键词 应用型人才培养 微电子工艺
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我国超净高纯试剂的应用与发展 被引量:6
19
作者 徐英伟 《微处理机》 2010年第3期1-5,共5页
超净高纯试剂是微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化工材料之一,一代微细加工技术需要一代超净高纯试剂与之配套。简要介绍了国内外微电子技术中集成电路、分立器件和液晶显示器件等制作技术的现状及发展趋势,介绍了超净高纯试剂... 超净高纯试剂是微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化工材料之一,一代微细加工技术需要一代超净高纯试剂与之配套。简要介绍了国内外微电子技术中集成电路、分立器件和液晶显示器件等制作技术的现状及发展趋势,介绍了超净高纯试剂在微电子技术发展过程中的几种主要应用及关键品种,阐述了国内外超净高纯试剂的现状及发展趋势,指出了我国超净高纯试剂的技术与产业化等方面与国外存在的主要差距和主要问题,最后指出了我国近期超净高纯试剂的产业化和研发的主要方向。 展开更多
关键词 微电子技术 超净高纯试剂 应用 发展
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基于CDIO工程教育理念的微电子工艺课程建设 被引量:5
20
作者 陈祝 王天宝 聂海 《实验室科学》 2012年第1期32-34,共3页
课程建设与改革是提高本科教学质量与人才培养的的关键,CDIO是目前高等工程教育的一种新型教育模式,本文结合CDIO人才培养理念,针对微电子工艺课程的特点,从课程建设思想、教学内容与方法、创新能力培养,多方位构建教学与实践平台、多... 课程建设与改革是提高本科教学质量与人才培养的的关键,CDIO是目前高等工程教育的一种新型教育模式,本文结合CDIO人才培养理念,针对微电子工艺课程的特点,从课程建设思想、教学内容与方法、创新能力培养,多方位构建教学与实践平台、多元化的过程考核方式等方面的具体改革措施,探索了微电子工艺课程建设和教学改革,且这些改革措施的应用已初见成效。 展开更多
关键词 CDIO 微电子工艺 课程建设
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