集成电路制造中真实缺陷位置的提取方法 被引量：3

1

作者 王俊平 姜晓鸿 +1 位作者 方敏 王正光 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第4期510-513,共4页

提出一种ＩＣ缺陷特征的提取算法，该算法能自动检测出ＩＣ缺陷的位置．在预处理阶段，利用形态开运算消除小缺陷和背景噪音，对开后的结果图像进行形态腐蚀，获得冗余物型缺陷的位置特征．实验证明了该算法的正确性．该结果为计算机自... 提出一种ＩＣ缺陷特征的提取算法，该算法能自动检测出ＩＣ缺陷的位置．在预处理阶段，利用形态开运算消除小缺陷和背景噪音，对开后的结果图像进行形态腐蚀，获得冗余物型缺陷的位置特征．实验证明了该算法的正确性．该结果为计算机自动检测ＩＣ真实缺陷提供了有效的途径． 展开更多

关键词 ic缺陷 缺陷位置提取 形态算子

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IC制造中真实缺陷轮廓模型的比较

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作者 姜晓鸿 郝跃 +1 位作者 许冬岗 徐国华 《电子科学学刊》 CSCD 1998年第2期206-212,共7页

本文对现有的IC制造中真实缺陷轮廓的建模方法进行了比较,得到了一些有意义的结果。该结果为进行有效的集成电路(IC)成品率预报及故障分析提供了有益的借鉴。

关键词 ic缺陷 ic故障 制造工艺

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一种结合直方图均衡化和MSRCR的图像增强新算法 被引量：48

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作者 李锦 王俊平 +4 位作者 万国挺 李紫阳 许丹 曹洪花 张广燕 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第3期103-109,共7页

为便于集成电路(IC)真实缺陷形貌图的缺陷特征提取,提出了一种结合直方图均衡化(HE)和多尺度Retinex彩色恢复(MSRCR)算法的彩色图像增强新算法.用直方图均衡化对彩色图像进行增强,可以显著提高对比度,但会降低原图的信息熵;用Retinex算... 为便于集成电路(IC)真实缺陷形貌图的缺陷特征提取,提出了一种结合直方图均衡化(HE)和多尺度Retinex彩色恢复(MSRCR)算法的彩色图像增强新算法.用直方图均衡化对彩色图像进行增强,可以显著提高对比度,但会降低原图的信息熵;用Retinex算法对彩色图像进行增强,可以显著提高暗区域的细节,但会产生泛白、颜色失真和对比度低的现象.新算法根据两种算法处理结果的特点,将图像先分别进行HE增强和MSRCR增强,然后按照一定的图像融合规则进行加权融合,经过大量的测试统计,得到了一个最佳权重.实验证明,改进的算法使图像的亮度、对比度、细节等都有很大的增强,不仅改善了图像的整体视觉效果,而且得到了最大的信息熵,能更好地刻画IC缺陷细节,有利于后续的目标检测和缺陷特征提取,并验证了算法的通用性. 展开更多

关键词 图像增强 直方图均衡化 RETINEX算法 图像融合 ic缺陷特征提取

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划分IC缺陷团的聚类算法

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作者 赵天绪 马佩军 郝跃 《计算机学报》 EI CSCD 北大核心 2002年第6期661-665,共5页

大量实验表明了在集成电路 (IC)制造过程中形成的缺陷团之间具有很强的相关性 ,然而现用于划分缺陷团的方法均忽略了缺陷之间的相关性 .因此 ,得到的缺陷分布规律不能有效地反映缺陷在圆片上的分布 .为了提高IC成品率和可靠性仿真和设... 大量实验表明了在集成电路 (IC)制造过程中形成的缺陷团之间具有很强的相关性 ,然而现用于划分缺陷团的方法均忽略了缺陷之间的相关性 .因此 ,得到的缺陷分布规律不能有效地反映缺陷在圆片上的分布 .为了提高IC成品率和可靠性仿真和设计的精度 ,提高缺陷分布模型的准确性 ,该文提出了划分缺陷团的聚类算法 .该方法依据缺陷形成的动力学基础 ,充分考虑了缺陷团之间的相关性 .实验证明该算法用于划分 展开更多

关键词 ic缺陷团 聚类算法 相关性 缺陷分布 集成电路 制造过程

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基于小波变换的IC缺陷轮廓曲线分形维估计 被引量：3

5

作者 孙晓丽 宋国乡 《现代电子技术》 2006年第1期126-128,共3页

硅片表面缺陷轮廓的形状特征对集成电路(IC)成品率预报及故障分析有重要影响。讨论了IC缺陷轮廓所具有的分形特征,利用小波变换对其参数曲线的分形维数进行了估计,估计结果与实际特征相符,从而为缺陷轮廓特征的描述和计算机模拟提供了... 硅片表面缺陷轮廓的形状特征对集成电路(IC)成品率预报及故障分析有重要影响。讨论了IC缺陷轮廓所具有的分形特征,利用小波变换对其参数曲线的分形维数进行了估计,估计结果与实际特征相符,从而为缺陷轮廓特征的描述和计算机模拟提供了一条新的途径。 展开更多

关键词 ic缺陷轮廓 小波变换 分形雏 集成电路

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IC缺陷轮廓多分形特征研究 被引量：1

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作者 孙晓丽 郝跃 宋国乡 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2007年第2期496-498,共3页

IC真实缺陷轮廓曲线的形状特征对集成电路成品率预报及故障分析有重要影响。该文提出缺陷轮廓曲线具有多分形特征,以某一真实缺陷为例,用小波变换模极大(WTMM)的方法估计了其轮廓曲线参数方程的多分形谱,该结果为硅片表面缺陷的精细表... IC真实缺陷轮廓曲线的形状特征对集成电路成品率预报及故障分析有重要影响。该文提出缺陷轮廓曲线具有多分形特征,以某一真实缺陷为例,用小波变换模极大(WTMM)的方法估计了其轮廓曲线参数方程的多分形谱,该结果为硅片表面缺陷的精细表征及其计算机模拟作了有益探索。 展开更多

关键词 ic缺陷轮廓 小波变换模极大 多分形谱 尺度指数

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IC缺陷轮廓分形维估计的小波方法

7

作者 孙晓丽 郝跃 宋国乡 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1485-1487,共3页

为了有效的进行集成电路成品率预报和故障分析,与光刻有关的硅片表面缺陷通常被假定为圆形、椭圆或方形.然而,真实缺陷的形貌是多种多样的,它们的形状对集成电路的成品率估计有重要影响.本文讨论了缺陷轮廓所具有的分形特征,并用小波变... 为了有效的进行集成电路成品率预报和故障分析,与光刻有关的硅片表面缺陷通常被假定为圆形、椭圆或方形.然而,真实缺陷的形貌是多种多样的,它们的形状对集成电路的成品率估计有重要影响.本文讨论了缺陷轮廓所具有的分形特征,并用小波变换的方法对其分形维数进行了估计,估计结果与实例的特征相符,从而为缺陷轮廓的表征和计算机模拟提供了新的特征参数. 展开更多

关键词 ic缺陷轮廓 小波变换 分形维

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片上低温冷却器可对大型物体进行冷却

8

作者 Richard Comerford 《今日电子》 2005年第8期28-28,共1页

关键词 大型物体 冷却器 低温 天文研究 ic缺陷 传感器 分析仪

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甲骨文修补WebLogic缺陷和数据库漏洞

9

《电脑编程技巧与维护》 2008年第14期4-4,共1页

作为季度关键补丁更新的一部分，甲骨文（Oracle）公司为其WebLogic Server修补了Apache插件程序里一个严重缺陷以及处理多于两打的其他产品漏洞。甲骨文（Oracle）说它的安全升级包含了36个补丁。

关键词 WEBLOGic ic缺陷 甲骨文 数据库 APACHE Server 插件程序

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IC芯片管脚缺陷在线视觉检测系统研究 被引量：5

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作者 朱更明 李方敏 《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心 2002年第1期232-235,共4页

利用图象顺序形态学以及基于知识的阈值选择算法对IC图象进行预处理,具有运算量小、速度快和有效的特点。检测过程采用Blob分析,引入质量控制图方法分析系统误差对系统稳定性的影响,计算了检测系统的工序能力。系统检测精度高,实时性好... 利用图象顺序形态学以及基于知识的阈值选择算法对IC图象进行预处理,具有运算量小、速度快和有效的特点。检测过程采用Blob分析,引入质量控制图方法分析系统误差对系统稳定性的影响,计算了检测系统的工序能力。系统检测精度高,实时性好,满足在线检测的要求。 展开更多

关键词 ic芯片缺陷 计算机视觉 顺序形态学 B1oh分析 质量控制图

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基于改进模板匹配的芯片缺陷检测方法 被引量：3

11

作者 王平 白秀玲 《微计算机信息》 北大核心 2007年第01S期135-136,共2页

提出了一种改进的模板匹配方法。该方法是在传统的模板匹配方法的基础上,通过对模板匹配算法的改进,以达到更快速的匹配结果。实验结果表明,此方法可以快速测出管脚个数及间距.系统检测精度高,实时性好,满足在线检测的要求。

关键词 ic芯片缺陷 模板匹配 图象处理

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