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IC芯片管脚缺陷在线视觉检测系统研究 被引量:5

Study of Defect Inspection for IC Based on Computer Vision
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摘要 利用图象顺序形态学以及基于知识的阈值选择算法对IC图象进行预处理,具有运算量小、速度快和有效的特点。检测过程采用Blob分析,引入质量控制图方法分析系统误差对系统稳定性的影响,计算了检测系统的工序能力。系统检测精度高,实时性好,满足在线检测的要求。 That the Ranked-order Morphological and knowledge threshold selection are used for Image Manipulation has brought some advantages such as little operation,fast speed,and great efficiency.Blobs analysis is used.Quality Con-trol Chart is used to analyze error for system stability,and,procedure capacity is figured out.Precision and real time can be to online inspect.
出处 《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心 2002年第1期232-235,共4页 Computer Engineering and Applications
基金 国家自然科学基金(编号:69974031)资助
关键词 IC芯片缺陷 计算机视觉 顺序形态学 B1oh分析 质量控制图 IC Defect,Computer Vision,Ranked-order Morphological,Blobs Analysis,Quality Control Chart
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