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关于微波固态电路的微型化技术 被引量:3
1
作者 顾墨琳 《现代雷达》 CSCD 1991年第5期70-78,49,共10页
本文概述微波固态电路微型化技术的国际现状和发展趋势,评述单片微波集成电路技术,介绍有关微型化组件“计算机辅助工程”的概念,并赡望国内微型化前景。
关键词 微波固态电路 MMIC HMIC MHMIC gaas mesfet CAE
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GaAs MISFET制备中柠檬酸/双氧水溶液对GaAs/Al_xGa_(1-x)As结构的选择湿法腐蚀 被引量:1
2
作者 杨瑞霞 陈宏江 +2 位作者 武一宾 杨克武 杨帆 《电子器件》 CAS 2007年第2期384-386,390,共4页
用α台阶仪和原子力显微镜(AFM)研究了不同体积比的柠檬酸(50%)/双氧水溶液对GaAs/AlxGa1-xAs系统的选择湿法腐蚀特性,对AlxGa1-xAs停止层的组分和腐蚀液体积比进行了优化.当腐蚀液体积比在1.5∶1到2∶1范围时获得了最好的选择腐蚀效果.... 用α台阶仪和原子力显微镜(AFM)研究了不同体积比的柠檬酸(50%)/双氧水溶液对GaAs/AlxGa1-xAs系统的选择湿法腐蚀特性,对AlxGa1-xAs停止层的组分和腐蚀液体积比进行了优化.当腐蚀液体积比在1.5∶1到2∶1范围时获得了最好的选择腐蚀效果.在25℃.温度条件下,当腐蚀液体积比为1.5∶1时,对Al摩尔分数x为0.2、0.3和1的GaAs/AlxGa1-xAs系统腐蚀比分别为45、74和大于200,表面腐蚀形貌均匀平整.将这种选择腐蚀技术用于GaAsMISFET的栅槽工艺,获得了良好的阈值电压均匀性. 展开更多
关键词 柠檬酸 gaas/AlxGa1-xAs系统 选择性湿法腐蚀 gaas mesfet
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微波功率SiC MESFET小信号等效电路建模研究 被引量:1
3
作者 徐跃杭 徐锐敏 +1 位作者 延波 王磊 《微波学报》 CSCD 北大核心 2007年第B08期130-133,共4页
在传统GaAs MESFET器件小信号模型基础上提出一种更适合SiC MESFET器件的小信号等效电路模型。该模型在引入了与栅压相关的输入电导后,明显改善了S11的拟合精度。提出直接利用cold FET反向栅压偏置下的S参数,通过曲线拟合和外插技术提取... 在传统GaAs MESFET器件小信号模型基础上提出一种更适合SiC MESFET器件的小信号等效电路模型。该模型在引入了与栅压相关的输入电导后,明显改善了S11的拟合精度。提出直接利用cold FET反向栅压偏置下的S参数,通过曲线拟合和外插技术提取SiC MESFET小信号等效电路寄生参数的方法。该模型应用于国内SiC MESFET工艺线,在0.5-18GHz范围内S参数的仿真值和实测值非常吻合。 展开更多
关键词 SiC mesfet(碳化硅金属半导体场效应管) 小信号等效电路 gaas mesfet
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高温正向大电流下TiAl、TiPtAu栅GaAs MESFET的栅退化机理及其对器件特性的影响 被引量:3
4
作者 黄云 费庆宇 《电子产品可靠性与环境试验》 2000年第6期25-29,共5页
针对GaAs MESFET在微波频率的应用中的射频过驱动导致高栅电流密度现象,设计了Tial栅和TiPtAu栅GaAs MESFET的高温正向大电流试验,通过对试验数据和试验样品的扫描电镜静态电压衬度像以及试验中的失效... 针对GaAs MESFET在微波频率的应用中的射频过驱动导致高栅电流密度现象,设计了Tial栅和TiPtAu栅GaAs MESFET的高温正向大电流试验,通过对试验数据和试验样品的扫描电镜静态电压衬度像以及试验中的失效样品进行分析,确定了栅寄生并联电阻的退化是导致器件的跨导gm、栅反向漏电流Is、夹断电压Vp等特性退化,甚至导致器件烧毁失效的主要原因。 展开更多
关键词 砷化镓 场效应晶体管 mesfet TiAC栅 退化机理
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一种快速精确的GaAs MESFET寄生参数提取方法
5
作者 刘桂云 张义门 张玉明 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期760-763,共4页
提出了一种快速精确地提取GaAsMESFET寄生参数方法.这种方法以两组S参数为基础,应用解析表达式直接确定GaAsMESFET的九个寄生参数.该方法适用范围广.以一个0.3μm×280μm商用器件的一组寄生参数为基础,对该方法进行了验证.
关键词 gaas mesfet 寄生参数 提取参数
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GaAs MESFET的压力敏感特性 被引量:2
6
作者 孙金坛 陈军宁 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第2期89-91,共3页
本文研究了GaAsMESFET对应力的敏感特性,分析了敏感原理。对GaAsMESFET用作力学量传感器的可能性进行了讨论。
关键词 gaas mesfet 压力效应 传感器
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GaAs MESFET脉冲微波功率器件瞬态热场模型 被引量:2
7
作者 熊小明 郭世岭 周卫 《电子测量技术》 2006年第5期51-54,共4页
GaAsMESFET微波功率放大器工作在脉冲周期状态下,由于自热效应,在很短的时间内(100μs数量级),芯片沟道温度可能产生十几度甚至几十度的变化,这种剧烈的温度变化导致功放性能的变化也是不能忽略的。本文通过建立、求解热扩散方程及能量... GaAsMESFET微波功率放大器工作在脉冲周期状态下,由于自热效应,在很短的时间内(100μs数量级),芯片沟道温度可能产生十几度甚至几十度的变化,这种剧烈的温度变化导致功放性能的变化也是不能忽略的。本文通过建立、求解热扩散方程及能量平衡方程,建立起沟道温度的一维瞬态热模型。 展开更多
关键词 gaas mesfet脉冲微波功率放大器 自热效应 瞬态热模型
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GaAs MESFET旁栅迟滞特性的机理分析 被引量:1
8
作者 毛剑波 易茂祥 丁勇 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期124-127,共4页
探讨了GaAs MESFET旁栅效应迟滞特性的产生机理,通过详细地分析论证,认为GaAs MESFET旁栅效应迟滞特性与器件的沟道-衬底界面区的电子特性以及半绝缘GaAs衬底具有高密度的深能级电子陷阱有关。通过分析得出的结论可以很好地说明实验结果... 探讨了GaAs MESFET旁栅效应迟滞特性的产生机理,通过详细地分析论证,认为GaAs MESFET旁栅效应迟滞特性与器件的沟道-衬底界面区的电子特性以及半绝缘GaAs衬底具有高密度的深能级电子陷阱有关。通过分析得出的结论可以很好地说明实验结果,同时对于分析GaAs器件的其他特性也具有一定的参考意义。 展开更多
关键词 gaas mesfet 旁栅效应 迟滞特性 沟道衬底结 电子陷阱
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砷化镓场效应管的潜在性失效 被引量:2
9
作者 桂建勋 刘庆祥 王文生 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 1997年第5期585-590,共6页
为提高GaAsMESFET静电放电失效阈值,通过ESD实验前、后直流参数和热分布变化获取不足10%的器件表现为永久性失效,而90%以上的器件表现为潜在性失效的结果。潜在性失效机理为:在强电场、大电流及ns级瞬时冲击下... 为提高GaAsMESFET静电放电失效阈值,通过ESD实验前、后直流参数和热分布变化获取不足10%的器件表现为永久性失效,而90%以上的器件表现为潜在性失效的结果。潜在性失效机理为:在强电场、大电流及ns级瞬时冲击下,辅之以电热迁移和扩散,致使GaAsMESFET肖特基势垒受到不同程度损伤,G-S、G-D间的界面离化或击穿。研究其潜在性失效机理,找出在设计、工艺和材料上的缺陷,以提高器件抗静电能力. 展开更多
关键词 砷化镓 场效应管 静电放电 失效 潜在性失效
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Si^+,Mg^+(隐埋)双注入GaAs MESFET
10
作者 欧海疆 王渭源 +1 位作者 赵崎华 蒋新元 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第4期309-312,共4页
比较了Si^+ 单注入和Si^+ 、Mg^+(隐埋)双注入GaAsMESFET的特性.实验表明,设置高能注入Mg^+隐埋层后,可大大消除衬底背景杂质对有源层的影响,容易制成性能优于Si^+单注入的GaAs E-和D-MESFET,并能提高阈值电压V_(tb)均匀性.
关键词 硅离子 镁离子 双注入 gaas mesfet
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半导体器件热测试 被引量:2
11
作者 李道成 《半导体情报》 1993年第5期60-64,共5页
简要介绍了最常用的三种测温方法的原理及步骤:电学热敏参数法、红外扫描热象法和液晶法。讨论了测试经常遇到的问题,如根据不同需要选择适当的测温方法、不同类型的管子选用不同的电学参数、峰值结温的获得、环境因素的控制等。简单阐... 简要介绍了最常用的三种测温方法的原理及步骤:电学热敏参数法、红外扫描热象法和液晶法。讨论了测试经常遇到的问题,如根据不同需要选择适当的测温方法、不同类型的管子选用不同的电学参数、峰值结温的获得、环境因素的控制等。简单阐述了影响测温精度的因素及解决措施,还比较了各种方法的优缺点。 展开更多
关键词 热测试 砷化镓mesfet 半导体器件
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A MESFET variable-capacitance analytical model 被引量:1
12
作者 Sun, XW Luo, JS +2 位作者 Zhou, ZM Cao, JR Lin, JT 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 1997年第5期374-377,共4页
A GaAs MESFET three-terminal varactor diode fabricated on a semi-insulating substrate can be used for the MMIC active voltage-controlled filter because it is compatible with the standard GaAs MMIC process. The high ca... A GaAs MESFET three-terminal varactor diode fabricated on a semi-insulating substrate can be used for the MMIC active voltage-controlled filter because it is compatible with the standard GaAs MMIC process. The high capacitance ratio needed for wideband tuning filter requires the three-terminal varactor diode (TTVD) to be biased up pinch-off voltage or positive bias. Therefore a variable-capacitance model is applied to analyzing C-V characteristics of this TTVD. The earlier capacitance model for GaAs MESFET did not consider the free carrier move in active region which can cause varying the C-V characteristic, but only depletion layer model approximation. The new model described here takes into account the free carrier move for contributing to gate capacitance. The model analytical results agree well with experiment. 展开更多
关键词 MMIC gaas mesfet variable-capacitance model free CARRIER move.
原文传递
超高速相位量化ADC的表征与测试 被引量:1
13
作者 张有涛 夏冠群 +2 位作者 李拂晓 高建峰 杨乃彬 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2005年第2期22-24,28,共4页
文章详细分析并讨论了应用于相位体制DRFM的ADC参数表征及测试方法。提出用相位非线性(PDNL和PINL)来描述相位体制ADC的静态性能,用瞬时工作带宽(IBW)及相位精度随频率的变化来描述相位ADC的频域性能。采用上述方法对利用南京电子器件... 文章详细分析并讨论了应用于相位体制DRFM的ADC参数表征及测试方法。提出用相位非线性(PDNL和PINL)来描述相位体制ADC的静态性能,用瞬时工作带宽(IBW)及相位精度随频率的变化来描述相位ADC的频域性能。采用上述方法对利用南京电子器件研究所标准3"GaAsMESFET全离子注入工艺流片得到的3bit相位体制ADC进行了性能表征及测试,结果表明其静态PDNL≤0.01LSB,PDNL≤±0.007LSB;电路可在2GHz时钟下完成采样、量化,达到2Gbps的转换速率,其瞬时带宽可达250MHz,带内相位精度小于±0.45LSB。 展开更多
关键词 相位体制模数转换器 表征 数字射频存储器 gaas mesfet
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硫钝化GaAs MESFET的机理研究 被引量:3
14
作者 邢东 李效白 刘立浩 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第7期61-64,共4页
研究了硫钝化对GaAs MESFET 直流特性的影响,并通过对钝化前后击穿电压的分析,认为负电荷表面态的增加减弱了栅靠漏一侧的电场强度,是导致器件击穿电压升高的原因。
关键词 硫钝化 gaasmesfet 击穿电压 负电荷表面态
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GaAs MESFETs欧姆接触的快速评估和改进 被引量:1
15
作者 张万荣 李志国 +5 位作者 穆甫臣 孙英华 程尧海 陈建新 沈光地 穆杰 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 1999年第3期1-4,共4页
提出了金属-半导体欧姆接触退化的快速评估方法-温度斜坡快速评价法,并建立了自动评估系统,用该方法和系统测得的欧姆接触退化激活能,和传统方法相比,耗时少,所需样品少,所得结果和传统方法一致.同时,针对传统AuGeNi/Au欧姆接... 提出了金属-半导体欧姆接触退化的快速评估方法-温度斜坡快速评价法,并建立了自动评估系统,用该方法和系统测得的欧姆接触退化激活能,和传统方法相比,耗时少,所需样品少,所得结果和传统方法一致.同时,针对传统AuGeNi/Au欧姆接触系统的缺点,提出了加TiN扩散阻挡层的新型欧姆接触系统.实验表明,新型欧姆接触系统的可靠性远远优于传统AuGeNi/Au欧姆接触系统. 展开更多
关键词 mesfet 欧姆接触 激活能 扩散阻挡层 砷化镓
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Si_3N_4/SiO_2辅助介质剥离膜的研究 被引量:1
16
作者 宫俊 周南生 张延曹 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第2期198-201,共4页
提出了利用Si3N4/SiO2双层介质膜作为GaAsMESFET(MetalSemiconductorFieldEffectTransistor)剥离工艺中的辅助剥离膜.研究结果表明,采用Si2N4/SiO2双层介质... 提出了利用Si3N4/SiO2双层介质膜作为GaAsMESFET(MetalSemiconductorFieldEffectTransistor)剥离工艺中的辅助剥离膜.研究结果表明,采用Si2N4/SiO2双层介质剥离膜,易于形成倒剪口剖面,金属剥离效果良好,是一种非常有效的辅助剥离膜. 展开更多
关键词 mesfet 砷化镓 氮化硅 二氧化硅 薄膜 剥离工艺
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GaAs MESFET直流解析模型
17
作者 黄庆安 童勤义 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1992年第3期230-234,共5页
根据FET沟道区电场分布的特点,用电子速场特性的分段近似提出了一种新的GaAs MESFET直流解析模型。本文提出的模型可用以计算高夹断电压和低夹断电压GaAs MESFET的直流特性,比完全速度饱和模型及平方律模型更为精确。
关键词 集成电路 直流 解析模型
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High- T_c superconducting thin film/GaAs MESFET hybrid microwave oscillator
18
作者 金飚兵 康琳 +18 位作者 伍瑞新 张健羽 程其恒 吴培亨 经东 焦刚 邵凯 蒋明明 张家宗 孙敏松 王蕴仪 周岳亮 吕惠宾 许世发 何萌 王小平 杨秉川 卢剑 张其邵 《Science China Mathematics》 SCIE 1997年第2期219-224,共6页
A high- Tc superconducting (HTSC) thin film/GaAs MESFET hybrid microwave oscillator operated at 10 6 GHz has been designed, fabricated and characterized. Microstrip line structures were used throughout the circuit wit... A high- Tc superconducting (HTSC) thin film/GaAs MESFET hybrid microwave oscillator operated at 10 6 GHz has been designed, fabricated and characterized. Microstrip line structures were used throughout the circuit with superconducting thin film YBaiCuiO7 8(YBCO) as the conductor material. The YBCO thin films were deposited on 15 mm×10 mm×0. 5 mm LaAlO3 substrates. The oscillator was common-source, series feedback type using a GaAs-MESFET (NE72084) as the active device and a superconducting microstrip resonator as the frequency stabilizing element. By improving the unloaded quality factor Q0 of the superconducting microstrip resonator and adjusting the coupling coefficient between the resonator and the gate of the MESFET, the phase noise of the oscillator was decreased At 77 K, the phase noise of the oscillator at 10 kHz offset from carrier was - 87 dBc/Hz. 展开更多
关键词 SUPERCONDUCTING THIN film SUPERCONDUCTING MICROSTRIP RESONATOR gaas mesfet microwave OSCILLATOR phase noise.
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Frequency dispersion investigation of output reactance and capacitance in GaAs MESFETs by means of dielectric loss tangent consideration
19
作者 D Nebti Z Hadjoub +2 位作者 A Guerraoui F Z Khelifati A Doghmane 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2016年第11期29-34,共6页
The aim of this article is to investigate the effect of dielectric loss tangent on frequency dispersion of output reactance and capacitance in GaAs MESFETs.For this purpose,measurements of output impedance modulus and... The aim of this article is to investigate the effect of dielectric loss tangent on frequency dispersion of output reactance and capacitance in GaAs MESFETs.For this purpose,measurements of output impedance modulus and phase have been carried out within a frequency range of 10 Hz to 10 kHz,and various voltage values of gatesource(Vgs= 0,-0.2,-0.3,-0.35,-0.4,-0.45,-0.5 and-0.6 V) and drain-source(Vds= 0.7,0.9,1,1.5and 2 V) Based on the concept of complex permittivity of semiconductor material,complex capacitance is used to analyze and simulate frequency dispersion of output reactance and capacitance of GaAs MESFETs.The results show that conductor losses which dominate the dielectric loss tangent are attributed to trapping mechanisms at the interface of devices;so they influence the frequency dispersion of output reactance and capacitance in particular at low frequencies.This reveals that frequency dispersion of these parameters is also related to dielectric loss tangent of semiconductor materials which affects the response of electronic devices according to frequency variation. 展开更多
关键词 gaas mesfet CAPACITANCE dielectric loss complex permittivity
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Analytical Model for GaAs MESFET with High Pinchoff Voltage
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作者 Chahrazed Kaddour Cherifa Azizi Saade Edine Khemissi Mourad Zaabat Yasemina Saidi 《材料科学与工程(中英文A版)》 2013年第12期853-858,共6页
关键词 mesfet器件 夹断电压 gaas 金属半导体场效应晶体管 解析模型 移动特性 电子电路 静态模型
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