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磁控溅射金属预置层后硒化法制备CuInSe_2薄膜工艺条件的优化 被引量:11
1
作者 汤会香 严密 +4 位作者 张辉 张加友 孙云 薛玉明 杨德仁 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期741-744,共4页
采用四因素四水平的正交实验法优化了磁控溅射金属预置层后硒化法制备CuInSe2 薄膜的工艺条件 .调节四个较为重要的影响因素 ,即Cu/In比、硒化时间、硒化温度和硒源温度制备得到 16个CuInSe2 样品 .用Hall效应仪对薄膜的电学性能进行了... 采用四因素四水平的正交实验法优化了磁控溅射金属预置层后硒化法制备CuInSe2 薄膜的工艺条件 .调节四个较为重要的影响因素 ,即Cu/In比、硒化时间、硒化温度和硒源温度制备得到 16个CuInSe2 样品 .用Hall效应仪对薄膜的电学性能进行了研究 ,并且通过XRD研究了薄膜的结构性能 .得到了制备具有较好电学性能的CuInSe2 薄膜的优化条件为 :Cu/In比 1 133,硒化温度 4 2 0℃ ,硒化时间 2 0min ,硒源温度 2 0 0℃ .在此优化条件下得到的薄膜Hall迁移率可以达到 3 19cm2 /(V·s) ,XRD结果表明薄膜中没有杂相存在 . 展开更多
关键词 正交实验 cuinse2薄膜 优化制备
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Electrical Properties of the Al/CuInSe<sub>2</sub>Thin Film Schottky Junction
2
作者 S. Hamrouni M. F. Boujmil K. Ben Saad 《Advances in Materials Physics and Chemistry》 2014年第11期224-235,共12页
The Schottky diode (Al/p-CuInSe2/FTO) was fabricated by simple deposition of pure Aluminum on the front side of the CuInSe2 thin film. We have investigated its electrical characteristics by measuring the current-volta... The Schottky diode (Al/p-CuInSe2/FTO) was fabricated by simple deposition of pure Aluminum on the front side of the CuInSe2 thin film. We have investigated its electrical characteristics by measuring the current-voltage (I-V), the capacitance-voltage (C-V) and the electrical impedance in the range of temperature (300 K - 425 K). At room temperature, this heterostructure has shown non-ideal Schottky behavior with 3.98 as ideality factor and 38 μA/cm2 as a reverse saturated current density. The C-V measured at 100 kHz has shown non-linear behavior and an increase with temperature. Similarly, we have estimated, at room temperature, the carrier doping density, the built-in potential and the depletion layer width which are of about 8.66 × 1015 cm﹣3, 1.12 V and 0.37 μm respectively. By the impedance spectroscopy technique, we have found a decrease with temperature of all the serial resistance Rs, the parallel resistance Rp and the capacitance Cp. The frequency dependence of the imaginary part of this impedance was carried out to characterize the carrier transport properties in the heterostructure. From the Arrhenius diagram, we have estimated the activation energy at 460 meV. An equivalent electrical circuit was used for modeling these results. 展开更多
关键词 SCHOTTKY Junction cuinse2 thin films IV and CV Characteristics Impedance Spectroscopy Temperature Effects
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预制层中In/Cu原子比对CuInSe_2薄膜成分、结构和形貌的影响
3
作者 颜志强 魏爱香 +2 位作者 招瑜 刘军 赵湘辉 《可再生能源》 CAS 北大核心 2013年第5期9-12,17,共5页
采用磁控溅射技术,共溅射CuIn合金靶和纯In靶,CuIn合金靶的溅射功率不变,通过改变纯In靶的溅射功率,制备了具有不同In/Cu原子比的CuIn预制层;然后以固态硒粉为硒源,采用三步升温硒化方式对CuIn预制层进行硒化。通过EDS、XRD和SEM分析方... 采用磁控溅射技术,共溅射CuIn合金靶和纯In靶,CuIn合金靶的溅射功率不变,通过改变纯In靶的溅射功率,制备了具有不同In/Cu原子比的CuIn预制层;然后以固态硒粉为硒源,采用三步升温硒化方式对CuIn预制层进行硒化。通过EDS、XRD和SEM分析方法,研究了预制层中不同的In/Cu原子比对铜铟硒(CIS)薄膜的成分、结构和形貌的影响。结果表明:CIS薄膜主要由CuInSe2相构成,但存在少量的CuSe相,随着CuIn预制层中In/Cu原子比的逐渐增大,CuSe相所占比例减少,CIS薄膜中In/Cu和Se/(Cu+In)的比值也相应增大,CuInSe2大颗粒分布逐渐均匀,大颗粒之间的细小颗粒逐渐消失。 展开更多
关键词 cuinse2薄膜 磁控溅射技术 预制层 表面形貌 结构和成分
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柠檬酸浓度对电沉积制备CuInSe_2薄膜的影响
4
作者 夏冬林 李建庄 赵修建 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期115-117,共3页
采用 Mo/钠钙玻璃衬底作研究电极,饱和甘汞电极(SCE)作参比电极,铂网电极作辅助电极的三电极体系,利用电沉积技术在镀钼的钠钙玻璃衬底上制备 CuInSe_2薄膜,研究络合剂柠檬酸浓度对 CuInSe_2薄膜制备的影响。利用 EDS、XRD 和 SEM 对制... 采用 Mo/钠钙玻璃衬底作研究电极,饱和甘汞电极(SCE)作参比电极,铂网电极作辅助电极的三电极体系,利用电沉积技术在镀钼的钠钙玻璃衬底上制备 CuInSe_2薄膜,研究络合剂柠檬酸浓度对 CuInSe_2薄膜制备的影响。利用 EDS、XRD 和 SEM 对制备的 CuInSe_2薄膜进行表征,结果表明:当柠檬酸的浓度为 0.5mol/L 时,可以制备致密性好、晶粒分布均匀、组分接近化学计量比的黄铜矿结构的 CuInSe_2薄膜。 展开更多
关键词 cuinse2薄膜 酸浓度 近化学计量比 玻璃衬底 三电极体系 电沉积技术 参比电极 甘汞电极 辅助电极 铂网电极 薄膜制备 晶粒分布 络合剂 EDS 柠檬酸 SEM XRD 致密性 黄铜矿 镀钼
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单源蒸发生长CuInSe_2薄膜
5
作者 廖华 施兆顺 王东城 《云南师范大学学报(自然科学版)》 1989年第2期57-59,共3页
本文用单源共蒸发生长获得了CuInSe_2薄膜,具有黄铜矿结构和(112)取向。膜衬底为玻璃,衬底温度Ts=200℃。研究了膜的结构、组分和导电类型等。
关键词 单源共蒸发生长 cuinse2薄膜
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在室温衬底上用真空蒸发CuInSe_2薄膜的方法
6
作者 方宝贤 陈二永 +1 位作者 王东城 廖华 《云南师范大学学报(自然科学版)》 1993年第3期53-56,共4页
本文提出一个制造CuInSe_2薄膜的新途径,在室温衬底上在真空中加热蒸发铜铟与硒的元素,后在空气中热处理,制出的薄膜为黄铜矿结构及具有制造太阳电池需要的性能。有利于简化生产工艺,工业化、廉价地生产太阳电池。
关键词 真空蒸发 薄膜 太阳能电池 CIS薄膜
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SILAR法制备化学计量CuInS_2薄膜 被引量:8
7
作者 石勇 靳正国 +2 位作者 李春艳 安贺松 邱继军 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2005年第9期1286-1290,共5页
在室温下,以不同cCu/cIn的CuCl2和InCl3混合溶液作为阳离子前驱体,Na2S水溶液为硫源,利用连续离子层吸附反应法(SILAR)在玻璃基底上制备了CuInS2薄膜。XRD结果表明,当cCu2+/cIn3+在1 ̄1.5范围内均可形成具有黄铜矿结构的CuInS2薄膜。SE... 在室温下,以不同cCu/cIn的CuCl2和InCl3混合溶液作为阳离子前驱体,Na2S水溶液为硫源,利用连续离子层吸附反应法(SILAR)在玻璃基底上制备了CuInS2薄膜。XRD结果表明,当cCu2+/cIn3+在1 ̄1.5范围内均可形成具有黄铜矿结构的CuInS2薄膜。SEM观察到随cCu2+/cIn3+的升高,薄膜表面颗粒长大并出现团簇聚集。通过XPS测定薄膜表面的化学组成证明当cCu2+/cIn3+=1.25时,CuInS2薄膜接近其标准的化学计量组成。此时薄膜的吸收系数大于>104cm-1,禁带宽度Eg为1.45eV。 展开更多
关键词 铜铟硫薄膜 连续离子层吸附反应法 化学计量
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用磁控溅射和真空硒化退火方法制备高质量的铜铟硒多晶薄膜 被引量:6
8
作者 谢大弢 赵夔 +5 位作者 王莉芳 朱凤 全胜文 孟铁军 张保澄 陈佳洱 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期1377-1382,共6页
用双靶磁控溅射的方法在玻璃衬底上制备了Cu1 1 In9合金薄膜 ,然后将Cu1 1 In9合金薄膜封闭在石墨盒中进行真空硒化退火得到CuInSe2 薄膜 .用扫描电子显微镜 (SEM)和X射线粉末衍射 (XRD)对CuInSe2 薄膜进行了表征 ,结果表明CuInSe2 薄... 用双靶磁控溅射的方法在玻璃衬底上制备了Cu1 1 In9合金薄膜 ,然后将Cu1 1 In9合金薄膜封闭在石墨盒中进行真空硒化退火得到CuInSe2 薄膜 .用扫描电子显微镜 (SEM)和X射线粉末衍射 (XRD)对CuInSe2 薄膜进行了表征 ,结果表明CuInSe2 薄膜具有单一的晶相 ,均匀、致密的结构 ,以及粒径超过了 3μm的晶粒 . 展开更多
关键词 真空硒化退火 制备 铜铟硒多晶薄膜 磁控溅射 太阳能电池
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CuInS_2薄膜的单源热蒸发制备及其性能研究 被引量:1
9
作者 王震东 莫晓亮 陈国荣 《真空》 CAS 北大核心 2011年第1期29-32,共4页
本文以烧结合成的CuInS2粉末为原料,采用单源热蒸发技术在玻璃基底上沉积CuInS2薄膜。随着退火温度的升高,薄膜的结晶性能增强,表现出高度的(112)晶面择优取向,SEM观察显示:350℃退火后,薄膜致密,晶粒细小,大小为数十纳米。同时,热探针... 本文以烧结合成的CuInS2粉末为原料,采用单源热蒸发技术在玻璃基底上沉积CuInS2薄膜。随着退火温度的升高,薄膜的结晶性能增强,表现出高度的(112)晶面择优取向,SEM观察显示:350℃退火后,薄膜致密,晶粒细小,大小为数十纳米。同时,热探针测试发现:薄膜的导电类型为弱N型。光学性能方面,当退火温度高于250℃时,CuInS2薄膜的禁带宽度为1.50 eV,接近吸收太阳光谱所需的理想禁带宽度值。 展开更多
关键词 cuins2粉末 真空烧结 cuins2薄膜 单源热蒸发
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电沉积/硫化法制备CuInS_2薄膜微结构研究 被引量:1
10
作者 阎有花 刘迎春 +4 位作者 方玲 李德仁 卢志超 周少雄 李正邦 《物理测试》 CAS 2010年第1期8-12,共5页
以电沉积制备的Cu-In预制膜为衬底材料,硫粉为原料,尝试了Cu-In预制膜以一定速度移动的特殊硫化方法。采用SEM和EDS观察和分析了它们的表面形貌和成分,采用XRD表征了薄膜的组织结构,并分析了硫化中的反应动力学过程。结果表明:Cu-In预... 以电沉积制备的Cu-In预制膜为衬底材料,硫粉为原料,尝试了Cu-In预制膜以一定速度移动的特殊硫化方法。采用SEM和EDS观察和分析了它们的表面形貌和成分,采用XRD表征了薄膜的组织结构,并分析了硫化中的反应动力学过程。结果表明:Cu-In预制膜由CuIn和CuIn2混合相组成,由其形成的CIS薄膜中除了CuInS2相以外,还出现CuxS二元相。KCN刻蚀处理去除表层的CuxS相后,底层的CuInS2薄膜具有黄铜矿相结构,与基底附着性较好。当速度为3.3v0时,CuInS2薄膜高质量结晶,薄膜均匀、致密,组分接近化学计量比,沿(112)面择优取向生长,适合于制备CIS太阳能电池吸收层。 展开更多
关键词 cuins2薄膜 电沉积/硫化法 速度 微结构
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离子层气相反应法(ILGAR)制备CuInS_2薄膜的研究 被引量:3
11
作者 邱继军 靳正国 +2 位作者 钱进文 石勇 武卫兵 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2005年第3期399-404,共6页
CuInS2 thin films have been prepared by ion layer gas reaction (ILGAR) using C2H5OH as solvent, CuC1and InCl3 as reagents and H2S gas as sulfuration source. The effects of cationic concentrations and numbers of cycle ... CuInS2 thin films have been prepared by ion layer gas reaction (ILGAR) using C2H5OH as solvent, CuC1and InCl3 as reagents and H2S gas as sulfuration source. The effects of cationic concentrations and numbers of cycle on the properties of CuInS2 film were investigated. The chemical composition, crystalline structure, surface topography, deposited rate, optical and electronic properties of the films were characterized by X-ray diffractrometry (XRD), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), scanning electron microscopy (SEM), ultraviolet-visible spectrometry (UV-Vis) and Hall System. The results show that the crystalline of CuInS2 thin films and the deposition rate have been improved with the increase of cationic concentration, while CuxS segregation phases appear with further increasing cationic concentration. The deposition rate is close to constant as cationic concentration is fixed.CuInS2 thin film derived form lower cationic concentration is uniform, compact and good in adhesion to the substrates. The absorption coefficient of CuInS2 thin films is larger than 104 cm^-1, and the band gap Eg is in the range of 1.30-1.40 eV. The dark resisitivity of the thin film decreases from 50 to 10 Ω·cm and the carrier concentration ranges are over 10^16 cm^-3. 展开更多
关键词 NS2 C2H5OH XPS INCL3 离子 薄膜 UV-VIS XRD SEM
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正交法优化电沉积CuInSe_2薄膜条件的研究 被引量:3
12
作者 徐玲 刘昌龄 +3 位作者 吴世彪 童彬 陈少华 徐立红 《安徽教育学院学报》 2006年第3期57-60,共4页
本研究以导电玻璃作基体材料,在0.1 mol/L的柠檬酸和KC1溶液中,在pH为1.5的条件下,采用了正交实验设计和电沉积法,制备了不同的CuInSe2薄膜样品,分析了各样品的X射线衍射测试结果,优选出较佳的电沉积条件,制备了质量较好黄铜矿型的CuIn... 本研究以导电玻璃作基体材料,在0.1 mol/L的柠檬酸和KC1溶液中,在pH为1.5的条件下,采用了正交实验设计和电沉积法,制备了不同的CuInSe2薄膜样品,分析了各样品的X射线衍射测试结果,优选出较佳的电沉积条件,制备了质量较好黄铜矿型的CuInSe2薄膜。 展开更多
关键词 电沉积 cuinse2薄膜 正交法 X射线衍射分析
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电化学法制备CuInSe_2薄膜工艺的研究 被引量:3
13
作者 徐玲 刘昌龄 +4 位作者 吴世彪 陈少华 张信义 王利群 汪星和 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期547-550,共4页
实验主要从基体材料的选择、络合剂的引用以及热处理试样等制备条件进行了初步的研究。通过分析与比较各种特定条件下制备出的试样的X射线衍射实验结果得知、导电玻璃作基体材料的镀层质量要比铜片和铁片的好;络合剂的加入有利于薄膜晶... 实验主要从基体材料的选择、络合剂的引用以及热处理试样等制备条件进行了初步的研究。通过分析与比较各种特定条件下制备出的试样的X射线衍射实验结果得知、导电玻璃作基体材料的镀层质量要比铜片和铁片的好;络合剂的加入有利于薄膜晶粒更加均匀和致密,可以改善镀层的质量;退火有利于薄膜晶粒的增大,使其结晶程度更好。 展开更多
关键词 电沉积 cuinse2薄膜 X射线衍射分析 X射线光电子能谱
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电解液中Cu^(2+)浓度对CuInS_2薄膜的影响(英文)
14
作者 崔艳峰 左少华 +1 位作者 江锦春 褚君浩 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期102-105,117,共5页
采用硫化Cu-In-S预制层方法制备出CuInS2、CuIn11S17及两相混合共存的薄膜,其中Cu-In-S预制层通过在含有不同Cu2+浓度的电解液中电化学沉积制得.通过对薄膜的XRD、SEM及EDS的表征,发现当In3+和S2O32-浓度不变时,Cu2+浓度的改变对薄膜的... 采用硫化Cu-In-S预制层方法制备出CuInS2、CuIn11S17及两相混合共存的薄膜,其中Cu-In-S预制层通过在含有不同Cu2+浓度的电解液中电化学沉积制得.通过对薄膜的XRD、SEM及EDS的表征,发现当In3+和S2O32-浓度不变时,Cu2+浓度的改变对薄膜的性质有很大的影响.在最优的Cu2+浓度下,制备出了单一的、具有理想化学计量比的、禁带宽度为1.5eV的CuInS2薄膜.这种薄膜在后续工作中有望被用作太阳能电池的吸收层. 展开更多
关键词 cuins2薄膜 电化学沉积 硫化 薄膜太阳能电池
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Cu-In预置层后硫化法制备CuInS_2薄膜
15
作者 马剑平 高杨 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期1010-1014,共5页
采用预置层后硫化法制备CuInS2薄膜,分析硫化退火工艺条件对薄膜性能的影响。利用XRD、EDS、分光光度计等薄膜分析手段表征CuInS2薄膜性能对制备工艺条件的依赖关系。实验结果表明:合适的退火条件可有效改善薄膜的结晶学性能,消除薄膜... 采用预置层后硫化法制备CuInS2薄膜,分析硫化退火工艺条件对薄膜性能的影响。利用XRD、EDS、分光光度计等薄膜分析手段表征CuInS2薄膜性能对制备工艺条件的依赖关系。实验结果表明:合适的退火条件可有效改善薄膜的结晶学性能,消除薄膜中的杂质二元相,长时间的高温退火处理会导致薄膜中In、S元素不同程度的损失。在优化工艺条件下制备的样品光学性能良好,光吸收系数达到104cm-1数量级。 展开更多
关键词 cuins2薄膜 硫化 退火 预置层
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硫化时间对CuInS_2薄膜特性的影响(英文)
16
作者 王利刚 王延来 +2 位作者 姚伟 朱俊 徐金刚 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期805-807,共3页
磁控溅射制备Cu-In合金薄膜,随后通过固态源硫化制备了CuInS2。采用XRD、SEM、紫外可见光分光光度计和霍尔效应测试仪分析了薄膜的特性。结果表明:硫化时间为10min至30 min时,不同的硫化时间硫化后薄膜的成分几乎保持不变,薄膜的结晶... 磁控溅射制备Cu-In合金薄膜,随后通过固态源硫化制备了CuInS2。采用XRD、SEM、紫外可见光分光光度计和霍尔效应测试仪分析了薄膜的特性。结果表明:硫化时间为10min至30 min时,不同的硫化时间硫化后薄膜的成分几乎保持不变,薄膜的结晶程度随时间的增加变好,电阻率随硫化时间的增加而提高,薄膜的光学带隙位于1.42-1.55eV之间。 展开更多
关键词 cuins2薄膜 硫化时间 光电特性
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用于太阳电池吸收层CuInS_2薄膜的RF反应溅射制备及其表征 被引量:2
17
作者 邵乐喜 张昆辉 黄惠良 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期123-126,共4页
该文报道采用射频反应溅射技术,以铜银合金为靶材、H2S为反应气体,在Soda-Lime玻璃衬底上沉积高质量CuInS2薄膜的实验结果。分别运用扫描电镜、能量散射X-射线谱、X-射线衍射谱和表面轮廓仪等对沉积样品的结构形貌和组成成分等特性进行... 该文报道采用射频反应溅射技术,以铜银合金为靶材、H2S为反应气体,在Soda-Lime玻璃衬底上沉积高质量CuInS2薄膜的实验结果。分别运用扫描电镜、能量散射X-射线谱、X-射线衍射谱和表面轮廓仪等对沉积样品的结构形貌和组成成分等特性进行了分析表征,研究了这些特性对沉积参数的依赖关系。通过对溅射功率、衬底温度和H2S流量等工艺参数的优化,获得了单一黄铜矿相结构且沿单一晶向(112)生长的高质量富铜薄膜,晶粒线度达400 nm,薄膜中成分的原子比[Cu+In]/[S]和[Cu]/[Cu+In]可分别接近于1和0.5,并对结果进行了简单讨论。该技术成本低廉、可靠性高,适合于高效太阳电池吸收层薄膜的高均匀度大面积沉积,具有规模化工业生产的推广价值。 展开更多
关键词 CulnS2薄膜 射频(RF)反应溅射 太阳电池
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铜薄膜上喷雾热解法制备CuInS_2薄膜 被引量:1
18
作者 刘伟 彭香艺 +1 位作者 莫晓亮 陈国荣 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期349-353,共5页
采用在真空蒸镀的Cu薄膜上喷雾热解InCl3和SC(NH2)2前驱液的方法,制备出CuInS2(CIS)薄膜。通过X射线衍射、紫外-可见分光光度计、扫描电子微镜和霍尔效应测试仪等仪器对薄膜进行了表征。研究表明,该方法制备出的CIS薄膜,表面均匀且无裂... 采用在真空蒸镀的Cu薄膜上喷雾热解InCl3和SC(NH2)2前驱液的方法,制备出CuInS2(CIS)薄膜。通过X射线衍射、紫外-可见分光光度计、扫描电子微镜和霍尔效应测试仪等仪器对薄膜进行了表征。研究表明,该方法制备出的CIS薄膜,表面均匀且无裂纹缺陷,薄膜内不存在CuxS、In2O3、In2S3等杂相。CIS薄膜为黄铜矿结构,可见光范围内吸收系数达到105cm-1。厚度506nm的CIS薄膜的禁带宽度为1.54eV。电阻率和载流子浓度分别达到10-1Ω·cm和1019cm-3,为p型半导体薄膜。 展开更多
关键词 cuins_2薄膜 前驱液 喷雾热解法 真空蒸镀
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