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单源蒸发生长CuInSe_2薄膜

GROWTH OF CuInSe_2 FILMS BY USING A SINGLE—SOURCE EVAPORATION
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摘要 本文用单源共蒸发生长获得了CuInSe_2薄膜,具有黄铜矿结构和(112)取向。膜衬底为玻璃,衬底温度Ts=200℃。研究了膜的结构、组分和导电类型等。 In this paper, we have been obtained CuInSe_2 thin films by single source co-evaporation growth. It has chalcopyrite structure and (112) oriention. Substrates of film is glass, temperature Ts = 200℃. We have studied film structure, composition and conductivity type etc.
出处 《云南师范大学学报(自然科学版)》 1989年第2期57-59,共3页 Journal of Yunnan Normal University:Natural Sciences Edition
关键词 单源共蒸发生长 CuInSe<sub>2</sub>薄膜 Single Source co-evaporation growth CuInSe_2 thin films
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