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Research on the reconstruction of fast and accurate AFM probe model 被引量:4
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作者 YUAN Shuai DONG ZaiLi +2 位作者 MIAO Lei XI Ning WANG YueChao 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 2010年第24期2750-2754,共5页
The AFM image will be distorted due to the tip-broadening effect. It may be mathematically represented as the effect of the tip's convolution on the real image. As a result, the true geometry of the sample surface... The AFM image will be distorted due to the tip-broadening effect. It may be mathematically represented as the effect of the tip's convolution on the real image. As a result, the true geometry of the sample surface can not be obtained. If the tip shape could be known accurately, such distortion can be eliminated with the adoption of disconvolution operation. It is of practical significance in the accurate reconstruction of the AFM image. Among the current tip modeling algorithms, the blind tip estimation algorithm based on mathematical morphology is widely applied. However, it takes much time and has difficulties in defining the optimal noise threshold. In view of the above problems, this paper proposes a new blind tip evaluation method to accelerate the speed of blind tip modeling calculation and realize the accurate reconstruction of the AFM image. The simulation and the experimental results demonstrate the feasibility and effectiveness of the above research method. 展开更多
关键词 afm探针 原子力显微镜 数学形态学 图像效果 模型 几何形状 精确重建 建模算法
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AFM探针针尖与试件表面接触力计算方法研究 被引量:2
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作者 程国东 杨晓京 《电子显微学报》 CAS CSCD 2015年第3期234-239,共6页
原子力显微镜是利用接近试样表面的探针针尖上的作用力而工作的。针尖与试件表面纳米接触力的变化对表面检测有重要的影响。在分析原子力显微镜工作原理和纳米接触力计算模型基础上,根据Hamaker假设,利用连续介质方法,建立了针尖同试样... 原子力显微镜是利用接近试样表面的探针针尖上的作用力而工作的。针尖与试件表面纳米接触力的变化对表面检测有重要的影响。在分析原子力显微镜工作原理和纳米接触力计算模型基础上,根据Hamaker假设,利用连续介质方法,建立了针尖同试样表面在接近过程中的纳米接触力计算模型;根据Hertzian接触理论,建立了针尖同试样表面在接触压入过程中的接触力的计算模型。通过叠加计算,获得了耦合接近过程和接触压入过程中的接触力计算方法。根据计算模型,利用Matlab编程计算获得了针尖与试样表面纳米接触作用力的变化规律。为提高原子力显微镜的表面检测精度和进行误差分析提供基础。 展开更多
关键词 afm afm探针 接触力 Hamaker假设 Hertzian接触理论
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Detecting CD20-Rituximab interaction forces using AFM single-molecule force spectroscopy 被引量:3
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作者 LI Mi LIU LianQing +5 位作者 XI Ning WANG YueChao DONG ZaiLi LI GuangYong XIAO XiuBin ZHANG WeiJing 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 2011年第35期3829-3835,共7页
The invention of atomic force microscopy(AFM) has provided new technology for measuring specific molecular interaction forces.Using AFM single-molecule force spectroscopy(SMFS) techniques,CD20-Rimximab rupture forces ... The invention of atomic force microscopy(AFM) has provided new technology for measuring specific molecular interaction forces.Using AFM single-molecule force spectroscopy(SMFS) techniques,CD20-Rimximab rupture forces were measured on purified CD20 proteins,Raji cells,and lymphoma patient B cells.Rimximab molecules were linked onto AFM tips using AFM probe functionalization technology,and purified CD20 proteins were attached to mica using substrate functionalization technology.Raji cells(a lymphoma cell line) or lymphoma patient cells were immobilized on a glass substrate via electrostatic adsorption and chemical fixation.The topography of the purified CD20 proteins,Raji cells,and patient lymphoma cells was visualized using AFM imaging and the differences in the rupture forces were analyzed and measured.The results showed that the rupture forces between the CD20 proteins on Raji cells and Rituximab were markedly smaller than those for purified CD20 proteins and CD20 proteins on lymphoma patient B cells.These findings provide an effective experimental method for investigating the mechanisms underlying the variable efficacy of Rituximab. 展开更多
关键词 原子力显微镜 相互作用力 单分子 光谱 RAJI细胞 蛋白质纯化 功能化技术 afm探针
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激光测振仪用于微梁和AFM探针振动测量 被引量:1
4
作者 王佳 《航空计测技术》 1996年第3期3-6,共4页
激光光纤测振仪将直径小于200μm的激光光斑会聚于Si微悬臂梁和AFM探针上,分别由静电场和PZT进行激振,实现了激光微结构振动特性非接触测量,并给出了测量结果。
关键词 激光测振仪 微梁 afm探针 光纤 测振 振动特性
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含添加剂的各向异性腐蚀液中实现小掩膜下高硅尖的腐蚀 被引量:1
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作者 卢少勇 韩建强 +2 位作者 李青 王疆英 陈志强 《电子器件》 CAS 2008年第5期1550-1552,1558,共4页
各向异性KOH溶液腐蚀硅尖具有简单、易于实现、成本低廉、(100)晶面腐蚀速率均匀等优点。然而在40%KOH溶液中削角速率和(100)晶面的腐蚀速率之比约为1.6~1.9,并且该比值随着KOH浓度的减小而增大。如此高的削角速率会给AFM探针的制作带... 各向异性KOH溶液腐蚀硅尖具有简单、易于实现、成本低廉、(100)晶面腐蚀速率均匀等优点。然而在40%KOH溶液中削角速率和(100)晶面的腐蚀速率之比约为1.6~1.9,并且该比值随着KOH浓度的减小而增大。如此高的削角速率会给AFM探针的制作带来技术上的困难。而对腐蚀场发射器件和隧道式传感器的硅尖阵列来说,高的削角速率会减少单位面积内的硅尖数量。本文通过在氢氧化钾(KOH)或者四甲基氢氧化胺(TMAH)溶液中添加适当的添加剂(如异丙醇(IPA)、1,5戊二醇或碘)降低了削角速率,在较小直径的掩膜下腐蚀出高硅尖。实验结果还表明:在TMAH基腐蚀液中每个硅尖的八个快腐蚀面的削角速率几乎相等,硅尖直径偏差较KOH溶液中腐蚀的硅尖直径偏差更小,因此成品率得到了提高。 展开更多
关键词 afm探针 削角 硅尖 无掩膜腐蚀
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碘过饱和KOH溶液腐蚀硅尖技术研究
6
作者 韩建强 卢少勇 +1 位作者 李青 王疆英 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期92-94,97,共4页
氢氧化钾溶液腐蚀硅尖具有易于实现、设备简单、优异的纵向腐蚀均匀性等优点,但腐蚀均匀性差、纵向和横向腐蚀速率之比低、针形为不对称的八棱锥。通过在KOH溶液中添加过饱和的碘单质(I2),显著减小了快腐蚀面的削角速率,在较小的掩膜下... 氢氧化钾溶液腐蚀硅尖具有易于实现、设备简单、优异的纵向腐蚀均匀性等优点,但腐蚀均匀性差、纵向和横向腐蚀速率之比低、针形为不对称的八棱锥。通过在KOH溶液中添加过饱和的碘单质(I2),显著减小了快腐蚀面的削角速率,在较小的掩膜下腐蚀出高的硅尖。更为重要的是该腐蚀液腐蚀的硅尖异于常规的不对称八棱锥,而是一种半锥角很小的"火箭尖"形状,因此可望获得更好的扫描特性和隧道效应。 展开更多
关键词 afm探针 削角 硅尖 各向异性腐蚀 微电子机械系统
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近场光镊与AFM探针复合的光阱力分析 被引量:1
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作者 刘炳辉 杨立军 +1 位作者 王扬 袁巨龙 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期1-8,共8页
本文针对纳米材料的纳米操作,提出了一种复合激光近场光镊与AFM探针进行纳米操作的方法,并基于动量守恒原理,采用三维时域有限差分方法建立了该方案中激光近场对纳米微粒的作用力模型,分析了各轴向光阱力的分布情况,讨论了两探针间距离... 本文针对纳米材料的纳米操作,提出了一种复合激光近场光镊与AFM探针进行纳米操作的方法,并基于动量守恒原理,采用三维时域有限差分方法建立了该方案中激光近场对纳米微粒的作用力模型,分析了各轴向光阱力的分布情况,讨论了两探针间距离、针尖材料的电导率、入射平面光场的偏振方向、入射角和波长等参数对近场光阱力的影响。结果表明:位于耦合光场中特定位置的微粒可被捕获至固定位置,所需的捕获功率大大低于传统光镊所需的捕获功率;为实现稳定的纳米操作,光纤探针与AFM探针的距离应保持在孔径范围内,两探针的相互位置应保持成垂直关系,同时应选用短波长的捕获激光,并保持激光偏振方向与AFM探针轴线的匹配。本文设计的近场光镊与AFM探针相复合的纳米操作系统,能大大扩宽近场光镊和AFM系统在纳米操作上的应用范围。 展开更多
关键词 三维时域有限差分法 光阱力 近场光镊 afm探针
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基于原子力显微镜微探针的新型超灵敏传感器
8
作者 金燕 王柯敏 +1 位作者 金容 李军 《自然科学进展》 北大核心 2005年第6期662-668,共7页
近年来基干原子力显微镜(atomicforcemicroscopy,AFM)微探针发展的新型超灵敏传感器引起了研究人员的极大兴趣,已成为这一研究领域的前沿方向之一,基于AFM微探针的新型传感器主要是利用AFM的高分辨率、可以测定极微弱的力和AFM微探针悬... 近年来基干原子力显微镜(atomicforcemicroscopy,AFM)微探针发展的新型超灵敏传感器引起了研究人员的极大兴趣,已成为这一研究领域的前沿方向之一,基于AFM微探针的新型传感器主要是利用AFM的高分辨率、可以测定极微弱的力和AFM微探针悬臂对极微弱力敏感等特性,如利用AFM的高分辨率的特性,通过测定样品表面覆盖度、高度等的变化,发展了新型免疫传感器、DNA传感器等;利用AFM可以测定极微弱的力,通过测定分子对间的相互作用,发展了各种新型微探针力传感器;利用AFM微探针悬臂的对极微弱力敏感,将分子识别反应的力学信号转化为AFM探针微悬臂的纳米机械响应,发展了形式多样的新型化学、生物传感器,文中从AFM微探针信号转换原理的角度分类综述了这一前沿研究方向的重要进展, 展开更多
关键词 原子力显微镜 探针 超灵敏 DNA传感器 高分辨率 force 新型传感器 表面覆盖度 免疫传感器 afm探针 生物传感器 研究人员 研究领域 相互作用 力传感器 纳米机械 信号转化 识别反应 研究方向 转换原理 测定 微悬臂 敏感
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激光复合微纳探针近场光强影响因素仿真分析
9
作者 马丽心 郑纯 李丹婷 《哈尔滨商业大学学报(自然科学版)》 CAS 2015年第3期295-299,共5页
通过建立镀膜光纤探针仿真模型,模拟锥形镀膜光纤探针针尖处剖面状态,实现对纳米微粒的非接触操作,以空气为操作环境,分析光纤探针镀膜厚度和光纤探针出射孔径的逐渐变化,找出其对近场光强的影响.同时对光纤探针发射激光照射AFM探针的... 通过建立镀膜光纤探针仿真模型,模拟锥形镀膜光纤探针针尖处剖面状态,实现对纳米微粒的非接触操作,以空气为操作环境,分析光纤探针镀膜厚度和光纤探针出射孔径的逐渐变化,找出其对近场光强的影响.同时对光纤探针发射激光照射AFM探针的角度变化、光纤探针与AFM探针之间距离的改变以及两者对AFM探针尖端场增强的影响规律做出了定量分析,通过仿真实验分析,进一步发现最大场增强因子,为完成纳米级物体操纵实验提供了参考. 展开更多
关键词 镀膜光纤探针 afm探针 场增强因子 激光 近场光强 仿真模型
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AFM探针热磁写入中薄膜温度场的有限元模拟
10
作者 鄢俊兵 李佐宜 +2 位作者 晋芳 董凯锋 林更琪 《磁性材料及器件》 CAS CSCD 2008年第4期26-28,共3页
针对光磁混合记录中微区热磁写入方式,提出利用原子力显微镜(AFM)内的显微探针将激光热源导入磁性薄膜,并采用有限元方法对TbFeCo磁性薄膜温度场进行模拟。模拟结果表明:磁性薄膜中,高于居里温度的区域范围与原子力探针针尖直径、薄膜... 针对光磁混合记录中微区热磁写入方式,提出利用原子力显微镜(AFM)内的显微探针将激光热源导入磁性薄膜,并采用有限元方法对TbFeCo磁性薄膜温度场进行模拟。模拟结果表明:磁性薄膜中,高于居里温度的区域范围与原子力探针针尖直径、薄膜厚度、激光能量之间存在紧密的关系。高于居里温度的区域范围随针尖直径呈线性增大,随薄膜厚度的增高而减小,在薄膜厚度超过15nm后趋于稳定。 展开更多
关键词 afm探针 磁性薄膜 有限元 温度场
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用AFM探针诱导局域氧化工艺制备纳米样板的研究
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作者 景蔚萱 蒋庄德 《计量技术》 2003年第8期7-10,共4页
本文介绍了纳米测量系统的组成和纳米样板的研究现状 ,讨论了AFM探针诱导局域氧化工艺的原理及其影响参数 ,用该方法进行了一维纳米结构样板的制备 。
关键词 afm探针 局域氧化工艺 诱导 制备 纳米样板 纳米测量系统 影响参数 原理 计量系统
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Development of the Atomic Force Microscopy Research Technique for the Nanostructures on the Vertical Edge of Thin Insulating Film
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作者 Egor Gorlachev Valeriy Levin Viktor Mordvintsev 《Journal of Physical Science and Application》 2013年第1期18-26,共9页
In this work, a development of a method of a thin insulating film vertical edge visualization of metal-insulator-metal (MIM) memory cells with atomic force microscopy (AFM) using a modified Omicron UHV AFM/STM mic... In this work, a development of a method of a thin insulating film vertical edge visualization of metal-insulator-metal (MIM) memory cells with atomic force microscopy (AFM) using a modified Omicron UHV AFM/STM microscope was performed. This included a development of a technique of the AFM visualization of segments of a vertical edge of thin insulator SiO2 film structures on a conductive substrate, a comparison of AFM topography and current profilograms for the edge profiles, and an Omicron microscope custom upgrade. The latter allowed us to perform the AFM probe positioning to any specific area of the sample in the scanning plane by two coordinates with an order of precision of 1 micrometer. The method is illustrated with the experimental results of AFM investigations of the special MIM structures with comb-type topology, and of the cells of functioning memory matrices with 20 nm thin silicon dioxide film open edge perimeter and TiN lower electrode, including topography/current profilograms. As a conclusion, our ongoing work on the AFM visualization of a complete perimeter of a SiO2 open edge of memory cells with a special new topology with a goal to visualize conductive phase nanoparticles during switching processes is briefly overviewed. 展开更多
关键词 Atomic force microscopy piezoelectric micro motor metal-insulator-metal memory cell sidewall profile.
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AFM探针刮擦诱导金属加速溶解行为及缓蚀剂抑制效果研究 被引量:2
13
作者 屈钧娥 郭兴蓬 《电化学》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期319-323,共5页
应用原子力显微镜(AFM)探针刮伤技术研究缓蚀剂对探针诱导铜镍合金加速溶解作用的影响.实验表明,在1.5 mol/L NaC l和0.01 mol/L HC l溶液中,使用AFM探针在750 nN的力负载条件下以接触模式对铜镍合金表面持续扫描,会加速样品的溶解,并... 应用原子力显微镜(AFM)探针刮伤技术研究缓蚀剂对探针诱导铜镍合金加速溶解作用的影响.实验表明,在1.5 mol/L NaC l和0.01 mol/L HC l溶液中,使用AFM探针在750 nN的力负载条件下以接触模式对铜镍合金表面持续扫描,会加速样品的溶解,并在探针刮擦区域形成蚀坑.将有机缓蚀剂十二胺及无机缓蚀剂铬酸钠添加到腐蚀介质中后,由于在合金表面形成了吸附膜和钝化膜,从而抑制探针刮擦引起的铜镍合金的加速溶解. 展开更多
关键词 afm探针刮擦 加速溶解 铬酸钠 十二胺
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缓蚀剂对原子力显微镜探针刮擦铜镍合金加速溶解的作用 被引量:2
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作者 屈钧娥 郭兴蓬 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2004年第12期7-8,23,共3页
金属材料在缓蚀剂中受到刮擦会加速溶解 ,产生相应的腐蚀。采用原子力显微镜 (AFM )探针刮伤技术研究了缓蚀剂对探针诱导铜镍合金加速溶解作用的影响。结果表明 :在 75 0nN负载条件下 ,AFM探针在接触模式下对铜镍合金表面持续扫描 ,可... 金属材料在缓蚀剂中受到刮擦会加速溶解 ,产生相应的腐蚀。采用原子力显微镜 (AFM )探针刮伤技术研究了缓蚀剂对探针诱导铜镍合金加速溶解作用的影响。结果表明 :在 75 0nN负载条件下 ,AFM探针在接触模式下对铜镍合金表面持续扫描 ,可以加速样品在 1.5mol/LNaCl溶液中的溶解 ,探针刮擦区域有蚀坑 ; 展开更多
关键词 缓蚀剂 afm探针刮擦 加速溶解 铬酸钠 有机化合物十二胺 铜镍合金
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牛津仪器原子力显微镜获创新大奖
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《实验与分析》 2014年第5期70-70,共1页
牛津仪器凭借blueDrive光热激发技术赢得著名的Microscopy Today 2014年度创新大奖。blueDrive利用蓝色激光所产生的光热效应直接激发探针,取代传统模式中压电陶瓷驱动AFM探针的驱动模式。这种光热激发的直接驱动方式,无论在空气中或... 牛津仪器凭借blueDrive光热激发技术赢得著名的Microscopy Today 2014年度创新大奖。blueDrive利用蓝色激光所产生的光热效应直接激发探针,取代传统模式中压电陶瓷驱动AFM探针的驱动模式。这种光热激发的直接驱动方式,无论在空气中或液体中都具有理想的驱动响应,因此显著地提高了轻敲模式成像的质量,并降低了操作的难度。 展开更多
关键词 原子力显微镜 仪器 牛津 afm探针 创新 压电陶瓷驱动 直接驱动方式 热激发
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哈工大专家发现高效去除AFM探针表面污染物新方法
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《光学仪器》 2010年第3期17-17,共1页
美国材料研究学会(MRS)官方网站日前在“材料研究当前新闻”栏目中,以《光栅刷子能清洁原子力显微镜的探针针尖》为题,报道了哈尔滨工业大学化工学院催化科学与工程系教授甘阳与墨尔本大学教授弗兰克斯合作发表在国际学术期刊《超... 美国材料研究学会(MRS)官方网站日前在“材料研究当前新闻”栏目中,以《光栅刷子能清洁原子力显微镜的探针针尖》为题,报道了哈尔滨工业大学化工学院催化科学与工程系教授甘阳与墨尔本大学教授弗兰克斯合作发表在国际学术期刊《超显微术》(Ultramicroscopy)上的原创性研究成果。 展开更多
关键词 afm探针 污染物 材料研究学会 哈尔滨工业大学 表面 专家 原子力显微镜 国际学术期刊
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纳米气泡浮选过程强化研究进展
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作者 邢耀文 杨海昌 +1 位作者 桂夏辉 曹亦俊 《选煤技术》 CAS 2024年第4期1-12,共12页
浮选是低品质矿及煤分选提质的有效手段,其中微细粒浮选难题突出,而纳米气泡则是解决该难题的重要途径,但关于纳米气泡浮选过程强化的诸多基础科学问题仍未解决。为促进微细粒纳米气泡浮选过程强化技术的开发,重点围绕浮选过程中纳米气... 浮选是低品质矿及煤分选提质的有效手段,其中微细粒浮选难题突出,而纳米气泡则是解决该难题的重要途径,但关于纳米气泡浮选过程强化的诸多基础科学问题仍未解决。为促进微细粒纳米气泡浮选过程强化技术的开发,重点围绕浮选过程中纳米气泡的界面选择性成核动力学、界面纳米气泡超常稳定性机理及纳米气泡强化颗粒-气泡捕获效率微观作用机制等三个关键科学问题,介绍了笔者团队在纳米气泡浮选过程强化方向的最新研究进展。研究结果表明:纳米气泡的选择性成核是纳米气泡浮选过程强化的关键,而纳米气泡的稳定性则是纳米气泡浮选过程强化的前提;纳米气泡浮选过程强化的机制主要包括促进颗粒絮团与缩短诱导时间,其内在作用机制来自纳米气泡长程疏水引力与边界滑移的协同作用。笔者团队的研究阐明了纳米气泡固-液界面选择性成核的能量作用机制,提出了基于界面高密度气层自动补偿的界面纳米气泡稳定性机理,建立了微纳力学-边界滑移协同驱动的纳米气泡强化浮选界面作用机制,进一步丰富发展了现代浮选基础理论,为开发微细粒纳米气泡浮选过程强化技术提供了一定的指导。 展开更多
关键词 浮选过程强化 纳米气泡 成核动力学 稳定性 afm胶体探针 分子动力学模拟 颗粒絮团 长程疏水引力 诱导时间
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基于不同疏水性煤模型制备的气泡与煤表面黏附机制研究
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作者 朱春云 于锋 +3 位作者 李明 孙丽娟 邢耀文 桂夏辉 《选煤技术》 CAS 2024年第4期30-36,共7页
常规气泡探针研究中常采用云母、金片等作为矿物模型,难以准确反映煤样表面微纳结构与化学性质,进而难以充分反映气泡与煤表面间的黏附机制。为此,通过在二氧化硅表面旋涂沥青并进行不同时间的氧化处理,制备得到了化学性质与煤更相似且... 常规气泡探针研究中常采用云母、金片等作为矿物模型,难以准确反映煤样表面微纳结构与化学性质,进而难以充分反映气泡与煤表面间的黏附机制。为此,通过在二氧化硅表面旋涂沥青并进行不同时间的氧化处理,制备得到了化学性质与煤更相似且具有不同疏水性的煤模型;基于对制备得到的煤模型进行接触角测试、粗糙度测试、碰撞黏附行为的高速动态测试以及AFM气泡探针测试,明确了气泡与不同疏水性煤表面间的黏附机制。制备得到的强疏水性、中等疏水性、弱疏水性煤模型表面的静态接触角分别为95.19°,75.24°,55.23°,算术平方根粗糙度分别为0.29,0.46,0.43nm。宏观黏附行为中,流体力和表面力共同支配气泡与煤表面的相互作用过程;高速动态测试中,流体力强于表面力导致气泡与不同疏水性煤表面间碰撞次数无明显差异;准静态环境中,在表面力驱动下气泡与强疏水性煤表面间液膜于345ms破裂,与中等疏水性煤表面间液膜于845ms发生破裂,与弱疏水性煤表面间液膜则并未发生破裂。气泡探针测试中,驱动速度为1μm/s时,气泡与强疏水性煤表面在进针过程中斥力为23.08±3.93nN的位置处发生了跳入黏附,当驱动速度速度增加至10μm/s时,气泡与煤表面间黏附发生了滞后,而驱动速度增加至30μm/s时,黏附行为则被完全抑制;随着煤表面疏水性的降低,不同驱动速度下气泡均未发生黏附,仅在退针过程中测得引力且与驱动速度呈正相关;对于强疏水性煤表面,降低流体力有利于表面力驱动液膜薄化破裂从而促进黏附,而对于中等及弱疏水性煤表面,增加流体力则可增大颗粒与气泡远离过程中的流体倒吸引力从而有利于提高颗粒与气泡的黏附概率。 展开更多
关键词 煤泥浮选 黏附机制 煤模型制备 高速动态测试 afm气泡探针测试 表面力 流体力 黏附概率
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利用原子力显微镜制备短沟道有机场效应晶体管器件的研究 被引量:2
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作者 张达 赵恺 邓家春 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第12期2273-2276,共4页
利用原子力显微镜(AFM)探针直写技术制备了短沟道并五苯有机场效应晶体管(OFET),并研究了器件性能。在SiO2/n+-Si基底上,利用AFM探针刻蚀金沟道,通过优化工艺参数,获得的沟道长约1μm,器件的场效应迁移率为0.038cm2.V-1.S-1,开关比为103... 利用原子力显微镜(AFM)探针直写技术制备了短沟道并五苯有机场效应晶体管(OFET),并研究了器件性能。在SiO2/n+-Si基底上,利用AFM探针刻蚀金沟道,通过优化工艺参数,获得的沟道长约1μm,器件的场效应迁移率为0.038cm2.V-1.S-1,开关比为103,输出电流最高可达200μA。结果表明,器件性能强烈依赖于沟道长度,随着沟道长度减小,输出电流显著增加。 展开更多
关键词 有机场效应晶体管(OFET) 原子力显微镜(afm)探针直写 并五苯 短沟道
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环形、矩形及I2形MEMS原子力显微镜探针的力灵敏度(英文) 被引量:1
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作者 熊壮 屈明山 +1 位作者 张照云 杨荷 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第5期351-358,共8页
基于微电子机械系统(MEMS)技术的环形、矩形以及I2形谐振器由于具有较高的谐振频率与品质因数等优点,可作为原子力显微镜(AFM)探针用于物理表面高速成像实验。在结构尺寸近似的情况下,对影响上述三种MEMS探针性能的谐振频率、有效... 基于微电子机械系统(MEMS)技术的环形、矩形以及I2形谐振器由于具有较高的谐振频率与品质因数等优点,可作为原子力显微镜(AFM)探针用于物理表面高速成像实验。在结构尺寸近似的情况下,对影响上述三种MEMS探针性能的谐振频率、有效刚度以及品质因数等关键指标进行综合分析与比较。在此基础上,对上述MEMS探针的力灵敏度进行了评估。结果表明,环形MEMS探针适用于对柔性物体的高精度成像,而I2形MEMS探针则更适合于对大范围区域的高速实时成像。通过对机械结构与检测电路的进一步优化,MEMS探针的力灵敏度有望达到并超越现有悬臂式探针的水平。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 谐振器 力灵敏度 原子力显微镜(afm)探针 品质因数 谐振频率
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