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微型光谱仪的发展现状 被引量：43
1
作者 鞠挥 吴一辉 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第4期372-376,共5页
光谱仪是种类繁多、应用极为广泛的一种理化分析仪器，微加工技术的发展和ＭＥＭＳ（微机电系统）、ＭＯＥＭＳ（微光机电系统）技术的出现为其微小型化提供了可能性，本文着重就采用新型滤光技术的微型光谱仪、利用光纤制作的微型光谱... 光谱仪是种类繁多、应用极为广泛的一种理化分析仪器，微加工技术的发展和ＭＥＭＳ（微机电系统）、ＭＯＥＭＳ（微光机电系统）技术的出现为其微小型化提供了可能性，本文着重就采用新型滤光技术的微型光谱仪、利用光纤制作的微型光谱仪以及集成式光谱仪进行介绍。光谱仪的微小型化是我国微型仪器的一个重要发展方向。 展开更多
关键词 微光电机械系统 光学纤维 光谱仪 MEMS moems
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光开关技术进展 被引量：13
2
作者 禹培栋 王国忠 +1 位作者 陈明华 谢世钟 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2001年第3期149-154,共6页
随着密集波分复用技术的应用以及光联网的提出 ,光开关技术已经成为未来光联网的关键技术之一。光开关广泛应用于交叉连接设备、保护倒换、分插复用器等各种设备中。综述了目前已经实用或正在研究的光开关及阵列的各种制作技术 ,包括微... 随着密集波分复用技术的应用以及光联网的提出 ,光开关技术已经成为未来光联网的关键技术之一。光开关广泛应用于交叉连接设备、保护倒换、分插复用器等各种设备中。综述了目前已经实用或正在研究的光开关及阵列的各种制作技术 ,包括微光电子机械技术、液晶技术、全息光栅技术以及气泡技术、热光技术及声光技术等 ,详细分析了各种技术相应的发展状况、技术特点和应用范围 ,并分析了其发展的趋势。 展开更多
关键词 光开关 光联网 密集波分复用 微光电子机械系统
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一种采用微硅片狭缝的新型微小型光纤光谱仪 被引量：17
3
作者 周连群 吴一辉 +3 位作者 张平 宣明 贾宏光 李正刚 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期637-642,共6页
研制了一种采用微硅片狭缝代替传统机械狭缝的微小型光纤光谱仪。采用MEMS(微机电系统)工艺制造出了体积小、厚度薄的一体式微硅片狭缝,并分析了微硅片狭缝的狭缝不平直度对微小型光纤光谱仪分辨率的影响,通过测试系统分辨率的实验,验... 研制了一种采用微硅片狭缝代替传统机械狭缝的微小型光纤光谱仪。采用MEMS(微机电系统)工艺制造出了体积小、厚度薄的一体式微硅片狭缝,并分析了微硅片狭缝的狭缝不平直度对微小型光纤光谱仪分辨率的影响,通过测试系统分辨率的实验,验证了采用微硅片狭缝的可行性。同时,对微小型光纤光谱仪的光谱带宽和像元分辨力进行了讨论,为波长的标定提供了一种理论依据。通过对采集的汞灯谱线的分析和MATLAB的精确计算,验证了所提出的通用波长-像元迭代公式的正确性,从而研制出了一种采用微硅片狭缝的半峰全宽为0.85 nm,波长标定精度小于0.2 nm,体积为50 mm×46 mm×14 mm的微小型光纤光谱仪。 展开更多
关键词 微硅片狭缝 微小型光纤光谱仪 微光机电系统 分辨率 波长标定公式
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微光机电系统(MOEMS)的研究现状及展望 被引量：6
4
作者 陈非凡 殷玲 李云龙 《微细加工技术》 2002年第3期1-7,共7页
微机械加工技术的发展为MEMS与微光学技术的结合应用提供了可能。MOEMS作为一个新兴的多学科交叉的研究领域正在兴起。着重介绍了建立在MEMS工艺基础上的MOEMS技术近年研究和开发取得的一些新进展及国内研究现状 ,阐述了MOEMS的基本特... 微机械加工技术的发展为MEMS与微光学技术的结合应用提供了可能。MOEMS作为一个新兴的多学科交叉的研究领域正在兴起。着重介绍了建立在MEMS工艺基础上的MOEMS技术近年研究和开发取得的一些新进展及国内研究现状 ,阐述了MOEMS的基本特征 ,列举了一些典型的MOEMS系统 。 展开更多
关键词 研究现状 微光机电系统 moems 微机电系统 MEMS 微机械加工技术 发展趋势
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微电子封装的新进展领域及对SMT的新挑战 被引量：5
5
作者 况延香 朱颂春 《电子工艺技术》 2004年第5期225-229,共5页
介绍了几种微电子新型封装材料,如LTCC、AIN、金刚石、AI-Sic和无铅焊接材料等,论述了正在发展中的新型先进封装技术,如WLP、3D和SIP等,并对封装新领域MEMS和MOEMS作了简介。最后,就这些新技术对SMT的新挑战作了些探讨。。
关键词 LTCC AI-Sic WLP 3D SIP MEMS moems
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微光机电(MOEMS)陀螺的技术及发展 被引量：12
6
作者 林恒 刘惠兰 +1 位作者 杨德伟 张春熹 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2005年第2期85-88,共4页
提出微光机电(MOEMS)惯性器件技术,对其优势和研究价值进行了理论分析。介绍了国外MOEMS陀螺的工作原理、结构、性能指标及研究状况,初步探讨了微光机电陀螺的应用前景和技术发展途径,以及惯性器件的发展方向。
关键词 陀螺仪 微光机电系统 惯性器件 发展方向 性能指标
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M OEMS光开关静电驱动的优化设计 被引量：10
7
作者 孙东明 董玮 +6 位作者 郭文滨 刘彩霞 常惠明 张龙 纪平 徐宝琨 陈维友 《光电子技术》 CAS 2002年第4期223-227,共5页
给出基于硅的微机械光开关的设计分析。优化设计了光开关结构 ,提出了一种降低扭臂式结构光开关驱动电压的方法。并根据不同结构 ,给出了静电驱动等方面的分析结果。
关键词 moems 优化设计 光开关 静电驱动 扭臂
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微光机电系统(MOEMS)研究综述 被引量：4
8
作者 付博 赵月月 《传感器世界》 2004年第10期11-17,共7页
在过去的十几年里,随着微机械加工技术的惊人发展,微机电系统(MEMS)与光学技术的结合应用成为可能,这种结合体被称为微光机电系统(MOEMS)。作为一个新兴的多学科交叉的研究领域,其也成为了光学器件发展的新方向。本文阐述了MOEMS基本理... 在过去的十几年里,随着微机械加工技术的惊人发展,微机电系统(MEMS)与光学技术的结合应用成为可能,这种结合体被称为微光机电系统(MOEMS)。作为一个新兴的多学科交叉的研究领域,其也成为了光学器件发展的新方向。本文阐述了MOEMS基本理论、方法;介绍了MOEMS技术在国内外的发展现状及这一技术最新取得的进展;分析了光学系统中引入MEMS的重要性;列举了一些有代表性的MOEMS器件,并介绍了它们的制作过程以及它们与其它常规器件相比的性能优势;最后描绘了MOEMS技术的发展前景。 展开更多
关键词 moems 微光机电系统 微机电系统(MEMS) 光学器件 微机械加工技术 性能优势 光学系统 发展 结合应用 国内外
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光学MEMS微镜技术及其在激光雷达中的应用 被引量：10
9
作者 董光焰 刘中杰 《中国电子科学研究院学报》 2011年第1期36-38,共3页
首先概述了MOEMS光学技术的应用及特点,并介绍一类MOEMS光学产品的机理,该技术使得三维实时扫描成像激光雷达小型化成为可能。重点论述一个MEMS激光雷达设计实例,比较其与FLASH激光雷达工作原理的异同,列举了其潜在性能指标。
关键词 moems MEMS 激光雷达 实时成像
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光开关研究新进展 被引量：8
10
作者 马慧莲 《光通信研究》 北大核心 2003年第3期51-55,共5页
文章比较全面地综述了近几年来各种光开关技术的研究进展 ,包括微光机电系统( MOEMS)技术、气泡技术、液晶技术、全息光栅技术、热光技术及声光技术等 ,并详细分析了各种技术相应的发展状况。
关键词 光开关 微光机电系统 moems 气泡技术 液晶技术 全息光栅技术 热光技术 声光技术
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M-Z干涉型集成光学微加速度传感器结构设计 被引量：9
11
作者 吴波 陈才和 +3 位作者 张晓玲 崔宇明 张燕君 钟娟娟 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第11期1263-1266,共4页
提出了一种新型的Si基M Z干涉型微光电机械系统(MOEMS)加速度地震检波器。在Si基上集成了Si十字梁、质量块、偏振器、M Z波导干涉仪及声光调制器。给出了该加速度检波器工作原理,对结构进行了分析设计,并用有限元(FEM)分析软件进行了仿... 提出了一种新型的Si基M Z干涉型微光电机械系统(MOEMS)加速度地震检波器。在Si基上集成了Si十字梁、质量块、偏振器、M Z波导干涉仪及声光调制器。给出了该加速度检波器工作原理,对结构进行了分析设计,并用有限元(FEM)分析软件进行了仿真计算。该检波器的主要设计参数为:固有频率1353Hz,相位检测灵敏度1.2×10-4rad/(m·s2)。 展开更多
关键词 集成光学 波导 偏振器 moems 声光调制器 微光电机械系统 干涉仪 量块 分析设计 相位检测
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MEMS技术将会为战术导弹带来一场革命 被引量：9
12
作者 任子西 《战术导弹技术》 2010年第1期1-8,35,共9页
介绍了MEMS-IMU、RF MEMS和MOEMS等MEMS技术的基本内涵、特点及国外发展情况.重点介绍和分析了各项MEMS技术在战术导弹制导、导航、探测、数传、动力、引信、控制等方面的研究、实际应用情况,对MEMS技术的发展将给战术导弹带来的可能变... 介绍了MEMS-IMU、RF MEMS和MOEMS等MEMS技术的基本内涵、特点及国外发展情况.重点介绍和分析了各项MEMS技术在战术导弹制导、导航、探测、数传、动力、引信、控制等方面的研究、实际应用情况,对MEMS技术的发展将给战术导弹带来的可能变化进行了描述,可为我国战术导弹的未来发展提供参考. 展开更多
关键词 战术导弹 MEMS MEMS-IMU RFMEMS moems
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空间微机电系统的研究与进展 被引量：6
13
作者 黄良甫 贾付云 《真空与低温》 2002年第4期187-196,共10页
介绍了微机电系统的基本原理及其在空间应用的发展概况,着重介绍了空间微传感器、微执行器、RF-MEMS、MOEMS、微仪器和微/纳卫星的研究与进展情况。
关键词 空间微机电系统 微卫星 空间微传感器 微执行器 RF-MEMS moems 纳卫星
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光电光窗的封接技术 被引量：10
14
作者 李成涛 沈卓身 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期102-105,143,共5页
光电器件的封接技术作为MOEMS技术中的重要组成部分,影响着光电器件的应用和发展。光窗是光电器件主要的封装形式之一,一直受到科学研究的重视。新技术被不断地引入到光窗生产实践中,希望能够达到降低生产成本,提高光电器件性能的要求,... 光电器件的封接技术作为MOEMS技术中的重要组成部分,影响着光电器件的应用和发展。光窗是光电器件主要的封装形式之一,一直受到科学研究的重视。新技术被不断地引入到光窗生产实践中,希望能够达到降低生产成本,提高光电器件性能的要求,并能形成统一的工业生产方法和标准。介绍光电光窗封接技术在微电子封装中的应用及其所需要的一般条件。比较现有各种光窗封接技术的优缺点,指出在此领域内未来封接技术的发展趋势。 展开更多
关键词 微光机电系统 光窗 光电光窗封接技术
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用于光纤通信的光开关研究进展 被引量：6
15
作者 杨建义 江晓清 王明华 《光通信研究》 北大核心 2000年第4期42-48,共7页
针对目前光纤通信系统对光开关的迫切需求 ,从器件的新工艺、新材料和新机理等方面综述了光开关与光开关列阵的研究进展状况 .
关键词 光开关 集成光学 光纤通信
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微光机电系统及其应用 被引量：1
16
作者 李文军 赵小林 +1 位作者 蔡炳初 戴旭涵 《微细加工技术》 2001年第3期1-8,13,共9页
微光机电系统 (MOEMS)是在微机电系统 (MEMS)基础上发展起来的一种新技术系统 ,它是由微光学、微电子和微机械相结合而产生的一种新型的微光学结构系统 ,MOEMS在信息、军事、航天、医学、工业等领域有着广阔的应用前景 ,综述了近年来微... 微光机电系统 (MOEMS)是在微机电系统 (MEMS)基础上发展起来的一种新技术系统 ,它是由微光学、微电子和微机械相结合而产生的一种新型的微光学结构系统 ,MOEMS在信息、军事、航天、医学、工业等领域有着广阔的应用前景 ,综述了近年来微光机电系统的发展和应用。 展开更多
关键词 微光机电系统 微光学 微驱动器 微机电系统
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光谱仪的微小型化 被引量：6
17
作者 鞠挥 吴一辉 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第z1期131-133,共3页
光谱仪是种类繁多、应用极为广泛的一种理化分析仪器 ,微加工技术的发展和 MOEMS技术的出现为其微小型化提供了可能性 ,本文着重就采用新型滤光技术的微型光谱仪、利用光纤制作的微型光谱仪以及集成式光谱仪进行介绍。
关键词 moems 微型 光纤 光谱仪 集成
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基于微流控技术新型光开关器件设计 被引量：6
18
作者 徐宁 李若梅 +1 位作者 涂兴华 梁忠诚 《南京邮电大学学报（自然科学版）》 2009年第2期22-25,共4页
首先介绍了较为常用的几种光开关的工作原理、特点和应用。描述了MEMS、MOEMS、微流控技术。以MOEMS及微流控技术相接合,提出一种新的微流控光开关阵列结构,通过电控方法改变微流控芯片波导结构,实现光路变化。该光开关具有体积小,结构... 首先介绍了较为常用的几种光开关的工作原理、特点和应用。描述了MEMS、MOEMS、微流控技术。以MOEMS及微流控技术相接合,提出一种新的微流控光开关阵列结构,通过电控方法改变微流控芯片波导结构,实现光路变化。该光开关具有体积小,结构简单,功率损耗低,有利于光开关阵列集成化、微型化及制作。以电控方式控制光开关,在开关速度上比温控更快、更稳定,且控制电路简单等特点易构成大容量交换矩阵。 展开更多
关键词 光开关 微流控 阵列 MEMS moems
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MOEMS静电旋转结构的Pull-in现象分析 被引量：7
19
作者 岳宁煜 万江文 《微纳电子技术》 CAS 2004年第11期28-31,38,共5页
对MOEMS静电旋转结构的Pull鄄in(吸合)现象进行了理论分析,重点研究了平板电极旋转结构和摆动梳齿旋转结构。摆动梳齿旋转结构不出现Pull鄄in现象的原因是电容变化率为恒值;平板电极旋转结构在电极旋转过程中电容变化率持续增大是Pull... 对MOEMS静电旋转结构的Pull鄄in(吸合)现象进行了理论分析,重点研究了平板电极旋转结构和摆动梳齿旋转结构。摆动梳齿旋转结构不出现Pull鄄in现象的原因是电容变化率为恒值;平板电极旋转结构在电极旋转过程中电容变化率持续增大是Pull鄄in现象出现的根本原因,设计平板电极旋转驱动器时,如果需要得到较大的稳态旋转角度,可以通过合适的结构参数减小电容变化率的变化速率。 展开更多
关键词 旋转结构 moems 小电容 变化率 静电 电极 驱动器 平板 现象分析 稳态
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光开关研究进展 被引量：6
20
作者 王刚 明安杰 梁静秋 《微纳电子技术》 CAS 2005年第4期195-199,共5页
概述了光开关的各种性能指标;综述了目前业已实用或正在研究的光开关阵列的各种制作技术,分析了其发展趋势;最后介绍了MOEMS光开关的结构和工作原理。
关键词 光通信 光开关 微光机电系统
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