摘要
对MOEMS静电旋转结构的Pull鄄in(吸合)现象进行了理论分析,重点研究了平板电极旋转结构和摆动梳齿旋转结构。摆动梳齿旋转结构不出现Pull鄄in现象的原因是电容变化率为恒值;平板电极旋转结构在电极旋转过程中电容变化率持续增大是Pull鄄in现象出现的根本原因,设计平板电极旋转驱动器时,如果需要得到较大的稳态旋转角度,可以通过合适的结构参数减小电容变化率的变化速率。
The Pull-in phenomena of MOEMS electrostatic rotation structures are discussed,focus on the parallel-plate rotation structure and staggered-comb rotation structure. Pull-in phenomena do not occur in the staggered-comb rotation structure,because the gradient of capacitance is changeless. The reason of Pull-in phenomenon of parallel-plate rotation structure is that the gradient of capacitance increases with the rotation angle. Designing parallel-plate rotation actuator,the rate of gradient of capacitance should be decreased in order to obtain a large rotation angle.
出处
《微纳电子技术》
CAS
2004年第11期28-31,38,共5页
Micronanoelectronic Technology
基金
国家高技术研究发展计划(863计划)课题(2003AA404018)
教育部优秀青年教师资助计划项目(教人司2002 350)
