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微电子工业对超净高纯化学品的质量要求 被引量:11
1
作者 杨昀 《云南化工》 CAS 2009年第5期35-42,共8页
我国为微电子工业配套使用的高规格超净高纯化学品一直依赖进口,此类化学品研发中的核心技术为德国、日本、美国等国家所垄断,其关键技术的国内外文献报道甚少。为便于国内相关研发单位开展研究工作,围绕微电子工业对超净高纯化学品的... 我国为微电子工业配套使用的高规格超净高纯化学品一直依赖进口,此类化学品研发中的核心技术为德国、日本、美国等国家所垄断,其关键技术的国内外文献报道甚少。为便于国内相关研发单位开展研究工作,围绕微电子工业对超净高纯化学品的质量要求,搜集、整理并分析了近二十年来的相关文献,研究了不同规模集成电路对这类化学品纯度、洁净度的质量规格要求,建议:制定有全球竞争力的超净高纯化学品国家标准;建立相关产品生产管理制度和实施细则;建立能与国际资深实验室进行测试技能交流的有世界公信力的分析检测平台。 展开更多
关键词 电子级 超净 高纯化学品 高纯试剂 MOS试剂 湿化学品 工艺化学品
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IC用高纯试剂中金属杂质分析 被引量:11
2
作者 朱春富 吴琼 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1994年第3期71-78,共8页
对HCI、HF和HNO;三种MOS级高纯试剂中18种金属杂质用发射光谱进行分析研究,取20ml样品,加人适量甘露醇络合硼杂质,在有机玻璃防尘罩内低温挥发基体富集杂质,最后将杂质溶液转移到一对平头电极上,用电弧光谱进行... 对HCI、HF和HNO;三种MOS级高纯试剂中18种金属杂质用发射光谱进行分析研究,取20ml样品,加人适量甘露醇络合硼杂质,在有机玻璃防尘罩内低温挥发基体富集杂质,最后将杂质溶液转移到一对平头电极上,用电弧光谱进行测定。检测限为0.2~4.0(ng/ml),加入标准的回收率绝大部分在90%以上。 展开更多
关键词 集成电路 高纯试剂 金属杂质
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一种新型超净高纯试剂在半导体技术中的应用 被引量:10
3
作者 郑学根 邱晓生 汪道明 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第9期20-23,共4页
通过对新型超净高纯试剂同常规CMOS酸碱试剂同时进行CMOS工艺中栅氧化前的清洗实验,从清洗后硅片残留金属量的电感耦合高频等离子体原子发射光谱分析、硅片表面形貌的AFM分析和MOS电容测量三个方面进行了应用实验。结果表明,以超净高纯... 通过对新型超净高纯试剂同常规CMOS酸碱试剂同时进行CMOS工艺中栅氧化前的清洗实验,从清洗后硅片残留金属量的电感耦合高频等离子体原子发射光谱分析、硅片表面形貌的AFM分析和MOS电容测量三个方面进行了应用实验。结果表明,以超净高纯乙腈为主要组分的新型试剂,其清洗效果总体优于常规CMOS酸碱试剂,可以考虑在半导体器件相应清洗工艺中采用。 展开更多
关键词 高纯试剂 半导体 清洗工艺
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当前我国微电子工业对超净高纯试剂的质量要求 被引量:10
4
作者 葛继三 何禄宽 董素娟 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1998年第4期8-9,共2页
以双氧水为例列举了国内电路生产厂家对杂质和颗粒的要求,同时指出当前我国电路生产处于超大规模集成电路阶段,而超净高纯试剂的生产则只能满足大规模集成电路的需要,VLSI级试剂主要依赖进口,急需实现国产化。
关键词 高纯试剂 芯片 VLSI 集成电路
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我国电子化学品“十一五”发展方向(一) 被引量:7
5
作者 郑金红 侯宏森 《精细与专用化学品》 CAS 2007年第19期5-9,共5页
综述了"十五"期间我国为集成电路、印刷电路板和平板显示产业配套的电子化学品的现状,以及这3个领域在"十一五"期间的发展趋势和发展重点,并对产业政策提出了建议。"十五"期间我国电子化学品的年均增长... 综述了"十五"期间我国为集成电路、印刷电路板和平板显示产业配套的电子化学品的现状,以及这3个领域在"十一五"期间的发展趋势和发展重点,并对产业政策提出了建议。"十五"期间我国电子化学品的年均增长率超过了20%,预计到2010年,我国的电子化学品市场规模将超过200亿元。 展开更多
关键词 光刻胶 高纯试剂 塑封料 液晶
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卡尔·费休库仑滴定法测定高纯乳酸中水分
6
作者 段嫚雷 王东辉 +4 位作者 孟娇然 夏娃 杨柳 石玮 丁敏 《化学分析计量》 CAS 2024年第2期57-61,共5页
针对乳酸易吸湿的物理特性,在含水量较低的手套箱实验环境下采用卡尔·费休库仑法水分测定仪,对高纯乳酸中水分含量进行研究。结果表明,在手套箱环境下,乳酸取样量为0.10 g,搅拌速度500 r/min,萃取时间60 s,相对停止漂移值为5μg/mi... 针对乳酸易吸湿的物理特性,在含水量较低的手套箱实验环境下采用卡尔·费休库仑法水分测定仪,对高纯乳酸中水分含量进行研究。结果表明,在手套箱环境下,乳酸取样量为0.10 g,搅拌速度500 r/min,萃取时间60 s,相对停止漂移值为5μg/min时,方法测定结果的相对标准偏差为3.8%(n=10)。采用国家一级水分标准物质对该方法进行了验证,测定值在该标准物质的不确定度范围内。 展开更多
关键词 卡尔·费休库仑滴定法 乳酸 水分 手套箱 高纯试剂
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高纯度植酸的制备 被引量:5
7
作者 孙定光 胡佩 廖显威 《化学研究与应用》 CAS CSCD 1997年第5期534-536,共3页
高纯度植酸的制备孙定光胡佩廖显威(四川师范大学化学系成都610066)关键词植酸制备高纯试剂中图分类号O629.9植酸(PhyticAcid)又名肌醇六磷酸酯,分子式:C6H18O24P6,结构为植酸是中等强度的有机... 高纯度植酸的制备孙定光胡佩廖显威(四川师范大学化学系成都610066)关键词植酸制备高纯试剂中图分类号O629.9植酸(PhyticAcid)又名肌醇六磷酸酯,分子式:C6H18O24P6,结构为植酸是中等强度的有机酸,因其结构特殊,具极强的螯合作用... 展开更多
关键词 植酸 高纯试剂 肌醇六磷酸酯
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离子色谱法同时测定高纯试剂中痕量甲胺、二甲胺、三甲胺和6种阳离子 被引量:4
8
作者 罗全迁 霍世欣 《化学分析计量》 CAS 2022年第3期48-52,共5页
建立离子色谱法同时测定高纯试剂和有机溶剂中甲胺、二甲胺、三甲胺和6种阳离子的方法。对样品处理、色谱柱类型、淋洗液梯度等条件进行优化,实现了过氧化氢、乙醇、丙酮和异丙醇样品的直接进样分析。选用Metrosep C Supp 1阳离子交换... 建立离子色谱法同时测定高纯试剂和有机溶剂中甲胺、二甲胺、三甲胺和6种阳离子的方法。对样品处理、色谱柱类型、淋洗液梯度等条件进行优化,实现了过氧化氢、乙醇、丙酮和异丙醇样品的直接进样分析。选用Metrosep C Supp 1阳离子交换柱进行梯度分离,采用微填充床阳离子抑制电导检测器检测。9种待测物质的质量浓度在5~200μg/L范围内与色谱峰面积具有良好的线性关系,相关系数均大于0.999,方法检出限为0.007~0.082μg/L。样品加标回收率为80.0%~110.5%,测定结果的相对标准偏差为0.58%~3.86%(n=5)。该方法满足高纯试剂中痕量有机胺杂质和阳离子的测定要求。 展开更多
关键词 离子色谱法 微填充床阳离子抑制器 甲胺 二甲胺 三甲胺 高纯试剂 阳离子
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离子交换树脂脱除氢氧化胆碱中Sb 2+、Fe 3+的研究
9
作者 王娇 代新英 +1 位作者 赵博雅 宋吉亮 《应用化工》 CAS CSCD 北大核心 2023年第5期1410-1413,1419,共5页
结合静态吸附和动态吸附,分别考察了静态吸附时树脂种类、吸附时间、吸附温度对Sb和Fe的脱除效果,同时考察了动态吸附后氢氧化胆碱的含水量和Sb和Fe的浓度,对动态吸附所用的离子交换树脂进行解吸循环使用。结果表明,50 mL胆碱浸泡在1.0 ... 结合静态吸附和动态吸附,分别考察了静态吸附时树脂种类、吸附时间、吸附温度对Sb和Fe的脱除效果,同时考察了动态吸附后氢氧化胆碱的含水量和Sb和Fe的浓度,对动态吸附所用的离子交换树脂进行解吸循环使用。结果表明,50 mL胆碱浸泡在1.0 g D113和1.0 g Lewatit MonoPlus TP260两种树脂混合物中,在35℃的恒温振荡器上反应16 h,通过蠕动泵带动静态吸附后的胆碱溶液经过Amberlyst 15WET树脂的离子交换柱,得到胆碱中Sb和Fe的浓度分别是5μg/L和7μg/L、胆碱的含水量降低0.54%。同时动态吸附用的Amberlyst 15WET树脂经过解吸可循环使用至少5次。本实验提供了一种切实可行的脱除氢氧化胆碱中金属离子的方案。 展开更多
关键词 高纯试剂 氢氧化胆碱 离子交换树脂
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高纯试剂环己烷的提纯方法
10
作者 田洪旭 曲健 +1 位作者 倪余文 陈吉平 《化学试剂》 CAS 北大核心 2023年第10期83-87,共5页
环己烷作为一种重要的有机试剂,在工业生产、实验室分析等领域有着广泛的应用。利用环己烷的熔点与其杂质差异较大的特点,通过重结晶-过滤提纯-萃取除醇-干燥脱水等步骤,获得了纯度为99.998%的高纯环己烷,各项指标优于T/CRIAC 0072—202... 环己烷作为一种重要的有机试剂,在工业生产、实验室分析等领域有着广泛的应用。利用环己烷的熔点与其杂质差异较大的特点,通过重结晶-过滤提纯-萃取除醇-干燥脱水等步骤,获得了纯度为99.998%的高纯环己烷,各项指标优于T/CRIAC 0072—2022《化学试剂高效液相色谱用试剂环己烷》中相关指标要求。解决了环己烷试剂痕量杂质除去难度大、成本高等问题。降低了环己烷的提纯成本,减少了环境污染。所获得的高纯试剂环己烷在光谱分析、痕量污染物分析、化工合成等领域有着广泛的应用前景。 展开更多
关键词 高纯试剂 环己烷 重结晶 提纯 乙醇
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高纯溶剂制备纯化及标准化研究 被引量:4
11
作者 吴佳佳 全灿 +6 位作者 李红梅 张庆合 黄挺 戴新华 杜然 鄢雄伟 金君素 《化学试剂》 CAS 北大核心 2016年第12期1214-1218,共5页
在科技部与质检总局资助下,开展色谱级、农残级、质谱级以及电子级等高纯溶剂制备纯化及标准化关键技术研究。在纯化关键技术方面,通过双塔精密精馏去除痕量同分异构体、同系物等杂质专利技术,从工业级直接制备得到农残级、质谱级高纯... 在科技部与质检总局资助下,开展色谱级、农残级、质谱级以及电子级等高纯溶剂制备纯化及标准化关键技术研究。在纯化关键技术方面,通过双塔精密精馏去除痕量同分异构体、同系物等杂质专利技术,从工业级直接制备得到农残级、质谱级高纯溶剂。在高纯试剂标准化方面,制订了《仪器分析用高纯水规格及试验方法》国家标准;建立了GB/T30301《高纯试剂试验方法通则》、GB/T 32263《高纯化合物农残级试剂的测定气相色谱-电子捕获检测器(ECD)法》等系列高纯试剂国家方法标准,以及HG/T 4747《农药残留检测用试剂正己烷》等高纯溶剂行业产品标准,填补了国内高纯试剂检测标准的空白。 展开更多
关键词 高纯试剂 纯化关键技术 标准化 精馏
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超净高纯盐酸生产工艺的研究 被引量:1
12
作者 范巧 陈青如 +2 位作者 徐志刚 陈江 吴勇强 《精细与专用化学品》 CAS 2004年第7期14-15,19,共3页
本文描述了一种电子纯盐酸的制备方法 ,包括氯化氢的蒸发、气体净化、高纯水吸收以及最终提纯等步骤 ,并对按此工艺生产的盐酸产品采用ICP MS和离子交换色谱进行了分析 ,实验证明此工艺能够有效去除工业盐酸中Fe、Cu、Pb、As等杂质离子。
关键词 电子化学品 盐酸 高纯试剂 生产工艺 氯化氢 气体净化 ICP-MS 离子交换色谱
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痕量分析用储存容器的选择与清洗 被引量:3
13
作者 李本涛 黄辉 +1 位作者 赵华 冯典英 《化学分析计量》 CAS 2010年第2期72-74,共3页
对痕量分析用实验器皿的选择及清洗方法进行了研究,介绍了不同材料实验器皿对常见痕量杂质测量的干扰情况,同时提出了常用实验器皿的清洗程序以及高纯试剂的储存方法。
关键词 痕量分析 ICP—MS 实验器皿 清洗 高纯试剂 储存
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FIA-ICP-AES联用技术在高纯试剂痕量杂质分析中的应用 被引量:3
14
作者 陈浩 江祖成 +1 位作者 曾云鹗 孔令英 《分析仪器》 CAS 1993年第4期42-45,共4页
提出了用FIA-ICP-AES测定高纯试剂中痕量杂质的方法。研究了传输管长度、进样体积、曝光时间、基体和酸度等因素对灵敏度的影响;对FIA-ICP-AES与CPN-ICP-AES的分析结果进行了比较。该技术已较成功地用于高纯Y_2O_3中14种稀土杂质和高纯N... 提出了用FIA-ICP-AES测定高纯试剂中痕量杂质的方法。研究了传输管长度、进样体积、曝光时间、基体和酸度等因素对灵敏度的影响;对FIA-ICP-AES与CPN-ICP-AES的分析结果进行了比较。该技术已较成功地用于高纯Y_2O_3中14种稀土杂质和高纯NaCl中Fe、Cr、Mg、Al、Ca、Cu、Zn的测定。 展开更多
关键词 流动注射分析 高纯试剂 痕量杂质
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新工科背景下电子技术在化工生产中的实践研究 被引量:1
15
作者 申小萌 《热固性树脂》 CAS CSCD 北大核心 2022年第4期I0007-I0008,共2页
精细化工产品种类众多,其研发、生产及运输技术较为复杂,对常用精细化工品的生产方式、技术工艺及配方等进行全面科学系统地梳理,有助于推进精细化工产品创新发展。由韩长日、宋小平主编的《电子及信息用化学品生产工艺与技术》(科学技... 精细化工产品种类众多,其研发、生产及运输技术较为复杂,对常用精细化工品的生产方式、技术工艺及配方等进行全面科学系统地梳理,有助于推进精细化工产品创新发展。由韩长日、宋小平主编的《电子及信息用化学品生产工艺与技术》(科学技术文献出版社,2019年版)一书系“精细化工品生产工艺与技术”系列丛书之一。编者大量参阅并引用了国内外精细化工专利及技术资料,将全书分为7个章节,涉及液晶材料、电致发光和电致变色材料、电子工业特种气体与高纯试剂、电子元器件用化学品、光刻胶及电子工业用涂料. 展开更多
关键词 精细化工产品 高纯试剂 特种气体 液晶材料 文献出版社 电致变色材料 电致发光 电子元器件
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动力学光度法测定痕量氟的研究 被引量:2
16
作者 张贵珠 李敏 史慧明 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1990年第12期1092-1096,共5页
本文详细研究了F-对多元配合物Zr-CAB-CTMAB的催化作用,建立了测定痕量氟的新的动力学光度法。方法灵敏度高,0~80ng/ml范围内线性良好,测定下限为1ng/ml,重现性好,具有一定选择性,仅Fe^(3+)、SO_4^(2-)、PO_4^(3-)量大于F-时干扰。用... 本文详细研究了F-对多元配合物Zr-CAB-CTMAB的催化作用,建立了测定痕量氟的新的动力学光度法。方法灵敏度高,0~80ng/ml范围内线性良好,测定下限为1ng/ml,重现性好,具有一定选择性,仅Fe^(3+)、SO_4^(2-)、PO_4^(3-)量大于F-时干扰。用于高纯试剂中氟的测定,效果良好。 展开更多
关键词 动力学光度法 高纯试剂
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电子化学品分离纯化材料制备及其应用技术进展 被引量:1
17
作者 张凯 张念椿 +7 位作者 魏永明 马晓华 杨虎 庄黎伟 汤初阳 李金荣 郑鹤立 许振良 《山东化工》 CAS 2022年第22期73-77,80,共6页
电子化学品又被称为电子化工材料,是集成电路(IC)、平板显示(FPD)、印刷电路板(PCB)行业的基础性材料。电子化学品大体上包括这四类:超净高纯化学试剂、光刻胶、封装材料、液晶材料。随着电子工业的快速发展,对电子化学品的纯度提出了... 电子化学品又被称为电子化工材料,是集成电路(IC)、平板显示(FPD)、印刷电路板(PCB)行业的基础性材料。电子化学品大体上包括这四类:超净高纯化学试剂、光刻胶、封装材料、液晶材料。随着电子工业的快速发展,对电子化学品的纯度提出了更高的要求,电子化学品的发展面临新的挑战。电子化学品的提纯方式多样,应用广泛。 展开更多
关键词 电子化学品 高纯试剂 光刻胶 封装材料 电子特气
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升华提纯法制备三氯叔丁醇高纯试剂的研究 被引量:1
18
作者 李清洁 费荣杰 +2 位作者 丁春玉 王志刚 成义祥 《化学试剂》 北大核心 2017年第10期1103-1107,共5页
采用升华提纯法制备半水合三氯叔丁醇高纯试剂,探索了升华温度和升华时间对工艺的影响。利用气相色谱仪(GC)和电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)测试升华前后半水合三氯叔丁醇的纯度和金属离子含量的变化。参照美国西格玛试剂指标对样品进... 采用升华提纯法制备半水合三氯叔丁醇高纯试剂,探索了升华温度和升华时间对工艺的影响。利用气相色谱仪(GC)和电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)测试升华前后半水合三氯叔丁醇的纯度和金属离子含量的变化。参照美国西格玛试剂指标对样品进行检测分析,结果表明半水合三氯叔丁醇在100℃下升华14 h,收率达98.2%,不出现分解,所得试剂纯度高达99.96%,并具有较低的金属离子含量。 展开更多
关键词 升华提纯 半水合三氯叔丁醇 高纯试剂 升华温度
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同位素稀释质谱法测定贻贝标准物质中镍 被引量:1
19
作者 姬建民 《云南大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1994年第S2期139-140,共2页
同位素稀释质谱法测定贻贝标准物质中镍姬建民(国家标准物质研究中心,北京,100013)同位素稀释质谱法作为一种绝对测量方法,具有灵敏度高,精密度好,准确可靠等特性.被认为是微量或痕量元素测量的最佳方法,并在标准物质定... 同位素稀释质谱法测定贻贝标准物质中镍姬建民(国家标准物质研究中心,北京,100013)同位素稀释质谱法作为一种绝对测量方法,具有灵敏度高,精密度好,准确可靠等特性.被认为是微量或痕量元素测量的最佳方法,并在标准物质定值中得以广泛应用.本文通过对贻贝标... 展开更多
关键词 痕量元素 绝对测量 同位素稀释 表面电离 待测元素 湿式消解法 消解时间 高纯试剂 镍元素 消解方法
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电子化学品市场在复苏 被引量:1
20
作者 王政 《精细与专用化学品》 CAS 2009年第19期27-28,共2页
BASF公司涉及电子化学品的产品有高纯试剂、半导体行业用抛光剂、光学膜和制造太阳能电池用化学品。直到2008年8月,产品销售是那么火爆,电子材料业务部都不知道到哪里能买来原料以维持生产。而一到10月,业务几乎是突然停滞了。面对... BASF公司涉及电子化学品的产品有高纯试剂、半导体行业用抛光剂、光学膜和制造太阳能电池用化学品。直到2008年8月,产品销售是那么火爆,电子材料业务部都不知道到哪里能买来原料以维持生产。而一到10月,业务几乎是突然停滞了。面对猝然而至的危机,可以做的不多的几件事情之一是削减产量,避免出现过多存货。 展开更多
关键词 化学品市场 电子化学品 BASF公司 产品销售 半导体行业 太阳能电池 高纯试剂 电子材料
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