期刊导航
期刊开放获取
cqvip
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
当前我国微电子工业对超净高纯试剂的质量要求
被引量：
10
下载PDF
职称材料
导出
摘要
以双氧水为例列举了国内电路生产厂家对杂质和颗粒的要求，同时指出当前我国电路生产处于超大规模集成电路阶段，而超净高纯试剂的生产则只能满足大规模集成电路的需要，ＶＬＳＩ级试剂主要依赖进口，急需实现国产化。
作者
葛继三
何禄宽
董素娟
机构地区
天津市化学试剂三厂
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1998年第4期8-9,共2页
Semiconductor Technology
关键词
高纯试剂
芯片
VLSI
集成电路
分类号
TN470.5 [电子电信—微电子学与固体电子学]
引文网络
相关文献
节点文献
二级参考文献
0
参考文献
0
共引文献
0
同被引文献
52
引证文献
10
二级引证文献
45
同被引文献
52
1
闻瑞梅.
兆位电路用高纯水、气和化学试剂的质量控制[J]
.电子学报,1993,21(5):24-30.
被引量：7
2
宁秋实,李红光,李钟模.
色谱纯甲醇的制备研究[J]
.贵州化工,2004,29(3):7-8.
被引量：3
3
栾国颜,高维平,姚平经.
离子交换树脂在过氧化氢净化中的应用进展[J]
.化工进展,2004,23(7):691-695.
被引量：5
4
郑学根,邱晓生,王长明,阳晓辉.
超净高纯乙腈的研制[J]
.石油化工,2004,33(10):964-967.
被引量：11
5
李葰.
微电子工业用湿化学品的生产和发展[J]
.上海化工,2004,29(8):32-35.
被引量：2
6
郭朝晖,蒋生祥.
高效液相色谱法在补益中药活性成分测定中的应用[J]
.中医药学刊,2004,22(11):2136-2137.
被引量：4
7
方勇.
前景广阔的氟塑料──PFA[J]
.有机氟工业,1995(4):23-25.
被引量：1
8
闻瑞梅,岩堀博,桂常敦,高岷.
用于高纯水制备中外压式毛细管超过滤器[J]
.电子学报,1995,23(5):105-108.
被引量：2
9
闻瑞梅,陈朗星,刘任重.
试剂水的制备[J]
.化学试剂,1995,17(1):35-39.
被引量：1
10
游贤德.
电子工业用高纯过氧化氢的开发[J]
.黎明化工,1995(6):11-12.
被引量：5
引证文献
10
1
施云海,许振良.
微滤膜在超净高纯电子化学试剂生产中的应用进展[J]
.化学世界,2002,43(S1):187-191.
2
栾国颜,高维平,姚平经.
电子级过氧化氢的生产、市场和技术开发[J]
.化工科技市场,2004,27(10):9-11.
被引量：11
3
郑学根,邱晓生,王长明,阳晓辉.
超净高纯乙腈的研制[J]
.石油化工,2004,33(10):964-967.
被引量：11
4
郑学根,邱晓生,汪道明.
一种新型超净高纯试剂在半导体技术中的应用[J]
.半导体技术,2005,30(9):20-23.
被引量：10
5
张志刚,徐世民,张卫江,李鑫钢,李春凤,刘范嘉.
我国工业甲醇提纯精制高纯甲醇的可行性[J]
.精细石油化工进展,2006,7(2):45-47.
被引量：4
6
IPTV和网络广播推动广播电视向数字媒体转变[J]
.现代电视技术,2006(4):122-122.
7
马敬环,唐娜,赵永宏.
树脂法净化过氧化氢溶液的安全性能研究[J]
.精细化工,2006,23(9):878-881.
被引量：3
8
杨昀.
微电子工业对超净高纯化学品的质量要求[J]
.云南化工,2009,36(5):35-42.
被引量：11
9
王长明,朱中南,等.
电子工业用化学品的研制开发进展[J]
.安庆石化,2001,23(4):9-12.
10
徐金伟.
电子化学品制程系统设计[J]
.全面腐蚀控制,2019,33(1):44-46.
二级引证文献
45
1
栾国颜,高维平,姚平经.
国内、外过氧化氢生产与应用进展[J]
.化工科技市场,2005,28(1):15-19.
被引量：12
2
郑学根,邱晓生,汪道明.
一种新型超净高纯试剂在半导体技术中的应用[J]
.半导体技术,2005,30(9):20-23.
被引量：10
3
IPTV和网络广播推动广播电视向数字媒体转变[J]
.现代电视技术,2006(4):122-122.
4
张尊英.
电子级过氧化氢的质量标准、市场和生产技术[J]
.河北化工,2007,30(2):7-10.
5
刘范嘉,张卫江,谢英芹,田桂林,杨光辉.
工业甲醇制备高纯甲醇的间歇精馏模拟与实验[J]
.化学试剂,2007,29(4):251-253.
6
陈建波,曹杨.
双氧水市场分析及预测[J]
.川化,2007(2):25-33.
被引量：3
7
刘范嘉,张卫江,谢英芹,张志刚,杨光辉.
我国工业甲醇提纯制备高纯甲醇的研究进展[J]
.化工进展,2007,26(5):664-667.
被引量：4
8
张尊英.
电子级过氧化氢的质量标准、市场和生产技术[J]
.化工技术与开发,2007,36(5):30-35.
被引量：8
9
许保云,张卫江,时彦卫,刘范嘉,谢英芹,田桂林.
间歇萃取精馏制备高纯甲醇模拟与实验研究[J]
.化学工程,2007,35(6):8-11.
被引量：3
10
吴国荃,王青积,伊盛鑫,吴秋君,李澄,宋占君.
山东、江苏两省双氧水市场调研[J]
.化学工业,2009,27(1):33-35.
被引量：3
1
周淑珍,李涛,李玉,任保增.
超净高纯试剂提纯方法的研究进展[J]
.科技信息,2009(29).
被引量：3
2
徐英伟.
我国超净高纯试剂的应用与发展[J]
.微处理机,2010,31(3):1-5.
被引量：6
3
曹立新.
我国超净高纯试剂和光刻胶的现状与发展[J]
.半导体技术,2003,28(12):12-16.
被引量：5
4
申桂英,吴茜.
高纯度试剂专利信息[J]
.精细与专用化学品,2008,16(17):36-37.
5
孙世铭.
超净高纯试剂与紫外光刻胶[J]
.精细与专用化学品,1999,7(10):8-10.
被引量：4
6
穆启道.
集成电路制作技术的发展与超净高纯试剂的应用[J]
.集成电路应用,2003,20(2):56-60.
被引量：10
7
穆启道.
我国超净高纯试剂市场需求及产业化前景[J]
.精细与专用化学品,2008,16(23):18-21.
被引量：11
8
朱春富,吴琼.
IC用高纯试剂中金属杂质分析[J]
.光谱学与光谱分析,1994,14(3):71-78.
被引量：11
9
文曜.
电子化工材料[J]
.中外医疗,1999,22(1):7-7.
10
王春梅,吴琼,张淑珍,朱春富.
发射光谱法测定五种高纯试剂中的金属杂质[J]
.半导体技术,1998,23(5):47-50.
被引量：1
半导体技术
1998年 第4期
职称评审材料打包下载
相关作者
内容加载中请稍等...
相关机构
内容加载中请稍等...
相关主题
内容加载中请稍等...
浏览历史
内容加载中请稍等...
;
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
