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不同波长激光同时辐照薄膜热效应研究 被引量:5
1
作者 周明 范正修 +2 位作者 邵建达 赵元安 李大伟 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第10期2608-2612,共5页
通过分析两个不同波长激光同时辐照下薄膜体内驻波场分布并求解热传导方程,得到1064nm激光和355nm激光在三倍频分离膜内共同作用下二维温度场分布.研究表明:1064nm激光和355nm激光共同作用引起薄膜体内的温升峰值高于相同能量1064nm激... 通过分析两个不同波长激光同时辐照下薄膜体内驻波场分布并求解热传导方程,得到1064nm激光和355nm激光在三倍频分离膜内共同作用下二维温度场分布.研究表明:1064nm激光和355nm激光共同作用引起薄膜体内的温升峰值高于相同能量1064nm激光单独作用引起的薄膜体内的温升峰值,低于相同能量355nm激光单独作用引起的薄膜体内的温升峰值. 展开更多
关键词 三倍频分离膜 高斯激光 温度场分布 薄膜损伤
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薄膜损伤面积的计算机测量技术 被引量:2
2
作者 解振东 《物探化探计算技术》 CAS CSCD 1999年第3期220-222,共3页
光学薄膜损伤面积大小的测量对确定损伤阈值具有重要作用。本文给出一种测量薄膜损伤面积的计算机测量方法。
关键词 薄膜损伤 CCD 损伤面积 测量 计算机
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重复激光脉冲作用下薄膜损伤演化规律研究 被引量:4
3
作者 范卫星 王平秋 +3 位作者 韩敬华 刘全喜 杨洁 郭超 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第2期210-213,共4页
为了深入研究重复激光脉冲的能量效应对光学薄膜的烧蚀机理,采用实验观测与热力学分析相结合的方法进行了研究。通过观察光学薄膜烧蚀形貌随入射激光脉冲数量增加发生改变的典型形貌特征,分析了激光与等离子体相互作用的热力学过程,得... 为了深入研究重复激光脉冲的能量效应对光学薄膜的烧蚀机理,采用实验观测与热力学分析相结合的方法进行了研究。通过观察光学薄膜烧蚀形貌随入射激光脉冲数量增加发生改变的典型形貌特征,分析了激光与等离子体相互作用的热力学过程,得到了在激光重复脉冲作用下光学薄膜的损伤特性及其演化规律。结果表明,薄膜在重复脉冲作用下,其表面会变得粗糙,这会大大增加对激光的吸收效应,从而加速了薄膜的破坏,最终被完全去除而露出基底;同时,烧蚀物会在热膨胀作用下向激光作用区域外扩散,在激光烧蚀中心区域外进行沉积,而形成更大范围的污染。由于激光光强为高斯分布,重复脉冲作用的效应主要是对在光束中心区域的薄膜进行集中烧蚀,会不断增加烧蚀的损伤程度,而对烧蚀面积的增加效应极为有限。这一研究结果为重复激光脉冲对薄膜烧蚀机理的建立提供了参考。 展开更多
关键词 激光技术 重复激光脉冲 薄膜损伤 高斯光束 X射线衍射光谱
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激光薄膜损伤的声频判别方法 被引量:3
4
作者 苏俊宏 王坤坤 梁海峰 《光学与光电技术》 2014年第1期27-31,共5页
光学薄膜损伤阈值是衡量光学薄膜抗激光损伤能力的重要参数,而要实现损伤阈值的测试必须先实现薄膜损伤的判识。利用光声频谱特性研究单层氧化硅薄膜在不同激光能量下的损伤情况,简要地分析了声频法判别薄膜损伤的可行性,建立了激光... 光学薄膜损伤阈值是衡量光学薄膜抗激光损伤能力的重要参数,而要实现损伤阈值的测试必须先实现薄膜损伤的判识。利用光声频谱特性研究单层氧化硅薄膜在不同激光能量下的损伤情况,简要地分析了声频法判别薄膜损伤的可行性,建立了激光致薄膜产生的声波采集系统,比较和分析薄膜损伤前后的24~40kHz高频段曲线,提取频率特征,并提出利用曲线相似函数进行薄膜损伤的识别。实验数据结果表明,该方法简单易行,可实现在线检测,又能准确判别薄膜损伤。 展开更多
关键词 声频 薄膜损伤 激光能量 相似
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基于频率特征的薄膜损伤声学判别方法 被引量:2
5
作者 苏俊宏 王坤坤 梁海锋 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期16-20,共5页
利用声学法研究单层氧化硅薄膜在不同激光能量下的损伤情况,建立了激光致薄膜产生的声波采集系统,对其采集到的时域信号进行傅里叶变换,比较和分析薄膜损伤前后声波24~40kHz高频段的曲线,提取频率特征,并提出用曲线相似函数进行薄膜损... 利用声学法研究单层氧化硅薄膜在不同激光能量下的损伤情况,建立了激光致薄膜产生的声波采集系统,对其采集到的时域信号进行傅里叶变换,比较和分析薄膜损伤前后声波24~40kHz高频段的曲线,提取频率特征,并提出用曲线相似函数进行薄膜损伤的识别方法。实验数据结果表明,该方法简单易行,可降低环境噪声的影响,既能实现在线检测,又能准确判别薄膜损伤。 展开更多
关键词 薄膜损伤 声频 激光能量 相似 曲线特征
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激光辐照TiO2/SiO2薄膜损伤时间简捷测量
6
作者 周维军 袁永华 桂元珍 《中国工程物理研究院科技年报》 2008年第1期105-106,共2页
随着激光技术的快速发展,激光功率有了很大的提高,这对于光电探测系统来说是一个致命的威胁。任何一种薄膜在激光功率超过薄膜的损伤阈值时,薄膜就被破坏,光电系统就要面临失效。目前尚未见薄膜损伤时间测量的报道。文中研究不同功... 随着激光技术的快速发展,激光功率有了很大的提高,这对于光电探测系统来说是一个致命的威胁。任何一种薄膜在激光功率超过薄膜的损伤阈值时,薄膜就被破坏,光电系统就要面临失效。目前尚未见薄膜损伤时间测量的报道。文中研究不同功率激光辐照薄膜的损伤时间。 展开更多
关键词 薄膜损伤 TIO2/SIO2 时间测量 激光辐照 激光功率 光电探测系统 激光技术 损伤阈值
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激光诱导薄膜损伤的缺陷统计模型与光斑效应
7
作者 邱服民 朱自强 +1 位作者 李丹 付雄鹰 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 1997年第5期267-269,共3页
讨论了脉冲激光诱导薄膜损伤的缺陷统计模型,在对该模型加些适当的限制条件后,运用它解释光斑效应,发现该理论模型与实验结果符合得很好。
关键词 损伤阈值 光斑效应 激光诱导 薄膜损伤
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激光安全与防护
8
《中国光学》 EI CAS 2008年第2期34-35,共2页
关键词 激光技术 激光辐照 半导体材料 材料损伤 连续激光 安全与防护 信息科学 温度场分布 薄膜损伤 砷化镓
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中红外2μm KTA光参量振荡器的输入镜膜层损伤分析
9
作者 王鹏 李彤 +2 位作者 朱建华 牛瑞华 朱雅琛 《光散射学报》 2008年第1期60-64,共5页
对基于KTA(KTiOAsO4,砷酸钛氧钾)晶体的中红外2μm光参量振荡器的输入镜膜层损伤现象进行了初步分析及对比实验研究,表明薄膜缺陷导致的热效应是造成输入镜膜层损伤、抗损伤阈值低的主要原因,同时发现由于腔镜失调等原因造成的腔内残余1... 对基于KTA(KTiOAsO4,砷酸钛氧钾)晶体的中红外2μm光参量振荡器的输入镜膜层损伤现象进行了初步分析及对比实验研究,表明薄膜缺陷导致的热效应是造成输入镜膜层损伤、抗损伤阈值低的主要原因,同时发现由于腔镜失调等原因造成的腔内残余1.06μm激光是造成膜层损伤的主要来源,这些结果对改进光参量振荡器系统设计、进一步提高2μm激光输出能量具有一定的指导作用。 展开更多
关键词 中红外激光器 KTA晶体 光参量振荡器 薄膜损伤
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人工吸收杂质诱导增透膜损伤阈值研究
10
作者 章汪维 朱华新 +3 位作者 胡立发 刘涛 陈晓家 郭东铭 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期24-29,共6页
为研究杂质大小对增透膜激光损伤阈值(LIDT)影响,利用光刻技术在熔石英基底表面设置厚度为100nm不同直径大小的柱状金属Al“杂质吸收点”,然后在此基础上沉积增透膜。通过Comsol模拟仿真了解损伤过程,并利用532nm纳秒激光器进行阈值测试... 为研究杂质大小对增透膜激光损伤阈值(LIDT)影响,利用光刻技术在熔石英基底表面设置厚度为100nm不同直径大小的柱状金属Al“杂质吸收点”,然后在此基础上沉积增透膜。通过Comsol模拟仿真了解损伤过程,并利用532nm纳秒激光器进行阈值测试,对实验数据与样品损伤形貌进行分析,结果表明杂质直径为50um、100um、200um、300um、400um的薄膜损伤阈值分别为18.93J/cm^(2),18.62J/cm^(2),17.11J/cm^(2),15.28J/cm^(2),13.47J/cm^(2),呈非线性下降,“杂质吸收点”吸收光能产生热量,传导于增透膜层后产生的轴向热应力超过了薄膜的拉伸强度是膜层损伤的主因。 展开更多
关键词 增透膜 杂质诱导 薄膜损伤阈值
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脉冲激光输出参数对光学薄膜损伤阈值的影响 被引量:2
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作者 严荣荣 苏俊宏 杨利红 《光学与光电技术》 2019年第2期34-40,共7页
激光诱导薄膜损伤阈值的准确测量是判别光学薄膜抗激光损伤能力的重要依据。采用单因素控制变量法,建立了激光能量误差、聚焦光斑尺寸误差与损伤阈值误差的数值模型,理论分析了能量误差、聚焦光斑尺寸误差对薄膜损伤阈值的影响,通过搭... 激光诱导薄膜损伤阈值的准确测量是判别光学薄膜抗激光损伤能力的重要依据。采用单因素控制变量法,建立了激光能量误差、聚焦光斑尺寸误差与损伤阈值误差的数值模型,理论分析了能量误差、聚焦光斑尺寸误差对薄膜损伤阈值的影响,通过搭建实验平台测量了辐照在薄膜表面的实际能量和聚焦光斑尺寸,根据实验结果采用统计学原理评估了薄膜损伤阈值不确定度。研究结果表明:随着能量误差、聚焦光斑尺寸误差的增大,损伤阈值误差也增大。单层膜样品实例分析,损伤阈值测量合成不确定度为0.87 J/cm^2。因此,研究能量和聚焦光斑尺寸误差对损伤阈值的影响,为获得准确的薄膜损伤阈值测试结果提供了方向。 展开更多
关键词 脉冲激光输出参数 薄膜损伤阈值 不确定度 单因素控制变量法
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基于XRD光谱法的光参量振荡铌酸锂晶体SiO_2薄膜损伤研究
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作者 牛瑞华 韩敬华 +6 位作者 罗晋 卢峰 朱启华 李彤 杨李茗 冯国英 周寿桓 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期3430-3434,共5页
针对参量振荡过程中铌酸锂表面的增透薄膜的损伤问题,采用了XRD光谱法和形貌观测法对激光诱导薄膜损伤的形貌及其物理过程进行了深入地分析。观测发现:薄膜损伤点的特征是膜面出现凹陷的点坑,周围分散着由厚到薄变化的沉积层,XRD光谱检... 针对参量振荡过程中铌酸锂表面的增透薄膜的损伤问题,采用了XRD光谱法和形貌观测法对激光诱导薄膜损伤的形貌及其物理过程进行了深入地分析。观测发现:薄膜损伤点的特征是膜面出现凹陷的点坑,周围分散着由厚到薄变化的沉积层,XRD光谱检测显示出现了薄膜材料的晶化。利用杂质缺陷诱导薄膜损伤模型对以上损伤的形貌成因进行了分析。研究表明:杂质粒子对激光脉冲能量的强烈吸收会引起邻近光学材料的迅速熔化、汽化和电离,形成复杂物态结构混合物;在激光等离子体冲击波作用下,混合物发生喷溅扩散形成凹陷坑。在扩散冷却过程中沉积物会发生结晶,X射线衍射显示出薄膜材料SiO2晶态的衍射峰。 展开更多
关键词 XRD光谱 光学参量振荡器(OPO) 缺陷诱导薄膜损伤 激光等离子体冲击波
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等离子体与氧杂碳化硅低介电常数隔离膜的相互作用
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作者 陈维 韩清源 +3 位作者 Robert Most Carlo Waldfried Orlando Escorcia Ivan L.Berry 《电子工业专用设备》 2003年第4期75-78,共4页
为了进一步降低高级器件堆叠中铜连接线的电容延迟性,我们开发了一种先进的氧杂碳化硅隔离膜(O-SiC),其介电常数为3.5,能非常有效地阻止铜的扩散。如所期望的那样,O-SiC膜可用作蚀刻和CMP的终止盖层,即需要在集成过程中防止各种等离子... 为了进一步降低高级器件堆叠中铜连接线的电容延迟性,我们开发了一种先进的氧杂碳化硅隔离膜(O-SiC),其介电常数为3.5,能非常有效地阻止铜的扩散。如所期望的那样,O-SiC膜可用作蚀刻和CMP的终止盖层,即需要在集成过程中防止各种等离子化学的辐射。我们检测了等离子灰化化学:O2?H2?N2,H2?N2和H2?He等离子体与O-SiC膜的相互作用,测定了膜受到的等离子损伤并检测了化学结构的变化。此外,在薄膜受到这些等离子体的辐射之后,测定了其电学性质,如泄漏电流、介电常数和介质击穿电压。结果显示,H2?He等离子灰化化学可以有效应用于O-SiC薄膜,而不会造成薄膜的关键特性退化。 展开更多
关键词 氧杂碳化硅 等离子体灰化低介电材料 等离子体引起的低介电薄膜损伤
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激光安全与防护
14
《中国光学》 EI CAS 2002年第3期24-24,共1页
TN241 2002031768HfC<sub>2</sub>/SiO<sub>2</sub>高反射膜的缺陷及其激光损伤=Relationbetween laser damage and defects of HfO<sub>2</sub>/SiO<sub>2</sub>HR coatings[刊,中]/... TN241 2002031768HfC<sub>2</sub>/SiO<sub>2</sub>高反射膜的缺陷及其激光损伤=Relationbetween laser damage and defects of HfO<sub>2</sub>/SiO<sub>2</sub>HR coatings[刊,中]/胡建平,陈梅,付雄鹰,柴林(成都精密光学工程研究中心.四川,成都(610041))//强激光与粒子束.-2001,13(5).-529-532用原子力,Normaski和扫描电子显微镜等分析仪器,对高损伤阈值薄膜常采用的HfO<sub>2</sub>/SiO<sub>2</sub>薄膜进行了表面显微图像研究,分析了薄膜常见的表面缺陷,如节瘤,孔洞的划痕等。薄膜表面缺陷的激光损伤实验表明,不同缺陷的抗激光损伤能力大不相同。 展开更多
关键词 激光损伤 表面缺陷 扫描电子显微镜 薄膜损伤 强激光 激光聚变 工程研究中心 高反射膜 孔洞缺陷 粒子束
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激光安全与防护
15
《中国光学》 EI CAS 1998年第4期26-26,共1页
TN24 98042295激光诱导薄膜损伤的缺陷统计模型与光斑效应=De-fect statistical model of pulse lager—induceddamage to thin film and spotsize[刊,中]/邱服民,朱自强,李丹(四川大学.四川,成都(610064)),付雄鹰(成都精密光学工程研... TN24 98042295激光诱导薄膜损伤的缺陷统计模型与光斑效应=De-fect statistical model of pulse lager—induceddamage to thin film and spotsize[刊,中]/邱服民,朱自强,李丹(四川大学.四川,成都(610064)),付雄鹰(成都精密光学工程研究中心.四川,成都(610003)) 展开更多
关键词 激光诱导 统计模型 光斑效应 薄膜损伤 工程研究中心 四川 安全与防护 精密光学 成都 缺陷
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980nm半导体激光器高反膜的优化设计
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作者 张莹 宋爱民 王培界 《数字通信》 2011年第4期92-94,97,共4页
通过软件模拟和理论分析,对980nm半导体激光器高反膜的结构进行了优化设计。选定Ta2O5/SiO2作为980nm半导体激光器的高反膜材料,通过软件TFCalc进行仿真,对3种不同膜系结构的反射率和电场强度进行了对比分析,对镀膜后和未镀膜的器件分... 通过软件模拟和理论分析,对980nm半导体激光器高反膜的结构进行了优化设计。选定Ta2O5/SiO2作为980nm半导体激光器的高反膜材料,通过软件TFCalc进行仿真,对3种不同膜系结构的反射率和电场强度进行了对比分析,对镀膜后和未镀膜的器件分别进行测试。仿真结果表明:膜系结构为Al2O3(Ta2O5/SiO2)7Ta2O5的高反膜性能良好,镀膜后的阈值电流减小了20mA左右,斜率效率从0.48增加到了0.86。 展开更多
关键词 半导体激光器 高反膜 薄膜激光损伤阈值 归一化电场强度
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