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近场作用下纳米针尖点接触界面传热研究
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作者 徐屾 邓书港 +2 位作者 黄小娜 黄德钊 岳亚楠 《工程热物理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第10期3131-3136,共6页
扫描探针光刻技术可实现10 nm以下的材料加工,为微纳加工技术带来新的发展方向。但在该技术中针尖与样品间热量传递是影响材料温升和加工效果的关键因素。本文设计了一种金纳米针尖阵列支撑的单层石墨烯结构,在真空条件下,针尖与石墨烯... 扫描探针光刻技术可实现10 nm以下的材料加工,为微纳加工技术带来新的发展方向。但在该技术中针尖与样品间热量传递是影响材料温升和加工效果的关键因素。本文设计了一种金纳米针尖阵列支撑的单层石墨烯结构,在真空条件下,针尖与石墨烯间接触热阻是影响结构温升的主要因素。首先评估金纳米针尖阵列在532 nm激光作用下近场增强因子约为3.2,其次,结合实验和仿真,测定金纳米针尖阵列与石墨烯间接触热阻约为4.6×10^(-5)(m^(2)·K)/W。 展开更多
关键词 界面接触热阻 纳米针尖 拉曼光谱 近场增强 扫描探针光刻技术
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硅基自锐式纳米针尖一次成型制作工艺的研究 被引量:3
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作者 薛伟 李加东 +1 位作者 谢杰 吴东岷 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2013年第1期125-128,共4页
对采用KOH溶液腐蚀单晶硅制备自锐式纳米针尖的一次成型制作工艺进行了研究,为提高自锐式纳米针尖的纵横比,根据各向异性腐蚀针尖的自锐效应模型,分析了腐蚀溶液的浓度及掩模形状对针尖形状的影响,得到了提高自锐式纳米针尖纵横比的条件... 对采用KOH溶液腐蚀单晶硅制备自锐式纳米针尖的一次成型制作工艺进行了研究,为提高自锐式纳米针尖的纵横比,根据各向异性腐蚀针尖的自锐效应模型,分析了腐蚀溶液的浓度及掩模形状对针尖形状的影响,得到了提高自锐式纳米针尖纵横比的条件,实验结果表明,在15mol/L,60℃的KOH腐蚀液中采用五边形掩模可获取纵横比约等于1,针尖曲率半径小于10nm的自锐式纳米针尖,针尖侧壁由{113}晶面组成。 展开更多
关键词 纳米针尖 自锐效应 纵横比 各向异性腐蚀
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聚焦电子束辐照诱导喷金SiO_(x)纳米线新型结构加工
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作者 潘鹏 季雪梅 +4 位作者 苏江滨 朱贤方 何祖明 唐斌 郎咸忠 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2022年第3期264-271,277,共9页
在纳米加工技术中,利用透射电子显微镜(TEM)中的电子束辐照诱导低维纳米材料制备异质结构的加工方式因具有广阔的应用前景而备受瞩目。利用成熟的聚焦电子束原位辐照技术,通过改变电子束辐照时的强度和位置对喷金非晶SiO_(x)纳米线进行... 在纳米加工技术中,利用透射电子显微镜(TEM)中的电子束辐照诱导低维纳米材料制备异质结构的加工方式因具有广阔的应用前景而备受瞩目。利用成熟的聚焦电子束原位辐照技术,通过改变电子束辐照时的强度和位置对喷金非晶SiO_(x)纳米线进行原位辐照,诱导其结构发生变化,从而实现结构加工。实验结果显示,当束斑直径大于纳米线直径的聚焦电子束辐照纳米线中心时,成功制备了一种SiO_(x)-Au-SiO_(x)新型纳米桥状异质结构,而当减小电子束的束斑直径而增强辐照强度后,Au纳米桥轴向伸长并最终断裂形成另一种新型Au纳米针尖结构。为了丰富加工类型,通过将电子束聚焦于纳米线边缘实现了对纳米线的切割加工。此外,还原位观察研究了非晶SiOx纳米线表层Au纳米颗粒在加工过程中的形貌结构变化,确定Au纳米颗粒的生长是聚集和塑形共同作用的结果。对喷金非晶SiOx纳米线新型结构的加工为将来纳米电子器件连接装置的制造和扫描探针探测技术的应用提供了一种新思路,同时也为以后的纳米线器件电子束加工实验提供了一些参考。 展开更多
关键词 纳米材料 纳米线 透射电子显微镜(TEM) 聚焦电子束辐照 纳米针尖
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应用于扫描隧道显微镜探针的纳米级钨针制备 被引量:1
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作者 王俊听 《电子测试》 2018年第7期60-61,共2页
扫描隧道显微镜因其原子级别的空间分辨率,广泛应用于材料表面表征等领域。其成像分辨率取决于针尖的尖锐度,目前还没有可靠的方法,能够制备出用于高质量的针尖。本文提出了一种利用场致刻蚀技术的方法,能够可控地制备出纳米级的钨针。
关键词 纳米针尖 扫描隧道显微镜 场致刻蚀
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新型纳机电热探针阵列器件数据存储技术研究
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作者 杨尊先 于映 +1 位作者 林丽华 李昕欣 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期693-697,共5页
对自行研制的一种新型压阻敏感器和电阻加热器一体集成的纳机电热探针阵列传感器进行了存储特性研究。首先对器件电热特性和敏感特性进行测试,测试结果与模拟结果相吻合。在此基础上,进行数据存储测试,借助原子力学显微镜在聚合物有机... 对自行研制的一种新型压阻敏感器和电阻加热器一体集成的纳机电热探针阵列传感器进行了存储特性研究。首先对器件电热特性和敏感特性进行测试,测试结果与模拟结果相吻合。在此基础上,进行数据存储测试,借助原子力学显微镜在聚合物有机薄膜上实现了数据写入,并研究了脉冲电压、脉冲宽度及其施加于探针上的力载荷对存储效果的影响,优化写入条件后,数据记录面密度达31.6GB/in2. 展开更多
关键词 纳米针尖 集成探针阵列 存储特性 电阻加热器
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二氧化硅纳米颗粒的反应离子刻蚀及其在硅纳米针尖制备中的应用(英文) 被引量:2
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作者 赵瑜 江洵 +3 位作者 李成垚 王玮 高旻 李志宏 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2009年第6期515-518,共4页
系统地研究了硅衬底上二氧化硅纳米颗粒的反应离子刻蚀(R IE)过程,并在此基础上制备了可用于场发射的硅纳米针尖阵列.首先,采用改进的蒸发法在硅衬底上实现二氧化硅纳米颗粒的单层密排结构,再采用典型的刻蚀二氧化硅的R IE技术同时刻蚀... 系统地研究了硅衬底上二氧化硅纳米颗粒的反应离子刻蚀(R IE)过程,并在此基础上制备了可用于场发射的硅纳米针尖阵列.首先,采用改进的蒸发法在硅衬底上实现二氧化硅纳米颗粒的单层密排结构,再采用典型的刻蚀二氧化硅的R IE技术同时刻蚀硅衬底和二氧化硅纳米颗粒,在对纳米颗粒尺寸随刻蚀进行而改变的电镜照片分析的基础上,获得了相应的二氧化硅纳米颗粒刻蚀模型,计算得到横向和纵向的刻蚀速率;当刻蚀后的二氧化硅纳米颗粒从衬底上脱落后,进一步对硅衬底的刻蚀可以得到锐利的硅纳米针尖阵列,初步的实验结果表明,所制备的硅纳米针尖具有较好的场发射特性. 展开更多
关键词 纳米颗粒单层膜 纳米针尖阵列 反应离子刻蚀 场发射效应
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基于纳米金针尖增强的亚表层光热效应研究
7
作者 方宇欣 陈熠新 岳亚楠 《工程热物理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第5期1323-1329,共7页
金纳米针尖激发的光场增强和光热效应在材料表面加工和激光辅助制造方面应用前景广泛,但其能量产生和转化机制的理论分析却鲜见展开。本文通过数值模拟研究了金纳米针尖与光相互作用的光场增强和光热效应。首先研究了独立金针尖的近场... 金纳米针尖激发的光场增强和光热效应在材料表面加工和激光辅助制造方面应用前景广泛,但其能量产生和转化机制的理论分析却鲜见展开。本文通过数值模拟研究了金纳米针尖与光相互作用的光场增强和光热效应。首先研究了独立金针尖的近场增强与入射波长和入射角度的关系。在波长为532 nm的平行光照射下,距离针尖表面10 nm处最大的电场增强高达约66倍。在针尖下方设置硅基底,针尖与硅基底的间隙中出现更强的光场增强,同时在硅基底的亚表层中产生热源。当入射光的功率密度为2×10^(7)W/m^(2)时,该热源的能量密度高达3×10^(15)W/m^(3)。在针尖下方设置单层石墨烯,增强效应形成的纳米尺度热源可以穿透单层碳原子使石墨烯被加热55倍。 展开更多
关键词 纳米针尖 光学增强 亚表层 光热效应
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基于泊松亮斑效应的紫外曝光制备纳米针尖阵列
8
作者 尹红星 毛鹏程 +1 位作者 许冰 田士兵 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2023年第10期159-165,共7页
使用电子束曝光或者聚焦离子束设备制备纳米针尖,虽然精度高但不能大面积快速制备;使用紫外曝光设备可以大面积快速制备,但制备精度达不到纳米量级。该文基于泊松亮斑效应,提出在常规紫外曝光设备中制备大面积、可控的纳米针尖阵列的方... 使用电子束曝光或者聚焦离子束设备制备纳米针尖,虽然精度高但不能大面积快速制备;使用紫外曝光设备可以大面积快速制备,但制备精度达不到纳米量级。该文基于泊松亮斑效应,提出在常规紫外曝光设备中制备大面积、可控的纳米针尖阵列的方法。通过调控掩膜版图形和曝光剂量得到了直径小于100 nm的光刻胶的纳米针尖阵列,然后用反应离子刻蚀将光刻胶图案转移到硅衬底上得到了直径小于50 nm、径高比达1∶10的超细纳米针尖阵列。泊松亮斑曝光能极大地提高紫外曝光机的分辨率,该方法可操作性强并可大面积制备,是一种可行的曝光技术。 展开更多
关键词 菲涅尔衍射 泊松亮斑 紫外曝光 纳米针尖阵列
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硅基纳机电探针及其敏感和执行特性
9
作者 杨尊先 李昕欣 +3 位作者 王跃林 鲍海飞 刘民 陆德仁 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第7期863-868,共6页
阐述了集成纳机电探针实现超高密度存储的工作原理 ,并对所设计的结构进行了力学理论计算和有限元模拟 .采用硅基微纳机械加工工艺 ,将压阻敏感器和电热纳米针尖一体集成到硅悬臂梁上 ,实现器件制作 .对加热电阻进行温度标定 ,得到了加... 阐述了集成纳机电探针实现超高密度存储的工作原理 ,并对所设计的结构进行了力学理论计算和有限元模拟 .采用硅基微纳机械加工工艺 ,将压阻敏感器和电热纳米针尖一体集成到硅悬臂梁上 ,实现器件制作 .对加热电阻进行温度标定 ,得到了加热电阻与温度间二次关系曲线 .在此基础上对器件进行微秒级瞬态电热特性分析和测试 ,测试结果与理论计算结果和有限元模拟结果都有较好的吻合 .测试结果表明在 4 V脉冲电压下 ,加热时间为 3μs时 ,针尖温度达到 4 6 3.1 5 K,相应的加热电阻的降温时间常数为 6 .2 μs,数据写入速度达到近百 k Hz.悬臂梁上的压阻器件敏感度 (电阻相对变化 )在 2× 1 0 - 7N预力作用针尖处时 ,达到了 5 .4 1× 1 0 - 4,满足纳米数据坑读出灵敏度的要求 . 展开更多
关键词 悬臂梁-针尖探针 纳机电系统技术 压阻敏感 电热纳米针尖 数据存储技术 PACC 0670M
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通过诱导局域电场和电子局域化协同碱性析氢
10
作者 王其忧 龚钰杰 +13 位作者 谭耀 资鑫 Reza Abazari 李红梅 蔡超 刘康 傅俊伟 陈善勇 罗涛 张世国 李文章 盛义发 刘俊 刘敏 《Chinese Journal of Catalysis》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第11期229-237,共9页
碱性析氢反应(HER)可将间歇性可再生能源转化为可存储的清洁能源,因而备受关注.然而,水解离速度缓慢以及H中间体(*H)吸附和解吸困难限制了碱性HER的进一步发展.目前,针对碱性电解水解离缓慢问题,通常采用调整电催化剂结构降低水分解热... 碱性析氢反应(HER)可将间歇性可再生能源转化为可存储的清洁能源,因而备受关注.然而,水解离速度缓慢以及H中间体(*H)吸附和解吸困难限制了碱性HER的进一步发展.目前,针对碱性电解水解离缓慢问题,通常采用调整电催化剂结构降低水分解热动力学能垒,以及改变三相界面微环境加速中间产物的扩散等方法来促进水分解进行.此外,可以通过调控活性位点电子结构来优化*H的吸脱附.但是采用单一的策略很难同时促进H_(2)O的解离和*H的吸脱附,难以获得令人满意的碱性HER性能.因此,探索一种能同时促进H_(2)O的解离和*H的吸脱附协同策略对提升碱性HER的性能至关重要.本文提出了一种协同策略,通过构建高曲率二硫化钴纳米针(CoS_(2)NNs)和原子级铜(Cu)的掺杂分别实现诱导纳米尺度的局域电场和原子尺度的电子局域化,从而促进碱性HER的H_(2)O解离和*H吸脱附.首先,采用有限元法模拟和密度泛函理论计算,从理论上分别证实了纳米尺度局域电场可以加速H_(2)O解离以及原子尺度电子局域化可以促进*H吸附.受理论计算结果启发,通过一步水热法和原位硫化相结合的方法制备了高曲率的Cu掺杂CoS_(2)纳米针(Cu-CoS_(2)NNs).采用扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)、X射线衍射(XRD)和四探针测试等技术进行表征,研究了Cu-CoS_(2)NNs的形貌、物相结构、化学组成和导电性.结果表明,在Cu原子引入后,Cu-CoS_(2)NNs依然保持着高曲率的纳米针结构,证明了Cu在CoS_(2)NNs中的原子分散状态.相较于低曲率的Cu掺杂CoS_(2)纳米线(Cu-CoS_(2)NWs),Cu-CoS_(2)NNs只存在形貌上的区别,二者的化学组成和比例均非常接近.同时,上述材料都具有很强的导电性,且电导率基本相同,这与有限元模拟结果一致.原位衰减全反射红外光谱和电响应测试结果表明,Cu-CoS_(2)NNs具有较好的解离H_(2)O和吸附*H的能力.在1 mol L^(-1)KOH溶液和10 mA cm^(-2) 展开更多
关键词 碱性析氢 局域电场 电子局域化 铜掺杂 二硫化钴纳米针尖
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基于纳米针尖反射靶的X射线显微系统
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作者 宋健 牛耕 +3 位作者 刘俊标 赵伟霞 马玉田 韩立 《电子显微学报》 CAS CSCD 2016年第4期293-297,共5页
本文利用电化学腐蚀方法制备出曲率半径<100 nm的钨针尖,并在FEI Quantum 600型扫描电镜(SEM)中作为反射靶材以搭建微焦点X射线显微系统。通过SEM发射电子束轰击纳米钨针尖,以减少电子束和靶材的物理作用区域,进而减小X射线源的光斑... 本文利用电化学腐蚀方法制备出曲率半径<100 nm的钨针尖,并在FEI Quantum 600型扫描电镜(SEM)中作为反射靶材以搭建微焦点X射线显微系统。通过SEM发射电子束轰击纳米钨针尖,以减少电子束和靶材的物理作用区域,进而减小X射线源的光斑尺寸,实现高分辨率的X射线显微成像。采用线对卡来评价系统的最佳成像分辨率,实验结果表明:系统在加速电压30 k V、电子束束流120 n A、SEM的工作距离5 mm、放大倍数为100倍、探测器采集时间为180 s的条件下,可以获得优于1μm的分辨率图像。 展开更多
关键词 纳米针尖制备 低能X射线显微技术 无损检测 电化学腐蚀法
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Pt超微电极的制作及性能的研究
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作者 何春勇 沈培康 《中山大学研究生学刊(自然科学与医学版)》 2010年第1期46-51,共6页
微观电化学的发展对揭示电化学过程的本质和机理有重要意义,超微电极的制作是实现微观电化学研究的重要条件。已有文献报道了多种不同的超微电极的制作方法,在本文中,用电化学刻蚀的方法制作出了半径在纳米级别的Pt超微电极,这种电化学... 微观电化学的发展对揭示电化学过程的本质和机理有重要意义,超微电极的制作是实现微观电化学研究的重要条件。已有文献报道了多种不同的超微电极的制作方法,在本文中,用电化学刻蚀的方法制作出了半径在纳米级别的Pt超微电极,这种电化学制作超微电极的方法相比于其他的方法有制作方便、条件容易控制、针尖尖锐等优点。 展开更多
关键词 超微电极 电化学刻蚀纳米针尖 PT
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碳纳米管原子力显微镜针尖及其在生物学研究中的应用 被引量:4
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作者 国立秋 赵铁强 +1 位作者 董申 钟照华 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2002年第4期36-41,共6页
碳纳米管是制作原子力显微镜针尖的理想材料 ,这是由于碳纳米管具有很小的半径、较高的纵横比、高的柔软性能、独特的化学结构和确定的电子特性。运用碳纳米管针尖成功地获得了免疫球蛋白和单个蛋白分子等的高分辨率结构图像。
关键词 原子力显微镜 化学结构 纳米针尖 生物学 半径 纵横比 柔软性能
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碳纳米管原子力显微镜针尖在结构生物学研究中的应用 被引量:5
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作者 国立秋 董小瑛 +3 位作者 赵铁强 赵清亮 张飞虎 董申 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期525-528,共4页
碳纳米管以其较小的半径、较高的纵横比和高的柔韧性成为原子力显微镜对结构生物学进行研究的理想针尖。新的制备方法获得了亚纳米级半径的碳纳米管针尖 ,运用它们得到了生物大分子及其复合物的生物结构 ,并获得了新的生物信息 。
关键词 结构生物学 纳米针尖 原子力显微镜 生物大分子 生物化学
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失效原子力显微镜硅针尖再生 被引量:2
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作者 徐化明 王锐 +3 位作者 国立秋 王秀凤 陈皓明 梁吉 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1973-1976,共4页
原子力显微镜的传统商品硅针尖在使用过程中极易因磨损而失效,本文研究了一种在实验室条件下简易可行的回收利用失效硅针尖的方法。在原子力显微镜的敲击模式下使用曲率半径大于100nm的失效硅针尖对生长单壁碳纳米管的样品表面进行扫描... 原子力显微镜的传统商品硅针尖在使用过程中极易因磨损而失效,本文研究了一种在实验室条件下简易可行的回收利用失效硅针尖的方法。在原子力显微镜的敲击模式下使用曲率半径大于100nm的失效硅针尖对生长单壁碳纳米管的样品表面进行扫描,把样品表面的单壁碳纳米管管束粘接到硅针尖上,可制得直径在5~20nm的碳纳米管针尖。实验对碳纳米管针尖和新的商品硅针尖进行了成像对比,所制备的碳纳米管针尖不仅在成像分辨率而且在成像稳定性上都优于新的商品硅针尖。 展开更多
关键词 原子力显微镜 纳米针尖 失效硅针尖
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单壁碳纳米管在基底表面的离散生长 被引量:1
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作者 徐化明 王锐 +1 位作者 国力秋 梁吉 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期3-6,共4页
通过旋涂硝酸铁异丙醇溶液于P型硅表面以获得均匀分布的催化剂颗粒,以CH4为反应气体采用CVD方法即可在P型硅表面均匀生长单壁碳纳米管,并且部分碳纳米管呈直立状。研究了催化剂浓度、生长基底、反应温度对单壁碳纳米管表面生长情况的影... 通过旋涂硝酸铁异丙醇溶液于P型硅表面以获得均匀分布的催化剂颗粒,以CH4为反应气体采用CVD方法即可在P型硅表面均匀生长单壁碳纳米管,并且部分碳纳米管呈直立状。研究了催化剂浓度、生长基底、反应温度对单壁碳纳米管表面生长情况的影响。研究表明,催化剂浓度升高或采用二氧化硅替代P型硅为生长基底时,都会导致单壁碳纳米管生长的密度加大,而碳纳米管长度变短且更易贴附基底表面生长;随反应温度的提高碳纳米管的生长效率降低,并使得碳纳米管更易贴附基底表面生长。采用此方法制备的生长有直立碳纳米管的硅片作为扫描基底,在原子力显微镜敲击模式下利用拾取法成功制备了碳纳米管原子力显微镜针尖。 展开更多
关键词 单壁碳纳米 催化剂浓度 反应温度 生长基底 纳米针尖
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碳纳米管原子力显微镜针尖对脱氧核糖核酸高分辨率成像研究
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作者 国立秋 王秀凤 +3 位作者 王锐 徐化明 陈皓明 梁吉 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1439-1441,共3页
运用自制的碳纳米管原子力显微镜针尖,在液体中观察了脱氧核糖核酸(DNA)分子的精细结构。结果表明,运用碳纳米管针尖获得的DNA分子的高度与电子显微镜的结果非常接近,且没有造成样品的变形损伤;碳纳米管针尖得到的DNA分子的宽度与真实... 运用自制的碳纳米管原子力显微镜针尖,在液体中观察了脱氧核糖核酸(DNA)分子的精细结构。结果表明,运用碳纳米管针尖获得的DNA分子的高度与电子显微镜的结果非常接近,且没有造成样品的变形损伤;碳纳米管针尖得到的DNA分子的宽度与真实值相近,减小了原子力显微镜成像的增宽效应,这是用传统的硅针尖无法获得的。DNA分子精细结构的高分辨率图像的获得为研究其功能提供了有价值的信息。 展开更多
关键词 纳米 原子力显微镜 脱氧核糖核酸 纳米针尖 高分辨率成像 DNA分子 高分辨率图像 精细结构 电子显微镜 变形损伤
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纳米级针尖制备控制系统设计与实现
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作者 胡贤斌 《电子制作》 2019年第14期72-73,共2页
制约扫描隧道显微镜分辨率的一个关键因素是其使用的针尖不够尖锐,如何制备出更加尖锐的针尖是当前扫面电镜分辨率突破的一个重要方面。在传统的制备工艺基础上,一种基于化学刻蚀和场致刻蚀的工艺流程可是实现制备纳米级针尖。本文介绍... 制约扫描隧道显微镜分辨率的一个关键因素是其使用的针尖不够尖锐,如何制备出更加尖锐的针尖是当前扫面电镜分辨率突破的一个重要方面。在传统的制备工艺基础上,一种基于化学刻蚀和场致刻蚀的工艺流程可是实现制备纳米级针尖。本文介绍了该针尖的制备控制系统的设计与实现。该针尖的制备有其特殊性,据此开发了对应的控制系统,包括高压电源、控制箱、控制卡、相机等及对应的上位机控制程序,经实践验证,能够实现对超级针制备的工艺控制及数据记录。 展开更多
关键词 扫描隧道显微镜 纳米针尖 高压电源 测控系统
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时间与温度对纳米光纤针尖腐蚀影响的研究
19
作者 黄剑锋 郑长柏 《科学技术与工程》 2008年第11期2969-2971,共3页
为增大纳米光纤针尖的锥角(即透过率),通过实验研究了腐蚀时间与温度对光纤针尖锥角、直径及表面的影响,结果表明,光纤针尖的腐蚀是非自动截止的,针尖的锥角和直径随着腐蚀时间的增加而增大,提高温度可改善针尖表面,通过选取腐蚀时间与... 为增大纳米光纤针尖的锥角(即透过率),通过实验研究了腐蚀时间与温度对光纤针尖锥角、直径及表面的影响,结果表明,光纤针尖的腐蚀是非自动截止的,针尖的锥角和直径随着腐蚀时间的增加而增大,提高温度可改善针尖表面,通过选取腐蚀时间与温度可以制作不同的纳米光纤针尖。 展开更多
关键词 纳米光纤针尖 化学腐蚀 时间与温度 直径与锥角
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两种纳米级针尖的制作和应用 被引量:2
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作者 张友生 闫允杰 朱静 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第4期483-483,共1页
关键词 JEOL 6301F扫描电子显微镜 纳米操纵台 针尖制作 多壁碳纳米针尖 纳米级W针尖
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