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纳米岛光刻技术及其应用 被引量:1
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作者 伊福廷 Mino Green 《微细加工技术》 2004年第4期22-26,共5页
介绍了一种基于微加工技术的新方法———纳米岛光刻技术。利用该技术制造出几十纳米到微米尺度的岛结构,然后利用剥离、刻蚀等微加工技术,将该岛转化成纳米孔、纳米岛、纳米井等结构。该技术的特点是能够制造出具有各种密度的纳米结构... 介绍了一种基于微加工技术的新方法———纳米岛光刻技术。利用该技术制造出几十纳米到微米尺度的岛结构,然后利用剥离、刻蚀等微加工技术,将该岛转化成纳米孔、纳米岛、纳米井等结构。该技术的特点是能够制造出具有各种密度的纳米结构(最高覆盖率可达50%以上),且开发成本低,工艺性能优越,是一种有效制造纳米岛结构的专业方法。 展开更多
关键词 光刻 纳米 纳米技术 微加工
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DCXRD Investigation of a Ge/Si(001) Island Multilayer Structure
2
作者 时文华 薛春来 +1 位作者 罗丽萍 王启明 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期145-148,共4页
A Ge/Si(001) island multilayer structure is investigated by double crystal X-ray diffraction, transmission electron microscopy,and atomic force microscopy. We fit the satellite peaks in the rocking curve by two Lore... A Ge/Si(001) island multilayer structure is investigated by double crystal X-ray diffraction, transmission electron microscopy,and atomic force microscopy. We fit the satellite peaks in the rocking curve by two Lorentz lineshapes, which originate from the wetting layer region and the island region. Then from the ratio of the thick- nesses of the Si and Ge (GeSi) layers as determined by TEM,tbe Ge compositions of the wetting layer and islands are estimated to be about 0. 51 and 0. 67, respectively,according to the positions of the fitted peaks. This proves to be a relatively simple way to investigate the Ge/Si (001) island multilayer structure. 展开更多
关键词 SI Ge nano-dot ISLAND X-RAY
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氯化铯纳米岛生长技术
3
作者 罗亮 伊福廷 张菊芳 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期189-192,共4页
氯化铯纳米岛光刻技术是一种分子自组装光刻技术,该技术利用氯化铯在一定湿度下的自组装特性来形成具有一定尺寸和分布的原始氯化铯纳米岛结构,通过调整工艺条件可以适度控制氯化铯岛结构的尺寸和覆盖率。氯化铯岛结构的尺寸和覆盖率主... 氯化铯纳米岛光刻技术是一种分子自组装光刻技术,该技术利用氯化铯在一定湿度下的自组装特性来形成具有一定尺寸和分布的原始氯化铯纳米岛结构,通过调整工艺条件可以适度控制氯化铯岛结构的尺寸和覆盖率。氯化铯岛结构的尺寸和覆盖率主要取决于氯化铯薄膜厚度、显影时间和相对湿度,其中膜厚的影响最大。通常在其他条件不变的情况下,薄膜越厚覆盖率越高,而显影时间越长覆盖率则可能越低。在厚度、相对湿度一定的情况下,显影时间较短时,岛结构以小直径为主,随着时间增加,该结构直径分布变得均匀,并且以大直径为主,两者都大致符合高斯分布。 展开更多
关键词 纳米 自组装技术 NEMS 纳米加工技术
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MFA在相变性质研究中的伪解问题
4
作者 陈胜 卢俊邑 《信息记录材料》 2021年第8期226-229,共4页
基于横场Ising模型,利用费米型格林函数的通常退耦合近似(MFA)得到了赝自旋极化强度的x分量与z分量方程组,研究了自旋为1/2的正方晶格纳米岛的相变性质。相图结果表明,在一定参数范围内,利用MFA会使得相变曲线发生闭合;零温下的极化图表... 基于横场Ising模型,利用费米型格林函数的通常退耦合近似(MFA)得到了赝自旋极化强度的x分量与z分量方程组,研究了自旋为1/2的正方晶格纳米岛的相变性质。相图结果表明,在一定参数范围内,利用MFA会使得相变曲线发生闭合;零温下的极化图表明,在初始自旋取向随机时,在横场Ω/J较小和层间交换作用JR/J较大时,利用MFA可能产生多解及伪解。相图和极化图都可以展现出非常规结果:重入现象。但在初始自旋取向同向时,相图和极化图又回归到了常规形式。 展开更多
关键词 纳米 格林函数 横场Ising模型 伪解
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Ge/Si(001)多层纳米岛材料的快速热退火特性
5
作者 时文华 罗丽萍 +2 位作者 赵雷 左玉华 王启明 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第z1期136-139,共4页
通过X射线双晶衍射、光致发光谱等手段,系统研究了Ge/Si(001)多层纳米岛材料的快速热退火特性.研究表明:退火过程中纳米岛区的Ge/Si原子互扩散作用比浸润层区强烈;并且随着退火时间增加,这种互扩散作用加大,晶体质量下降,影响材料性能.... 通过X射线双晶衍射、光致发光谱等手段,系统研究了Ge/Si(001)多层纳米岛材料的快速热退火特性.研究表明:退火过程中纳米岛区的Ge/Si原子互扩散作用比浸润层区强烈;并且随着退火时间增加,这种互扩散作用加大,晶体质量下降,影响材料性能.而在800℃退火12s,材料保持了较小的Ge/Si原子互扩散水平和较高的晶体质量,并且经硼离子注入后的样品在这一条件退火后,超过50%的杂质原子可被激活. 展开更多
关键词 SI Ge 纳米 退火 离子注入
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参量改变对正方晶格纳米岛极化强度的影响
6
作者 陈胜 卢俊邑 滕保华 《大学物理》 2021年第10期5-8,21,共5页
基于横场Ising模型,利用费米型格林函数的通常退耦合近似(MFA)和高阶退耦合近似,研究了自旋为1/2的正方晶格纳米岛的相变性质.极化强度计算表明:在初始自旋取向随机时,可能产生多解及伪解,从而展现出非常规结果,即可重入现象.而利用高... 基于横场Ising模型,利用费米型格林函数的通常退耦合近似(MFA)和高阶退耦合近似,研究了自旋为1/2的正方晶格纳米岛的相变性质.极化强度计算表明:在初始自旋取向随机时,可能产生多解及伪解,从而展现出非常规结果,即可重入现象.而利用高阶退耦合近似不但可以解释更为丰富的相变现象,同时绝大部分情况下高阶退耦合近似方程组仅有唯一解,可以很好地避免伪解的产生.另外Js/J是造成极化曲线出现阶梯形状的主要原因,但高阶退耦合近似加大了各参量之间的联系. 展开更多
关键词 纳米 格林函数 横场Ising模型 伪解
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ZnO纳米岛的MOCVD自组装生长 被引量:3
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作者 周昕 顾书林 +7 位作者 叶建东 顺明 秦锋 刘伟 胡立群 张荣 施毅 郑有炓 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第7期804-808,共5页
利用低压金属有机源气相沉积 (L P- MOCVD)技术 ,在 (0 0 0 1 )蓝宝石衬底上生长 Zn O纳米岛 ,发现在适当的生长条件下 ,可以生长出规则排列的纳米岛 .实验发现随着生长时间的增加 ,在蓝宝石衬底上沉积的 Zn O晶体颗粒无论是密度还是体... 利用低压金属有机源气相沉积 (L P- MOCVD)技术 ,在 (0 0 0 1 )蓝宝石衬底上生长 Zn O纳米岛 ,发现在适当的生长条件下 ,可以生长出规则排列的纳米岛 .实验发现随着生长时间的增加 ,在蓝宝石衬底上沉积的 Zn O晶体颗粒无论是密度还是体积都在增加 ,并出现颗粒之间的交叠现象 .与厚膜材料相比 ,相应的室温 PL 谱上显示出带边蓝移现象 ,随着生长温度的提高将大大增加 Zn O在蓝宝石衬底上成核的困难 .另外 ,所有样品的室温 PL 谱在带边附近均存在一个展宽峰 ,这可能是由表面态或晶体缺陷造成的 .研究表明选择合适的生长时间与生长温度是利用MOCVD生长高质量 Zn 展开更多
关键词 ZnO纳米 金属有机源化学气相沉积 光致发光谱 原子力显微镜 PACC 7855 0779
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铜银合金纳米岛的可控制备及其量子点荧光增强性能
8
作者 张简玙 张健 《微纳电子技术》 CAS 2024年第8期133-141,共9页
目前对于单金属纳米材料的研究已经非常广泛,但是合金纳米材料的相关研究还有待进一步开发。如何在降低成本、简化制备方法的基础上,对合金纳米材料进行更深入的探索是目前的一个研究方向。提出了一种利用磁控溅射结合真空退火制备铜银... 目前对于单金属纳米材料的研究已经非常广泛,但是合金纳米材料的相关研究还有待进一步开发。如何在降低成本、简化制备方法的基础上,对合金纳米材料进行更深入的探索是目前的一个研究方向。提出了一种利用磁控溅射结合真空退火制备铜银合金纳米岛结构的新方法。通过控制溅射时间、溅射顺序和退火温度,可实现不同形貌、不同光谱响应特性的铜银合金纳米岛结构的可控制备。选用制备的铜银合金纳米岛作为CdSe量子点荧光增强基底。实验结果表明,铜银合金纳米岛基底的量子点样品的荧光强度相较于单纯的量子点样品有显著增强,增幅达到4.71倍,荧光寿命缩短了7.9ns。提出的铜银合金纳米岛制备方法具有成本低、速度快、重复性好等优点,为铜银合金纳米结构的研究提供了一种新的思路和方法,为等离激元微纳米结构在多领域应用和产业化提供了参考。 展开更多
关键词 微纳光子学 铜银合金纳米 局域表面等离激元 量子点 荧光增强
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基于Au纳米岛修饰的CdSSe纳米带光电探测器
9
作者 赵吉玉 谭秋红 +3 位作者 刘磊 杨伟业 王前进 刘应开 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第9期328-338,共11页
三元合金CdS_(x)Se_(1-x)兼具CdS和CdSe的物理性质,其带隙可以通过改变元素的组分来调节.该合金具有优异的光电性能,在光电器件方面具有潜在的应用价值.本文首先通过热蒸发法制备了单晶CdS_(0.42)Se_(0.58)纳米带器件,在550 nm光照及1 ... 三元合金CdS_(x)Se_(1-x)兼具CdS和CdSe的物理性质,其带隙可以通过改变元素的组分来调节.该合金具有优异的光电性能,在光电器件方面具有潜在的应用价值.本文首先通过热蒸发法制备了单晶CdS_(0.42)Se_(0.58)纳米带器件,在550 nm光照及1 V偏压下,器件的光电流与暗电流之比为1.24×10^(3),光响应度达60.1 A/W,外量子效率达1.36×10^(4)%,探测率达2.16×10^(11)Jones,其上升/下降时间约为41.1/41.5 ms.其次,通过Au纳米岛修饰该CdS_(0.42)Se_(0.58)纳米带后,器件的光电性能显著提升,在550 nm光照及1 V偏压下,器件的光开关比、响应度、外量子效率及探测率分别提高了5.4倍、11.8倍、11.8倍和10.6倍,并且上升/下降时间均缩短了近一半.最后基于Au纳米岛的局域表面等离子共振解释了器件光电性能增强的微观物理机制,为在不增大器件面积的前提下,制备高性能光电探测器提供了一种有效策略. 展开更多
关键词 CdSSe纳米 Au纳米 局域表面等离子体共振 光电探测器
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金纳米团簇组装的表面增强拉曼散射基底 被引量:3
10
作者 梁淑妍 刘红梅 +2 位作者 穆云云 翟天瑞 张新平 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第1期87-92,共6页
表面增强拉曼散射(SERS)光谱技术是一种高灵敏度的检测技术,已在社会发展的多个领域显示出潜在的应用前景。SERS活性基底的大面积、低成本、可控制备是表面增强拉曼散射光谱学研究领域的热点之一。利用溶液法将直径小于5nm的金纳米团簇... 表面增强拉曼散射(SERS)光谱技术是一种高灵敏度的检测技术,已在社会发展的多个领域显示出潜在的应用前景。SERS活性基底的大面积、低成本、可控制备是表面增强拉曼散射光谱学研究领域的热点之一。利用溶液法将直径小于5nm的金纳米团簇旋涂成膜,调控退火温度和时间,将金纳米团簇融合组装成随机分布的金纳米岛。由于融合组装过程在150~210℃范围缓慢,控制条件可实现具有高密度增强"热点"的SERS基底,方法简单、成本低廉、面积大、均匀性高。我们利用该方法可重复性获得了性能优良的SERS基底。该基底对表面吸附的单分子层,具有强烈的表面增强拉曼散射光谱响应,150~210℃退火样品的宏观增强因子106~107量级。研究表明:相同条件下150~180℃退火,金纳米团簇首先融合成直径10~20nm细小金纳米岛;退火温度190~210℃时,形成10~20nm细小金纳米岛与50~70nm金纳米岛混合并存的现象。拉曼光谱表征显示:大、小金纳米岛混合并存样品的宏观增强因子高于细小金纳米岛组成的样品。经220℃退火后,金纳米团簇完全融合成直径50~100nm的金纳米岛,岛间距也随之增大,导致纳米岛之间的电磁场强度呈指数衰减,220℃退火的样品具有较低的增强因子。本论文揭示了金纳米团簇的缓慢自组装机制,分析了金纳米岛的形貌与表面增强拉曼散射光谱的关系,为该基底的应用研究奠定基础。 展开更多
关键词 表面增强拉曼散射 纳米团簇 纳米 自组装
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W(110)基底上的铁纳米岛初始自发磁化态的微磁学模拟 被引量:2
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作者 杨秀会 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第11期7279-7286,共8页
用微磁学模拟研究W(110)基底上铁纳米岛的初始自发磁化态的磁畴结构,确定了不规则形状、椭圆形和矩形岛中不同磁畴态之间的各向异性常数的临界点,得到了纳米岛的磁化态作为各向异性常数和厚度函数的完整相图,相图中存在一较宽的过渡区,... 用微磁学模拟研究W(110)基底上铁纳米岛的初始自发磁化态的磁畴结构,确定了不规则形状、椭圆形和矩形岛中不同磁畴态之间的各向异性常数的临界点,得到了纳米岛的磁化态作为各向异性常数和厚度函数的完整相图,相图中存在一较宽的过渡区,把双畴态与涡旋态和菱形态分开,过渡区两侧的边界是不确定的.计算结果表明,初始自发磁化态的磁畴结构主要由各向异性及岛的厚度决定,而且岛的边沿形状对涡旋态和菱形态的磁畴结构有重要影响.准确的铁纳米岛的各向异性常数仍有待于进一步确定. 展开更多
关键词 初始自发磁化磁畴结构 纳米 微磁学模拟 各向异性
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利用Ni纳米岛模板制备半极性晶面GaN纳米柱 被引量:1
12
作者 杨国锋 陈鹏 +8 位作者 于治国 刘斌 谢自力 修向前 韩平 赵红 华雪梅 张荣 郑有炓 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期417-420,442,共5页
报道了在GaN表面以Ni纳米岛结构作为模板,利用电感耦合等离子(ICP)刻蚀制备GaN纳米柱的研究结果。原子力显微镜(AFM)测试结果表明,金属Ni薄膜在快速热退火(RTA)作用下形成了平均直径和高度大约分别为325 nm和70 nm的纳米岛状结构。通过... 报道了在GaN表面以Ni纳米岛结构作为模板,利用电感耦合等离子(ICP)刻蚀制备GaN纳米柱的研究结果。原子力显微镜(AFM)测试结果表明,金属Ni薄膜在快速热退火(RTA)作用下形成了平均直径和高度大约分别为325 nm和70 nm的纳米岛状结构。通过电子扫描显微镜(SEM)照片看出,以GaN表面所形成的Ni纳米岛作为模板图形,通过控制ICP刻蚀时间,在一定的刻蚀时间内(2 min)获得有序的并拥有半极性晶面的GaN纳米柱阵列。这种新颖的半极性GaN纳米柱作为氮化物量子阱或者超晶格结构的生长模板,可以有效减小甚至消除极化效应,提高光电子器件的效率和性能。 展开更多
关键词 氮化镓 纳米模板 电感耦合等离子刻蚀 半极性面 氮化镓纳米
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离域晶态碳调控的还原氧化石墨烯电子吸收光谱研究 被引量:1
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作者 宋微娜 董永利 +2 位作者 解丽萍 赵富全 冯晓彤 《黑龙江大学工程学报》 2019年第1期45-52,共8页
为调控还原氧化石墨烯能级带隙结构,采用控制氧化和控制还原的实验策略制备了一系列还原氧化石墨烯样品。利用紫外-可见光谱分析技术结合傅里叶变换红外光谱和X射线衍射光谱对具有不同离域晶态碳结构的氧化石墨烯样品进行了研究。结果表... 为调控还原氧化石墨烯能级带隙结构,采用控制氧化和控制还原的实验策略制备了一系列还原氧化石墨烯样品。利用紫外-可见光谱分析技术结合傅里叶变换红外光谱和X射线衍射光谱对具有不同离域晶态碳结构的氧化石墨烯样品进行了研究。结果表明:通过控制氧化条件可调节氧化石墨烯结构中离域sp^2晶态碳纳米岛和sp^2杂化碳组态的尺寸和数量。氧化石墨烯的能级带隙从4.16~5.44 eV可调。随乙醇溶剂热还原条件变化,氧化石墨烯结构中sp^2碳纳米岛和碳组态彼此交联形成结构各异的芳香性C=C键结构。这种实验策略实现了氧化石墨烯结构中能级带隙的调节控制,并为制备能带结构可控的石墨烯基复合材料奠定了基础。 展开更多
关键词 氧化石墨烯 电子吸收光谱 离域晶态碳 纳米 碳组态
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不同基底对退火制备Ni纳米岛掩模形貌的影响 被引量:1
14
作者 薛俊俊 蔡青 +2 位作者 张保花 葛梅 陈将伟 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第9期9146-9149,共4页
目前,刻蚀自组装在GaN薄膜上Ni纳米岛的掩模的方法是制备GaN纳米柱阵列常用手段。但是,这将对后续制备出的纳米柱产生Ni污染。除此之外,直接将GaN系的材料暴露在高温下进行Ni纳米岛掩模的制备,会对GaN材料表面产生一定的热腐蚀损伤。因... 目前,刻蚀自组装在GaN薄膜上Ni纳米岛的掩模的方法是制备GaN纳米柱阵列常用手段。但是,这将对后续制备出的纳米柱产生Ni污染。除此之外,直接将GaN系的材料暴露在高温下进行Ni纳米岛掩模的制备,会对GaN材料表面产生一定的热腐蚀损伤。因此,以GaN、SiO_2、Al_2O_3和SixNy分别为基底,对退火自组装在这4种基底上的Ni纳米岛形貌进行了较为系统的研究。发现850℃的退火温度下,Al_2O_3基底上Ni薄膜形成的纳米岛的形貌最为规整,为最优化衬底。 展开更多
关键词 GAN 退火 Ni纳米 制备
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基于InO_x纳米岛/C的栅控薄膜电子发射阴极 被引量:1
15
作者 朱丹 李德杰 王健 《真空电子技术》 2009年第3期44-46,59,共4页
介绍了基于InOx纳米岛/C的栅控薄膜电子发射阴极,并对其制备工艺和发射性能进行讨论。引入射频溅射的ZnO作为通道层,并在其上沉积InOx纳米岛以及无定型碳薄膜层。InOx纳米岛状结构引入了InOx/C复合活性层的不均匀性;在栅极以及源漏极电... 介绍了基于InOx纳米岛/C的栅控薄膜电子发射阴极,并对其制备工艺和发射性能进行讨论。引入射频溅射的ZnO作为通道层,并在其上沉积InOx纳米岛以及无定型碳薄膜层。InOx纳米岛状结构引入了InOx/C复合活性层的不均匀性;在栅极以及源漏极电压的作用下,当有足够的传导电流通过InOx/C复合层时,通过电流热效应作用,复合层的某些导电通道被烧断,形成电子发射区域。本结构可以通过栅极电压来控制传导电流的有无,从而控制阴极电子发射的有无。 展开更多
关键词 平面显示 栅控 电子发射 InOx纳米 C
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硝酸银水溶液处理新生多孔硅的研究 被引量:1
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作者 薛亮 李怀祥 +2 位作者 于磊 胡明波 陈姗姗 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期370-373,377,共5页
n型单晶硅经光电化学阳极刻蚀成多孔硅,研究了多孔硅经硝酸银(AgNO3)水溶液浸泡前后样品的光致发光(PL)性质,实验发现,浸泡很短时间内多孔硅发光强度增强,浸泡时间较长的样品发光强度会衰减直至猝灭,且浸泡液浓度越大荧光衰减越明显。... n型单晶硅经光电化学阳极刻蚀成多孔硅,研究了多孔硅经硝酸银(AgNO3)水溶液浸泡前后样品的光致发光(PL)性质,实验发现,浸泡很短时间内多孔硅发光强度增强,浸泡时间较长的样品发光强度会衰减直至猝灭,且浸泡液浓度越大荧光衰减越明显。通过扫描电子显微镜(SEM),傅立叶红外光谱(FTIR)和X射线光电子能谱(XPS)的检测显示,AgNO3水溶液浸泡的多孔硅样品表面有金属银析出。光致发光增强是多孔硅表面形成Si—O结构所致,荧光猝灭是因为银在多孔硅表面形成大量非辐射复合中心。 展开更多
关键词 多孔硅 光致荧光 自组装 纳米
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基于C-W复合膜/无定形碳纳米岛的表面传导电子发射阴极
17
作者 朱丹 李德杰 +2 位作者 赵勇 胡强 王健 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期419-424,共6页
介绍了基于C-W复合膜/无定形碳纳米岛的表面传导电子发射阴极,并对其制备工艺和发射性能进行讨论。利用低熔点纳米Bi岛作为掩模刻蚀得到无定形碳的纳米岛结构,在保留大岛形貌的同时,去除了一定量的小岛结构;同时在无定形碳中掺入少量的... 介绍了基于C-W复合膜/无定形碳纳米岛的表面传导电子发射阴极,并对其制备工艺和发射性能进行讨论。利用低熔点纳米Bi岛作为掩模刻蚀得到无定形碳的纳米岛结构,在保留大岛形貌的同时,去除了一定量的小岛结构;同时在无定形碳中掺入少量的W原子,制作导电性极佳的C-W复合膜作为上层发射层,利于激活形成电子发射区域。通过对工艺参数的优化,得到了稳定、均匀的电子发射,电子发射率在阴阳极间距2mm、阳极电压为3 kV时达到0.9%,向器件实用化方向迈出了重要的一步。 展开更多
关键词 平面显示 电子发射 C-W复合膜 磁控溅射 无定形碳纳米 Bi纳米
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Effect of inter-layer strain interaction on the optical properties of Ge/Si(001) island multi-layers
18
作者 M. De Seta G. Capelllini +5 位作者 F. Evangelisti C. Ferrari L. Lazzarini G. Salviati R. W. Pengs S.S.Jiang 《Optoelectronics Letters》 EI 2007年第3期173-176,共4页
In this paper we present a study on the influence of the number and the thickness of silicon spacer layer on the optical properties of single-and multi-layers of self assembled Ge/Si(001) islands performed by means of... In this paper we present a study on the influence of the number and the thickness of silicon spacer layer on the optical properties of single-and multi-layers of self assembled Ge/Si(001) islands performed by means of cathodoluminescence spectroscopy,high resolution X-ray diffraction and transmission electron microscopy. In single-layer sample,we do not evidence dependence of the island no-phonon emission peak position on the silicon cap-layer thickness. In multi-layer samples having a thin(33 nm) silicon spacer layer the no-phonon emission energy value progressively blue-shifts for an increasing number of island layers. This is interpreted as an enhanced intermixing driven by the strain interaction existing between island layers. On the contrary,island emission energy position is independent on the number of layers in the sample series having a thicker spacer layer(60 nm) . These findings are consistent with the X-ray diffraction observation that islands belonging to different layers have the same composition. As a consequence we can conclude that multilayers with 60-nm spaced islands layer are more homogeneous and ordered. 展开更多
关键词 层间应变作用 锗/硅(001)多层纳米 光学性能 自组装
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Sr/Si(100)表面TiSi_2纳米岛的扫描隧道显微镜研究 被引量:1
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作者 杨景景 杜文汉 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期598-603,共6页
为了解半导体衬底与氧化物之间存在的相互作用,以及量子尺寸效应对不同再构体的影响,制备了1—2个原子层厚的TiSi2/Si(100)纳米岛,并使用扫描隧道显微镜(STM)表征手段详细地研究了TiSi2/Si(100)纳米岛的电子和几何特性.结果发现:这些纳... 为了解半导体衬底与氧化物之间存在的相互作用,以及量子尺寸效应对不同再构体的影响,制备了1—2个原子层厚的TiSi2/Si(100)纳米岛,并使用扫描隧道显微镜(STM)表征手段详细地研究了TiSi2/Si(100)纳米岛的电子和几何特性.结果发现:这些纳米岛表面显示出明显的金属性;其空态STM图像具有典型的偏压依赖性:在高偏压下STM图像由三聚物形成的单胞构成,并在低偏压下STM图像显示为密堆积的图案,这些不同的图案反映出不同能量位的态密度有明显差异. 展开更多
关键词 TiSi2纳米 Sr/Si(100)表面 扫描隧道显微镜
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硅纳米图形诱导生长分布均匀的锗纳米岛
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作者 李阳娟 黄凯 +1 位作者 赖虹凯 李成 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期975-979,共5页
采用阳极氧化铝模板的方法在硅衬底上制备出分布均匀的硅纳米图形,研究了在硅纳米图形衬底上自组装生长锗纳米岛的演化.发现在500℃下,硅纳米图形对自组装生长锗岛起到诱导作用,获得尺寸和分布均匀的Ge纳米岛,岛的尺寸为35nm,密度达到5&... 采用阳极氧化铝模板的方法在硅衬底上制备出分布均匀的硅纳米图形,研究了在硅纳米图形衬底上自组装生长锗纳米岛的演化.发现在500℃下,硅纳米图形对自组装生长锗岛起到诱导作用,获得尺寸和分布均匀的Ge纳米岛,岛的尺寸为35nm,密度达到5×1010 cm-2.当温度较低和较高时,硅纳米图形的诱导作用变得不明显.最后探讨了纳米图形诱导锗纳米岛生长可能的机理. 展开更多
关键词 阳极氧化铝模板 纳米图形衬底 纳米
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