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LB膜诱导CaF_2单晶的生长研究被引量：6: 1; 作者逯乐慧霍立华 +2 位作者李薇崔海宁席时权《化学通报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第1期33-36,共4页; LB膜作为模板可调控晶体的取向生长。实验中利用 SEM,XRD等手段研究了转移到硅基底上的 L B膜诱导氟化钙单晶的生长情况。发现 :在二十二烷基羧酸 L B膜诱导下 ,氟化钙晶体沿(2 2 0 )晶面取向生长。; 关键词二十二烷基羧酸 LB膜氟化钙单晶制备晶体生长; 原文传递

利用Langmuir单层膜诱导合成CaF_2单晶被引量：2: 2; 作者王宝基张兴堂 +4 位作者薛中会戴树玺李蕴才黄亚彬杜祖亮《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期12-16,共5页; 利用SEM、XPS、XRD等手段研究了以山嵛酸(BA)Langmuir单层膜为模板在位诱导氟化钙单晶的生长情况．结果表明,在山嵛酸单分子膜诱导作用下,形成的氟化钙晶体形状比较规则、边缘清晰、尺寸较大,且沿(111)晶面取向生长．这一结果可以通过C... 展开更多; 关键词山嵛酸 Langmuir单层膜氟化钙单晶; 下载PDF 职称材料

157nm紫外光刻设备用光学材料研究进展: 3; 作者臧春雨曹望和石春山《材料导报》 EI CAS CSCD 2003年第6期34-36,共3页; 介绍了半导体制进业专用设备,紫外光刻设备所使用的光学材料。介绍了该材料的选择,研究现状,该材料制造工艺技术的创新,以及与材料制造技术相配套的技术发展状况,同时分析了国际市场现状及该技术的发展趋势。; 关键词紫外光刻设备光学材料紫外光刻技术半导体制造 CaF2晶体氟化钙单晶; 下载PDF 职称材料

德国研制出大直径氟化钙单晶——可用在制造七十纳米芯片的光刻装备中被引量：1: 4; 《新材料产业》 2000年第6期44-44,共1页; 德国耶拿ML微电子公司成功地研制出350mm直径的氟化钙单晶体,可用于制造70mm微细结构芯片。专家对这种新一代芯片和未来半导体产品市场前景看好。该公司首次采用了氟化钙材料拉制单晶,单晶在真空炉里持续生长2个月,最后制得的单晶直径达... 展开更多; 关键词氟化钙单晶纳米芯片 NM 单晶硅半导体芯片德国装备; 下载PDF 职称材料

直径300mm氟化钙单晶的生长: 5; 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第6期1286-1286,共1页; 氟化钙晶体是一种重要的光学材料，具有立方对称性晶格，热机性能良好。物化性能稳定，不潮解，抗辐照损伤能力强，透光范围宽，在130nm到10μm的波长范围内透光性能良好，应力双折射低（在200nm以上无明显本征双折射），及折射率均匀高。; 关键词氟化钙单晶应力双折射生长直径透光性能氟化钙晶体光学材料热机性能; 下载PDF 职称材料

日本成功拉制出大型氟化钙单晶: 6; 作者杨晓蝉《现代材料动态》 2003年第4期7-7,共1页; 关键词大型氟化钙单晶 CZ法氟激光曝光装置透镜材料拉制; 原文传递

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