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旋片真空泵拾遗 被引量:3
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作者 罗根松 王国民 张哲贵 《真空》 CAS 北大核心 2000年第4期43-46,共4页
本文论述了旋片真空在设计、生产和使用中存在的问题 ,提出了解决的方法和研究方向。
关键词 真空 极限压力 抽速 喷油 防止
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我国主要容积式真空泵质量状况浅析
2
作者 李春影 《真空》 CAS 北大核心 2002年第2期1-3,共3页
本文对容积式真空泵——旋片泵、滑阀泵、罗茨泵的总体情况进行了介绍 ,重点对其质量状况进行了分析 ,阐述了近几年容积真空泵的质量改进情况和目前仍存在的主要问题以及问题产生的原因和改进措施 ,并对真空泵普遍存在的共性问题进行了... 本文对容积式真空泵——旋片泵、滑阀泵、罗茨泵的总体情况进行了介绍 ,重点对其质量状况进行了分析 ,阐述了近几年容积真空泵的质量改进情况和目前仍存在的主要问题以及问题产生的原因和改进措施 ,并对真空泵普遍存在的共性问题进行了分析。 展开更多
关键词 容积式真空 质量改进 滑阀 罗茨
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关于空调生产使用旋片式真空泵的寿命研究 被引量:2
3
作者 赖泽丰 《家电科技》 2016年第12期52-54,共3页
空调外机在灌注冷媒前需将整机系统中的空气和残留水分通过真空泵进行抽空排出,但在使用过程中,易因杂质混入真空泵油导致抽真空能力下降。本文特针对杂质对真空泵抽真空能力的影响程度进行研究,提高真空泵使用可靠性。
关键词 真空 真空 寿命 可靠性
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半导体设备真空泵常见故障分析及维修 被引量:1
4
作者 刘豪 张强 +1 位作者 赵志昊 丁文杰 《设备管理与维修》 2020年第5期44-45,共2页
介绍半导体真空设备使用的常见真空泵,归纳总结几种典型的真空泵常见故障原因和处理办法。
关键词 半导体设备真空 设备维修 故障分析 分子 低温
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旋片泵与滑阀泵的新结构 被引量:1
5
作者 徐成海 《四川真空》 1996年第1期1-5,共5页
关键词 真空获得设备 滑阀
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我国真空获得设备的现状和发展
6
作者 姜燮昌 《通用机械》 2004年第2期16-17,共2页
国内生产的各种真空泵,其极限真空、抽速等主要技术性能指标与国外同类产品相比差距不大,但综合性能指标差距很大……
关键词 真空获得设备 真空 气体捕集型 气体输送型 滑阀 罗茨 水环真空
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真空泵市场量大面广
7
《机电产品市场》 2001年第6期12-13,共2页
真空泵是一个量大面广的产品,产量很大,产值不高,但它确实是一个直接影响到真空成套设备性能质量的必不可少的基础产品。 真空泵从高、超真空到粗、低真空,其产品大致可分14大类。
关键词 真空 罗茨 复合分子 市场量 液环 滑阀 低温 应用领域 半导体行业
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基于改进支持向量回归的旋片泵自相关过程监控
8
作者 郑辉 姜美玲 王东菲 《工业工程与管理》 北大核心 2022年第6期9-13,共5页
为了更好地实现对旋片泵自相关过程有效监控,基于混沌遗传算法(chaotic genetic algorithm,CGA),提出优化传统支持向量回归机(support vector regression,SVR)的方法,简称为CGASVR。并运用CGA-SVR对单级旋片泵的噪音和温度两个质量特性... 为了更好地实现对旋片泵自相关过程有效监控,基于混沌遗传算法(chaotic genetic algorithm,CGA),提出优化传统支持向量回归机(support vector regression,SVR)的方法,简称为CGASVR。并运用CGA-SVR对单级旋片泵的噪音和温度两个质量特性自相关统计过程进行监控,实践证明该方法不仅可以有效滤除自相关,而且能克服SVR模型的超参数过早陷入局部最优这一缺陷。进而基于CGA-SVR模型构建的多变量残差MEWMA控制图,在旋片泵自相关监控过程中有更好体现。 展开更多
关键词 遗传算法 支持向量回归机 自相关 MEWMA控制图
原文传递
一种新型嵌固叶片式真空泵的结构和原理 被引量:1
9
作者 何云信 李辛沫 +2 位作者 耿葵花 王清 耿爱农 《真空》 CAS 北大核心 2001年第6期33-34,共2页
介绍一种新型嵌固叶片式旋片真空泵的结构和工作原理 ,该真空泵包含有一个旋转缸套和一个嵌固式的隔离叶片 ,它不仅继承了传统旋片式真空泵体积小、重量轻以及结构简单的优点 。
关键词 真空 嵌固叶 结构 工作原理 摩擦损耗 泄漏损失
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硅片真空夹紧装置设计
10
作者 孙青云 干蜀毅 《真空电子技术》 2006年第2期36-39,共4页
设计了一套硅片专用真空夹紧装置,包括夹紧装置和微型无油真空抽气泵。为减少硅片在夹紧过程中变形,夹紧装置采用了多吸口、回旋槽的平面型结构;根据所需夹紧力大小,设计了抽速为0.3 L/s的微型真空泵,泵内无油避免了对硅片的污染;对间... 设计了一套硅片专用真空夹紧装置,包括夹紧装置和微型无油真空抽气泵。为减少硅片在夹紧过程中变形,夹紧装置采用了多吸口、回旋槽的平面型结构;根据所需夹紧力大小,设计了抽速为0.3 L/s的微型真空泵,泵内无油避免了对硅片的污染;对间隙返流进行了计算并分析了对泵性能的影响;对气路进行了特殊设计使得硅片装卸方便、快捷。 展开更多
关键词 真空夹具 Si 微型
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JZX-150型组合式真空泵的研制
11
《真空》 CAS 1973年第3期31-40,共10页
关键词 真空 JZX-150 化工用 罗茨
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一种铰接叶片式汽车制动助力真空泵
12
作者 李辛沫 何云信 +2 位作者 耿葵花 王清 耿爱农 《液压与气动》 北大核心 2001年第9期30-31,共2页
介绍一种用于汽车制动系的助力真空泵 ,该泵包含有 1个铰接叶片、1个旋转缸套和 2个随动端盖 ,与传统滑片式汽车刹车真空泵相比 ,它具有摩擦损耗小和泄漏损失少的优点。
关键词 真空 嵌固叶 汽车 制动系统
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第十六讲 真空系统的操作与维护
13
作者 张以忱 《真空》 CAS 北大核心 2009年第3期85-88,共4页
3.8.1.3 旋片泵的大修 旋片泵经较长时间运转(一般为2500h)后需要进行大修。大修时应将所有零件拆下来进行清洗,清洗时最好用专门清洗金属机件的清洗液。清洗中发现磨损的零件要更换。
关键词 真空系统 维护 操作 清洗液 金属机件 大修 零件
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一种新型旋片真空泵定子型线的研究
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作者 张远深 赵庆龙 +2 位作者 张园成 刘晓光 於又玲 《甘肃科学学报》 2011年第1期107-109,共3页
提出了一种新型的旋片真空泵定子型线——帕斯卡蜗线,它可以使旋片泵的旋片在旋转过程中始终保持长度不变.这种定子型线可以减小旋片与泵腔间的摩擦与磨损,提高旋片泵的机械效率和工作寿命.
关键词 真空 定子型线
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真空泵市场量大面广
15
作者 姜燮昌 《化工设备与防腐蚀》 2001年第4期21-22,共2页
不管是市场人员还是技术人员,都应该了解
关键词 真空制造业 液环 滑润 直联 罗茨 分子 市场分析
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油封式旋片真空泵常见故障分析及处理方法 被引量:2
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作者 张龙河 《真空》 CAS 2021年第3期17-22,共6页
油封式旋片真空泵有着悠久的历史,已经形成一套完善的生产流程,具有技术成熟,而且高效、可靠、低噪音及易维护等特点,不仅在镀膜、包装、吸持、制冷、冰箱、空调、照明、彩管、真空热处理、真空脱泡、浇注、成型等工业领域应用广泛,而... 油封式旋片真空泵有着悠久的历史,已经形成一套完善的生产流程,具有技术成熟,而且高效、可靠、低噪音及易维护等特点,不仅在镀膜、包装、吸持、制冷、冰箱、空调、照明、彩管、真空热处理、真空脱泡、浇注、成型等工业领域应用广泛,而且在实验室、科研场所,市场的使用量也非常大。本文对于一些常见故障进行总结和原因分析,目的在于使广大用户对旋片式真空泵故障有一个比较系统的了解,从而正确使用和合理维修旋片式真空泵,这将给企业带来可观的经济效益和社会效益。 展开更多
关键词 油封式 故障 维修 真空 真空系统
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直联旋片式真空泵叶片气体压力分析 被引量:1
17
作者 万静 陈伟浩 《真空》 CAS 2014年第6期5-9,共5页
在对双级直联泵的叶片进行受力分析的基础上,建立了一种新的气体压力模型,该模型给出了叶片所受气体压力与转子转角和泵的主要设计尺寸的关系,并且根据泵入口压强的大小而选择相应的计算公式,可计算在不同入口压强下的叶片气体压力,达... 在对双级直联泵的叶片进行受力分析的基础上,建立了一种新的气体压力模型,该模型给出了叶片所受气体压力与转子转角和泵的主要设计尺寸的关系,并且根据泵入口压强的大小而选择相应的计算公式,可计算在不同入口压强下的叶片气体压力,达到了对叶片进行连续受力分析的目的。此外,还根据该模型运用Matlab对2XZ—4型直联真空泵进行了实例计算,为直联旋片泵优化设计和合理使用提供了依据,拓宽了直联真空泵的设计理论。 展开更多
关键词 直联 气体压力模型 入口压强
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直联旋片式真空泵叶片综合受力模型的研究
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作者 万静 陈伟浩 张涛 《真空电子技术》 2014年第5期92-95,共4页
经过对双级直联泵的叶片进行受力分析,建立了一种新的受力模型,该模型给出了叶片受力大小与转子转角和泵的设计尺寸的关系,并且根据泵入口压强的大小而选择相应的计算公式,可计算不同入口压强下的叶片受力大小,达到了对叶片进行连续受... 经过对双级直联泵的叶片进行受力分析,建立了一种新的受力模型,该模型给出了叶片受力大小与转子转角和泵的设计尺寸的关系,并且根据泵入口压强的大小而选择相应的计算公式,可计算不同入口压强下的叶片受力大小,达到了对叶片进行连续受力分析目的。此外,为了能更加快速计算出在不同入口压强和转角下各力的大小及其变化曲线,因而开发了叶片受力分析软件,并利用该软件对2XZ-4型直联真空泵进行了实例计算,为直联旋片泵优化设计和合理使用提供了依据,拓宽了直联真空泵的设计理论,加速了直联泵的研发进程。 展开更多
关键词 直联 受力模型 软件开发
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新型旋片滚柱泵的原理及其应用
19
作者 任丰兰 谢建国 《机电工程技术》 2017年第4期80-81,共2页
介绍了一种新型的旋片滚柱泵的原理,对该泵的结构进行了设计,并对该泵的特征和应用进行了阐述,研究表明该旋片滚柱泵理论上比原单级旋片真空泵节电20%,比气泵节电50%,比水环泵节电30%以上,具有节能、环保、结构简单、成本低等优点。
关键词 强制风冷 滚柱 工作原理
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对消除旋片泵喷油问题的探讨
20
作者 刘景彦 王光华 《真空》 CAS 北大核心 1995年第1期40-40,共1页
对消除旋片泵喷油问题的探讨刘景彦,王光华(沈阳市真空机械三厂)一、刖言我们国家研制生产旋片泵已有很长时间的历史了。虽然现在生产旋片泵的厂家很多,且质量及性能都有所提高.但是旋片泵喷油问题却是普遍存在的。我们都知道真空... 对消除旋片泵喷油问题的探讨刘景彦,王光华(沈阳市真空机械三厂)一、刖言我们国家研制生产旋片泵已有很长时间的历史了。虽然现在生产旋片泵的厂家很多,且质量及性能都有所提高.但是旋片泵喷油问题却是普遍存在的。我们都知道真空作业环境要求很严,尤其是清洁卫生,... 展开更多
关键词 喷油
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