近直立特厚煤层应力调控防冲方法及机制 被引量：1

1

作者 钟涛平 李振雷 +5 位作者 陈建强 宋大钊 何学秋 刘旭东 周超 冯攀飞 《中国矿业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期291-306,共16页

近直立特厚煤层的地质与开采条件与一般煤层差异较大,冲击地压防治形势严峻.本文综合采用理论分析、数值模拟、现场监测等方法,研究了近直立特厚煤层动静载力源分布特征,提出了应力调控防冲方法,揭示了其防冲机制,并进行了工程应用.结... 近直立特厚煤层的地质与开采条件与一般煤层差异较大,冲击地压防治形势严峻.本文综合采用理论分析、数值模拟、现场监测等方法,研究了近直立特厚煤层动静载力源分布特征,提出了应力调控防冲方法,揭示了其防冲机制,并进行了工程应用.结果表明:近直立特厚煤层主要受水平构造应力作用,水平应力通过工作面两侧的顶底板岩层传递至煤层中,并在巷道上下方形成静载集中区;近直立特厚煤层顶底板岩层难以发生破断,然而顶底板岩层破裂释放能量可形成强动载扰动;动载扰动作用于巷道上下方静载集中区并与集中静载叠加可诱发冲击地压.据此,提出了弱化工作面两侧顶底板岩层和下方煤体的应力调控防冲方法,其防冲机制为:弱化顶底板一方面可弱化岩体传递水平应力的能力进而降低巷道上下方的静载集中,另一方面可降低岩体静载集中进而减弱岩体破裂导致的动载强度;弱化煤体可进一步降低巷道下方静载集中并将静载集中区向深部转移.对近直立特厚煤层现场实施的防冲措施进行了优化设计并确定了关键参数,应用表明,工作面高能级微震事件减少了143~178起、微震事件总能量降幅达90%,未发生冲击显现,工作面冲击危险性显著降低,证实了方法的有效性.研究成果可为近直立特厚煤层冲击地压防治提供支撑. 展开更多

关键词 近直立特厚煤层 冲击地压 应力调控 应力传递 应力集中 防冲方法及机制

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增材制造金属结构件残余应力的研究进展 被引量：1

2

作者 温飞娟 谭春梅 +2 位作者 温奇飞 龙樟 邓荣 《中国材料进展》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期66-78,共13页

增材制造技术近年来取得了重大进展,金属增材制造可以三维成型精度高的复杂形状零件,在各行业的应用中具有独特优势。然而,增材制造金属零件成形时由于高温度梯度会引起复杂残余应力。简要分析了增材制造技术的特点,重点总结了激光选区... 增材制造技术近年来取得了重大进展,金属增材制造可以三维成型精度高的复杂形状零件,在各行业的应用中具有独特优势。然而,增材制造金属零件成形时由于高温度梯度会引起复杂残余应力。简要分析了增材制造技术的特点,重点总结了激光选区熔化和电弧增材制造的工艺原理。在此基础上,详细综述了增材制造过程中残余应力的产生机制及测量方法,其中,温度梯度机制是解释残余应力产生机制最常用的方法。针对残余应力的测量,分别从无损检测和破坏性检测两方面进行归纳,最常用的破坏性检测残余应力的方法是轮廓法和钻孔法,而无损检测的方法是X射线衍射法。并且总结了残余应力的调控方法,包括工艺参数调控、预热缓冷及重熔调控、结构设计调控、辅助外场调控、后处理调控。最后简要总结增材制造金属结构件残余应力研究中亟待解决的问题,并展望了金属增材制造的发展方向。 展开更多

关键词 增材制造 残余应力 应力调控 激光选区熔化 电弧增材制造

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增材制造铝合金残余应力研究现状及展望

3

作者 李坤 左春林 +3 位作者 廖若冰 吉辰 蒋斌 潘复生 《航空学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第12期1-25,共25页

增材制造铝合金构件在制造过程中产生的残余应力已成为影响其性能的关键因素。全面了解导致残余应力形成的潜在机制并制定有效的预测和控制策略,对提高铝合金部件的结构性能至关重要。本文系统地阐述了增材制造铝合金残余应力领域的最... 增材制造铝合金构件在制造过程中产生的残余应力已成为影响其性能的关键因素。全面了解导致残余应力形成的潜在机制并制定有效的预测和控制策略,对提高铝合金部件的结构性能至关重要。本文系统地阐述了增材制造铝合金残余应力领域的最新研究进展。首先,讨论了残余应力在增材制造铝合金性能方面的影响,包括对缺陷、组织及机械性能的影响;其次,分析了残余应力的产生机制,涉及复杂的热应力场与显微组织演变;同时,审查了影响残余应力的各种因素,发现其主要与构件结构和制造工艺有关;然后,探讨了多种先进检测技术的应用情况,包括X射线衍射法、中子衍射法等;此外,综述了基于精确模型的预测方法及表面处理等调控策略对改善构件残余应力方面的效果。最后,总结并展望了增材制造铝合金残余应力的发展趋势和方向。 展开更多

关键词 铝合金 残余应力 增材制造 应力检测 模拟预测 应力调控

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汽车用硫系玻璃元件红外双波段增透膜的研制

4

作者 薛浙瀛 陶长虎 +1 位作者 陶欣 周凯 《红外技术》 CSCD 北大核心 2024年第6期728-734,共7页

基于硫系玻璃IRG206(As40Se60)基底,研制了3.7~4.8μm及7.5~9.5μm双波段增透膜,可用于汽车红外夜视成像系统。采用电子束和电阻蒸发离子辅助沉积技术,结合化学键分析选取连接层材料,提高基底与膜层之间的结合力;利用离子辅助应力调控技... 基于硫系玻璃IRG206(As40Se60)基底,研制了3.7~4.8μm及7.5~9.5μm双波段增透膜,可用于汽车红外夜视成像系统。采用电子束和电阻蒸发离子辅助沉积技术,结合化学键分析选取连接层材料,提高基底与膜层之间的结合力;利用离子辅助应力调控技术,优化膜层应力,实现膜层应力的匹配,解决硫系玻璃表面脱膜问题。测试结果表明,该膜层在3.7~4.8μm波段平均透过率为98.31%,在7.5~9.5μm波段平均透过率为97.43%,通过了牢固度、盐雾、高低温、摩擦等环境测试,能够满足汽车红外夜视成像系统的使用要求。 展开更多

关键词 薄膜 硫系玻璃 应力调控 连接层技术 红外夜视成像系统

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红庆河煤矿深部大采高工作面强矿压显现和应力调控研究

5

作者 张冬 《晋控科学技术》 2024年第2期43-46,共4页

针对深部大采高开采上覆岩层运动导致的来压强烈问题,以内蒙古仲泰能源有限公司红庆河煤矿3^(-1)401工作面胶运顺槽为研究对象,采用理论分析和现场实测方法,对强矿压显现特征和应力调控技术展开研究。结论:深部厚硬顶板工作面出现支架... 针对深部大采高开采上覆岩层运动导致的来压强烈问题,以内蒙古仲泰能源有限公司红庆河煤矿3^(-1)401工作面胶运顺槽为研究对象,采用理论分析和现场实测方法,对强矿压显现特征和应力调控技术展开研究。结论:深部厚硬顶板工作面出现支架过载后安全阀开启和巷道大变形破坏的强矿压显现,工作面前方可以划分为应力急剧升高区、应力跌落区和应力缓慢降低区,支承压力影响范围55 m,应力集中系数1.62;应力急剧升高区和应力跌落区是控制重点区域,提出水力压裂切顶调压机理和技术措施,现场应用取得了良好围岩控制效果。 展开更多

关键词 深部开采 强矿压显现 支承压力 水力压裂 应力调控

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应力调控下基于Skyrmion的晶体管特性

6

作者 陆文魁 贾帅璠 +1 位作者 陈琳 陶志阔 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第9期800-805,共6页

研究了不同应力、磁各向异性常数对电流驱动Skyrmion的动力学特性影响。随着施加应力增大,能够产生稳定Skyrmion的各向异性常数取值范围的上下限增大,即外加应力影响电流驱动时Skyrmion运行的稳定性。设计了一种宽-窄-宽型Skyrmion基晶... 研究了不同应力、磁各向异性常数对电流驱动Skyrmion的动力学特性影响。随着施加应力增大,能够产生稳定Skyrmion的各向异性常数取值范围的上下限增大,即外加应力影响电流驱动时Skyrmion运行的稳定性。设计了一种宽-窄-宽型Skyrmion基晶体管,通过调控应力和各向异性常数来调控晶体管的开关特性。仿真结果表明,当极化电流密度、各向异性常数变化时,晶体管导通状态对应的应力范围也随之变化。研究结果为设计Skyrmion基晶体管及相关逻辑功能器件提供了新思路。 展开更多

关键词 SKYRMION 电流驱动 应力调控 自旋电子学 晶体管

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大尺寸GaN微波材料范德瓦耳斯外延机理及应力调控研究

7

作者 李传皓 李忠辉 +3 位作者 彭大青 张东国 杨乾坤 罗伟科 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第2期252-257,共6页

本文基于金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术,以少层氮化硼(BN)作为插入层在4英寸蓝宝石衬底上开展范德瓦耳斯异质外延GaN微波材料的生长机理及应力调控方面的研究,探讨了AlN成核工艺对GaN缓冲层生长机制的影响,以及与材料晶体质量、应力... 本文基于金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术,以少层氮化硼(BN)作为插入层在4英寸蓝宝石衬底上开展范德瓦耳斯异质外延GaN微波材料的生长机理及应力调控方面的研究,探讨了AlN成核工艺对GaN缓冲层生长机制的影响,以及与材料晶体质量、应力及电学性能等之间的关联。提出了一种基于AlN/AlGaN复合成核技术的应力调控方案,首次实现了大尺寸范德瓦耳斯(vdW)异质外延材料应力的有效管控,研制的GaN微波材料的弯曲度(Bow)为+20.4μm,(002)/(102)面半峰全宽为471.6/933.5 arcsec,表面均方根粗糙度为0.52 nm,电子迁移率达到2000 cm^(2)/(V·s)。最后,基于机械剥离实现了大尺寸晶圆级GaN微波材料与蓝宝石衬底的分离,为高导热衬底转移提供便利,为大功率射频器件的制作创造条件。 展开更多

关键词 范德瓦耳斯异质外延 金属有机化学气相沉积 GaN微波材料 少层BN 应力调控

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压电效应调控硅碳复合材料锂离子输运行为研究

8

作者 赵宏顺 李建斌 任玉荣 《中国科学：化学》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期385-395,共11页

硅碳合金(Si/C)因其超高的比容量和合适的工作电压,更容易满足未来新能源汽车和储能设备对于电池高能量密度的要求.但其实际应用却受制于导电性差、反应动力学缓慢和体积效应明显(最高可达300%)等缺点.本文巧妙地利用硅负极在充放电循... 硅碳合金(Si/C)因其超高的比容量和合适的工作电压,更容易满足未来新能源汽车和储能设备对于电池高能量密度的要求.但其实际应用却受制于导电性差、反应动力学缓慢和体积效应明显(最高可达300%)等缺点.本文巧妙地利用硅负极在充放电循环中的“体积膨胀”特性构建了一种“序构”材料.通过在Si/C复合材料表面引入“主动参与、主动作为”的功能化压电修饰层钛酸铋钠(Bi_(0.5)Na_(0.5)TiO_(3),BNT),利用合金化反应产生的机械应力诱导压电材料产生局域电场,实现机械能转化为电能,来获得一定的功能性,更加有效地促进界面锂离子输运能力,同时缓解合金化反应引起的体积膨胀,从而维持良好的界面接触.协同效果驱动下的Si/C@CNTs@BNT复合电极材料在0.2 A g^(-1)电流密度下,循环200圈之后,依然可以保持911.2 m Ah g^(-1)的可逆比容量,容量保持率为90.74%. 展开更多

关键词 锂离子电池 硅碳负极 压电效应 应力调控

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基于应力调控的二维过渡金属硫族化合物光学性质分析

9

作者 李室昆 王强 《集成电路应用》 2024年第2期208-209,共2页

阐述应力对二维过渡金属硫族化合物光学性质的调控效应,分析晶格畸变对其的影响,以及应力引起的晶格畸变和相应的光学性质变化,为设计和制备特定光学性能的二维材料提供指导。

关键词 应力调控 二维过渡金属硫族化合物 光学性质

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Co含量对FeCoPB非晶合金软磁性能和弯曲韧性的影响 被引量：1

10

作者 史植广 李轩 +4 位作者 谢兴铖 杨剑 林中坤 曹瑞军 张涛 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第4期1530-1535,共6页

采用熔体旋淬的方法制备了FeCo含量达到87 at%Fe-Co-P-B系非晶合金薄带,研究了金属元素Co对Fe-Co-P-B系非晶合金的形成能力、软磁性能和弯曲韧性的影响规律。该合金系具有高的饱和磁化强度1.75~1.84 T,且热处理后薄带仍具有良好的弯曲... 采用熔体旋淬的方法制备了FeCo含量达到87 at%Fe-Co-P-B系非晶合金薄带,研究了金属元素Co对Fe-Co-P-B系非晶合金的形成能力、软磁性能和弯曲韧性的影响规律。该合金系具有高的饱和磁化强度1.75~1.84 T,且热处理后薄带仍具有良好的弯曲韧性。添加Co元素后,提高了合金的居里温度,矫顽力升高。对薄带样品施加12 MPa的拉应力,合金的矫顽力由12.8 A/m降低到6.5 A/m。因此,通过成分和应力的调控可以避免Fe基非晶合金热处理引起的弛豫脆性问题,为获得具有优异软磁性能和良好弯曲韧性的Fe基非晶合金提供重要途径。 展开更多

关键词 FE基非晶合金 软磁性能 弯曲韧性 应力调控

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中近距离煤层同采巷道变形破坏规律及其控制 被引量：5

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作者 吕情绪 李臣 +1 位作者 宋桂军 王东兴 《中国矿业》 北大核心 2019年第A02期299-304,共6页

针对布尔台煤矿上下煤层同采出现巷道剧烈变形破坏的情况,通过现场实测和FLAC3D数值模拟获得本煤层开采及下煤层开采对保留巷道变形破坏的阶段性特征及巷道掘进、本煤层回采、下煤层回采等不同阶段保留巷道的最终塑性区分布特征,即同煤... 针对布尔台煤矿上下煤层同采出现巷道剧烈变形破坏的情况,通过现场实测和FLAC3D数值模拟获得本煤层开采及下煤层开采对保留巷道变形破坏的阶段性特征及巷道掘进、本煤层回采、下煤层回采等不同阶段保留巷道的最终塑性区分布特征,即同煤层一次采动阶段巷道表现为变形随滞后工作面距离增加而增大,并在滞后200~400m时趋于稳定,塑性区最大深度由1.5m扩展至2.25m并稳定,上下煤层同采时留巷产生剧烈变形破坏,滞后段变形破坏急剧增加,呈现不规律性,塑性区由2.25m急剧扩展至6m。基于此,提出应力调控方法,即内错距离大于120m时,保留巷道在上下煤层同采时塑性区将大大减小,通过现场实践,将内错距离实际调控至508m,巷道变形得到有效控制。 展开更多

关键词 上下同采 保留巷道 变形破坏规律 塑性区 应力调控

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空间光学大型镜面若干关键力学问题综述

12

作者 胡海飞 郭鹏 乔冠博 《华中科技大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第1期42-47,共6页

回顾了国内外空间光学大型镜面相关领域的发展现状和趋势.结合已经开展的工作,讨论了在极端约束条件下,先进空间光机结构所要解决的材料选择、结构优化和超轻量化设计、表面应力调控和预应力加工技术等问题;指出了超大口径镜面减重、超... 回顾了国内外空间光学大型镜面相关领域的发展现状和趋势.结合已经开展的工作,讨论了在极端约束条件下,先进空间光机结构所要解决的材料选择、结构优化和超轻量化设计、表面应力调控和预应力加工技术等问题;指出了超大口径镜面减重、超轻量化镜面面形稳定性、离轴非球面宽动态范围精密面形调节等须进一步研究的方向. 展开更多

关键词 空间光学 面形精度 应力调控 面形稳定性 预应力加工 光学非球面

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迎来Ilizarov技术与肢体重建生态发展的新时代

13

作者 秦泗河 《中华骨与关节外科杂志》 CSCD 2023年第9期769-772,共4页

第六届世界肢体重建大会拟于2024年9月17—22日在北京召开,无疑将推动“肢体形态与功能重建”这个新兴交叉学科在中国的跨越性发展,为经典骨科范式的创伤救治、畸形矫正与功能重建开辟新的篇章。在此背景下,《中华骨与关节外科杂志》编... 第六届世界肢体重建大会拟于2024年9月17—22日在北京召开,无疑将推动“肢体形态与功能重建”这个新兴交叉学科在中国的跨越性发展,为经典骨科范式的创伤救治、畸形矫正与功能重建开辟新的篇章。在此背景下,《中华骨与关节外科杂志》编辑部于2023年第10期组稿“Ilizarov技术与肢体重建”专题,集中展示了外固定与肢体重建领域的最新成果。本文以中国文化的思维模式对“肢体形态与功能重建(简称肢体重建)”概念、理论、医师培养等问题的认知进行简要阐述,启发医师能全方位、深层次解读肢体,运用生态医学理念指导临床实践,理解“肢体重建”这个新兴交叉学科与经典骨科学的关联与区别,提高诊断、评估、临床决策与功能重建的系统能力,抓住世界肢体重建大会在中国召开的机遇,促进国际交流合作,让更多骨科医师认识、了解、应用Ilizarov技术,使其惠及大众,以迎来Ilizarov技术与肢体重建生态发展的新时代。 展开更多

关键词 ILIZAROV技术 肢体重建 应力调控 模仿自然

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核电设备的焊接残余应力研究现状及调控措施 被引量：2

14

作者 付强 罗英 +4 位作者 刘兆东 闵远胜 高颖贤 郑浩 王昫心 《电焊机》 2019年第9期49-54,共6页

焊接残余应力是焊接的固有产物,是影响焊接质量、焊接结构服役性能的重要因素。以核电结构电弧焊接残余应力为主要对象,分析了焊接残余应力的危害性及其影响因素,介绍了大厚度管对接和板对接结构的内部焊接残余应力分布特征研究成果,以... 焊接残余应力是焊接的固有产物,是影响焊接质量、焊接结构服役性能的重要因素。以核电结构电弧焊接残余应力为主要对象,分析了焊接残余应力的危害性及其影响因素,介绍了大厚度管对接和板对接结构的内部焊接残余应力分布特征研究成果,以及现有应力调控措施及各自的优缺点,为核电设备焊接结构的设计和应力调控提供参考。 展开更多

关键词 核电设备 焊接结构 残余应力 应力调控

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千米级斜拉桥施工期应力调控措施研究 被引量：2

15

作者 王振海 王泽华 赵灿晖 《施工技术》 CAS 北大核心 2012年第5期74-78,共5页

为解决千米级别斜拉桥施工期间钢箱梁底板应力过大的问题,基于鄂东长江公路大桥主桥施工全过程应力分析,结合施工现场实际情况,提出3种施工期应力调控措施。通过3种措施的综合对比,得到最优的综合应力调控措施,并将其应用于实际施工控... 为解决千米级别斜拉桥施工期间钢箱梁底板应力过大的问题,基于鄂东长江公路大桥主桥施工全过程应力分析,结合施工现场实际情况,提出3种施工期应力调控措施。通过3种措施的综合对比,得到最优的综合应力调控措施,并将其应用于实际施工控制过程。结果表明,此调控措施起到了良好的效果。 展开更多

关键词 桥梁工程 斜拉桥 施工控制 应力 应力调控

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复杂结构焊接残余应力超声冲击处理调控 被引量：2

16

作者 邹家生 沈嘉斌 刘川 《江苏船舶》 2019年第1期1-4,10,共5页

为降低焊接结构残余应力,提高构件性能和服役安全性,提出超声冲击处理调控焊接残余应力的方法。通过综述国内外学者对超声冲击处理的研究现状,分析超声冲击对复杂焊接结构应力影响的案例。分析结果表明:超声冲击能在冲击区造成2～4 mm... 为降低焊接结构残余应力,提高构件性能和服役安全性,提出超声冲击处理调控焊接残余应力的方法。通过综述国内外学者对超声冲击处理的研究现状,分析超声冲击对复杂焊接结构应力影响的案例。分析结果表明:超声冲击能在冲击区造成2～4 mm压缩应力层;压缩应力峰值达到屈服强度的0. 8～1. 3倍;超声冲击对横向和纵向应力的调控效果一致。 展开更多

关键词 超声冲击处理 焊接残余应力 复杂结构 应力调控

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拓扑材料WTe_(2)的可控生长和物性调控 被引量：1

17

作者 李启远 赵晨晓 +1 位作者 郑浩 李绍春 《中国科学：物理学、力学、天文学》 CSCD 北大核心 2022年第6期144-150,共7页

二维拓扑绝缘体由于具有受到拓扑保护的螺旋形(Helical)边缘态可以实现量子自旋霍尔效应;拓扑超导体由于具备满足非阿贝尔统计的马约拉纳(Majorana)零能模而成为实现拓扑量子计算的主要候选材料.WTe_(2)同时具备成为二维拓扑绝缘体和拓... 二维拓扑绝缘体由于具有受到拓扑保护的螺旋形(Helical)边缘态可以实现量子自旋霍尔效应;拓扑超导体由于具备满足非阿贝尔统计的马约拉纳(Majorana)零能模而成为实现拓扑量子计算的主要候选材料.WTe_(2)同时具备成为二维拓扑绝缘体和拓扑超导体的可能性.本文介绍利用分子束外延技术生长出单层1T′-WTe_(2),并利用扫描隧道显微镜/谱(STM/STS)揭示其半金属型的电子结构和拓扑边缘态的进展.通过衬底形变在1T′-WTe_(2)薄膜中引入应力作用,驱动了1T′-WTe_(2)的拓扑非平庸的全能隙绝缘相,从而实现真正意义的二维拓扑绝缘体.还利用碱金属插层的方法在体相Td-WTe_(2)中进行电子掺杂,实现了常压下的超导转变.XRD结构分析显示K原子插层对TdWTe_(2)晶格结构的影响可以忽略不计,表明超导态的WTe_(2)仍可能具有拓扑非平庸性质. 展开更多

关键词 二维拓扑绝缘体 Weyl半金属 WTe_(2)分子束外延 扫描隧道显微镜/谱 应力调控 原子插层 超导

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GaN基近紫外激光器研究现状与进展 被引量：1

18

作者 李亚钦 刘建平 +4 位作者 田爱琴 李方直 胡磊 李德尧 杨辉 《半导体光电》 CAS 北大核心 2022年第3期451-460,共10页

氮化镓(GaN)基近紫外激光器(UVA LD,320~400 nm)在紫外固化、3D打印以及医疗等领域具有广泛应用。文章首先概述了GaN基UVA LD的国内外研究现状与关键技术挑战,然后分析了如何从外延生长与结构设计的角度,解决AlGaN的应力调控、高效p型... 氮化镓(GaN)基近紫外激光器(UVA LD,320~400 nm)在紫外固化、3D打印以及医疗等领域具有广泛应用。文章首先概述了GaN基UVA LD的国内外研究现状与关键技术挑战,然后分析了如何从外延生长与结构设计的角度,解决AlGaN的应力调控、高效p型掺杂与量子阱中极化电场的抑制等关键问题,以期为进一步实现高功率、低阈值、长寿命GaN基UVA LD的外延生长提供参考。 展开更多

关键词 近紫外激光器 氮化镓 应力调控 P型掺杂 极化电场

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不同残余应力调控方法对铝合金箱盖加工变形影响的研究 被引量：2

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作者 郭晓龙 李宏伟 +1 位作者 王会龙 耿景刚 《现代机械》 2021年第4期24-28,共5页

针对铝合金箱体加工后残余应力释放导致的零件变形与尺寸超差等问题,开展不同残余应力调控对加工变形影响的研究。本文分别利用频谱谐波法和高能超声法对零件的关键部位进行多次应力调控,削减加工过程中产生的残余应力,并分别利用盲孔... 针对铝合金箱体加工后残余应力释放导致的零件变形与尺寸超差等问题,开展不同残余应力调控对加工变形影响的研究。本文分别利用频谱谐波法和高能超声法对零件的关键部位进行多次应力调控,削减加工过程中产生的残余应力,并分别利用盲孔法和超声波法对残余应力进行测量,得到调控后零件的残余应力减少量,最后以加工后零件变形量的多少来对比评价上述两种调控方法对零件变形的影响程度和对应力控制的优劣。 展开更多

关键词 铝合金 应力调控 频谱谐波 高能超声

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Si衬底GaN外延生长的应力调控 被引量：2

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作者 巩小亮 陈峰武 +4 位作者 罗才旺 鲍苹 魏唯 彭立波 程文进 《电子工业专用设备》 2018年第4期27-31,41,共6页

针对Si衬底GaN外延生长中由于张应力引起的表面裂纹问题,采用AlN/Al GaN多缓冲层结构和低温AlN插入层技术,在标准厚度Si(111)衬底上制备了100 mm(4英寸)无裂纹GaN外延材料。试验结果表明,AlN/Al GaN各层厚度的合理搭配和低温AlN插入层... 针对Si衬底GaN外延生长中由于张应力引起的表面裂纹问题,采用AlN/Al GaN多缓冲层结构和低温AlN插入层技术,在标准厚度Si(111)衬底上制备了100 mm(4英寸)无裂纹GaN外延材料。试验结果表明,AlN/Al GaN各层厚度的合理搭配和低温AlN插入层可以起到良好的应力调控效果,无裂纹GaN层生长厚度达到1.6μm,晶体质量良好,表面粗糙度低于2 nm;HEMT结构外延片电学性能测试结果表明Si衬底GaN的生长质量满足制备器件的要求。 展开更多

关键词 Si衬底GaN 外延生长 金属有机物化学气相沉积 应力调控

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