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题名激光外差干涉信号处理技术的研究
被引量：2
- 1
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作者
谢广平
方萃长
戴高良
殷纯永
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出处
《宇航计测技术》
CSCD
1998年第4期7-12,共6页
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基金
博士后基金
清华大学精密计量与测试国家重点实验室开放基金
教委博士点基金
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文摘
介绍了两种激光外差干涉信号的处理方法锁相频率解调法及组合频率解调法。此方法适用于需要实时反馈控制以及定位曝光等场合。用此方法，可以使干涉仪的测量分辨力分别达到３ｎｍ和０．５ｎｍ，干涉仪测量棱镜的允许运动速度达到３ｍｍ／ｓ。
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关键词
激光
外差干涉信号
解调
信号处理
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Keywords
Laser\ Heterodyne interference signal\ Frequency\ Demodulation technigue
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分类号
TN911.7
[电子电信—通信与信息系统]
TN241
[电子电信—信息与通信工程]
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题名外差干涉信号的一种相位计数方法
被引量：1
- 2
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作者
赵斌
侯金龙
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机构
华中科技大学机械学院仪器系
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出处
《华东交通大学学报》
2003年第2期90-92,共3页
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文摘
提出一种新的激光外差干涉条纹计数方法,通过与参考信号的异或运算,将原来高频的外差信号转化为一直流电压信号;通过移相电路获得相差90度的另一路信号,然后用可逆计数器实现稳定准确的周期计数.
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关键词
相位测量
激光干涉仪
激光外差干涉信号
条纹计数
计数方法
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Keywords
laser heterodyne interference
fringe counting
phase measurment
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分类号
TH744.3
[机械工程—光学工程]
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题名外差式激光干涉信号的采集与解调方法综述
被引量：11
- 3
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作者
杨明
蔡晨光
王颖
刘志华
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机构
北京化工大学信息科学与技术学院
中国计量科学研究院
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出处
《激光杂志》
北大核心
2018年第1期20-24,共5页
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基金
公益性行业科研专项经费(No.201410009)
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文摘
外差式激光干涉仪被广泛应用于激光干涉法振动绝对校准。基于外差式激光干涉仪的振动测量原理及其干涉信号的特点,重点阐述了现有外差式激光干涉信号采集方法的采集原理,采样频率与采样精度等的特点;分析总结了现有外差式激光干涉信号解调方法的解调原理,解调精度与实时性。针对现有干涉信号采集方法在采样频率与精度,解调方法在解调精度、实时性及降噪处理等方面存在的问题,提出改进建议,以提高外差式激光干涉仪振动测量的精度与实时性。
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关键词
外差式激光干涉仪
外差式激光干涉信号
采集方法
解调方法
振动测量
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Keywords
heterodyne interferometer
heterodyne interferometer signal
acquisition method
demodulation meth- od
vibration measurement
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分类号
TN247
[电子电信—物理电子学]
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