期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到10篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
基于立方体分光棱镜的干涉投影傅里叶变换轮廓术 被引量：1
1
作者 李小燕 文永富 +2 位作者 程灏波 吴恒宇 王华英 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期217-225,共9页
提出了一种基于立方体分光棱镜的干涉投影傅里叶变换轮廓术。基于杨氏双缝干涉原理,对立方体分光棱镜的干涉投影理论进行理论分析和仿真实验,通过调节立方体分光棱镜的安装角度可实现干涉投影条纹周期的任意调节,结果证实了该干涉投影... 提出了一种基于立方体分光棱镜的干涉投影傅里叶变换轮廓术。基于杨氏双缝干涉原理,对立方体分光棱镜的干涉投影理论进行理论分析和仿真实验,通过调节立方体分光棱镜的安装角度可实现干涉投影条纹周期的任意调节,结果证实了该干涉投影系统的可行性以及灵活性。对小脚丫模型进行了三维面形重构,结果表明:干涉条纹相位稳定且强度分布均匀,利用所提方法可以很好地恢复物体的三维形貌。 展开更多
关键词 测量 条纹投影 共光路干涉 傅里叶变换轮廓术 系统标定 三维测量
原文传递
偏正无关光纤干涉仪及其微位移测量应用
2
作者 叶有祥 周盛华 梅海平 《上海理工大学学报》 CAS 北大核心 2018年第4期330-334,共5页
提出了一种与偏振无关的新型光纤干涉仪,采用端面镀膜的光纤自聚焦准直器,结合球凸透镜构成共光路光纤干涉仪,其探测光与参考光在同一根普通单模光纤中共光路传输,有效消除了偏振衰落影响。通过理论建模分析,并采用高精度的压电陶瓷作... 提出了一种与偏振无关的新型光纤干涉仪,采用端面镀膜的光纤自聚焦准直器,结合球凸透镜构成共光路光纤干涉仪,其探测光与参考光在同一根普通单模光纤中共光路传输,有效消除了偏振衰落影响。通过理论建模分析,并采用高精度的压电陶瓷作为稳定信号源,搭建了微位移测量平台,实测了三角波驱动电压信号与对应的干涉信号。研究了不同扫描电压下,压电陶瓷位移和驱动电压的关系。实验结果表明,该光纤干涉仪可实现微小位移的精密测量,在超精密机床振动、微型机械、传感等方面具有应用价值。 展开更多
关键词 微位移测量 光纤干涉仪 共光路干涉
下载PDF
共光路干涉式微小楔角的绝对测量
3
作者 杨建坤 刘列 +1 位作者 兰勇 杨俊才 《应用激光》 CSCD 北大核心 1997年第4期181-183,共3页
提出一种对于微小楔角的绝对测量方法，这种方法具有很高的系统稳定性和抗干扰能力，测量速度和精度较一般光路也有很大程度的提高。
关键词 共光路干涉 微小楔角 绝对则量 干涉仪
原文传递
一种实用纳米级位移测量校准器
4
作者 宋浩 刘晓军 王益民 《微计算机信息》 北大核心 2007年第34期251-252,309,共3页
提出基于新型共光路激光干涉原理的纳米级位移测量校准器,建立了其测量的数学模型,分析了其误差特性。由于采用相移干涉的相位分析技术实现波长小数测量,该测量校准器的精度好于0.5nm,量程达到几个mm;又由于共光路和紧凑的结构设计,因... 提出基于新型共光路激光干涉原理的纳米级位移测量校准器,建立了其测量的数学模型,分析了其误差特性。由于采用相移干涉的相位分析技术实现波长小数测量,该测量校准器的精度好于0.5nm,量程达到几个mm;又由于共光路和紧凑的结构设计,因而具有良好的抗干扰特性,能够应用于一般实验环境。 展开更多
关键词 纳米位移 校准器 共光路干涉
下载PDF
采用共光路干涉法测量液晶空间光调制器的相位调制特性 被引量：5
5
作者 苗悦 白福忠 +2 位作者 刘珍 田朝平 梅秀庄 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2016年第2期123-128,共6页
提出一种基于液晶偏振分光的共光路干涉测量方法来测量液晶空间光调制器(LCSLM)的相位调制特性。线偏振入射光束被LCSLM分为两束正交线偏振光,然后沿相同方向传播至渥拉斯顿棱镜(WP);经WP出射的两光束产生横向剪切,同时,WP也将会在两光... 提出一种基于液晶偏振分光的共光路干涉测量方法来测量液晶空间光调制器(LCSLM)的相位调制特性。线偏振入射光束被LCSLM分为两束正交线偏振光,然后沿相同方向传播至渥拉斯顿棱镜(WP);经WP出射的两光束产生横向剪切,同时,WP也将会在两光束之间引入倾斜调制,从而当它们再经过检偏器后产生载频干涉条纹。用傅里叶变换法计算两帧干涉条纹之间的相对相移量。给出了透射式LCSLM相位调制特性的实验测量结果。该方法对振动、空气扰动不敏感,能够测量得到LCSLM的整体相位调制特性,结果更加精确、科学。 展开更多
关键词 测量 液晶空间光调制器(LCSLM) 相位调制特性 共光路干涉仪 傅里叶变换法
原文传递
超光滑表面粗糙度的偏振干涉测量系统 被引量：2
6
作者 石照耀 《工具技术》 北大核心 1991年第5期36-38,共3页
本文分析了一种新颖的用于超光滑表面粗糙度测量的系统。该系统的关键之处是利用一个双折射石英透镜作分光镜,以散焦光束在被测表面上所对应的光斑区域内的平均轮廓高度作基准。这种测量系统对被测表面高度变化的灵敏度好于0.1nm,水平... 本文分析了一种新颖的用于超光滑表面粗糙度测量的系统。该系统的关键之处是利用一个双折射石英透镜作分光镜,以散焦光束在被测表面上所对应的光斑区域内的平均轮廓高度作基准。这种测量系统对被测表面高度变化的灵敏度好于0.1nm,水平方向具有1μm的分辨率。本文还将该仪器与机械触针式轮廓仪的测量结果进行了比较。 展开更多
关键词 表面粗糙度 共光路干涉仪
下载PDF
新型超光滑表面粗糙度测量系统
7
作者 伍凡 P.D.Chapman 《光电工程》 CAS CSCD 1993年第2期57-61,共5页
本文介绍了一种新型的测量超光滑表面粗糙度的共光路偏振干涉系统。该系统以双折射透镜作为分光元件;采用偏振干涉方法和偏振接收方法对被测光学表面高度变化,实现高灵敏度、非接触探测,垂直分辨率为0.1nm。给出了系统结构,叙述了测量... 本文介绍了一种新型的测量超光滑表面粗糙度的共光路偏振干涉系统。该系统以双折射透镜作为分光元件;采用偏振干涉方法和偏振接收方法对被测光学表面高度变化,实现高灵敏度、非接触探测,垂直分辨率为0.1nm。给出了系统结构,叙述了测量原理。 展开更多
关键词 光洁度测量仪器 共光路干涉仪 偏振干涉术 非接触测量
下载PDF
采用整体最小二乘法的条纹图配准方法 被引量：6
8
作者 穆治亚 艾华 +4 位作者 樊孝贺 何昕 何丁龙 韩冬松 于国栋 《中国光学》 EI CAS CSCD 2016年第6期625-632,共8页
针对共光路菲索型动态干涉仪采集到的4幅条纹图的空间一致性问题,本文提出一种新的条纹图配准思路,将条纹图与图像配准在关联度上人为分开,搭建了专用的图像配准装置,避免将条纹与十字丝标志点混在一幅图像内而影响干涉仪的测量精度。... 针对共光路菲索型动态干涉仪采集到的4幅条纹图的空间一致性问题,本文提出一种新的条纹图配准思路,将条纹图与图像配准在关联度上人为分开,搭建了专用的图像配准装置,避免将条纹与十字丝标志点混在一幅图像内而影响干涉仪的测量精度。首先通过本文搭建的条纹图配准装置对4台CMOS相机进行物理配准,然后利用整体最小二乘法对采集到的同一十字丝刻划板图像进行十字丝提取、交点计算以及旋转量计算,实现共光路菲索型动态干涉仪条纹图像的点点对应。最后通过试验对比验证,证明了本文算法的配准精度优于模板重心法的配准结果,互相关度达到96%以上。 展开更多
关键词 共光路动态干涉仪 条纹图配准 整体最小二乘法
下载PDF
影响激光外差高精度计量的几个关键因素 被引量：3
9
作者 赵慧洁 张广军 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期221-224,共4页
共光路外差干涉仪具有很高的分辨率 ,但因为安装、调试误差会产生非线性误差 ,影响系统的测量精度 .所以着重分析了影响激光外差计量精度的 4个关键因素 ,即频率混叠、不同被测金属的相位跳变、被测表面的倾斜及物镜的数值孔径 ;利用激... 共光路外差干涉仪具有很高的分辨率 ,但因为安装、调试误差会产生非线性误差 ,影响系统的测量精度 .所以着重分析了影响激光外差计量精度的 4个关键因素 ,即频率混叠、不同被测金属的相位跳变、被测表面的倾斜及物镜的数值孔径 ;利用激光外差及矢量分析理论 ,深入研究了频率混叠误差和相位跳变误差的成因、变化规律 ,并讨论了提高测量系统精度的有效措施 .对正确设计和调试激光外差测试系统、提高测量系统精度具有重要意义 . 展开更多
关键词 计量精度 共光路外差干涉系统 激光外差 影响因素 频率混叠
下载PDF
一种基于非共光路外差激光干涉反馈的新型纳米精密定位系统
10
作者 张正宇 刘昱含 +1 位作者 罗杰 赵维谦 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2023年第4期390-397,共8页
针对精密定位平台大行程下定位精度不足的问题,提出一种基于非共光路外差激光干涉反馈的新型纳米精密定位系统。系统由非共光路外差激光干涉和高精度光栅构成复合反馈,保留了高精度光栅大行程高分辨率的优势,同时结合非共光路外差激光... 针对精密定位平台大行程下定位精度不足的问题,提出一种基于非共光路外差激光干涉反馈的新型纳米精密定位系统。系统由非共光路外差激光干涉和高精度光栅构成复合反馈,保留了高精度光栅大行程高分辨率的优势,同时结合非共光路外差激光干涉协同定位,消除了光栅的安装误差和变形对定位精度的影响,提升了大行程下的定位精度。系统采用基于BP神经网络的预测微调定位技术,一定程度上提升了定位效率。实验结果表明,在100mm行程范围内,系统轴线双向定位精度可以达到28nm,轴线重复定位精度可以达到26nm。通过预测定位,定位结束门限设定为20nm时,系统定位微调时间可由1.65s以内缩短至0.6s以内。5mm/s的速度下,系统跟随误差可达100nm。 展开更多
关键词 非共光路外差激光干涉 协同驱动 定位精度 预测定位
原文传递
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部