多MEMS陀螺数据融合系统的设计和实现 被引量：12

1

作者 柯熙政 张伟志 刘娟花 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第8期2062-2070,共9页

微机电系统陀螺仪以其成本低廉和小巧方便已经广泛应用于军民领域,但是其仍然面临着零偏稳定性不够高的问题。针对这种现象,设计了一套空间大小仅为45 mm×55 mm×30 mm的可扩展可移植的硬件平台,在此平台上利用小波域多尺度融... 微机电系统陀螺仪以其成本低廉和小巧方便已经广泛应用于军民领域,但是其仍然面临着零偏稳定性不够高的问题。针对这种现象,设计了一套空间大小仅为45 mm×55 mm×30 mm的可扩展可移植的硬件平台,在此平台上利用小波域多尺度融合算法,对4个微机电陀螺仪所采集的原始数据进行实时小波融合处理。分别对该集成系统在静态和动态环境下进行测试,实验结果表明,该系统运行稳定可靠,融合处理后的数据标准差都比融合前降低了一个量级。 展开更多

关键词 微机电陀螺仪 零偏稳定性 小波融合 多尺度分析

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实时小波滤波方法在硅微陀螺仪中的应用研究 被引量：9

2

作者 夏敦柱 周百令 王寿荣 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2007年第1期92-95,共4页

采用实时小波滤波技术构建硅微陀螺仪数字化平台,对快速的Mallat算法选用何种小波基,是否采用软硬阈值处理以及选用何种尺度和采样点数进行深入分析。考虑到滤波效果即陀螺仪输出信号滤波前后Allan方差改进情况和硬件处理的实时性,通过... 采用实时小波滤波技术构建硅微陀螺仪数字化平台,对快速的Mallat算法选用何种小波基,是否采用软硬阈值处理以及选用何种尺度和采样点数进行深入分析。考虑到滤波效果即陀螺仪输出信号滤波前后Allan方差改进情况和硬件处理的实时性,通过比较最终选择3尺度16点软阈值db2小波Mallat快速算法。仿真计算和实验结果表明该滤波方法对改善微机械陀螺仪的零偏稳定性有一定的实用价值。 展开更多

关键词 硅微陀螺仪 Mallat小波算法 ALLAN方差 零偏稳定性

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惯导双位置对准精度分析 被引量：6

3

作者 徐海刚 《弹箭与制导学报》 CSCD 北大核心 2009年第4期1-3,共3页

针对惯导的双位置对准问题,提出了双位置对准精度极限的概念,指出最根本的影响因素是陀螺一次启动漂移特性和双位置转换时间;定性阐述了这两种因素如何影响对准精度,并以一阶马尔可夫过程为陀螺随机漂移模型,推导了对准误差与这两种因... 针对惯导的双位置对准问题,提出了双位置对准精度极限的概念,指出最根本的影响因素是陀螺一次启动漂移特性和双位置转换时间;定性阐述了这两种因素如何影响对准精度,并以一阶马尔可夫过程为陀螺随机漂移模型,推导了对准误差与这两种因素间的定量关系;计算机仿真结果表明,陀螺漂移波动越小,相关时间越长,位置转换时间越短,越有利于实现高精度初始对准。 展开更多

关键词 双位置对准 零偏稳定性 零偏重复性 位置转换时间 一阶马尔可夫过程

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微小型光纤陀螺组合分时复用技术 被引量：7

4

作者 马东营 宋凝芳 +1 位作者 金靖 宋镜明 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第10期2171-2177,共7页

为了有效减小多轴光纤陀螺组合的功耗、体积和重量,实现光纤陀螺组合的微小型化,应用分时复用技术,提出了一种基于3×3耦合器,工作在850 nm短波长的光纤陀螺分时复用组合结构。分析了陀螺输出数据处理方法,得到了分时复用光纤陀螺... 为了有效减小多轴光纤陀螺组合的功耗、体积和重量,实现光纤陀螺组合的微小型化,应用分时复用技术,提出了一种基于3×3耦合器,工作在850 nm短波长的光纤陀螺分时复用组合结构。分析了陀螺输出数据处理方法,得到了分时复用光纤陀螺组合的相对极限零偏稳定性。建立了分时复用光纤陀螺切换模型,揭示了分时复用导致光纤陀螺轴向切换必然存在一个过渡过程,分析了过渡过程对陀螺组合静态、动态特性的影响。结果显示,光纤陀螺组合的相对零偏稳定性是传感方法的2.1倍,最大输入信号检测带宽为1.1 kHz,标度因数的不对称性和非线性度均小于50×10-6。最后,通过仿真进行了实验验证,结果表明,该技术可以用于中低精度微小型多轴光纤陀螺组合中。 展开更多

关键词 光纤陀螺 微小型化 分时复用 过渡过程 零偏稳定性

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基于阿伦方差的微机电陀螺误差建模及其粒子滤波 被引量：6

5

作者 任亚飞 柯熙政 《中国计量学院学报》 2009年第2期102-106,共5页

基于Allan方差对微机电陀螺的随机漂移误差进行分析和建模,并通过粒子滤波提高了微机电陀螺的零偏稳定性.实验结果表明,这种方法比较简单而切实可行,可以明显提高微机电陀螺仪的零偏稳定性.

关键词 微机电陀螺 零偏稳定性 阿伦方差 粒子滤波

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光栅MOEMS加速度计温度特性

6

作者 邰鹏 金丽 +2 位作者 解琨阳 张敏娟 李孟委 《微纳电子技术》 CAS 2024年第5期127-133,共7页

由于硅微机械加速度计受温度影响,导致硅弹性模量和热膨胀系数发生变化,造成微光机电系统(MOEMS)加速度计标度因数漂移、测量稳定性下降等问题。首先,采用COMSOL软件对光栅MOEMS加速度计微机械结构部分进行了温度特性仿真,分析了硅弹性... 由于硅微机械加速度计受温度影响,导致硅弹性模量和热膨胀系数发生变化,造成微光机电系统(MOEMS)加速度计标度因数漂移、测量稳定性下降等问题。首先,采用COMSOL软件对光栅MOEMS加速度计微机械结构部分进行了温度特性仿真,分析了硅弹性模量温度系数和热膨胀系数对光栅MOEMS加速度计微机械结构标度因数和零位的影响。其次,设计了温控精度达0.1℃的温度控制系统,并利用该系统对加速度计进行温度控制。最后,对光栅泰伯效应MOEMS加速度计温度特性展开测试,结果表明,加速度计的标度因数随温度升高而增大,零偏稳定性随温度的升高而降低,加速度计标度因数温度系数为0.30 V·g^(-1)·℃^(-1),零偏稳定性温度系数为-7.78μg/℃,其变化趋势与仿真结果一致。这为实现全温范围下高精度MOEMS加速度计奠定了基础。 展开更多

关键词 微光机电系统(MOEMS)加速度计 光栅泰伯效应 热仿真 温度特性 温控电路 标度因数 零偏稳定性

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谐振式光学陀螺数字陀螺信号的提取技术(本期优秀论文) 被引量：5

7

作者 杨婷 张成飞 +1 位作者 郑永秋 李博 《光通信技术》 北大核心 2016年第12期1-4,共4页

针对谐振式光学陀螺模拟量式陀螺信号中叠加正弦噪声的问题,提出基于NAND FLASH的数字式陀螺信号提取方式,详细阐述了型号为MT29F64G08AFAAA的FLASH操作过程。进行了样机转动和零偏稳定性测试,并对测试结果进行了Allan方差拟合,辨识出... 针对谐振式光学陀螺模拟量式陀螺信号中叠加正弦噪声的问题,提出基于NAND FLASH的数字式陀螺信号提取方式,详细阐述了型号为MT29F64G08AFAAA的FLASH操作过程。进行了样机转动和零偏稳定性测试,并对测试结果进行了Allan方差拟合,辨识出模拟量中的正弦噪声。 展开更多

关键词 谐振式光学陀螺 NAND FLASH 正弦噪声 零偏稳定性 ALLAN方差

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基于LM_BP神经网络模型的MEMS加速度计温度补偿方法研究 被引量：4

8

作者 杨志梅 周小龙 徐大诚 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2015年第11期30-33,共4页

随着MEMS加速度计应用领域的不断广泛,其温度性能越来越受到重视。在研究扭摆式硅微加速度计结构与温度特性的基础上,采用改进LM_BP神经网络来构建MEMS加速度计的补偿模型,通过实时温度变化优化出温度补偿模型参数,进而实现实时温度补... 随着MEMS加速度计应用领域的不断广泛,其温度性能越来越受到重视。在研究扭摆式硅微加速度计结构与温度特性的基础上,采用改进LM_BP神经网络来构建MEMS加速度计的补偿模型,通过实时温度变化优化出温度补偿模型参数,进而实现实时温度补偿。实验结果表明,通过该方法补偿后的标度因数温度系数和全温零偏稳定性分别由252 ppm/℃和16.62 mg/h减小为100 ppm/℃和2.30 mg/h,证明了该温度补偿方法的有效性和可行性。 展开更多

关键词 扭摆式硅微加速度计 神经网络 温度补偿 标度因数 零偏稳定性

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光纤陀螺嵌套式多层多匝光纤环设计

9

作者 常扬 傅军 +2 位作者 宁治文 吴力华 黄宇 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2023年第6期86-89,共4页

扁平式光纤陀螺的合理光纤环设计对提高小型化程度和精度具有重要现实意义。提出了嵌套式多层多匝光纤环设计思路。首先,介绍了光纤陀螺仪小型化设计途径、嵌套式多层多匝光纤环的设计结构与原理。其次,对光纤环进行了建模计算和模拟仿... 扁平式光纤陀螺的合理光纤环设计对提高小型化程度和精度具有重要现实意义。提出了嵌套式多层多匝光纤环设计思路。首先,介绍了光纤陀螺仪小型化设计途径、嵌套式多层多匝光纤环的设计结构与原理。其次,对光纤环进行了建模计算和模拟仿真。结果表明:嵌套式多层多匝光纤环可以在扁平式光纤陀螺同样空间和布局内增加更多的光纤长度,从而比一般光纤环有更高的检测精度,仿真出的精度提高的范围在38%~61%之间。仿真表明,零偏漂移也有一定提高。在相同精度要求情况下,嵌套式多层多匝光纤环可以将扁平式光纤陀螺尺寸设计的更小,高效利用空间。 展开更多

关键词 光纤陀螺仪 光纤环 嵌套式 小型化 Sagnac效应 零偏稳定性

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硅微谐振式加速度计相位控制环路优化研究 被引量：4

10

作者 李文祥 黄丽斌 王淞立 《测控技术》 CSCD 2018年第6期55-59,共5页

硅微谐振式加速度计(MSRA)凭借其潜在的高精度特点成为微加速度传感器领域的重点研究方向之一。相位环路的控制精度直接决定了MSRA的测量精度。在对MSRA工作机理进行简要分析的基础上,着重研究了现实验室加速度计样机的相位控制环路,分... 硅微谐振式加速度计(MSRA)凭借其潜在的高精度特点成为微加速度传感器领域的重点研究方向之一。相位环路的控制精度直接决定了MSRA的测量精度。在对MSRA工作机理进行简要分析的基础上,着重研究了现实验室加速度计样机的相位控制环路,分析了其相位误差的来源,并在原有环路滤波器的基础上增加了一种带参考电压的PI校正控制环节。实验结果表明,增加PI校正环节后,组成的四阶二型锁相环路可以使差分频率输出与温度线性拟合的相关系数从0.96291提高至0.98863,在±20 g量程围内,非线性度从430 ppm降低至154 ppm,硅微谐振式加速度计的零偏稳定性在常温下达到8.64μg。 展开更多

关键词 硅微谐振式加速度计 环路滤波器 相位误差 零偏稳定性

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力平衡模式下半球谐振陀螺数字控制回路设计 被引量：3

11

作者 刘宇 刘松 +2 位作者 彭慧 方针 周本清 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2015年第5期899-903,共5页

由于半球谐振陀螺(HRG)特殊的工作原理、制作工艺及装配误差对陀螺精度和性能的影响,需控制电路对其进行修正和补偿,现有半球谐振陀螺控制电路对陀螺的精度提高有限,仅达0.07(°)/h。该文主要阐述了半球谐振陀螺在力平衡模式下的工... 由于半球谐振陀螺(HRG)特殊的工作原理、制作工艺及装配误差对陀螺精度和性能的影响,需控制电路对其进行修正和补偿,现有半球谐振陀螺控制电路对陀螺的精度提高有限,仅达0.07(°)/h。该文主要阐述了半球谐振陀螺在力平衡模式下的工作原理,对半球谐振陀螺的误差进行了分析,介绍了比例、积分、微分(PID)控制算法,并对所设计的数字控制回路进行分析。试验结果表明,采用该数字控制回路设计方案能有效改善半球谐振陀螺性能,与已有控制电路比,陀螺精度可达0.005(°)/h,更好地满足了其应用于航空领域的精度要求。 展开更多

关键词 半球谐振陀螺(HRG) 比例、积分、微分(PID) 数字控制回路 零偏稳定性

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半球谐振陀螺组合零偏稳定性提升技术研究 被引量：3

12

作者 齐轶楠 赵辉 +1 位作者 赵万良 张强 《导航定位与授时》 2015年第6期63-68,共6页

星载陀螺组合的零偏稳定性将直接影响姿轨控分系统对姿态变化的测量精度。针对影响半球谐振陀螺组合输出零偏稳定性的因素进行了分析,研究了温度影响输出变化的机理,并提出了相应的解决措施。工程实践表明,这些措施以较低的成本有效地... 星载陀螺组合的零偏稳定性将直接影响姿轨控分系统对姿态变化的测量精度。针对影响半球谐振陀螺组合输出零偏稳定性的因素进行了分析,研究了温度影响输出变化的机理,并提出了相应的解决措施。工程实践表明,这些措施以较低的成本有效地提升了半球谐振陀螺组合的零偏稳定性。 展开更多

关键词 半球谐振陀螺组合 零偏稳定性 误差分析 温度控制

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微机械陀螺仪零偏稳定性的温度响应测试评价 被引量：2

13

作者 杜晓辉 刘帅 +5 位作者 朱敏杰 刘丹 孙克 王凌云 占瞻 路文一 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2022年第6期12-17,22,共7页

设计对比分析实验并搭建测试系统,获得商品化微机械陀螺仪零偏稳定性对恒温(-40、25、60℃)和温度循环(-40~60℃)载荷的响应规律。恒温载荷下,石英基微机械陀螺仪零偏稳定性计算值在40(°)/h以下,硅基微机械陀螺仪零偏稳定性计算值... 设计对比分析实验并搭建测试系统,获得商品化微机械陀螺仪零偏稳定性对恒温(-40、25、60℃)和温度循环(-40~60℃)载荷的响应规律。恒温载荷下,石英基微机械陀螺仪零偏稳定性计算值在40(°)/h以下,硅基微机械陀螺仪零偏稳定性计算值约在150~670(°)/h的大范围之内。硅基陀螺仪的零偏稳定性计算值与温度基本呈正相关趋势且线性度较好,石英基陀螺仪与之相反。零偏稳定性值在温度循环交变的温度载荷下比在恒温载荷下大几十倍,结构设计和封装工艺等方面得到较好优化的陀螺仪可以有效避免这种负面影响。该研究为微机械陀螺仪零偏稳定性优化提供了对比测试数据和优化方向建议。 展开更多

关键词 微机械陀螺仪 零偏稳定性 温度响应 对比测试

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谐振式光学陀螺输出精度的提高设计 被引量：2

14

作者 李鑫 郑永秋 +1 位作者 唐军 刘俊 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2018年第2期235-239,共5页

介绍了谐振式光学陀螺的系统构建及工作原理。针对谐振式光学陀螺系统中引入白噪声而影响其转动输出精度问题,该文从理论上对该系统中各信号间的互相关性原理进行了分析,并提出了一种采用数字低通滤波器对信号进行噪声滤除的处理方式。... 介绍了谐振式光学陀螺的系统构建及工作原理。针对谐振式光学陀螺系统中引入白噪声而影响其转动输出精度问题,该文从理论上对该系统中各信号间的互相关性原理进行了分析,并提出了一种采用数字低通滤波器对信号进行噪声滤除的处理方式。通过对该陀螺系统进行转动测试和零偏稳定性测试。研究发现,其转动输出信号幅度范围用数字量表示由原来的300减小到60。利用Allan方差对零偏稳定性测试数据进行拟合计算,得出其输出精度由265.29(°)/h提高到62.96(°)/h,结果表明,该系统输出精度得到有效提高。 展开更多

关键词 谐振式光学陀螺 白噪声 低通滤波器 零偏稳定性 ALLAN方差

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基于混合型光子晶体光纤谐振腔的谐振陀螺方案 被引量：2

15

作者 索鑫鑫 李晶 +1 位作者 刘元元 吴旭东 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第12期214-219,共6页

为抑制谐振陀螺的偏振波动噪声,提出了一体化谐振式光纤陀螺设计方案。基于特殊设计的光子晶体光纤和单偏振光纤研制了一种混合型光子晶体光纤谐振腔,该谐振腔同时具有较高的偏振消光比和良好的温度稳定性;为减小谐振腔损耗,优化了光子... 为抑制谐振陀螺的偏振波动噪声,提出了一体化谐振式光纤陀螺设计方案。基于特殊设计的光子晶体光纤和单偏振光纤研制了一种混合型光子晶体光纤谐振腔,该谐振腔同时具有较高的偏振消光比和良好的温度稳定性;为减小谐振腔损耗,优化了光子晶体光纤的模场直径,使其与单偏振光纤相一致,因此二者熔接损耗可被控制在0.1 dB以内,进而得到谐振腔精细度为13.2;基于该谐振腔搭建了双闭环谐振陀螺系统。测试结果表明:双闭环谐振陀螺系统具有较小的偏振波动误差特性,在300 s积分时间内陀螺输出白噪声占主导地位,零偏稳定性达到0.25 (°)·h^-1;在测量范围为-240~240 (°)·s^-1时,双闭环谐振陀螺系统的陀螺标度因数非线性度为2.3×10^-4,性能较单闭环陀螺系统有明显提升。 展开更多

关键词 光纤光学 谐振式光纤陀螺 混合型光子晶体光纤谐振腔 零偏稳定性 单偏振光纤

原文传递

谐振式光纤陀螺偏振波动噪声的温度特性 被引量：2

16

作者 张婷 郑华 +3 位作者 杜建功 安盼龙 闫树斌 薛晨阳 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第12期1815-1821,共7页

光纤环形谐振腔环境温度变化带来的偏振波动噪声是影响谐振式光纤陀螺检测精度的主要光学噪声源之一,通过控制谐振腔温度,可以使偏振波动噪声得到有效抑制。为了抑制偏振波动噪声,减小R-FOG精度受FRR温度变化的影响,从理论上分析了谐振... 光纤环形谐振腔环境温度变化带来的偏振波动噪声是影响谐振式光纤陀螺检测精度的主要光学噪声源之一,通过控制谐振腔温度,可以使偏振波动噪声得到有效抑制。为了抑制偏振波动噪声,减小R-FOG精度受FRR温度变化的影响,从理论上分析了谐振腔温度变化对谐振曲线、解调曲线的影响;针对不同温度下光纤环的谐振特性、解调曲线特性、陀螺零偏及零偏稳定性开展了实验,并对实验结果进行了分析。结果表明,谐振腔的工作温度为27.00℃时,两本征偏振态相距最远,总谐振曲线关于谐振频率点对称,谐振频率点检测误差可以忽略;陀螺零偏稳定性近似等于谐振腔温度为25.50℃时的1/100,在150 s的采样时间内达到0.07°/s,陀螺检测精度得到很大提高。 展开更多

关键词 谐振式光纤陀螺 偏振波动噪声 温度控制 零偏稳定性 光纤环

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PC轧机零调偏差控制方法研究 被引量：1

17

作者 唐越 陈占福 +1 位作者 江小军 黄健 《重型机械》 2009年第3期22-24,29,共4页

通过对宝钢1580 PC轧机零调与轧制过程的辊系状态分析,提出了一种新的交叉头间隙补偿方案,有效地控制了辊系的原始交叉,零调后轧机辊系平行,有效降低了轧机零调过程的轧制力偏差,从而保证了PC角设定后,辊系实现对称交叉,提高了轧制过程... 通过对宝钢1580 PC轧机零调与轧制过程的辊系状态分析,提出了一种新的交叉头间隙补偿方案,有效地控制了辊系的原始交叉,零调后轧机辊系平行,有效降低了轧机零调过程的轧制力偏差,从而保证了PC角设定后,辊系实现对称交叉,提高了轧制过程的稳定性,该研究结果具有实际应用价值。 展开更多

关键词 PC轧机 零调偏差 轧机稳定性

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一种评价硅微陀螺性能的电路分析方法 被引量：1

18

作者 陈志华 满海鸥 +3 位作者 肖定邦 吴学忠 侯占强 陶溢 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第7期931-934,共4页

硅微机械陀螺批量生产后,传统的微陀螺测试方法耗费时间比较长,需要专用设备,测试系统比较复杂,工作量很大。基于双正弦载波调制的测控电路,经过大量的电路调试工作,首次利用电路分析方法,提出了三种评价硅微陀螺性能的指标。运用此评... 硅微机械陀螺批量生产后,传统的微陀螺测试方法耗费时间比较长,需要专用设备,测试系统比较复杂,工作量很大。基于双正弦载波调制的测控电路,经过大量的电路调试工作,首次利用电路分析方法,提出了三种评价硅微陀螺性能的指标。运用此评价指标,对五个硅微陀螺进行了性能评价,性能由高到低依次是G05、G04、G03、G02、G01,并用零偏稳定性指标对G05、G01进行了验证,G05零偏稳定性67°/h,G01零偏稳定性104°/h。结果表明,电路分析方法可以快速评价硅微陀螺性能,效率高,准确率高。最后,运用电路分析方法进一步优化了微陀螺的结构设计以及改进了相关的制造工艺。 展开更多

关键词 硅微陀螺 双正弦载波 零偏稳定性 电路分析

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光纤陀螺随机漂移时间序列建模研究 被引量：1

19

作者 陈俊杰 杨孟兴 《弹箭与制导学报》 CSCD 北大核心 2011年第5期65-67,共3页

随机漂移是影响光纤陀螺(FOG)导航精度的重要因素,建立数学模型并进行补偿是一种减小其影响的简易而有效的方法。首先通过分析FOG输出序列的自相关函数,得出其时间相关性呈较弱现象,继而分别使用Yule-Walker算法及最小二乘法求出线性AR... 随机漂移是影响光纤陀螺(FOG)导航精度的重要因素,建立数学模型并进行补偿是一种减小其影响的简易而有效的方法。首先通过分析FOG输出序列的自相关函数,得出其时间相关性呈较弱现象,继而分别使用Yule-Walker算法及最小二乘法求出线性AR及非线性AR(NAR)模型参数,最后比较各模型的滤波效果以确定要采用的模型及其阶数,并进行模型适用性检验。验证结果表明,AR(1)与NAR(1)模型均适合FOG随机漂移的建模及实时滤波,且能较好改善其零偏稳定性。 展开更多

关键词 光纤陀螺 随机漂移 时间序列建模 零偏稳定性

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双闭环真空硅微陀螺仪设计及性能测试分析 被引量：1

20

作者 夏敦柱 周百令 王寿荣 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期241-243,共3页

所设计的硅微陀螺仪工作在10Pa,品质因素达到3000,采用CAN金属壳封装形式,测控线路采用闭环自激驱动,力反馈式闭环检测方式。驱动采用单边驱动单边检测,尽量使线路简化;检测采用双重分解和重构回路。测试结果表明:有用信号和正交信号实... 所设计的硅微陀螺仪工作在10Pa,品质因素达到3000,采用CAN金属壳封装形式,测控线路采用闭环自激驱动,力反馈式闭环检测方式。驱动采用单边驱动单边检测,尽量使线路简化;检测采用双重分解和重构回路。测试结果表明:有用信号和正交信号实现很好的相位解耦,互不影响。在实现标度因素10mV/(°)S-1的情况下,零偏稳定性已达到了60°/h;线性度已达到了400ppm;带宽仿真达到150Hz;这较以前设计的空气下闭驱开检方式下的硅微陀螺性能提高了近2个数量级。 展开更多

关键词 硅微陀螺仪 自激驱动 双闭环检测 标度因素 零偏稳定性

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