期刊文献+
共找到15篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
教研资源共享的“微电子工艺实验”改革 被引量:3
1
作者 廖荣 《实验科学与技术》 2016年第3期108-109,170,共3页
为了加强学生对微电子制造过程的感性认识和对学科特点的认知,在原有的微电子平面工艺实验的基础上,对"微电子工艺实验"教学模式进行改革,引入氧化锌基薄膜场效应晶体管工艺制造技术及半导体测试分析实验,使教学与科研资源共... 为了加强学生对微电子制造过程的感性认识和对学科特点的认知,在原有的微电子平面工艺实验的基础上,对"微电子工艺实验"教学模式进行改革,引入氧化锌基薄膜场效应晶体管工艺制造技术及半导体测试分析实验,使教学与科研资源共享,建立了由教学内容的准备、多媒体教学、实际动手流片、完善有效的实验考核方案四部分组成的教学方式,激发了同学们学习的热情,取得了较好的教学效果。 展开更多
关键词 微电子工艺实验 薄膜场效应晶体管 教学改革 流水实验
下载PDF
并五苯场效应发光管机理分析与场效应管制作 被引量:2
2
作者 郭树旭 刘建军 +3 位作者 王伟 张素梅 石家纬 刘明大 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期417-420,共4页
采用并五苯材料,通过物理气相沉积,生长出无依托的晶体薄膜,厚度在微米量级,长度是毫米量级,长度和厚度的比大约为1000。为了使晶片有个依托,以聚酰亚胺作为粘合剂,把并五苯晶体薄膜平铺粘在玻璃衬底上。在显微镜下观测,有机薄膜平整、... 采用并五苯材料,通过物理气相沉积,生长出无依托的晶体薄膜,厚度在微米量级,长度是毫米量级,长度和厚度的比大约为1000。为了使晶片有个依托,以聚酰亚胺作为粘合剂,把并五苯晶体薄膜平铺粘在玻璃衬底上。在显微镜下观测,有机薄膜平整、无裂痕,符合制备器件的要求。然后,制备出有机场效应管。并对有机场效应管I V特性和发光机理进行了分析探讨。 展开更多
关键词 并五苯材料 场效应发光管 发光机理 制作 有机单晶薄膜
下载PDF
易于集成的有机薄膜场效应晶体管的制备 被引量:2
3
作者 王伟 石家纬 +7 位作者 郭树旭 全宝富 刘明大 张宏梅 梁昌 张素梅 游汉 马东阁 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期1262-1265,共4页
用有机半导体并五苯作为有源层,聚四氟乙烯作为绝缘层,采用全蒸镀方式在真空室一次性制备了正装结构的有机薄膜场效应晶体管(OTFT)。薄的有机绝缘层使得器件工作在低电压下,有机薄膜场效应晶体管易于与显示像素(有机发光二极管(OLED))... 用有机半导体并五苯作为有源层,聚四氟乙烯作为绝缘层,采用全蒸镀方式在真空室一次性制备了正装结构的有机薄膜场效应晶体管(OTFT)。薄的有机绝缘层使得器件工作在低电压下,有机薄膜场效应晶体管易于与显示像素(有机发光二极管(OLED))集成在同一个透明的刚性或者柔性衬底上。研究了有机薄膜场效应晶体管的源漏接触电阻和沟道电阻对器件性能的影响,结果表明接触电阻是影响器件性能的主要因素。在透明的玻璃衬底上实现了有机薄膜场效应晶体管对同一衬底上100μm×200μm红色有机发光二极管的驱动。 展开更多
关键词 光电子学 并五苯 有机薄膜场效应晶体管 源漏接触电阻 全蒸镀制备
原文传递
Research on the electrical characteristics of an organic thin-film field-effect transistor based on alternating-current resistance
4
作者 陈跃宁 徐征 +4 位作者 赵谡玲 尹飞飞 张成文 焦碧媛 董宇航 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第12期385-388,共4页
In this article, an organic thin-film field-effect transistor (OTFFET) with top-gate and bottom-contact geometry based on pentacene as the active layer is fabricated. The experimental data of the I-V are obtained fr... In this article, an organic thin-film field-effect transistor (OTFFET) with top-gate and bottom-contact geometry based on pentacene as the active layer is fabricated. The experimental data of the I-V are obtained from the OTFFET device. The alternating-current (AC) resistance value of the OTFFET device is calculated using the derivation method from the experimental data, and the AC resistance trend curves of the OTFFET device are obtained with the region fitting method. We analyse the characteristics of the OTFFET device with an AC resistance trend curve. To discover whether it has a high resistance, it is proposed to judge the region of the source/drain voltage (VDs) less than the transition voltage, thereby determining whether the contact between the metal electrode and the organic semiconductor layer of the OTFFET device is Ohmic or non-Ohmic. The theoretical analysis shows that the field-effect mobility and the AC resistance are in reverse proportion. Therefore, we point out that reducing AC resistance is necessary if field-effect mobility is to be improved. 展开更多
关键词 organic thin-film field-effect transistor alternating-current resistance Ohmic contact
下载PDF
α-IGZO薄膜场效应晶体管的光敏特性 被引量:1
5
作者 陈立强 杨盛谊 +2 位作者 喻志农 薛唯 邹炳锁 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第5期843-848,共6页
通过掩膜板制备源漏电极的方法,以非晶铟-镓-锌氧化物(α-IGZO)为有源层,制备了结构为ITO/SiO2(400nm)/α-IGZO(50nm)/Al的底栅顶接触型(BGTC)光敏薄膜场效应晶体管(TFT)并研究了其光敏特性。实验发现,在蒸镀Al电极作为源极和漏极,再在... 通过掩膜板制备源漏电极的方法,以非晶铟-镓-锌氧化物(α-IGZO)为有源层,制备了结构为ITO/SiO2(400nm)/α-IGZO(50nm)/Al的底栅顶接触型(BGTC)光敏薄膜场效应晶体管(TFT)并研究了其光敏特性。实验发现,在蒸镀Al电极作为源极和漏极,再在空气中及350℃的温度下退火1h后,器件的阈值电压Vth为15.0V,在栅源偏压VGS=30V时其有效场效应迁移率为0.57cm2/Vs,表现出良好的晶体管特性。当用强度为8.1mW/cm2的白光照射时,器件表现出明显的光敏特性,其Vth下降为-15.0V,在源漏电压VDS=20V且VGS=30V时其有效场效应迁移率上升为1.34cm2/Vs,在VGS=2.5V时其'明/暗'电流比达到一极大值,响应率达到1.11A/W,并具有良好的时间响应特性。 展开更多
关键词 光敏薄膜场效应晶体管(TFT) 非晶铟-镓-锌氧化物(α-IGZO) SiO2绝缘层
原文传递
p沟道Cu_2O半导体薄膜场效应晶体管的制备及Ⅳ特性研究 被引量:1
6
作者 李梦轲 吕东徽 +2 位作者 赵佳佳 周施彤 刘丹妮 《辽宁师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2019年第1期47-53,共7页
采用磁控溅射掩膜制备工艺,在n型Si衬底上分别制备了底栅型p沟道Cu_2O半导体薄膜场效应晶体管(TFTs).用XRD、SEM、XPS等检测分析方法对不同条件下制备的Cu_2O薄膜的晶体结构、表面形貌、化学成分进行了表征.对O_2通量、退火温度及沟道... 采用磁控溅射掩膜制备工艺,在n型Si衬底上分别制备了底栅型p沟道Cu_2O半导体薄膜场效应晶体管(TFTs).用XRD、SEM、XPS等检测分析方法对不同条件下制备的Cu_2O薄膜的晶体结构、表面形貌、化学成分进行了表征.对O_2通量、退火温度及沟道宽度等因素对半导体薄膜及器件特性的影响进行了对比研究.研究发现,O_2通量是制备Cu_2O半导体薄膜的关键因素,器件I_(DS)电流的绝对值随着栅压的绝对值的增大而增大,具有典型的p沟道增强型场效应晶体管特征.其Ⅳ特性与溅射沉积时间、沟道宽度、退火因素等有关,真空退火处理后有助于提高器件的I_(DS)的绝对值.测试表明,制备的沟道宽度为50μm的典型器件的电导率、电流开关比和阈值电压分别为0.63S/cm,1.5×10~2及-0.6V. 展开更多
关键词 CU2O 半导体薄膜 场效应晶体管
下载PDF
HfO_(2)基铁电场效应晶体管
7
作者 肖金盼 苏铭吉 +1 位作者 刘宗芳 Choonghyun Lee 《智能物联技术》 2023年第5期1-5,9,共6页
铁电晶体管作为一种新型的存储器件,由于与CMOS工艺兼容、低功耗等优点,吸引了研究者广泛关注。近年来,Flash、RRAM、FeFET等不同存储器件发展迅速,但都存在一定的微缩问题。大量研究工作表明,HfO_(2)基材料在1 nm厚度时也有微弱的铁电... 铁电晶体管作为一种新型的存储器件,由于与CMOS工艺兼容、低功耗等优点,吸引了研究者广泛关注。近年来,Flash、RRAM、FeFET等不同存储器件发展迅速,但都存在一定的微缩问题。大量研究工作表明,HfO_(2)基材料在1 nm厚度时也有微弱的铁电性,有利于器件的微缩,所以近年来对于HfO_(2)基铁电晶体管的研究越来越广泛。本文主要从HfO_(2)基铁电晶体管基本结构、存储机制、工艺制备过程、相关测试方法、应用等方面对HfO_(2)基铁电晶体管存储器进行了综述。 展开更多
关键词 HfO_(2)基铁电薄膜 场效应晶体管 制备工艺 存储机制
下载PDF
文献计量视角下的有机薄膜晶体管传感器研究态势分析
8
作者 陈欣 《化学通报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第11期1028-1034,共7页
有机薄膜晶体管(OTFT)具有低成本、柔性好、易加工和生物相容性等优点,基于OTFT的传感器具有较高的灵敏度,在光传感、人造皮肤、环境监测、食品安全检测、药物传递和医疗诊断等方面都有广泛的应用前景。本文对OTFT传感器领域的SCI论文... 有机薄膜晶体管(OTFT)具有低成本、柔性好、易加工和生物相容性等优点,基于OTFT的传感器具有较高的灵敏度,在光传感、人造皮肤、环境监测、食品安全检测、药物传递和医疗诊断等方面都有广泛的应用前景。本文对OTFT传感器领域的SCI论文进行统计分析,用文献计量学方法展现了该领域的整体发展态势、国家和机构发文情况、重要科学家发文情况及合作关系。同时结合文献报道,重点对OTFT传感器的主要研究方向及热点进行了分析,最后对OTFT传感器的发展方向做了归纳和展望。 展开更多
关键词 有机薄膜晶体管 有机场效应晶体管 有机电化学晶体管 传感 文献计量
原文传递
Tuning the inhomogeneous charge transport in ZnO interfaces for ultrahigh on/off ratio top-gated field-effect-transistor arrays
9
作者 Thanh Luan Phan Dinh Loc Duong +10 位作者 Tuan Khanh Chau Sidi Fan Won Tae Kang Thi Suong Le Hyun Yong Song Linfeng Sun Van Tu Vu Min Ji Lee Quoc An Vu Young Hee Lee Woo Jong Yu 《Nano Research》 SCIE EI CAS CSCD 2020年第11期3033-3040,共8页
The interface between oxide/oxide layers shows an inhomogeneous charge transport behavior,which reveals a high conductivity owing to interface-doped.One typical example is the hetero-interface between ZnO film and oth... The interface between oxide/oxide layers shows an inhomogeneous charge transport behavior,which reveals a high conductivity owing to interface-doped.One typical example is the hetero-interface between ZnO film and other wide band gap oxides(e.g.,Al_(2)O_(3),TiO_(2),and HfO_(2)).It is thus quite evident that the ZnO/other oxides hetero-interface contains high density electron carriers effectively screening the gate-induced electric field.Thus,an extremely weak gate modulation in ZnO film was showed,resulting in very low on/off ratio of 1.69 in top-gate field-effect-transistor(TG-FET)configuration.So,to extend the usage of ZnO TG-FET is not quite possible toward further practical application.Herein,we clarified the correlation of inhomogeneous region in oxide/oxide hetero-junction by systematically study.Our work suggests that a self-assembly of molecules(SAM)buffer layer is suitable for tuning the inhomogeneous charge transport in ZnO film,which not only reduces the interface trap density,but also effectively enhances the gate electric field modulation at the hetero-interface.We further report the robust fabrication of TG-FET arrays based on ZnO thin film,using an ultra-thin alkylphosphonic acid molecule monolayer as buffer layer.Our device demonstrates a pronounced ultrahigh on/off ratio of≥10^(8),which is 8-order of magnitude higher than that of a device without buffer layer.For the highly reliable arrays,our device exhibits a high yield of over 93%with an average on/off ratio of^10^(7) across the entire wafer scale,mobility(18.5 cm^(2)/(V·s)),an extended bias-stressing(~2,000 s)and long-stability(~150 days)under ambient conditions. 展开更多
关键词 zinc oxides thin-film field-effect-transistor self-assembly molecule inhomogeneous charge transport interface engineering
原文传递
铁酸镧纳米晶薄膜制备及其在MOS场效应晶体管气敏元件上的应用
10
作者 赵善麟 赵纯 +3 位作者 才宏 徐宝琨 彭作岩 赵慕愚 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1993年第10期1437-1438,共2页
纳米晶固体材料是由粒径小于100nm的微晶颗粒聚集而成的块状或薄膜人工固体,它具有特殊性能。本文采用sol-gel法制备了LaFeO_3纳米晶薄膜,并与集成电路平面工艺相结合,首次研制出了用纳米晶薄膜作为栅控制极的MOS场效应晶体管乙醇敏感... 纳米晶固体材料是由粒径小于100nm的微晶颗粒聚集而成的块状或薄膜人工固体,它具有特殊性能。本文采用sol-gel法制备了LaFeO_3纳米晶薄膜,并与集成电路平面工艺相结合,首次研制出了用纳米晶薄膜作为栅控制极的MOS场效应晶体管乙醇敏感元件。 展开更多
关键词 铁酸镧 溶胶-凝胶法 纳米晶薄膜
下载PDF
安徽省TFT-LCD技术专利现状分析研究
11
作者 张犁朦 汪凯 毕夏 《科技和产业》 2014年第9期140-143,153,共5页
对安徽省平板显示产业TFT-LCD重点技术领域的专利现状进行分析解读,从阵列、成盒和模组三个主要的技术阶段着手进行深度分析。为科技管理者和技术研发人员更好的了解安徽省TFT-LCD技术现状,对TFT-LCD技术的发展方向和研发重点提供参考... 对安徽省平板显示产业TFT-LCD重点技术领域的专利现状进行分析解读,从阵列、成盒和模组三个主要的技术阶段着手进行深度分析。为科技管理者和技术研发人员更好的了解安徽省TFT-LCD技术现状,对TFT-LCD技术的发展方向和研发重点提供参考和建议。 展开更多
关键词 平板显示 TFT-LCD 薄膜场效应晶体管 专利分析
下载PDF
用于MFIS的ZrO_2薄膜的制备及特性研究
12
作者 颜雷 汤庭鳌 +1 位作者 黄维宁 姜国宝 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2000年第4期419-423,共5页
新型不挥发非破坏性读出铁电存储器金属 /铁电 /半导体器件结构中 ,存在着铁电薄膜与半导体衬底之间相互扩散、离子陷阱密度高、铁电薄膜难于直接淀积在硅衬底上、电荷注入等问题 ,因此在铁电薄膜与半导体之间增加一层合适的介质材料作... 新型不挥发非破坏性读出铁电存储器金属 /铁电 /半导体器件结构中 ,存在着铁电薄膜与半导体衬底之间相互扩散、离子陷阱密度高、铁电薄膜难于直接淀积在硅衬底上、电荷注入等问题 ,因此在铁电薄膜与半导体之间增加一层合适的介质材料作为阻挡层是制备不挥发非破坏性读出铁电存储器的关键。文中研究了运用 SOL- GEL方法制备 Zr O2 介质层的方法 ,并且对制备的介质层的成份、结构、电特性进行了分析 ,为研制 MFIS作了准备。 展开更多
关键词 铁电薄膜 ZrO薄膜 半导体材料
下载PDF
Bi_2Ti_2O_7薄膜制备及 Bi_2Ti_2O_7绝缘栅场效应管研制 被引量:1
13
作者 肖卓炳 吴显明 +4 位作者 王少伟 王弘 王卓 尚淑霞 王民 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2001年第2期171-174,共4页
采用化学溶液沉积法,以硝酸铋和钛酸四丁酯为原料成功地制备了 Bi_2Ti_2O_7介质膜。 制膜过程简单,成本低廉,得到的薄膜具有良好的绝缘性和较高的介电常数, 用其制备的绝缘栅场效应管与相同尺寸的 SiO2绝缘栅场效应管相比,具有较... 采用化学溶液沉积法,以硝酸铋和钛酸四丁酯为原料成功地制备了 Bi_2Ti_2O_7介质膜。 制膜过程简单,成本低廉,得到的薄膜具有良好的绝缘性和较高的介电常数, 用其制备的绝缘栅场效应管与相同尺寸的 SiO2绝缘栅场效应管相比,具有较高的跨导和较低的开启电压。 展开更多
关键词 化学溶液沉积法 Bi2Ti2O7薄膜 介电常数 绝缘栅场效应管 制备
原文传递
Bi_2Ti_2O_7薄膜的制备及在栅场效应管中的应用 被引量:1
14
作者 杨朝霞 《吉首大学学报(自然科学版)》 CAS 2006年第1期107-109,共3页
采用化学溶液沉积法,用价格低廉的原料成功地制备了Bi2Ti2O7介质膜.制膜过程简单,成本低廉,得到的薄膜具有良好的绝缘性和较高的介电常数.用其制备的绝缘栅场效应管与相同尺寸的SiO2绝缘栅场效应管相比,前者具有较高的跨导和较低的开启... 采用化学溶液沉积法,用价格低廉的原料成功地制备了Bi2Ti2O7介质膜.制膜过程简单,成本低廉,得到的薄膜具有良好的绝缘性和较高的介电常数.用其制备的绝缘栅场效应管与相同尺寸的SiO2绝缘栅场效应管相比,前者具有较高的跨导和较低的开启电压. 展开更多
关键词 Bi2Ti2O7薄膜 介电常数 绝缘栅场效应管
下载PDF
碳纳米管薄膜场效应晶体管低温电学特性
15
作者 张静 李梦达 +7 位作者 朱慧平 王磊 彭松昂 陆芃 李晓静 王艳蓉 李博 闫江 《现代应用物理》 2023年第3期217-221,共5页
基于网络状碳纳米管(carbon nanotube,CNT)薄膜制备了网络状碳纳米管薄膜场效应晶体管(carbon nanotube thin film field effect transistor,CNT-TFT),研究了温度为100~300 K时,CNT-TFT的电学特性,并对关键电学参数,如开态电流I_(on)、... 基于网络状碳纳米管(carbon nanotube,CNT)薄膜制备了网络状碳纳米管薄膜场效应晶体管(carbon nanotube thin film field effect transistor,CNT-TFT),研究了温度为100~300 K时,CNT-TFT的电学特性,并对关键电学参数,如开态电流I_(on)、跨导G_(m)、阈值电压V_(th)和亚阈值摆幅S_(S)等,进行了深入分析。研究结果表明,随着温度的降低,G_(m)出现了下降,V_(th)向左漂移;在G_(m)和V_(th)共同作用下,I_(on)显著下降。通过对电学参数随温度演化机制的深入分析,发现器件G_(m)的降低不仅与CNT内的散射及CNT-金属接触电阻相关,而且与交叠的碳纳米管间的结电阻密切相关。同时,研究还表明,低温下,界面俘获中心对电子俘获概率的减小是引起器件V_(th)和S_(S)变化的主要因素。 展开更多
关键词 碳纳米管薄膜场效应晶体管 低温 电学特性 散射 界面俘获中心
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部