期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到3篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
退火温度和匀胶速率对SrBi_(3.88)Nd_(0.12)Ti_4O_(15)薄膜铁电性能的影响 被引量：1
1
作者 张丰庆 范素华 +2 位作者 马建平 车全德 于冉 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第A02期260-262,共3页
用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了SrBi3.88Nd0.12Ti4O15铁电薄膜材料,研究了退火温度和匀胶速率对铁电薄膜材料结构、铁电性能的影响。退火温度为750℃、匀胶速率为3000r/min薄膜样品为纯的铋层状钙钛矿结构且没有其它杂相出... 用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了SrBi3.88Nd0.12Ti4O15铁电薄膜材料,研究了退火温度和匀胶速率对铁电薄膜材料结构、铁电性能的影响。退火温度为750℃、匀胶速率为3000r/min薄膜样品为纯的铋层状钙钛矿结构且没有其它杂相出现,a轴取向的晶粒较多,铁电性能较好,剩余极化强度和矫顽场分别为2Pr=26.7μC/cm2、2Ec=80kV/cm。 展开更多
关键词 退火温度 匀胶速率 铁电性能
下载PDF
旋涂转速对于聚丙烯酸薄膜性能的影响研究
2
作者 王泽龙 刘哲 +1 位作者 赵欣悦 刘军山 《机电工程技术》 2019年第10期80-82,共3页
研究了旋涂转速对于聚丙烯酸薄膜性能的影响,建立了旋涂转速与聚丙烯酸薄膜厚度及均匀性的关系。当旋涂转速由1 000 r/min逐渐提高到5 000 r/min时,聚丙烯酸薄膜的厚度由0.976μm逐渐减小到了0.394μm,薄膜厚度的标准偏差由0.022μm逐... 研究了旋涂转速对于聚丙烯酸薄膜性能的影响,建立了旋涂转速与聚丙烯酸薄膜厚度及均匀性的关系。当旋涂转速由1 000 r/min逐渐提高到5 000 r/min时,聚丙烯酸薄膜的厚度由0.976μm逐渐减小到了0.394μm,薄膜厚度的标准偏差由0.022μm逐渐减小到了0.008μm。此外,基于光刻工艺在旋涂的聚丙烯酸薄膜表面成功制作了多种金图形,验证了聚丙烯酸薄膜作为水溶性牺牲层与光刻工艺的兼容性。 展开更多
关键词 聚丙烯酸 旋涂转速 厚度 均匀性 牺牲层
下载PDF
旋涂法制备氧化锆介质层及其在薄膜晶体管中的应用 被引量：3
3
作者 钟云肖 周尚雄 +6 位作者 姚日晖 蔡炜 朱镇南 魏靖林 徐海涛 宁洪龙 彭俊彪 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第2期214-219,共6页
采用旋涂法制备了氧化锆介质层薄膜,重点讨论了退火温度以及旋涂转速对薄膜性能的影响及作用机制。研究发现高温后退火一方面使得氧化锆水合物脱水形成氧化锆,另一方面促使氧化锆薄膜结晶。此外,转速较高时,其变化对薄膜厚度及粗糙度无... 采用旋涂法制备了氧化锆介质层薄膜,重点讨论了退火温度以及旋涂转速对薄膜性能的影响及作用机制。研究发现高温后退火一方面使得氧化锆水合物脱水形成氧化锆,另一方面促使氧化锆薄膜结晶。此外,转速较高时,其变化对薄膜厚度及粗糙度无显著影响。当转速为5 000 r/min、退火温度为300℃时,制备的绝缘层厚度具有良好的厚度均匀性,粗糙度为0.7 nm,漏电流为3.13×10-5A/cm2(电场强度1 MV/cm)。最终,利用Zr O2薄膜作为栅极绝缘层,在玻璃基板上制备了铟镓锌氧化物-薄膜晶体管(IGZO-TFT),其迁移率为6.5 cm2/(V·s),开关比为2×104。 展开更多
关键词 氧化锆薄膜 溶液法 旋涂转速 退火温度
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部