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化学气相沉积(CVD)炭/炭复合材料(C/C)研究现状 被引量:14
1
作者 程永宏 罗瑞盈 王天民 《炭素技术》 CAS CSCD 2002年第5期26-32,共7页
主要介绍了炭/炭复合材料(C/C)的化学气相沉积(CVD)制备方法及其影响因素,以及热解炭的组织与沉积机理。概括了CVD的基本方法,如等温法、压差法、热梯度法等。分析了温度、气流速率、气体浓度、预制体及孔隙的形状大小状况等对CVD过程... 主要介绍了炭/炭复合材料(C/C)的化学气相沉积(CVD)制备方法及其影响因素,以及热解炭的组织与沉积机理。概括了CVD的基本方法,如等温法、压差法、热梯度法等。分析了温度、气流速率、气体浓度、预制体及孔隙的形状大小状况等对CVD过程的影响。列举了热解炭的组织,包括光滑层、粗糙层、各向同性体碳以及它们的变体,并对其生长特征及性能进行了较详细的描述。综述了热解炭的沉积机理,典型的有分子沉积、固态沉积、液滴沉积机理等。 展开更多
关键词 炭/炭复合材料 化学气相沉积 热解炭 沉积机理
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热解条件对热解碳沉积模式和形貌的影响 被引量:12
2
作者 尹洪峰 徐永东 张立同 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第5期769-774,共6页
以丙烯为源物质氩气为稀释气体,研究了沉积温度、丙烯流量、系统总压对沉积物形貌的影响.利用晶体成核-生长理论解释了各种形貌的成因.实验证明随着沉积温度的升高、系统总压的增大,热解碳的沉积由表面化学反应成核-生长模式向熔... 以丙烯为源物质氩气为稀释气体,研究了沉积温度、丙烯流量、系统总压对沉积物形貌的影响.利用晶体成核-生长理论解释了各种形貌的成因.实验证明随着沉积温度的升高、系统总压的增大,热解碳的沉积由表面化学反应成核-生长模式向熔滴模式和气相成核-生长模式过渡.沉积温度不同丙烯流量对沉积模式影响规律不同.沉积模式随沉积条件的改变决定了热解碳沉积物形貌的改变. 展开更多
关键词 热解碳 沉积条件 沉积模式 丙烯 热解 形貌
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热解炭的化学气相沉积机理和组织形貌 被引量:8
3
作者 李强 罗瑞盈 程永宏 《炭素技术》 CAS CSCD 2003年第4期1-6,共6页
以石油液化气作为沉积气体,在900~1300℃温度内研究热解炭在炭纤维上的沉积机理及组织形貌。研究发现:热解炭在纤维表面上通过形核、长大,大晶粒吞并小晶粒的过程,形成宏观上均匀平整而微观上呈球状突起的表面形貌。热解炭以层状微晶(... 以石油液化气作为沉积气体,在900~1300℃温度内研究热解炭在炭纤维上的沉积机理及组织形貌。研究发现:热解炭在纤维表面上通过形核、长大,大晶粒吞并小晶粒的过程,形成宏观上均匀平整而微观上呈球状突起的表面形貌。热解炭以层状微晶(主导)和球状微晶(辅助)两种模式同时生长,最终得到层状结构。在微观上热解炭由若干个的炭层组成,每一层的炭层内含有若干小的并与微晶尺寸相当的亚层。热解炭中的微晶排列不规整,层状和球状微晶均可通过位置的移动调整和脱氢来优化结构。 展开更多
关键词 热解炭 沉积机理 层状结构 球状结构
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化学气相沉积热解炭机理及其化学动力学 被引量:4
4
作者 杨昕 陈惠芳 潘鼎 《炭素》 2002年第2期7-10,共4页
综述了化学气相沉积热解炭的沉积机理、化学动力学的发展状况及一些基本理论问题 ,着重介绍了K.J.
关键词 化学动力学 化学气相沉积 CVD 热解炭 沉积机理 沉积动力学 沉积模型
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旋转CVI快速沉积热解碳基体 被引量:4
5
作者 肖鹏 徐永东 +1 位作者 张立同 成来飞 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期181-183,共3页
采用一种新的CVI工艺 (旋转CVI)进行了二维碳布沉积热解碳基体的实验研究 .通过实验优化工艺参数 ,在低压 ( 5kPa)、高温( 1 1 0 0℃ )、体积分数为 62 .5%的C3H6 与 3 .5mm·min- 1的碳布旋转线速度条件下 ,获得了微观孔隙中 0 .2 ... 采用一种新的CVI工艺 (旋转CVI)进行了二维碳布沉积热解碳基体的实验研究 .通过实验优化工艺参数 ,在低压 ( 5kPa)、高温( 1 1 0 0℃ )、体积分数为 62 .5%的C3H6 与 3 .5mm·min- 1的碳布旋转线速度条件下 ,获得了微观孔隙中 0 .2 5μm·h- 1的热解碳沉积速度、约 7%的C3H6 转化率与理想的热解碳基体形貌 .分析了旋转CVI工艺中沉积温度和C3H6 浓度等分别对沉积速度、热解碳基体形貌及C3H6 转化率的影响 . 展开更多
关键词 碳碳复合材料 沉积速度 CVI 热解碳基体
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热解沉积结合PAMAM接枝改性碳纤维表面 被引量:3
6
作者 孙景峰 赵峰 +2 位作者 邢丽欣 刘丽 黄玉东 《高科技纤维与应用》 CAS 2017年第4期27-31,共5页
采用热解沉积结合聚酰胺-胺型树枝状高分子(PAMAM)接枝的改性方式对碳纤维进行表面处理,对比了碳纤维原丝(CFs)、只经热解沉积处理碳纤维(PD-CFs)和沉积结合接枝处理碳纤维(PD-PG-CFs)的表面形貌、表面元素组成和质量分数、与极性液体... 采用热解沉积结合聚酰胺-胺型树枝状高分子(PAMAM)接枝的改性方式对碳纤维进行表面处理,对比了碳纤维原丝(CFs)、只经热解沉积处理碳纤维(PD-CFs)和沉积结合接枝处理碳纤维(PD-PG-CFs)的表面形貌、表面元素组成和质量分数、与极性液体和非极性液体的接触角、表面自由能的变化;制备了不同处理条件下碳纤维/环氧微复合材料,与未处理的碳纤维原丝相比,经热解沉积处理的碳纤维/环氧复合材料的界面剪切强度(IFSS)提高了26.87%,而经沉积结合PAMAM接枝处理碳纤维/环氧复合材料的IFSS则提高了38.81%。通过纳米压痕测试定量的表征了复合材料中碳纤维、热解碳层和树脂基体3者的模量,结果表明,热解碳层的模量介于碳纤维和树脂之间,它所起到的过渡层效应是复合材料界面性能得到改善的重要原因。 展开更多
关键词 碳纤维 热解沉积 聚酰胺-胺型树枝状高分子接枝 复合材料界面
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分散介质对热解碳表面电泳沉积羟基磷灰石涂层的影响 被引量:2
7
作者 高林 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期51-56,共6页
为寻找适合于热解碳表面电泳沉积羟基磷灰石涂层的分散介质,借助于SEM、XRD和自动生化分析仪研究了不同非水分散介质对电泳沉积涂层的影响。结果表明,分散介质的种类对电泳沉积层的强度及附着能力有很大的影响,采用乙二醇作为分散介质... 为寻找适合于热解碳表面电泳沉积羟基磷灰石涂层的分散介质,借助于SEM、XRD和自动生化分析仪研究了不同非水分散介质对电泳沉积涂层的影响。结果表明,分散介质的种类对电泳沉积层的强度及附着能力有很大的影响,采用乙二醇作为分散介质可以显著地提高电泳沉积层的强度和附着能力。分散介质的粘度影响电泳沉积速度,采用粘度较高的乙二醇作为分散介质时,提高温度可显著提高电泳沉积速度。羟基磷灰石在乙二醇中的溶解度显著高于在乙醇和正丁醇中的溶解度,羟基磷灰石在分散介质中的溶解度越高,越容易导致电泳沉积层中羟基磷灰石颗粒的团聚,当烧结温度高于1 000℃时,沉积层中颗粒的团聚对涂层烧结性能没有明显影响。电泳沉积分散介质不会影响羟基磷灰石粉末的晶体结构。 展开更多
关键词 热解碳 羟基磷灰石 电泳沉积 分散介质 涂层
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KINETICS OF LASER INDUCED PYROLYTIC DEPOSITION FROM Mn_2(CO)_1.
8
作者 Wu Min WANG Hui Qi HOU Qi Zong QIN Laser Chemistry Laboratory, Fudan University, Shanghai, 200433 《Chinese Chemical Letters》 SCIE CAS CSCD 1992年第6期471-472,共2页
An optical transmission method was used in-situ to measure the rate of pyrolytic deposition from Mn_2(CO)_(10) induced by a CW CO_2 laser. The effect of the laser intensity, Mn_2(CO)_(10) vapor pressure and added gase... An optical transmission method was used in-situ to measure the rate of pyrolytic deposition from Mn_2(CO)_(10) induced by a CW CO_2 laser. The effect of the laser intensity, Mn_2(CO)_(10) vapor pressure and added gases (CO, O_2 and Ar) on the deposition rate has been examined. 展开更多
关键词 rate CO KINETICS OF LASER INDUCED pyrolytic deposition FROM Mn2 MN
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热解乙氧基铝制备次级电子发射膜
9
作者 谢伯兴 《电子科学学刊》 CSCD 1990年第1期109-112,共4页
利用某些有机烷氧基金属化合物的热分解,可在玻璃、金属、陶瓷或半导体基片上沉积相应的金属氧化物次级发射膜。例如:由乙氧基镁(或铝)的热解制得MgO(或Al_2O_3)膜。本工作由自制乙氧基铝和五氯化钼,在玻璃基底上热解沉积制得合适电阻... 利用某些有机烷氧基金属化合物的热分解,可在玻璃、金属、陶瓷或半导体基片上沉积相应的金属氧化物次级发射膜。例如:由乙氧基镁(或铝)的热解制得MgO(或Al_2O_3)膜。本工作由自制乙氧基铝和五氯化钼,在玻璃基底上热解沉积制得合适电阻率的次级发射膜Al_2O_3∶Mo(?)膜厚1000(?),电阻率10~7-10~8Ω·(cm),最大次级电子发射系数 δ_(max)=3.1,热解条件为450℃,12mm。 展开更多
关键词 次极 电子发射膜 热解沉积 乙氧基
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Silicon-alloyed Isotropic Pyrolytic Carbon Prepared by Steady-state Fluidized Bed Chemical Vapor Deposition
10
作者 ZHANG Jian-hui LIU Gang ZHENG Yan-zhen 《Chinese Journal of Biomedical Engineering(English Edition)》 CAS 2021年第2期58-68,共11页
Silicon-alloyed isotropic pyrolytic carbon(Si-IPyC)was prepared by steady-state fluidized bed chemical vapor deposition(SFBCVD).The effects of deposition temperature and propane concentration on the microstructure and... Silicon-alloyed isotropic pyrolytic carbon(Si-IPyC)was prepared by steady-state fluidized bed chemical vapor deposition(SFBCVD).The effects of deposition temperature and propane concentration on the microstructure and deposition process of Si-IPyC were investigated using X-ray diffraction(XRD),X-ray energy dispersive spectrometer(EDS)and scanning electron microscope(SEM).The results show that the Si-IPyC with different silicon content is composed of both spherical granular and laminar structures,and silicon element is uniformly dispersed in pyrolytic carbon in the form of β-SiC.The deposition temperature and propane concentration have a great influence on the microstructure of Si-IPyC,with the increase of deposition temperature or propane concentration,the laminar structure in Si-IPy C decreases gradually,spherical granular morphology becomes increasingly obvious and the density decreases with the deposition model changing from surficial growth mechanism to gaseous nucleation mechanism.For getting a faster average coating rate,deposition temperature and propane concentration should not be too high. 展开更多
关键词 silicon-alloyed isotropic pyrolytic carbon processing parameter MICROSTRUCTURE deposition model
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制备致密热解炭层的新工艺研究 被引量:7
11
作者 朱钧国 张秉忠 +3 位作者 杨冰 彭新立 梁彤翔 徐小平 《新型炭材料》 SCIE EI CAS CSCD 1998年第2期1-4,共4页
致密热解炭在工业各个技术部门正在得到广泛的应用。本文介绍采用丙烯(C3H6)和乙炔(C2H2)的混合气体制备致密热解炭层的新工艺,以消除只用丙烯作为反应气体时产生的热效应问题,讨论了沉积温度、反应气体浓度对致密热解炭... 致密热解炭在工业各个技术部门正在得到广泛的应用。本文介绍采用丙烯(C3H6)和乙炔(C2H2)的混合气体制备致密热解炭层的新工艺,以消除只用丙烯作为反应气体时产生的热效应问题,讨论了沉积温度、反应气体浓度对致密热解炭层性能的影响。 展开更多
关键词 致密热解 炭层 混合气体 热效应 气相沉积 工艺
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化学气相沉积与渗透过程中热解炭织态结构生成机理研究(英文) 被引量:6
12
作者 张伟刚 K.J. Httinger 《新型炭材料》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期185-192,共8页
为研究热解炭织态结构的生成规律,采用不同压强的甲烷为碳源,在1 100℃条件下进行了化学气相沉积和化学气相渗透实验。化学气相沉积以具有不同表面积/自由体积比([A/V]值)的直通方形多孔陶瓷为基体;化学气相渗透实验在直径为1mm细直孔... 为研究热解炭织态结构的生成规律,采用不同压强的甲烷为碳源,在1 100℃条件下进行了化学气相沉积和化学气相渗透实验。化学气相沉积以具有不同表面积/自由体积比([A/V]值)的直通方形多孔陶瓷为基体;化学气相渗透实验在直径为1mm细直孔内表面沉积和对炭纤维体积分数为7%的炭毡进行致密化。借助正交偏光显微镜(消光角)和透射电子显微镜(定向角)对在不同实验条件下制备的热解炭进行分析和定量表征。研究发现:热解炭的织态结构可以在两种不同的沉积条件下形成。当甲烷压强较低时为化学生长阶段;当甲烷压强较高时为物理形核阶段。在化学生长控制阶段,热解炭的织态结构可以利用之前提出的“颗粒填充模型(P-F模型)”加以解释。该模型假设高织构热解炭的沉积一定对应于气相中存在具有合适比例的芳香化合物(例如苯)和线性小分子(主要是C2H2),当二者的浓度比偏离该最优比(或者偏大,或者偏小),均将导致中织构甚至低织构热解炭的生成。在化学生成控制阶段,化学气相沉积和化学气相渗透对热解炭织态结构影响的差别,除了[A/V]值而外,还有氢气的作用。在化学气相渗透过程中,基体内部生成的氢气快速扩散至基体表面,使内外沉积速率和织态结构均发生较大变化。 展开更多
关键词 热解炭 化学气相沉积 化学气相渗透 织态结构
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化学气相沉积法碳包覆改性锂离子电池电极材料的研究进展 被引量:2
13
作者 刘树和 白朔 +1 位作者 李峰 孙可伟 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期36-41,共6页
主要介绍了CVD碳包覆工艺、包覆层种类和物理性质(结构、含量和分布)对电极材料电化学性能(首次容量、首次库仑效率、循环和倍率充放电性能等)的影响,在此基础上提出了尚需深入研究的问题,并对CVD法碳包覆改性电极材料的发展趋势和前景... 主要介绍了CVD碳包覆工艺、包覆层种类和物理性质(结构、含量和分布)对电极材料电化学性能(首次容量、首次库仑效率、循环和倍率充放电性能等)的影响,在此基础上提出了尚需深入研究的问题,并对CVD法碳包覆改性电极材料的发展趋势和前景进行了讨论。 展开更多
关键词 锂离子电池 电极材料 热解炭 纳米碳管 化学气相沉积
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Microwave dielectric properties of Nextel-440 fiber fabrics with pyrolytic carbon coatings in the temperature range from room temperature to 700℃ 被引量:1
14
作者 宋荟荟 周万城 +2 位作者 罗发 卿玉长 陈马林 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第8期594-597,共4页
Pyrolytic carbon(PyC) coatings are deposited on the Nextel-440 fiber fabrics by chemical vapor deposition(CVD).The dielectric properties of the Nextel-440 fiber fabrics with PyC coatings(Nextel-440/PyC) are investigat... Pyrolytic carbon(PyC) coatings are deposited on the Nextel-440 fiber fabrics by chemical vapor deposition(CVD).The dielectric properties of the Nextel-440 fiber fabrics with PyC coatings(Nextel-440/PyC) are investigated in a temperature range from room temperature to 700℃ in X-band. Compared with the permittivity of the original Nextel-440 received,the complex permittivity of the Nextel-440/PyC(the real part εand the imaginary part ε), is significantly improved: εof the Nextel-440/PyC has a positive temperature coefficient, in contrast, εof the Nextel-440/PyC exhibits a negative temperature coefficient. Moreover, the reflection loss in units of d B is calculated. The results indicate that the microwave absorbing properties of the Nextel-440/PyC coatings is enhanced at 700℃ compared with that at lower temperatures. 展开更多
关键词 pyrolytic carbon coating chemical vapor deposition dielectric property
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n-C_7H_(16)/CCl_4体系CVD-热解炭的形貌与形成机理 被引量:2
15
作者 李国荣 黄永秋 潘鼎 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第7期51-54,63,共5页
控制 CVD工艺条件得到球状热解炭 ,通过对沉积中间体的定性分析 ,证实了此过程中存在“缩聚机理”。运用热力学和晶体成核 -长大理论 。
关键词 热解炭 化学气相沉积 沉积机理
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Study on the Pyrolytic Carbon Generated by the Electric Heating CVD Method 被引量:1
16
作者 徐先锋 欧阳甜 +1 位作者 ZENG Lingsheng CHAI Lingzhi 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2018年第2期409-413,共5页
A new method of fabricating C/C composite materials, namely electric heating CVD method, was used, which electrified the carbon fiber directly by using the conductivity of itself. Acetylene was used as the carbon sour... A new method of fabricating C/C composite materials, namely electric heating CVD method, was used, which electrified the carbon fiber directly by using the conductivity of itself. Acetylene was used as the carbon source with nitrogen as dilution gas, and the pyrolytic carbon started to deposit on the carbon fiber surface when the deposition temperature was reached. The morphology of pyrolytic carbon was characterized by SEM, and the surface properties of carbon fibers before and after CVD were characterized by Raman spectroscopy. The experimental results show that the electric heating method is a novel method to fabricate C/C composite materials, which can form a dense C/C composite material in a short time. The order degree and the average crystallite size of the carbon fiber surface were decreased after the experiment. 展开更多
关键词 C/C composite materials electric heating method chemical vapor deposition pyrolytic carbon
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Synthesis and Growth Mechanism of Carbon Filaments by Chemical Vapor Deposition without Catalyst
17
作者 Shuhe Liu Feng Li Shuo Bai 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第2期259-263,共5页
Carbon filaments with diameter from several to hundreds deposition of methane without catalyst. The morphology micrometers were synthesized by chemical vapor microstructure and mechanical properties of the carbon fila... Carbon filaments with diameter from several to hundreds deposition of methane without catalyst. The morphology micrometers were synthesized by chemical vapor microstructure and mechanical properties of the carbon filament were investigated by scanning electronic microscopy, optical microscopy, X-ray diffraction and mechanical testing. The results show that the carbon filament is inverted cone shape and grows up along the gas flow direction. The stem of it is formed of annular carbon layers arranged in a tree ring structure while the head is made up of concentrical layers. The tensile strength of the carbon filament is increased after graphitization for the restructuring and growing large of graphene. The growth mechanism of carbon filament was proposed according to the results of two series of experiments with different deposition time and intermittent deposition cycles. 展开更多
关键词 Carbon filaments pyrolytic carbon SYNTHESIS Chemical vapor deposition Mechanical property
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乙炔浓度对疏松热解碳的影响 被引量:1
18
作者 唐明国 吴世洪 +2 位作者 刘海 刘桂良 杨静 《炭素》 2015年第2期21-24,共4页
以乙炔为碳源气体,采用化学气相沉积的方法,用不同的乙炔浓度制备出疏松热解碳,利用图像法测定了疏松热解碳的密度,用扫描电镜观察了疏松热解碳的微观结构.结果表明:疏松热解碳沉积速率随乙炔浓度增加呈下凹抛物线趋势上升;疏松热解碳... 以乙炔为碳源气体,采用化学气相沉积的方法,用不同的乙炔浓度制备出疏松热解碳,利用图像法测定了疏松热解碳的密度,用扫描电镜观察了疏松热解碳的微观结构.结果表明:疏松热解碳沉积速率随乙炔浓度增加呈下凹抛物线趋势上升;疏松热解碳密度随乙炔浓度增加呈下凹抛物线趋势下降. 展开更多
关键词 乙炔浓度 疏松热解碳 化学气相沉积 沉积速率 密度
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热解碳沉积温度对增强石墨力学性能的影响 被引量:1
19
作者 许利 陈建勋 黄启忠 《粉末冶金材料科学与工程》 EI 北大核心 2014年第6期994-999,共6页
采用化学气相沉积增密技术制备热解碳增强普通石墨材料。研究沉积温度对增强石墨力学性能的影响,并探讨热解碳增强普通石墨材料的沉积机理。结果表明:随沉积温度升高,增强石墨的抗弯强度提高,在1 600℃沉积时达到最大值39.33 MPa,比石... 采用化学气相沉积增密技术制备热解碳增强普通石墨材料。研究沉积温度对增强石墨力学性能的影响,并探讨热解碳增强普通石墨材料的沉积机理。结果表明:随沉积温度升高,增强石墨的抗弯强度提高,在1 600℃沉积时达到最大值39.33 MPa,比石墨基体提高21.7%。其主要原因是随沉积温度升高,热解沉积由CVI过程变为CVD过程。当温度低于1 600℃时,化学气相渗透过程占主导;温度高于1 600℃后热解碳极易沉积在基体表面,形成热解碳膜,化学气相沉积过程占主导。在1 600℃温度下,其抗弯强度随沉积时间的变化不大,这证明高温下(1 600℃)化学气相沉积主要发生在石墨块体表面。 展开更多
关键词 热解碳 改性石墨 化学气相沉积 沉积机理
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致密热解碳层的混合气体包覆工艺研究 被引量:1
20
作者 朱钧国 杨冰 +4 位作者 张秉忠 彭新立 梁彤翔 王军 徐小平 《清华大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第5期88-90,共3页
致密热解碳层是高温气冷堆包覆燃料颗粒的关键组成。该文介绍了在流化床包覆炉中采用丙烯(C3H6)和乙炔(C2H2)的混合气体作为反应体系的包覆工艺,以消除只用丙烯作为包覆气体时产生的热效应。讨论了包覆工艺参数(沉积温度... 致密热解碳层是高温气冷堆包覆燃料颗粒的关键组成。该文介绍了在流化床包覆炉中采用丙烯(C3H6)和乙炔(C2H2)的混合气体作为反应体系的包覆工艺,以消除只用丙烯作为包覆气体时产生的热效应。讨论了包覆工艺参数(沉积温度、乙炔浓度等)对致密热解碳层的密度、沉积速率和碳利用率的影响,确定了制备致密热解碳层的最佳工艺条件。研究的结果在生产规模流化床包覆炉中得到了验证和实际应用。 展开更多
关键词 高温气冷堆 致密热解碳层 混合气体 包覆工艺
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