气相色谱/质谱法测定三氟化氮中痕量一氧化二氮 被引量：8

1

作者 韦桂欢 张洪彬 +1 位作者 龙庆云 李杰 《低温与特气》 CAS 2009年第2期29-31,共3页

建立了测定高纯三氟化氮(NF3)气体中痕量一氧化二氮(N2O)的选择离子监测(SIM)方式的气相色谱/质谱法。采用Porapak Q PLOT毛细管色谱柱(30m×0.32mm×5μm),以m/z=44作为定量选择离子。同时考察了NF3工艺气物流对所选离子的测... 建立了测定高纯三氟化氮(NF3)气体中痕量一氧化二氮(N2O)的选择离子监测(SIM)方式的气相色谱/质谱法。采用Porapak Q PLOT毛细管色谱柱(30m×0.32mm×5μm),以m/z=44作为定量选择离子。同时考察了NF3工艺气物流对所选离子的测定干扰情况。方法在浓度为(5～100)×10-6(摩尔分数)范围内与峰面积呈线性关系,线性相关系数r=0.999,最低检测限为1×10-6(摩尔分数)。平均加标回收率为90.20%～97.05%,测定相对标准偏差(RSD)<5.33%。 展开更多

关键词 气相色谱/质谱法 测定 三氟化氮 一氧化二氮

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三氟化氮-一种新型干蚀刻气 被引量：8

2

作者 杨彦 《低温与特气》 CAS 2006年第4期28-30,38,共4页

通过对三氟化氮特种气体理化性质、气体制备方法、纯度分析、毒性和检测、气体管理及存储、以及杂质的清除等的论述,阐明了三氟化氮作为一种干气体蚀刻剂有潜在的优势,特别是用于需要高蚀刻速率时。在通常条件下,可进行方便的管理。

关键词 三氟化氮 蚀刻剂

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三氟化氮气体的检测方法研究进展 被引量：5

3

作者 尹强 陈玲 +2 位作者 贾相锐 周阳 毛沅文 《当代化工》 CAS 2019年第4期871-875,共5页

三氟化氮(NF_3)是一种重要的电子气体和常用的氟化剂,广泛应用于微电子工业领域中。介绍了NF_3气体检测技术的发展现状,对比分析了各种技术的优缺点,展望了NF_3气体检测仪的未来发展趋势。目前针对NF_3较为成熟的检测器主要是催化热裂解... 三氟化氮(NF_3)是一种重要的电子气体和常用的氟化剂,广泛应用于微电子工业领域中。介绍了NF_3气体检测技术的发展现状,对比分析了各种技术的优缺点,展望了NF_3气体检测仪的未来发展趋势。目前针对NF_3较为成熟的检测器主要是催化热裂解/电化学原理气体传感器、超高温裂解/电化学原理气体传感器和气相色谱仪,其中热裂解/电化学原理气体传感器检测存在精度不高且需要考虑尾气处理的问题,不是一种理想的检测技术,气相色谱仪受限于较差的便携性及复杂的调试程序,因而主要用于实验室中的气体分析,而基于非色散红外(NDIR)及傅里叶变换红外(FTIR)检测技术的NF_3检测方法具有快速便捷无污染的优点,同时NDIR技术可实现检测仪器的便携化,基于此有望开发出一种环保、便携、快速的检测仪器。在未来,随着检测手段的不断革新和丰富,三氟化氮的定量也必将更加细致和完备,进一步有利于相关行业的发展和质量体系的完善。 展开更多

关键词 三氟化氮 检测方法 气体传感器 NDIR

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三氟化氮产能、技术现状及市场分析 被引量：5

4

作者 卢永锋 李冬永 曹琼华 《湖南有色金属》 CAS 2010年第5期34-38,共5页

介绍了国内外三氟化氮的产能、制备技术及纯化方法,同时对国内外三氟化氮市场进行了分析和预测。

关键词 三氟化氮 产能 技术 制备 纯化 市场

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气相色谱法测定空气中痕量三氟化氮 被引量：4

5

作者 尹强 陈玲 +6 位作者 许俊斌 贾相锐 叶丽芳 毛沅文 周阳 黄彦捷 周瑾艳 《化学分析计量》 CAS 2019年第A01期28-31,共4页

建立了测定空气中痕量三氟化氮的气相色谱分析方法。采用专属性实验验证杂质含量对待测组分测量值的影响。利用红外光谱和质谱法对市售三氟化氮气体进行定性检验,采用重量法配制一系列准确浓度的标准气体,在100~1000μmol/mol的浓度范... 建立了测定空气中痕量三氟化氮的气相色谱分析方法。采用专属性实验验证杂质含量对待测组分测量值的影响。利用红外光谱和质谱法对市售三氟化氮气体进行定性检验,采用重量法配制一系列准确浓度的标准气体,在100~1000μmol/mol的浓度范围内建立非线性校正曲线,利用线性乘幂法将非线性曲线转化为线性曲线,简化了拟合曲线的不确定度计算过程,平行样品测定结果的相对标准偏差为0.20%-0.62%(n=5),配制样品测定结果相对误差的绝对值小于2%,空气加标样品三氟化氮的平均回收率为96.5%-101%。 展开更多

关键词 三氟化氮 气相色谱 校正曲线 不确定度

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关于惰性含氟温室气体转化与利用的研究进展

6

作者 邹震雷 李和寅 +6 位作者 黄梦君 沈胤朴 刘继阳 王之兆 张为钢 王毅 潘毅 《有机化学》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2024年第6期1831-1852,共22页

过去的几十年里, 含氟气体因其特殊理化性质, 在人类社会中的应用几乎随处可见, 为人们的生产生活提供了诸多便利的同时, 正悄无声息地引起一系列环境危机. 长期研究表明含氟气体所造成的温室效应远高于其他温室气体, 人们不得不对含氟... 过去的几十年里, 含氟气体因其特殊理化性质, 在人类社会中的应用几乎随处可见, 为人们的生产生活提供了诸多便利的同时, 正悄无声息地引起一系列环境危机. 长期研究表明含氟气体所造成的温室效应远高于其他温室气体, 人们不得不对含氟气体的使用进行重新评估. 为有效实现含氟气体的经济效益最大化及降低环境污染, 科学家们正努力开发含氟温室气体转化利用的新方法. 综述了近20年国内外化学家针对氟利昂、硫酰氟、三氟化氮和六氟化硫等惰性含氟温室气体转化与利用的最新研究成果. 展开更多

关键词 惰性含氟温室气体 氟利昂 硫酰氟 三氟化氮 六氟化硫

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浅谈我国三氟化氮的现状和对策 被引量：4

7

作者 宋在卿 李绍波 《低温与特气》 CAS 2007年第1期22-24,共3页

综述了我国三氟化氮的发展和现状,分析了市场形势,并提出了三氟化氮今后发展的对策。

关键词 三氟化氮 现状 对策

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几种氟化碳材料的结构与电化学性能 被引量：4

8

作者 刘志超 卢嘉春 +2 位作者 黄萍 朱敏华 方荃 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2013年第S2期53-55,共3页

氟化碳是一种高储能密度锂原电池的正极材料,材料晶相结构对其电化学性能有重要影响。以NF3为氟化剂对多种碳源进行氟化,制备了不同层间距和比表面积系列的氟化碳材料,并进行表征和电化学测试。结果表明:通过优选碳源,可以增大氟化产物... 氟化碳是一种高储能密度锂原电池的正极材料,材料晶相结构对其电化学性能有重要影响。以NF3为氟化剂对多种碳源进行氟化,制备了不同层间距和比表面积系列的氟化碳材料,并进行表征和电化学测试。结果表明:通过优选碳源,可以增大氟化产物的层间距和比表面积,从而有效减小电极极化,提高电池的工作电压。 展开更多

关键词 氟化碳 层间距 电化学性能 三氟化氮

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急性三氟化氮中毒致高铁血红蛋白血症和溶血性贫血1例

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作者 刘学 尚波 牛燕英 《中华劳动卫生职业病杂志》 CAS CSCD 北大核心 2024年第8期624-626,共3页

本文对1例急性三氟化氮中毒致高铁血红蛋白血症、溶血性贫血患者的发病过程、临床特点、治疗措施及预后进行分析。患者职业暴露三氟化氮,发病后立即就诊,监测高铁血红蛋白并进行全面检查,综合分析后考虑急性三氟化氮中毒致高铁血红蛋白... 本文对1例急性三氟化氮中毒致高铁血红蛋白血症、溶血性贫血患者的发病过程、临床特点、治疗措施及预后进行分析。患者职业暴露三氟化氮,发病后立即就诊,监测高铁血红蛋白并进行全面检查,综合分析后考虑急性三氟化氮中毒致高铁血红蛋白血症、溶血性贫血及肝损伤。脱离接触,给予氧疗、亚甲蓝、小剂量甲泼尼龙、维生素C、还原性谷胱甘肽等对症治疗,患者预后较好,为三氟化氮中毒的临床救治及职业健康检查提供参考。 展开更多

关键词 中毒 三氟化氮 职业暴露 高铁血红蛋白血症 溶血性贫血

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电解法制备NF_(3)的研究现状

10

作者 张振 李梅 +3 位作者 李贤武 酒坤 孙晓 李金勇 《低温与特气》 CAS 2024年第2期1-6,17,共7页

电解法制备NF_(3)的工艺可一步完成,有着过程简单且纯度高的优点。从阳极反应机理、阳极反应动力学和阳极极化三个方面综述了电解法制备NF_(3)的基础理论研究现状。针对当前阳极改性、电解液调控以及电解槽改造三个常见的优化方向进行... 电解法制备NF_(3)的工艺可一步完成,有着过程简单且纯度高的优点。从阳极反应机理、阳极反应动力学和阳极极化三个方面综述了电解法制备NF_(3)的基础理论研究现状。针对当前阳极改性、电解液调控以及电解槽改造三个常见的优化方向进行了对比和总结。最后分析并探讨了今后的研究和发展方向。 展开更多

关键词 电解法 三氟化氮 阳极反应 电解液 电解槽

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氦中三氟化氮气体标准物质的研制 被引量：4

11

作者 尹强 黄彦捷 +4 位作者 周阳 毛沅文 叶丽芳 贾相锐 陈玲 《化学试剂》 CAS 北大核心 2019年第7期704-709,共6页

以高纯三氟化氮为原料气,分别使用红外光谱法及质谱法对其进行定性分析,再利用气相色谱仪及露点仪对其中的杂质进行定量检测,通过质量平衡法测定了原料气的纯度。通过重量法制备氦中三氟化氮气体标准物质,并通过均匀性实验、稳定性实验... 以高纯三氟化氮为原料气,分别使用红外光谱法及质谱法对其进行定性分析,再利用气相色谱仪及露点仪对其中的杂质进行定量检测,通过质量平衡法测定了原料气的纯度。通过重量法制备氦中三氟化氮气体标准物质,并通过均匀性实验、稳定性实验、重量法定值和不确定度评定对氦中三氟化氮气体标准物质进行了研究。结果表明,其均匀性和稳定性满足F检验和t检验要求,符合标准物质的技术规范,所制备的氦中三氟化氮标准物质具有良好的均匀性和足够的稳定性,相对扩展不确定度为2. 0%(k=2)。该系列气体标准物质可望用于相关仪器的检定校准及半导体生产等相关行业的气体报警器的标定和检测。 展开更多

关键词 三氟化氮 标准物质 重量法 不确定度

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几种含氟电子气体发展的思考 被引量：3

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作者 牛学坤 杨茂良 周宪峰 《化学推进剂与高分子材料》 CAS 2020年第2期1-4,27,共5页

介绍了三氟化氮、六氟化钨、四氟化碳、电子级六氟化硫等几种含氟电子气体在半导体、平板显示等领域的应用。对相关行业发展的现状和前景进行了分析和预测,讨论了行业发展的潜在风险。

关键词 含氟电子气体 三氟化氮 六氟化钨 四氟化碳 电子级六氟化硫

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三氟化氮气体的制备及纯化方法综述 被引量：3

13

作者 尹强 许俊斌 +4 位作者 周瑾艳 周阳 毛沅文 贾相锐 叶丽芳 《广东化工》 CAS 2019年第8期112-113,共2页

三氟化氮(NF3)作为一种重要的电子气体及氟化剂,广泛应用于微电子工业中。本文阐述了目前工业生产中NF3的主要制备方法:化学氟化和电解法,化学氟化主要利用固态的氟化铝铵(NH4)3Al F6和F2为原料合成NF3,电解法生产NF3主要是电解熔融的NH... 三氟化氮(NF3)作为一种重要的电子气体及氟化剂,广泛应用于微电子工业中。本文阐述了目前工业生产中NF3的主要制备方法:化学氟化和电解法,化学氟化主要利用固态的氟化铝铵(NH4)3Al F6和F2为原料合成NF3,电解法生产NF3主要是电解熔融的NH4HF2。四氟化碳是工业制备三氟化氮的主要杂质,也是最难除去的杂质,提纯方法主要有精馏法,冷阱法及吸附法。 展开更多

关键词 三氟化氮 制备方法 检测方法 气体传感器 NDIR

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气相色谱法测定高纯四氟化碳中三氟化氮杂质的方法 被引量：3

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作者 许军州 夏致远 +1 位作者 孙猛 金向华 《低温与特气》 CAS 2017年第6期35-38,共4页

阐述了采用气相色谱法加中心切割、反吹的方法测定高纯四氟化碳中的微量三氟化氮杂质,此方法可靠,操作简单。通过多次实验对过程中的分析条件进行优化,从而达到有效的色谱分离度。并对目前四氟化碳的生产制备及分析方法做了简单的描述。

关键词 四氟化碳 三氟化氮 气相色谱法 PDD检测器

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气相色谱-电子捕获检测器测定环境空气中痕量三氟化氮 被引量：3

15

作者 于瑞祥 魏王慧 高艳秋 《化学工程师》 CAS 2020年第6期31-33,共3页

建立了气相色谱-电子捕获检测器测定环境空气中NF3的检测方法。样品经现场采集后直接进样分析。NF3的浓度在0.1~10.0μmol·mol-1呈良好线性,线性相关系数(R2)为0.9998,在3个浓度水平下加标回收率为98.0%~99.8%,相对标准偏差(RSD)(n... 建立了气相色谱-电子捕获检测器测定环境空气中NF3的检测方法。样品经现场采集后直接进样分析。NF3的浓度在0.1~10.0μmol·mol-1呈良好线性,线性相关系数(R2)为0.9998,在3个浓度水平下加标回收率为98.0%~99.8%,相对标准偏差(RSD)(n=6)为1.0%~2.7%,以3倍信噪比(3S/N)确定检出限为0.01μmol·mol-1。 展开更多

关键词 气相色谱 电子捕获检测器 三氟化氮 环境空气 检测

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脉冲放电氦离子化检测器在高纯三氟化氮气体分析中的应用 被引量：3

16

作者 尹强 许俊斌 +4 位作者 周阳 毛沅文 叶丽芳 贾相锐 周瑾艳 《广东化工》 CAS 2019年第6期64-65,共2页

本研究采用带有脉冲放电氦离子检测器的气相色谱仪,并结合阀切割技术,建立高纯三氟化氮中多种痕量杂质的气相色谱快速检测方法。结果表明,高纯三氟化氮中具有O_2+Ar、N_2、CF_4、CO_2、N_2O等杂质,且该分析方法具有重复性。此法可应用... 本研究采用带有脉冲放电氦离子检测器的气相色谱仪,并结合阀切割技术,建立高纯三氟化氮中多种痕量杂质的气相色谱快速检测方法。结果表明,高纯三氟化氮中具有O_2+Ar、N_2、CF_4、CO_2、N_2O等杂质,且该分析方法具有重复性。此法可应用于三氟化氮中多种痕量杂质的快速检测。 展开更多

关键词 脉冲放电氦离子检测器 三氟化氮 痕量杂质 阀切割

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MSA在三氟化氮分析检测装置中的应用 被引量：2

17

作者 李超楠 魏磊 +3 位作者 酒坤 李梅 高英武 赵纪铮 《化学推进剂与高分子材料》 CAS 2020年第4期67-70,共4页

通过改变进样管路和除水装置,得到最优的分析检测装置。运用测量系统分析(MSA)对三氟化氮分析检测装置的准确性、重复性和再现性进行评估,结果表明,三氟化氮含量测量系统中的重复性和再现性的误差比为4.59%,可区分类别数=22,测量系统可... 通过改变进样管路和除水装置,得到最优的分析检测装置。运用测量系统分析(MSA)对三氟化氮分析检测装置的准确性、重复性和再现性进行评估,结果表明,三氟化氮含量测量系统中的重复性和再现性的误差比为4.59%,可区分类别数=22,测量系统可接受,从而可为后续三氟化氮分析检测装置的推广提供指导。 展开更多

关键词 MSA 三氟化氮 分析检测装置

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三氟化氮充装系统设计和安全讨论 被引量：2

18

作者 李贤武 王娟 +2 位作者 赵冰 李梅 何伟国 《低温与特气》 CAS 2021年第6期12-16,共5页

介绍一种电子气体NF3的充装流程、设备及厂房的选择,并讨论了充装过程安全设计的要点。

关键词 三氟化氮 充装 流程设计 安全

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三氟化氮制备方法概述 被引量：2

19

作者 冀延治 王少波 +1 位作者 李本东 付嫚 《舰船科学技术》 北大核心 2007年第2期107-111,共5页

介绍了三氟化氮气体的2种生产方法——直接化合法和电解法,并根据它们的研究发展方向,具体介绍了其基本原理、生产工艺以及相关的工艺设备。

关键词 三氟化氮 电解法 直接化合法

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三氟化氮生产中废电解质镍含量的快速测定 被引量：2

20

作者 李梅 魏磊 +3 位作者 王亚平 酒坤 高英武 张绪锐 《化学推进剂与高分子材料》 CAS 2015年第3期92-94,共3页

介绍了用EDTA(乙二胺四乙酸二钠)直接滴定测定镍含量的方法,其具有精密度和准确度高,操作简便、快捷,重现性好等优点,特别适用于电解法制备三氟化氮生产中废电解质镍含量的测定。

关键词 EDTA直接滴定法 三氟化氮 废电解质 镍

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