微细电火花加工技术 被引量：24

1

作者 余祖元 郭东明 贾振元 《中国科技论文在线》 CAS 2007年第3期214-220,共7页

微细电火花加工(Micro Electrical Discharge Machining,Micro EDM)作为微细加工技术的一种,可以在任何导电材料上加工高精度、大深宽比微细三维型腔,以满足日益增长的产品微小型化需求。针对微细电火花加工中的一些关键问题,如微细电... 微细电火花加工(Micro Electrical Discharge Machining,Micro EDM)作为微细加工技术的一种,可以在任何导电材料上加工高精度、大深宽比微细三维型腔,以满足日益增长的产品微小型化需求。针对微细电火花加工中的一些关键问题,如微细电极损耗与补偿、大深径比微孔加工,本文着重介绍部分研究结果,以期在微细电火花加工技术的应用中,提供解决对策。 展开更多

关键词 微细电火花加工 工具损耗补 CAD/CAM 大深径比微孔 电极摇动

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微米级电化学加工关键技术研究 被引量：6

2

作者 张朝阳 朱荻 +1 位作者 曲宁松 王明环 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期403-406,共4页

针对微米级电化学加工的关键技术问题,研制了用于微米级电化学加工的纳秒脉冲电源,并利用电化学腐蚀方法,在自制的电化学加工机床上连续实现了微细工具电极的制作和工件的加工。基于试验提出了微细电化学加工间隙的检测控制方法,提高了... 针对微米级电化学加工的关键技术问题,研制了用于微米级电化学加工的纳秒脉冲电源,并利用电化学腐蚀方法,在自制的电化学加工机床上连续实现了微细工具电极的制作和工件的加工。基于试验提出了微细电化学加工间隙的检测控制方法,提高了加工过程的稳定性,增强了定域蚀除能力。在低浓度酸性电解液中实现了微米级的电化学加工,利用研制的纳秒脉冲电源,根据加工电流将极间间隙控制在5μm左右,加工出了“NUAA”字形,每个字母高90μm,宽60μm,字母线条的宽度只有20μm。 展开更多

关键词 微细电化学加工 超短脉冲电源 工具电极 加工间隙

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电极旋转电化学放电加工间隙内介质输送分析 被引量：4

3

作者 黄绍服 刘勇 +1 位作者 李君 胡海霞 《安徽理工大学学报（自然科学版）》 CAS 2014年第2期66-70,共5页

微小孔是一类重要的结构,在航空工业、航天工业、微电子、汽车及医疗等行业有着广泛的应用。工具电极高速旋转电化学放电加工是根据电化学放电加工基本原理,应用高速旋转的工具电极在工件上进行电化学放电加工的方法。针对制造行业中广... 微小孔是一类重要的结构,在航空工业、航天工业、微电子、汽车及医疗等行业有着广泛的应用。工具电极高速旋转电化学放电加工是根据电化学放电加工基本原理,应用高速旋转的工具电极在工件上进行电化学放电加工的方法。针对制造行业中广泛应用的金属微小孔结构,通过对螺旋工具电极高速旋转微小孔电化学放电加工间隙工作介质流场仿真,解释了螺旋工具电极高速旋转微小孔电化学放电加工间隙内工作介质输送机理。 展开更多

关键词 电化学放电加工 微小孔 螺旋工具电极

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微细电火花加工的实验研究 被引量：4

4

作者 张勇斌 吉方 +2 位作者 刘广民 张连新 吴祉群 《电加工与模具》 2011年第2期54-56,共3页

基于新研发的一套微细电火花精密加工系统EDM-50,在金属材料上进行了一些典型的微小特征精密加工实验及电火花放电沉积实验。该系统已作为加工特征尺寸介于数十微米到数毫米范围的重要工艺手段。

关键词 微细电火花加工 工具电极 放电沉积

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双向脉冲液膜法制备微细工具电极

5

作者 王丽 吴修娟 +1 位作者 孔维静 曾永彬 《电加工与模具》 北大核心 2024年第5期31-37,共7页

为实现高效制备微细工具电极,提出一种双向脉冲液膜电化学刻蚀技术,相较于单极性脉冲电源可明显提高加工效率,减小球头直径。实验研究了负脉冲电压、正脉冲电压和脉冲周期对氢气泡、电解产物的运动分布规律以及所制备工具电极形貌的影... 为实现高效制备微细工具电极,提出一种双向脉冲液膜电化学刻蚀技术,相较于单极性脉冲电源可明显提高加工效率,减小球头直径。实验研究了负脉冲电压、正脉冲电压和脉冲周期对氢气泡、电解产物的运动分布规律以及所制备工具电极形貌的影响。研究发现,负脉冲电压可明显消除扩散层的影响,使电流密度分布更加均匀,并且缩短加工时间;在电解液浓度0.5 mol/L、正电压3 V、负电压-2 V、脉冲周期50μs、占空比40%的条件下,可成功制备出直径约580 nm的球头电极。 展开更多

关键词 双向脉冲 电化学刻蚀 微细电极 负脉冲电压

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微细电解铣削加工技术研究进展及展望 被引量：2

6

作者 赵斐 牛屾 +2 位作者 王思儒 刘现春 宫三朋 《机床与液压》 北大核心 2023年第8期145-149,共5页

微细电解铣削加工技术具有工具电极无损耗、加工柔性高、与工件材料硬度无关等特点,在金属微结构器件制造领域展现出极具诱惑力的应用前景。通过综合国内外文献资料,按照不同的电解液供给方式介绍微细电解铣削加工技术的研究进展,分析... 微细电解铣削加工技术具有工具电极无损耗、加工柔性高、与工件材料硬度无关等特点,在金属微结构器件制造领域展现出极具诱惑力的应用前景。通过综合国内外文献资料,按照不同的电解液供给方式介绍微细电解铣削加工技术的研究进展,分析微细电解铣削加工相关技术研究中存在的不足,并展望该领域的未来发展趋势。 展开更多

关键词 微细电解铣削加工 工具电极 金属微结构器件

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场致射流微细放电加工方法 被引量：1

7

作者 许开仙 康小明 赵万生 《电加工与模具》 2013年第3期7-11,共5页

放电加工方法具备微纳米尺度加工的潜力。在微细放电加工过程中,微小的电极尺寸使电极损耗变得更明显,从而影响加工精度,因此需要有效地补偿电极损耗。为了解决这一难题,提出一种利用场致射流作为工具电极进行微细放电加工的方法——场... 放电加工方法具备微纳米尺度加工的潜力。在微细放电加工过程中,微小的电极尺寸使电极损耗变得更明显,从而影响加工精度,因此需要有效地补偿电极损耗。为了解决这一难题,提出一种利用场致射流作为工具电极进行微细放电加工的方法——场致射流微细放电加工。该方法以场致射流作为工具电极,不存在电极损耗及补偿问题,且依靠毛细管效应和所施加的电场即可实现电解液的自动供液而无需泵阀等元件。实验发现,射流放电可产生有效的材料去除,产生的单点放电蚀坑直径为2μm左右,表明场致射流微细放电加工是一种有效的微细加工方法,值得进一步研究。 展开更多

关键词 微细放电加工 场致射流 微细工具电极

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慢波结构微细内槽电火花加工用工具电极的制作方法及应用 被引量：1

8

作者 任连生 杨立光 +1 位作者 郭妍 伏金娟 《航空制造技术》 2020年第4期43-47,共5页

针对微波真空电子器件中的关键零部件--慢波结构微细内槽的加工难题,提出了一种电火花微细加工内槽的方法;设计制作了片状叠式组合的工具电极,通过这种电极的工艺试验,确定了损耗低、加工稳定可靠的电火花加工参数与条件,实现了对慢波... 针对微波真空电子器件中的关键零部件--慢波结构微细内槽的加工难题,提出了一种电火花微细加工内槽的方法;设计制作了片状叠式组合的工具电极,通过这种电极的工艺试验,确定了损耗低、加工稳定可靠的电火花加工参数与条件,实现了对慢波结构微细内槽的加工。结果表明:采用电火花加工工艺方法和所制作工具电极是解决慢波结构微细内槽加工的有效方法之一,所加工零件满足了图纸要求。 展开更多

关键词 电火花加工(EDM) 慢波结构 微细内槽 工具电极 加工工艺

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低冲击分离装置微孔电火花加工技术研究

9

作者 钟晓红 陈济轮 +3 位作者 张扬 张昆 张万刚 沈岩 《电加工与模具》 2013年第A01期30-35,共6页

采用微细电火花加工技术,通过配备高速旋转轴和多级精密介质过滤系统,先后突破了微细工具电极的在线快速制作,不同的冲液压力、工具电极转速与微细放电规准的适配技术,高精度无毛刺剪切销孔微细电火花高效加工工艺参数的选择与优化,微... 采用微细电火花加工技术,通过配备高速旋转轴和多级精密介质过滤系统,先后突破了微细工具电极的在线快速制作,不同的冲液压力、工具电极转速与微细放电规准的适配技术,高精度无毛刺剪切销孔微细电火花高效加工工艺参数的选择与优化,微细工具电极及高精度无毛刺剪切销孔的在线检测等技术,攻克了低冲击分离装置高精度剪切销孔的加工技术难题。 展开更多

关键词 微细电火花加工 锐边 无毛刺 微细工具电极

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微细电极的正交点电接触在线测量及组合制作工艺

10

作者 佟浩 张龙 +1 位作者 李勇 李宝泉 《电加工与模具》 2013年第6期20-23,共4页

为服务于微细电火花加工用微细工具电极在线制作,提出一种正交点电接触标准细棒的微细电极在线测量方法。将电极轴线与标准细棒轴线正交(垂直)布置,通过电极外径与标准细棒外径之间低压电感知的点接触方式,避免或减少标准棒尺寸误差和... 为服务于微细电火花加工用微细工具电极在线制作,提出一种正交点电接触标准细棒的微细电极在线测量方法。将电极轴线与标准细棒轴线正交(垂直)布置,通过电极外径与标准细棒外径之间低压电感知的点接触方式,避免或减少标准棒尺寸误差和安装误差的影响。提出采用自穿孔成形伺服反拷法和线电极磨削法组合工艺,并结合在线测量反馈方式,实现了钨材料微细电极较高效率的在线制作,尺寸可控精度可达±1.5μm。 展开更多

关键词 微细电火花加工 工具电极制作 电接触在线测量 组合工艺

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附加液膜电化学刻蚀法制备微细工具电极的工艺研究

11

作者 吴修娟 王道林 +1 位作者 胡孝昀 王赛甫 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2020年第12期88-92,共5页

为提高微细工具电极的微细程度,提出一种附加液膜电化学刻蚀法制备微细工具电极的新方法,进行相关工艺试验研究。对比试验结果表明,附加液膜电化学刻蚀法制备的工具电极尖端半径均比传统液膜电化学刻蚀法制备的半径小;附加液膜类型对工... 为提高微细工具电极的微细程度,提出一种附加液膜电化学刻蚀法制备微细工具电极的新方法,进行相关工艺试验研究。对比试验结果表明,附加液膜电化学刻蚀法制备的工具电极尖端半径均比传统液膜电化学刻蚀法制备的半径小;附加液膜类型对工具电极尖端半径影响试验结果表明,(胶水)附加液膜制备的工具电极尖端半径尺寸和电极锥度最小,其次为(植物油)附加液膜,最大为(去离子水)附加液膜;而初始半径为250μm的钨棒在附加液膜(胶水)试验中出现特例,这是由于刻蚀时间过长胶水固化而引起的工具电极尖端过腐蚀所导致。 展开更多

关键词 微细工具电极 电化学刻蚀 附加液膜 制备工艺

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微细电火花加工关键技术及工艺研究 被引量：3

12

作者 张勇斌 吉方 +2 位作者 刘广民 张连新 吴祉群 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2011年第2期96-99,共4页

文中基于新研发的一套微细电火花精密加工系统μEDM-50,介绍了研发过程中探索出的最小脉宽可以达纳秒级的微能脉冲电源以及一些针对微细电火花加工的特点形成的特殊工艺。微能脉冲电源具有主动消电离环节,可以减少脉间的残余电荷放电,... 文中基于新研发的一套微细电火花精密加工系统μEDM-50,介绍了研发过程中探索出的最小脉宽可以达纳秒级的微能脉冲电源以及一些针对微细电火花加工的特点形成的特殊工艺。微能脉冲电源具有主动消电离环节,可以减少脉间的残余电荷放电,提高加工表面质量;特殊工艺有利于提高系统的加工精度和效率,提高微细电极的安全性。最后,介绍了一些金属零件上典型的微小特征精密加工实验以及放电沉积实验。该系统加工特征的尺寸范围主要介于数十微米到数毫米内。 展开更多

关键词 微细电火花 微能脉冲电源 工具电极

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亚微米电解加工的试验研究 被引量：3

13

作者 吴修娟 曲宁松 +2 位作者 曾永彬 王玉峰 朱荻 《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期777-781,共5页

为了增强Ag纳米线在亚微米电解加工中的稳定性,对其表面溅射金属Au.Ag纳米线的稳定性试验结果表明,溅射层越厚,Ag纳米线在电解加工环境中的稳定性越好,但是过厚的溅射层会使纳米线发生弯曲.当溅射层厚度约为55 nm时,溅射层不够致密,电... 为了增强Ag纳米线在亚微米电解加工中的稳定性,对其表面溅射金属Au.Ag纳米线的稳定性试验结果表明,溅射层越厚,Ag纳米线在电解加工环境中的稳定性越好,但是过厚的溅射层会使纳米线发生弯曲.当溅射层厚度约为55 nm时,溅射层不够致密,电解加工时亚微米工具电极会发生溶解;当溅射层厚度约为310 nm时,溅射层的内应力过大,亚微米工具电极出现弯曲.因此,采用溅射层厚度约为150 nm的亚微米工具电极进行亚微米电解加工.在浓度为0.1mol/L的H2SO4电解液中,施加电压为4 V、周期为50 ns、脉宽为6 ns的纳秒脉宽脉冲电流,于高温合金试件表面成功加工出亚微米沟槽,沟槽长约30μm,深约80 nm,底部最窄处约为450 nm,入口最宽处约1μm. 展开更多

关键词 微纳电解加工 亚微米电解加工 AG纳米线 工具电极

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基于FPGA的微电阻率扫描成像测井仪极板检测装置设计 被引量：1

14

作者 何小英 谷鹏羊 +1 位作者 吴爱平 唐和佳 《中国测试》 CAS 北大核心 2023年第2期133-138,152,共7页

针对微电阻率扫描成像测井仪极板的出厂检测效率低、现场维修人员占用率高等问题,设计基于FPGA的微电阻率扫描成像测井仪极板检测装置。该检测装置提供极板所需的±5 V电源、时钟信号、复位信号和24路正弦电流信号,使用16位模数转... 针对微电阻率扫描成像测井仪极板的出厂检测效率低、现场维修人员占用率高等问题,设计基于FPGA的微电阻率扫描成像测井仪极板检测装置。该检测装置提供极板所需的±5 V电源、时钟信号、复位信号和24路正弦电流信号,使用16位模数转换器采集极板输出的电压信号,采用FFT算法分析信号包含的频率点及其对应的幅度,采用频率—幅度双参数评判法评判极板功能是否正常,并通过LED灯指示检测结果。测试表明:该检测装置能准确检测极板24路信号频率和幅度,准确评判极板功能正常与否,并直观指示检测结果,可应用于极板出厂时的高效检测以及仪器损坏时的现场检修。 展开更多

关键词 微电阻率扫描成像测井仪 极板检测 FPGA FFT

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微细组合电加工样机研制及实验研究 被引量：2

15

作者 张勇斌 何建国 +3 位作者 李尚政 刘广民 尹青峰 李凡 《机床与液压》 北大核心 2016年第7期6-9,共4页

基于新研发的一套微细组合电加工样机μEM-200CDS2,介绍了研发过程中探索出的最小脉宽可以达纳秒级的双功能微能脉冲电源以及样机中的若干关键技术,包括放电状态的双参数检测技术、工具电极在位多功能磨削技术、工作液稳定供给控制技术... 基于新研发的一套微细组合电加工样机μEM-200CDS2,介绍了研发过程中探索出的最小脉宽可以达纳秒级的双功能微能脉冲电源以及样机中的若干关键技术,包括放电状态的双参数检测技术、工具电极在位多功能磨削技术、工作液稳定供给控制技术等。其中,双功能微能脉冲电源具备主动消电离环节,可以减少脉间的残余电荷放电,有利于提高加工表面质量;组合电加工样机床身设计有利于提高系统的加工精度和效率。最后,结合小孔的加工试验研究了典型的组合电加工工艺过程,结果表明:该过程中,可以并行完成工具电极在位修整与零件加工,有利于提高微小特征的加工效率。 展开更多

关键词 微细加工 微能脉冲电源 工具电极

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基于Ag纳米线的微纳电解加工研究

16

作者 吴修娟 曾永彬 +2 位作者 曲宁松 王玉峰 朱荻 《电加工与模具》 2014年第1期24-27,共4页

采用尖端自组装了Ag纳米线的扫描隧道显微镜探针作为微纳工具电极进行电解加工试验研究。加工过程中发现Ag纳米线与电解液发生反应而溶解。为了使Ag纳米线稳定用于电解加工,对其表面溅射金属Au。试验结果表明,当溅射层厚度为27 nm和55 n... 采用尖端自组装了Ag纳米线的扫描隧道显微镜探针作为微纳工具电极进行电解加工试验研究。加工过程中发现Ag纳米线与电解液发生反应而溶解。为了使Ag纳米线稳定用于电解加工,对其表面溅射金属Au。试验结果表明,当溅射层厚度为27 nm和55 nm时,溅射层不够致密,Ag纳米线仍会发生溶解;当溅射层厚度为310 nm时,过厚的溅射层使Ag纳米线发生弯曲,从而使Ag纳米线与扫描隧道显微镜探针尖端的结合力变小并发生脱落;当溅射层厚度为150 nm和240 nm时,Ag纳米线在电解加工中均能保持稳定。采用溅射层厚度为150 nm的Ag纳米线进行微纳电解加工。在0.1 mol/L的H2SO4电解液中,施加电压4 V、周期50 ns、脉宽6 ns的纳秒脉宽脉冲电流,在高温合金试件表面成功加工出微纳沟槽,沟槽深约110 nm,入口最宽处约1μm。 展开更多

关键词 AG纳米线 微纳工具电极 微纳电解加工 离子溅射

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