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柔性MOF/PVDF隔膜在锂金属电池中的应用
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作者 高星 章邵龙 +5 位作者 程嘉 刘学立 王骆枫 侯伟朋 张蒙茜 叶灵健 《滁州学院学报》 2024年第2期1-5,共5页
利用简单刮涂的方式将四种不同的金属有机骨架材料(MOF)分别与聚偏二氟乙烯(PVDF)复合制备得到柔性MOF/PVDF多孔隔膜,研究其在锂金属电池中对锂离子传输沉积行为的影响。结果表明,MOF基隔膜很好地引导了锂离子在锂金属负极的沉积,另外,... 利用简单刮涂的方式将四种不同的金属有机骨架材料(MOF)分别与聚偏二氟乙烯(PVDF)复合制备得到柔性MOF/PVDF多孔隔膜,研究其在锂金属电池中对锂离子传输沉积行为的影响。结果表明,MOF基隔膜很好地引导了锂离子在锂金属负极的沉积,另外,电极的界面电荷传输性质也得到了改善,界面反应动力学有所提升。在0.5C电流密度下,MOF/PVDF隔膜组装的LTO电池在150圈时的放电容量依旧保持在165~170 mAh g^(-1)左右,相较于普通隔膜电池的157.8 mAh g^(-1)有明显的提升。 展开更多
关键词 金属有机框架材料 隔膜 锂金属电池 锂沉积
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Growth and Characterization of Doped CeO_2 Buffers on Ni-W Substrates for Coated Conductors Using Metal Organic Deposition Method
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作者 王耀 卢亚锋 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2012年第3期471-476,共6页
CeO2 and Ce0.8M0.2O2-d films (M = Mn, Y, Gd, Sm, Nd and La) with (00l) preferred orientation have been prepared on biaxially textured Ni-W substrates by metal organic decomposition (MOD) method. The factors infl... CeO2 and Ce0.8M0.2O2-d films (M = Mn, Y, Gd, Sm, Nd and La) with (00l) preferred orientation have been prepared on biaxially textured Ni-W substrates by metal organic decomposition (MOD) method. The factors influencing the formation of cracks on the surface of these CeO2 and doped CeO2 films on Ni-W substrates were explored by X-ray diffraction (XRD), scanning electron microscopy (SEM) analysis, atomic force microscopy (AFM) and differential scanning calorimetry (DSC). The results indicate that many factors, such as the change of the ionic radii of doping cations, the transformation of crystal structure and the formation of oxygen vacancies in lattices at high annealing temperature, may be related to the formation of cracks on the surface of these films. However, the crack formation shows no dependence on the crystal lattice mismatch degree of the films with Ni-W substrates. Moreover, the suppression of surface cracks is related to the change of intrinsic elasticity of CeO2 film with doping of cations with a larger radius. SEM and AFM investigations of Ce0.8M0.2O2-d (M = Y, Gd, Sm, Nd and La) films reveal the dense, smooth and crack-free microstructure, and their lattice parameters match well with that of YBCO, illuminating that they are potentially suitable to be as buffer layer, especially as cap layer in multi-layer architecture of buffer layer for coated conductors. 展开更多
关键词 coated conductors buffer layer metal organic deposition
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聚苯胺/MIL-101纳米复合材料电极的制备及其电化学性能 被引量:1
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作者 邵亮 王娜娜 +2 位作者 杨百勤 王乾 王晓颖 《陕西科技大学学报》 CAS 2019年第1期71-76,共6页
以苯胺(An)和MIL-101为原料,樟脑磺酸(CSA)为掺杂剂,过硫酸铵(APS)为氧化剂,采用原位聚合的方法制备了聚苯胺/MIL-101纳米复合材料,以ITO电极为基底,通过电泳沉积制备聚苯胺/MIL-101纳米复合材料电极.利用傅立叶红外光谱仪(FT-IR)、X-... 以苯胺(An)和MIL-101为原料,樟脑磺酸(CSA)为掺杂剂,过硫酸铵(APS)为氧化剂,采用原位聚合的方法制备了聚苯胺/MIL-101纳米复合材料,以ITO电极为基底,通过电泳沉积制备聚苯胺/MIL-101纳米复合材料电极.利用傅立叶红外光谱仪(FT-IR)、X-射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)对材料进行表征.采用BET法研究了比表面积,并对其电导率及电化学性能进行了测试.研究结果表明:聚苯胺/MIL-101纳米复合材料的比表面积可达313.41m^2/g;当m_(MIL-101)∶m_(An)=0.4∶1时,电导率最大可达1.421S/cm,且复合材料电极的氧化峰电流达到6.01mA,电荷转移电阻最小. 展开更多
关键词 聚苯胺 金属有机框架 电泳沉积 电化学性能
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金属有机沉积涂层导体La_2Zr_2O_7缓冲层长带制备
4
作者 王耀 李成山 +5 位作者 于泽铭 冯建情 金利华 王辉 许征兵 张平祥 《西安文理学院学报(自然科学版)》 2015年第4期8-11,共4页
采用辊到辊方式利用金属有机沉积(MOD)技术在双轴织构的Ni W合金基带上制备了烧绿石结构的La2Zr2O7(LZO)缓冲层长带样品,利用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)对长带样品不同部位截取短样的织构和表面形貌进行了分析.结果表明,已经制... 采用辊到辊方式利用金属有机沉积(MOD)技术在双轴织构的Ni W合金基带上制备了烧绿石结构的La2Zr2O7(LZO)缓冲层长带样品,利用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)对长带样品不同部位截取短样的织构和表面形貌进行了分析.结果表明,已经制得了具有良好c轴织构且表面光滑的LZO膜.然而长带样品的织构锐利度小于静态短样的织构度,可以认为,热处理过程中影响升温速率以及恒温热处理时间的走带速度是获得高质量长带缓冲层样品的关键因素. 展开更多
关键词 LA2ZR2O7 金属有机沉积 织构 表面形貌 涂层导体 缓冲层
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金属有机沉积法制备La_2CuMnO_6缓冲层薄膜及其结构表征
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作者 马高峰 雷宁 +6 位作者 张国防 郭金亮 白宏斌 冯宝奇 卢亚峰 李成山 闫果 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第16期106-109,共4页
利用热重分析(TG)对化学溶液法前驱体混合物的热分解过程进行研究,确定了预分解温度;利用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)对金属有机沉积法(MOD)合成的La2CuMnO6薄膜的相组成和形貌结构进行了表征。结果表明,选择合适的前驱体La(CH3C... 利用热重分析(TG)对化学溶液法前驱体混合物的热分解过程进行研究,确定了预分解温度;利用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)对金属有机沉积法(MOD)合成的La2CuMnO6薄膜的相组成和形貌结构进行了表征。结果表明,选择合适的前驱体La(CH3COO)3.1.5H2O、Cu(CH3COO)2.1.0H2O、Mn(CH3COO)2.4.0H2O,在1000℃、保温时间3h、SrTiO3(STO)(100)、Ar-4%H2气氛及总离子浓度1.0mol/L的工艺条件下制备的La2CuMnO6薄膜具有很好的c轴织构,薄膜表面较平整、均匀、无裂纹、无孔洞,分布均匀且排列致密,完全满足缓冲层对薄膜的要求。 展开更多
关键词 金属有机沉积 La2CuMnO6缓冲层 制备及结构表征
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金属有机沉积法制备YBCO薄膜的研究进展
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作者 李太广 黄大兴 +4 位作者 商红静 谢波玮 邹琪 古宏伟 丁发柱 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第2期24-34,共11页
钇钡铜氧(YBCO)涂层导体因具有高临界转变温度(Tc)、高临界电流密度(J_(c))和高不可逆场(H_(irr))而成为最有应用前途的超导材料。但是,高昂的生产成本限制了YBCO带材的大规模应用。YBCO带材是在薄金属基带上通过外延生长的方法获得并... 钇钡铜氧(YBCO)涂层导体因具有高临界转变温度(Tc)、高临界电流密度(J_(c))和高不可逆场(H_(irr))而成为最有应用前途的超导材料。但是,高昂的生产成本限制了YBCO带材的大规模应用。YBCO带材是在薄金属基带上通过外延生长的方法获得并具有良好结晶度和机械强度的超导涂层,而不是采用粉末套管法。金属有机沉积技术(MOD)是一种有效的超导层制备方法,与其他方法相比,它具有不需真空设备、可精确调节薄膜组分以及可实现批量生产等优点。因此,MOD在YBCO带材的生产中具有广阔的应用前景。传统MOD是以金属三氟乙酸盐(TFA)为原料,在热解过程中,TFA前驱体薄膜的热分解导致薄膜厚度急剧减小,薄膜内应力增加。为了避免薄膜龟裂,原始的热解时间需要10~20 h,漫长的热解时间不符合带材的低成本制备要求。因此,研究人员不断改进MOD工艺,在确保YBCO薄膜超导性能的同时大幅缩短了热处理时间。随着研究人员对MOD工艺的不断改善,MOD工艺经历了从传统三氟乙酸盐-金属有机沉积法(TFA-MOD)到低氟三氟乙酸盐-金属有机沉积法(LF-MOD),再到无氟-金属有机沉积法(FF-MOD)的发展变化。目前,通过调节FF-MOD结晶过程的温度和氧分压,YBCO薄膜的外延生长速率已经达到100 nm/s。此外,近年来通过缩小第二相纳米颗粒尺寸来提高YBCO薄膜磁通钉扎性能的研究取得了长足进展。研究人员通过两步加热工艺和制备纳米颗粒的胶体溶液,成功将第二相纳米颗粒的尺寸减小到10~15 nm,Jc(77 K,1 T)从0.1 MA/cm^(2)增大到0.45 MA/cm^(2)。本文按照金属有机沉积法制备YBCO薄膜的发展路径综述了TFA-MOD、LF-MOD和FF-MOD的研究进展,并在此基础上对近年来化学溶液法制备长带和提高YBCO薄膜磁通钉扎性能的主要研究进行了综述和展望。 展开更多
关键词 钇钡铜氧 金属有机沉积法 带材 磁通钉扎 第二相纳米颗粒细化
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高温超导带材用YBCO前驱体的热分解非等温动力学研究
7
作者 洪成哲 赵兴明 +3 位作者 王天林 金秀英 金秀吉 祁阳 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第9期9147-9152,共6页
基于金属有机物沉积法制备YBCO高温超导带材的研究现状,为了探索涂层导体超导层的快速制备工艺,开展了超导层前驱体的热分解动力学研究。在氩气条件下利用同步热分析仪获得丙酸为溶剂、乙酸盐为溶质的前驱体热分解过程的TG-DTG-DSC-MS曲... 基于金属有机物沉积法制备YBCO高温超导带材的研究现状,为了探索涂层导体超导层的快速制备工艺,开展了超导层前驱体的热分解动力学研究。在氩气条件下利用同步热分析仪获得丙酸为溶剂、乙酸盐为溶质的前驱体热分解过程的TG-DTG-DSC-MS曲线,采用普适积分法、微分法以及多重速率扫描Kissinger法相结合的方式确定YBCO超导相合成反应的机理和相关动力学参数。结果表明,从室温~900℃的升温过程中,前驱体的热分解反应可分为4个阶段。其中,第4阶段的YBCO超导相合成反应过程服从随机成核和随后生长的机理模型(n=2),热分解反应动力学补偿效应为lnA=0.120E-2.699。 展开更多
关键词 高温超导带材 MOD法 前驱体 非等温动力学 补偿效应
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Roles of humidity and heat treatment temperatures on YBa_2Cu_3O_(7-x) coated conductors by trifluoroacetic acid-metal organic deposition process
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作者 Seok-Hern JANG Jun-Hyung LIM +7 位作者 Chang-Min LEE Eui-Cheol PARK Soo-Min HWANG Jun-Hyuk CHOI Jong-Hyun SHIM Jin-Hyun PARK Won KIM Jinho JOO 《中国有色金属学会会刊:英文版》 EI CSCD 2009年第4期956-960,共5页
YBa2Cu3O7-x(YBCO) films were fabricated on an LAO substrate using the trifluoroacetic acid-metal organic deposition(TFA-MOD) method and the effects of the humidity and heat treatment temperatures on the microstructure... YBa2Cu3O7-x(YBCO) films were fabricated on an LAO substrate using the trifluoroacetic acid-metal organic deposition(TFA-MOD) method and the effects of the humidity and heat treatment temperatures on the microstructure,degree of texture and critical properties of the films were evaluated.In order to understand the combined effects of the humidity and the calcining and firing temperatures on critical properties,heat-treatment was performed at various temperatures with the other processing variables fixed.The films were calcined at 400-430 ℃ and fired at 750-800 ℃ in a 0-12.1% humidified Ar-O2 atmosphere.The texture was determined by pole-figure analysis.The amount of the BaF2 phase was effectively reduced and a sharp and strong biaxial texture was formed under a humidified atmosphere,which led to increased critical properties.In addition,the microstructure varied significantly with firing temperature but changed little with calcining temperature.The highest IC of 40 A/cm-width,which corresponds to JC value of 1.8 MA/cm2,was obtained for the films fired at 775 ℃(in 12.1% humidity) after calcining at 400-430 ℃.It is likely that the highest IC value is due to the formation of a more pure YBCO phase,c-axis grains,and a denser microstructure. 展开更多
关键词 YBA2CU3O7 热处理温度 三氟乙酸 沉积过程 湿度 涂层导体 有机金属 微观结构变化
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p型氮化镓的低温生长及发光二极管器件的研究 被引量:22
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作者 刘乃鑫 王怀兵 +3 位作者 刘建平 牛南辉 韩军 沈光地 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期1424-1429,共6页
采用金属有机物化学气相淀积技术(MOCVD)在蓝宝石衬底上低温(870—980℃)生长p型氮化镓(p-GaN).用Hall测试仪测量材料的电学性能,发现当温度低于900℃时,材料的电阻率较高;在900—980℃均可获得导电性能良好的p-GaN.另外,电导性能除与... 采用金属有机物化学气相淀积技术(MOCVD)在蓝宝石衬底上低温(870—980℃)生长p型氮化镓(p-GaN).用Hall测试仪测量材料的电学性能,发现当温度低于900℃时,材料的电阻率较高;在900—980℃均可获得导电性能良好的p-GaN.另外,电导性能除与掺杂浓度有关,还与p-GaN生长条件有关,氮镓摩尔比过低导电性能就较差,过高则会引起表面粗糙.采用优化后的p-GaN制作了绿光发光二极管器件,发现生长温度越低器件发光强度越高,反向电压也越高,但正向电压只是略有升高. 展开更多
关键词 Ⅲ-Ⅴ族半导体 氮化镓 发光二极管 金属有机物化学气相淀积
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MOCVD法以NO气体为掺杂源生长p型ZnO薄膜 被引量:13
10
作者 徐伟中 叶志镇 +3 位作者 周婷 赵炳辉 朱丽萍 黄靖云 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期38-41,共4页
采用金属有机化学气相沉积方法在玻璃上生长了掺氮的低电阻p型ZnO薄膜 .实验使用NO和N2 O共同作为氧源 ,且NO同时作为掺氮源 ,二乙基锌作为锌源 .X射线衍射测试表明薄膜具有c轴择优取向的结构特性 ,二次离子质谱分析证实了氮被掺入了Zn... 采用金属有机化学气相沉积方法在玻璃上生长了掺氮的低电阻p型ZnO薄膜 .实验使用NO和N2 O共同作为氧源 ,且NO同时作为掺氮源 ,二乙基锌作为锌源 .X射线衍射测试表明薄膜具有c轴择优取向的结构特性 ,二次离子质谱分析证实了氮被掺入了ZnO薄膜 .通过优化锌源流量获得了最高空穴浓度为 1 97× 10 18cm-3 ,最低电阻率为 3 0 展开更多
关键词 P型 ZNO 金属有机化学气相沉积
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金属有机化学气相沉积反应器技术及进展 被引量:11
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作者 许效红 王民 +2 位作者 侯云 周爱秋 王弘 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期410-413,共4页
简要介绍了金属有机化学气相沉积反应器技术的发展 ,描述了几种典型反应器的结构和过程特点 ,讨论了反应器的设计。
关键词 气相沉积 反应器 金属有机化学 薄膜材料 MOCVD 结构 设计 优化
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LP-MOCVD异质外延ZnO薄膜中的应力及对缺陷的影响 被引量:16
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作者 孙贤开 林碧霞 +2 位作者 朱俊杰 张杨 傅竹西 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期2899-2903,共5页
利用低压金属有机化学气相淀积(LP MOCVD)在Si基片上外延生长ZnO薄膜,制备了两类样品一类是在Si上直接外延ZnO,另一类是在Si上通过SiC过渡层来外延ZnO.根据两类样品的拉曼光谱、x射线衍射、原子力显微图和光致发光的结果,表明ZnO外延薄... 利用低压金属有机化学气相淀积(LP MOCVD)在Si基片上外延生长ZnO薄膜,制备了两类样品一类是在Si上直接外延ZnO,另一类是在Si上通过SiC过渡层来外延ZnO.根据两类样品的拉曼光谱、x射线衍射、原子力显微图和光致发光的结果,表明ZnO外延薄膜中的张应力对薄膜的结晶状况有着重要的影响,使用SiC过渡层能够有效缓解ZnO薄膜中的张应力,减小缺陷浓度,提高ZnO外延层的质量;然后根据缺陷的形成机制进一步提出,对于ZnO Si,其中较大的张应力导致了高浓度的非辐射复合缺陷的形成,使得样品的紫外和绿峰的发射强度均大大降低;对于ZnO SiC Si,其中较小的张应力导致ZnO薄膜中主要形成氧替位缺陷OZn,从而使发光中的绿峰增强. 展开更多
关键词 氧化锌薄膜 外延应力 拉曼光谱 结构缺陷
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808nm大功率无铝有源区非对称波导结构激光器 被引量:18
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作者 仲莉 王俊 +6 位作者 冯小明 王勇刚 王翠鸾 韩琳 崇锋 刘素平 马骁宇 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1037-1042,共6页
采用分别限制非对称波导结构,将光场从对称分布变为非对称分布,降低了载流子光吸收损耗,并允许p型区具有更高的掺杂水平,从而使器件电阻降低。对GaAsP/GaInP张应变单量子阱(SQW)非对称波导结构激光器的光场特性进行了理论分析,设计了... 采用分别限制非对称波导结构,将光场从对称分布变为非对称分布,降低了载流子光吸收损耗,并允许p型区具有更高的掺杂水平,从而使器件电阻降低。对GaAsP/GaInP张应变单量子阱(SQW)非对称波导结构激光器的光场特性进行了理论分析,设计了波导层厚度,并制作了波长为808 nm的无铝有源区大功率半导体激光器.器件综合特性测试结果为:腔长900μm器件的阈值电流密度典型值为400 A/cm^2,内损耗低至1.0 cm^-1;连续工作条件下,150μm条宽器件输出功率达到6 W,最大斜率效率为1.25 W/A.器件激射波长为807.5 nm,平行和垂直结的发散角分别为3.0°和34.8°。20~70℃范围内特征温度达到133 K。结果表明,分别限制非对称波导结构是降低内损耗,提高大功率半导体激光器特性的有效措施。 展开更多
关键词 激光器 非对称波导 GaAsP/GaInP张应变量子阱 金属有机化学气相外延
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碳纤维表面α-Fe的MOCVD生长制备及吸波性能研究 被引量:13
14
作者 刘渊 刘祥萱 +1 位作者 陈鑫 王煊军 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期1328-1332,共5页
以Fe(CO)5为前驱体,通过金属有机化学气相沉积((MOCVD))工艺在碳纤维(CF)表面沉积连续α-Fe膜,从而制得CF@Fe复合材料。用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和矢量网络分析仪对粉末的结构及电磁性能进行表征,并对其吸波性能进行研究。结果表... 以Fe(CO)5为前驱体,通过金属有机化学气相沉积((MOCVD))工艺在碳纤维(CF)表面沉积连续α-Fe膜,从而制得CF@Fe复合材料。用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和矢量网络分析仪对粉末的结构及电磁性能进行表征,并对其吸波性能进行研究。结果表明:碳纤维表面沉积的膜层为纯α-Fe相,厚度约为0.7μm,沉积薄膜比较均匀完整地覆盖在碳纤维表面,没有裂纹、孔洞等明显缺陷;碳纤维表面沉积α-Fe膜后,其电磁性能发生了明显改变,吸波能力有了较好改善;利用测得的同轴环样品的电磁参数,模拟计算出CF及CF@Fe涂层在厚度d=2 mm条件下的反射率曲线,可以看出,沉积连续α-Fe膜后使得样品的吸收峰向高频移动,最小反射率峰值减小,小于10 dB的频宽增加4.2 GHz。 展开更多
关键词 羰基铁 金属有机化学气相沉积 碳纤维 吸波性能
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PET柔性衬底上生长绒面ZnO-TCO薄膜及其在薄膜太阳电池中的应用 被引量:12
15
作者 林泉 陈新亮 +4 位作者 倪牮 张德坤 孙建 赵颖 耿新华 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期714-717,共4页
利用低压金属有机化学气相沉积(LP-MOCVD)技术在PET柔性衬底上低温生长绒面结构ZnO-TCO薄膜,DEZn和H2O作为源材料,B2H6作为掺杂剂。详细研究了薄膜掺杂流量对ZnO薄膜微观结构以及光电性能影响。优化获得的PET/ZnO:B薄膜厚约为1500 nm时... 利用低压金属有机化学气相沉积(LP-MOCVD)技术在PET柔性衬底上低温生长绒面结构ZnO-TCO薄膜,DEZn和H2O作为源材料,B2H6作为掺杂剂。详细研究了薄膜掺杂流量对ZnO薄膜微观结构以及光电性能影响。优化获得的PET/ZnO:B薄膜厚约为1500 nm时,绒面结构PET/ZnO薄膜的方块电阻约为10Ω,可见光及近红外范围平均透过率达80%。初步应用于a-Si薄膜电池,电池结构为PET/ZnO-TCO/pin-a-Si/Al,电池的转换效率可达6.3%。 展开更多
关键词 金属有机化学气相沉积(MOCVD) PET柔性衬底 ZnO-TCO薄膜 薄膜太阳电池
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用MOCVD法制备TiO_2/Fe_2O_3双包覆层珠光颜料 被引量:5
16
作者 章娴君 王显祥 郑慧雯 《西南师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期247-250,共4页
研究了在常压喷动流化反应器中 ,以金属有机化学气相沉积 (MOCVD)法制备双包覆层珠光颜料的工艺 .实验结果表明 :以Ti(OC2 H5) 4 为物源 ,在有氧情况下用高纯氮气作为载气 ,沉积温度为 30 0℃时 ,沉积的TiO2 膜晶形为锐钛型 ,温度升高至... 研究了在常压喷动流化反应器中 ,以金属有机化学气相沉积 (MOCVD)法制备双包覆层珠光颜料的工艺 .实验结果表明 :以Ti(OC2 H5) 4 为物源 ,在有氧情况下用高纯氮气作为载气 ,沉积温度为 30 0℃时 ,沉积的TiO2 膜晶形为锐钛型 ,温度升高至 5 0 0℃时 ,TiO2 膜晶形为金红石型 ,且包覆致密 .在此基础上控制不同的包覆时间 ,再包覆以Fe2 O3 为主的铁氧化物 ,可获得橘红。 展开更多
关键词 MOCVD法 制备 金属有机化学气相沉积 珠光颜料 双包覆层 喷动流化床
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退火对Ga_2O_3薄膜特性的影响 被引量:11
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作者 马征征 董鑫 +2 位作者 庄仕伟 许恒 胡大强 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期606-610,共5页
采用金属有机物化学气相沉积法在c面蓝宝石衬底上生长了高质量的β-Ga_2O_3薄膜,并将样品分别在真空、氧气、氮气氛围下退火30 min,研究了各类退火工艺对Ga_2O_3薄膜特性的影响,对退火所得的薄膜进行了X射线衍射、光致发光谱、紫外透射... 采用金属有机物化学气相沉积法在c面蓝宝石衬底上生长了高质量的β-Ga_2O_3薄膜,并将样品分别在真空、氧气、氮气氛围下退火30 min,研究了各类退火工艺对Ga_2O_3薄膜特性的影响,对退火所得的薄膜进行了X射线衍射、光致发光谱、紫外透射谱和原子力显微镜扫描的研究。结果表明,各类退火工艺均能够优化薄膜的晶体质量和表面形貌,同时有效改善了薄膜的光学性质。其中,氧气退火后的样品在可见光波段透射率高达83%,且吸收边更加陡峭;表面粗糙度降至0.564 nm,其表面更为平整。这些结果说明氧气退火对晶体质量的提高最为显著。氮气、真空退火的样品在光致发光谱中出现365 nm的发光峰,这是大量氧空位的存在导致的。 展开更多
关键词 氧化镓 退火 蓝宝石衬底 金属有机物化学气相沉积法
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低阈值高效率InAlGaAs量子阱808nm激光器 被引量:9
18
作者 李建军 韩军 +2 位作者 邓军 邹德恕 沈光地 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期1159-1162,共4页
以Al0.3Ga0.7As/InAlGaAs/Al0.3Ga0.7As压应变量子阱代替传统的无应变量子阱作为有源区,实现降低808 nm半导体激光器的阈值电流,并提高器件的效率。首先优化设计了器件结构,并利用金属有机物化学气相淀积(MOCVD)进行了器件的外延生长。... 以Al0.3Ga0.7As/InAlGaAs/Al0.3Ga0.7As压应变量子阱代替传统的无应变量子阱作为有源区,实现降低808 nm半导体激光器的阈值电流,并提高器件的效率。首先优化设计了器件结构,并利用金属有机物化学气相淀积(MOCVD)进行了器件的外延生长。通过优化外延生长条件,保证了5.08 cm片内的量子阱(QW)光致发光(PL)光谱峰值波长均匀性达0.1%。对于条宽为50μm,腔长为750μm的器件,经镀膜后的阈值电流为81mA,斜率效率为1.22 W/A,功率转换效率达53.7%。变腔长实验得到器件的腔损耗仅为2 cm-1,内量子效率达90%。结果表明,压应变量子阱半导体激光器具有更优异的特性。 展开更多
关键词 激光器 InAlGaAs量子阱 金属有机物化学气相淀积
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用于日盲波段的MgZnO薄膜材料和紫外探测器 被引量:8
19
作者 张吉英 蒋大勇 +3 位作者 鞠振刚 申德振 姚斌 范希武 《中国光学与应用光学》 2008年第1期80-84,共5页
考虑ZnO优秀的物理和化学性能以及由于生长温度低而具有更低的缺陷密度从而易于实现高的光电器件效率等特点,本文采用射频磁控溅射和金属有机化学汽相沉积(MOCVD)方法在石英及蓝宝石衬底上生长了立方结构MgZnO薄膜,制备了MgZnO的MSM型... 考虑ZnO优秀的物理和化学性能以及由于生长温度低而具有更低的缺陷密度从而易于实现高的光电器件效率等特点,本文采用射频磁控溅射和金属有机化学汽相沉积(MOCVD)方法在石英及蓝宝石衬底上生长了立方结构MgZnO薄膜,制备了MgZnO的MSM型紫外探测器。该器件实现了在日盲(太阳盲)波段的光响应,典型的光响应峰值分别在225和250 nm,截止边为230和273 nm。 展开更多
关键词 MgZnO薄膜 射频磁控溅射 金属有机化学汽相沉积 日盲紫外探测器
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GaN基材料及其外延生长技术研究 被引量:7
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作者 刘一兵 黄新民 刘国华 《微纳电子技术》 CAS 2008年第3期153-157,共5页
介绍了GaN基材料的基本特性、三种主要外延生长技术(MOCVD、MBE、HVPE)、衬底材料的选择及缓冲层技术;分析得出目前存在的GaN体单晶技术不完善、外延成本高、衬底缺陷及接触电阻大等主要问题制约了研究的进一步发展;指出今后的研究重点... 介绍了GaN基材料的基本特性、三种主要外延生长技术(MOCVD、MBE、HVPE)、衬底材料的选择及缓冲层技术;分析得出目前存在的GaN体单晶技术不完善、外延成本高、衬底缺陷及接触电阻大等主要问题制约了研究的进一步发展;指出今后的研究重点是完善GaN体单晶材料的生长工艺,以利于深入研究GaN的物理特性及有效地解决衬底问题,研究缓冲层的材料、厚度、组分等以提高GaN薄膜质量。 展开更多
关键词 氮化镓 金属有机物化学气相淀积 分子束外延 氢化物气相外延 缓冲层
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