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溶胶凝胶旋转涂敷技术制备ZnO∶In薄膜的结构特性 被引量:8
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作者 兰伟 刘雪芹 +3 位作者 黄春明 唐国梅 杨扬 王印月 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期748-752,共5页
采用溶胶凝胶法,结合旋转涂敷技术在石英衬底上制备了210—240nm厚度的ZnO∶In薄膜.使用掠角入射X射线衍射(GI_XRD)、常规X射线衍射、傅里叶变换红外光谱、原子力显微镜、光致发光谱以及不同入射角GI_XRD谱(α=1,2,3和5°)等手段,... 采用溶胶凝胶法,结合旋转涂敷技术在石英衬底上制备了210—240nm厚度的ZnO∶In薄膜.使用掠角入射X射线衍射(GI_XRD)、常规X射线衍射、傅里叶变换红外光谱、原子力显微镜、光致发光谱以及不同入射角GI_XRD谱(α=1,2,3和5°)等手段,对不同掺杂浓度的ZnO∶In薄膜进行了结构分析.发现ZnO∶In薄膜内部是由大尺寸(002)晶向的无应力ZnO晶粒堆积而成,而薄膜表面主要是小尺寸的(002)和(103)晶粒,并且适量的In掺杂能有效改善ZnO薄膜内部的晶体结构特性. 展开更多
关键词 ZnO:In薄膜 晶体结构 掠角入射x射线衍射 溶胶凝胶法
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金属表面氧化法表征高阻隔特性液晶聚合物膜的透氧性 被引量:4
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作者 王明乐 吴晓华 刘剑 《包装工程》 CAS CSCD 北大核心 2010年第11期1-5,15,共6页
利用原位掠入射X射线衍射(GIXRD)方法和显微观察法,研究了涂液晶聚合物膜的金属表面氧化腐蚀情况,根据金属表面的氧化速度计算了聚合物膜的氧气渗透性能。实验测得金属表面GIXRD衍射峰强度随氧化时间的延长不断减弱。在X射线入射深度内... 利用原位掠入射X射线衍射(GIXRD)方法和显微观察法,研究了涂液晶聚合物膜的金属表面氧化腐蚀情况,根据金属表面的氧化速度计算了聚合物膜的氧气渗透性能。实验测得金属表面GIXRD衍射峰强度随氧化时间的延长不断减弱。在X射线入射深度内,利用显微镜原位观察得到了金属表面氧化物的面积,结合X射线能谱仪(EDS)测得的氧化物中氧含量,得到液晶聚合物膜的氧气渗透率在10-2cm3/(m2.d)数量级。 展开更多
关键词 掠入射x射线衍射 液晶聚合物 阻隔性 渗透率
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Charge transport in monolayer poly(3-hexylthiophene) thin-film transistors 被引量:1
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作者 许宗祥 Roy V.A.L 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第4期700-703,共4页
It is found that ultrathin poly(3-hexylthiophene) (P3HT) film with a 2.5 nm-thick layer exhibits a higher mobility of 5.0× 10-2 cm2/V-s than its bulk counterpart. The crystalline structure of the as-fabricate... It is found that ultrathin poly(3-hexylthiophene) (P3HT) film with a 2.5 nm-thick layer exhibits a higher mobility of 5.0× 10-2 cm2/V-s than its bulk counterpart. The crystalline structure of the as-fabricated ultrathin P3HT layer is verified by atomic force microscopy as well as grazing incidence X-ray diffraction. Transient measurements of the as-fabricated transistors reveal the influence of the interface traps on charge transport. These results are explained by the trap energy level distribution at the interface manipulated by layers of polymer film. 展开更多
关键词 field-effect transistor monolayer P3HT spin coating grazing incidence x-ray diffraction
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La_(0.7)Ca_(0.3)MnO_3簿膜的掠入射X射线衍射研究
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作者 谭伟石 蔡宏灵 +5 位作者 吴小山 蒋树声 贾全杰 郭立平 何庆 高矩 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第12期914-918,共5页
利用90°离轴射频磁控溅射方法将La_(0.7)Ca_(0.3)MnO_3(LCMO)沉积于(001)取向的SrTiO_3(STO)、MgO和α-Al_2O_3(ALO)单晶基片上,薄膜厚度均为500A。通过掠入射X射线衍射技术测量了LCMO薄膜的横向晶格常数(即面内晶格常数),结合常规... 利用90°离轴射频磁控溅射方法将La_(0.7)Ca_(0.3)MnO_3(LCMO)沉积于(001)取向的SrTiO_3(STO)、MgO和α-Al_2O_3(ALO)单晶基片上,薄膜厚度均为500A。通过掠入射X射线衍射技术测量了LCMO薄膜的横向晶格常数(即面内晶格常数),结合常规X射线衍射研究了LCMO薄膜的晶格应变及其弛豫情况。结果表明,LCMO薄膜在MgO和ALO基片上的应变弛豫临界厚度很小,这可能与薄膜—基片之间高的晶格失配率有关。LCMO薄膜的应变弛豫与四方畸变的弛豫可能具有不同的机制。利用掠入射X射线衍射对LCMO薄膜面内生长取向的研究给出了与利用电子显微技术研究相同的结果。 展开更多
关键词 La07Ca0.3MnO3薄膜 掠入射x射线衍射 应变弛豫 面内晶格常数
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聚焦光系统的X衍射仪对薄膜样品的掠入射衍射研究 被引量:1
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作者 汤云晖 王波 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2020年第1期109-112,共4页
采用常规的聚焦光源衍射仪—岛津XRD-7000型,设定θ轴为固定轴、2θ轴为转动轴进行掠入射测量。实验发现,采用常规衍射仪进行掠入射X衍射,操作方便、衍射强度高于平行光源的专用掠入射衍射仪;除了表层物相的粒度外,同样可以得到物相、... 采用常规的聚焦光源衍射仪—岛津XRD-7000型,设定θ轴为固定轴、2θ轴为转动轴进行掠入射测量。实验发现,采用常规衍射仪进行掠入射X衍射,操作方便、衍射强度高于平行光源的专用掠入射衍射仪;除了表层物相的粒度外,同样可以得到物相、晶胞参数等精确信息。其独特之处在于可以区分表层和非表层的物相,尤其是对挨得很近、难以分开的两个物相。该方法适于掠入射角<2°的超表面物相分析。 展开更多
关键词 薄膜 x衍射仪 掠入射 聚焦光系统
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高质量GaN/Al_2O_3薄膜的三晶高分辨X射线衍射研究
6
作者 肖祁陵 张萌 王立 《功能材料与器件学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期524-528,共5页
通过对常压MOCVD工艺下制备的GaN/A l2O3两种样品的X射线衍射分析,利用不同的掠入射角及倾斜ω扫描,精确测量了GaN薄膜的晶体结构和位错密度,据此提出了一种表征薄膜纵向位错密度的新方法。结果表明实验制备的GaN薄膜具有相当一致的c轴... 通过对常压MOCVD工艺下制备的GaN/A l2O3两种样品的X射线衍射分析,利用不同的掠入射角及倾斜ω扫描,精确测量了GaN薄膜的晶体结构和位错密度,据此提出了一种表征薄膜纵向位错密度的新方法。结果表明实验制备的GaN薄膜具有相当一致的c轴取向,对称衍射(002)面ω扫描半峰宽分别为229.8arcsec、225.7 arcsec;同时,根据倾斜对称ω扫描半峰宽分析认为样品A、B的位错密度分别约为4.0801×108/cm2,5.8724×108/cm2,其样品A的位错密度小于样品B,但PL谱给出样品A的发光效率低于样品B;而根据不同的掠入射ω扫描推断出样品A的位错密度大于样品B,与相应的发光性能吻合。 展开更多
关键词 GAN 高分辨x射线衍射 位错密度 掠入射
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ZnO薄膜的同质外延生长及其结构表征 被引量:1
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作者 陈香存 陈铁锌 潘国强 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期390-393,共4页
利用等离子体辅助分子束外延的方法在ZnO单晶衬底上制备了ZnO薄膜。利用X射线衍射(XRD)、同步辐射掠入射XRD和φ扫描等实验技术研究了ZnO薄膜的结构。XRD和φ扫描的结果显示同质外延的ZnO薄膜已经达到单晶水平。掠入射XRD结果表明ZnO薄... 利用等离子体辅助分子束外延的方法在ZnO单晶衬底上制备了ZnO薄膜。利用X射线衍射(XRD)、同步辐射掠入射XRD和φ扫描等实验技术研究了ZnO薄膜的结构。XRD和φ扫描的结果显示同质外延的ZnO薄膜已经达到单晶水平。掠入射XRD结果表明ZnO薄膜内部不同深度处a方向的晶格弛豫是不一致的,从接近衬底界面处到薄膜的中间部分再到薄膜的表面处,a方向的晶格常数分别为0.3249,0.3258和0.3242 nm。计算得到ZnO薄膜的泊松比为0.156,同质外延的ZnO薄膜与衬底在a轴方向的晶格失配度为-0.123%。 展开更多
关键词 等离子体辅助分子束处延 氧化锌 掠入射x射线衍射
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亚音速火焰喷涂钛-生物玻璃涂层组织与性能研究 被引量:1
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作者 庄明辉 李慕勤 吕迎 《佳木斯大学学报(自然科学版)》 CAS 2009年第3期395-397,401,共4页
采用亚音速火焰喷涂方法及涂层处理技术,以Ti6Al4V为基体,喷涂钛-生物玻璃,涂层经700℃晶化处理.用扫描电子显微镜(SEM)观察涂层显微结构,X射线衍射法(XRD)测试涂层相组成,采用基于GIXRD的残余应力分析方法测量涂层残余应力.结果表明:... 采用亚音速火焰喷涂方法及涂层处理技术,以Ti6Al4V为基体,喷涂钛-生物玻璃,涂层经700℃晶化处理.用扫描电子显微镜(SEM)观察涂层显微结构,X射线衍射法(XRD)测试涂层相组成,采用基于GIXRD的残余应力分析方法测量涂层残余应力.结果表明:亚音速火焰喷涂钛-生物玻璃涂层沿裂纹处有晶态析出物TiO2,起到弥合裂纹的作用.添加生物玻璃G后,涂层表面有针状结构晶体Na2Ti6O13析出,新相Na2Ti6O13具有一定的有生物活性.涂层残余应力均为压应力,其值与生物玻璃含量成正比. 展开更多
关键词 亚音速火焰喷涂 生物玻璃 残余应力 掠入射x射线衍射技术
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高速火焰喷涂钛-生物玻璃涂层残余应力分析 被引量:1
9
作者 李慕勤 庄明辉 +1 位作者 尹柯 王军 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期65-67,共3页
采用高速火焰喷涂方法及涂层处理技术,以Ti6Al4V为基体,喷涂钛-生物玻璃(G),涂层经700℃晶化处理.采用基于掠入射X射线衍射分析(GIXRD)的残余应力分析方法测量涂层残余应力.高速火焰喷涂Ti/G涂层晶化处理后产生的残余应力均为压应力,其... 采用高速火焰喷涂方法及涂层处理技术,以Ti6Al4V为基体,喷涂钛-生物玻璃(G),涂层经700℃晶化处理.采用基于掠入射X射线衍射分析(GIXRD)的残余应力分析方法测量涂层残余应力.高速火焰喷涂Ti/G涂层晶化处理后产生的残余应力均为压应力,其值与生物玻璃含量成正比,与添加底釉生物玻璃粒度有关,G尺寸较大时,粒子飞行携带动能较大,产生残余压应力较大.结果表明,涂层的残余压应力是由于高速火焰喷涂速度快,粒子所带动能大,在涂层表面造成喷射冲击现象,形成喷射冲击残余压应力,这对提高涂层结合强度起到积极作用. 展开更多
关键词 高速火焰喷涂 生物玻璃 残余应力 掠入射x射线衍射技术
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Al_2O_3基陶瓷表面斑点及其析出相的表征
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作者 刘虹志 彭家根 +1 位作者 杨松 吕平 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期1782-1787,共6页
95%Al_2O_3陶瓷高温烧结后表面斑点的表征与控制对于绝缘陶瓷沿面闪络耐压性能的提高至关重要。为分析和鉴定95%Al_2O_3陶瓷表面暗斑区未知物相和化学成分,采用掠入射X射线衍射技术、飞行时间–二次离子质谱仪并结合扫描电子显微镜/能... 95%Al_2O_3陶瓷高温烧结后表面斑点的表征与控制对于绝缘陶瓷沿面闪络耐压性能的提高至关重要。为分析和鉴定95%Al_2O_3陶瓷表面暗斑区未知物相和化学成分,采用掠入射X射线衍射技术、飞行时间–二次离子质谱仪并结合扫描电子显微镜/能谱仪技术对95%Al_2O_3陶瓷表面暗斑进行了研究。结果表明:与正常区相比,暗斑区除α-Al_2O_3外,还形成了(Na,K)AlSi_3O_8和Ca_2Al_2SiO_7铝硅酸盐相,暗斑区Si、Ca含量降低而K、Na、Fe富集。元素含量的变化促进了铝硅酸盐相的析出,进而导致95%Al_2O_3陶瓷表面暗斑的产生。 展开更多
关键词 氧化铝陶瓷 暗斑 掠入射x射线衍射 飞行时间–二次离子质谱仪 铝硅酸盐
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扩镁铌酸锂表层的富MgO层特性
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作者 阙文修 姚熹 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第4期446-450,共5页
利用常规X射线衍射、掠入射X射线衍射和差热分析,对扩镁铌酸锂表层的富MgO层特性进行了分析,提示出在富MgO层具有一种未能确认的化合物和MgNb_2O_6的物相结构。MgNb_2O_6出现在富MgO层的近表层,而未知化合... 利用常规X射线衍射、掠入射X射线衍射和差热分析,对扩镁铌酸锂表层的富MgO层特性进行了分析,提示出在富MgO层具有一种未能确认的化合物和MgNb_2O_6的物相结构。MgNb_2O_6出现在富MgO层的近表层,而未知化合物在次表层,且它们都具有明显的取向性。这些扩镁铌酸锂单晶的Curie温度先随扩散时间的增长而降低,但与扩散时间超过一定限度后又开始升高,并且出现另一个相变点,这可能是富MgO层中未知化合物的相变点。利用阳离子空位理论模型较好地解释了Curie温度变化的异常现象。 展开更多
关键词 镁离子 铌酸锂 晶体 掺杂 氧化镁 折射率
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有机聚合物P3HT/PCBM薄膜的同步辐射掠入射X射线衍射
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作者 杨迎国 郑官豪杰 +3 位作者 季庚午 冯尚蕾 李晓龙 高兴宇 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第2期1-8,共8页
以聚己基噻吩(poly(3-hexyl-thiophene),P3HT)为电子给体材料和富勒烯的衍生物([6,6]-phenyl C61-butyric acid methyl ester,PCBM)为电子受体材料的有机光伏器件,其活性层中P3HT的结构有序性是制约器件光电转换性能的重要因素。本文采... 以聚己基噻吩(poly(3-hexyl-thiophene),P3HT)为电子给体材料和富勒烯的衍生物([6,6]-phenyl C61-butyric acid methyl ester,PCBM)为电子受体材料的有机光伏器件,其活性层中P3HT的结构有序性是制约器件光电转换性能的重要因素。本文采用同步辐射掠入射X射线衍射(Grazing Incidence X-ray Diffraction,GIXRD)方法,研究有机聚合物P3HT/PCBM薄膜经过不同的温度退火后P3HT在薄膜中不同深度处的微结构变化。一维面外GIXRD实验结果表明:退火处理使大量的PCBM分子扩散至薄膜表层,从而增大了薄膜表层P3HT分子edge-on结构的层间距和改善了晶粒倾斜程度;退火处理使得薄膜内部P3HT分子edge-on结构结晶性和有序性得到明显改善。然而,退火处理并没有明显增加薄膜表层和薄膜/衬底界面处的P3HT分子edge-on结构的结晶性。二维GIXRD实验结果表明:退火处理可以明显增加薄膜中P3HT分子edge-on结构结晶性、有序性以及晶粒取向的广泛分布;退火处理也使薄膜沿面内方向出现了结晶性较好的face-on结构。以上结果揭示出退火处理有利于薄膜表面、内部以及薄膜/衬底界面处形成更多且更有序的微相异质节和二维电荷传输通道,大大增强光生激子的分离效率和载流子沿P3HT分子链的迁移速率,这对理解退火处理提高P3HT/PCBM薄膜光伏器件的光电转换性能具有重要意义。 展开更多
关键词 同步辐射掠入射x射线衍射 P3HT PCBM薄膜 Edge-on结构 Face-on结构
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SrTiO_3薄膜的掠入射X射线衍射研究
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作者 翟章印 《淮阴师范学院学报(自然科学版)》 CAS 2011年第1期22-25,共4页
采用掠入射X射线衍射技术研究了外延SrTiO3薄膜面内晶格应变随着深度的分布.研究发现不管是较薄的还是较厚的薄膜其面内晶格应变随深度的分布都不是连续变化的,而是可以分为三个区域,即表面区、应变驰豫区、界面区.
关键词 掠入射x射线衍射 面内晶格参数 应变深度分布
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微纳米VO2膜层高温相变原位X射线衍射测试方法研究
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作者 崔喜平 姚尧 +5 位作者 葛玉强 郜闹闹 曾岗 李雪 洪光辉 郑振 《分析测试技术与仪器》 CAS 2020年第1期11-16,共6页
通过设计、自制加热样品台结合商业X射线衍射仪的小角掠入射衍射模式,开发了微纳米膜层的原位高温相变测试方法,解决了样品表面微纳米膜层材料(厚度<10μm)的高温相变难以原位测量的问题.研究了样品台与膜层表面的温度分布特征,验证... 通过设计、自制加热样品台结合商业X射线衍射仪的小角掠入射衍射模式,开发了微纳米膜层的原位高温相变测试方法,解决了样品表面微纳米膜层材料(厚度<10μm)的高温相变难以原位测量的问题.研究了样品台与膜层表面的温度分布特征,验证了自制加热样品台的控温效果,原位测试了不同温度下二氧化钒(VO2)膜层的X射线衍射图谱,揭示了VO2膜层的高温相变行为. 展开更多
关键词 微纳米膜层 x射线衍射 原位测量 高温相变
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薄膜X射线应力分析的实验方法 被引量:2
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作者 刘毓舒 《理化检验(物理分册)》 CAS 2005年第9期447-450,共4页
提出一种适用于薄膜材料X射线应力分析的试样三维定向模式,在X射线低掠入射的前提下允许按实验所需选择测量方向。高密勒指数晶面衍射和测量方向的合理选择有助于提高测量精度,也利于经典sin2ψ分析法实验线性关系的建立,从而简化了分... 提出一种适用于薄膜材料X射线应力分析的试样三维定向模式,在X射线低掠入射的前提下允许按实验所需选择测量方向。高密勒指数晶面衍射和测量方向的合理选择有助于提高测量精度,也利于经典sin2ψ分析法实验线性关系的建立,从而简化了分析和计算程序。 展开更多
关键词 薄膜材料 x射线应力分析 低掠入射x射线束 三维定向模式 测量方向
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Microstructure and strain analysis of GaN epitaxial films using in-plane grazing incidence x-ray diffraction 被引量:1
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作者 郭希 王玉田 +8 位作者 赵德刚 江德生 朱建军 刘宗顺 王辉 张书明 邱永鑫 徐科 杨辉 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第7期471-478,共8页
This paper investigates the major structural parameters, such as crystal quality and strain state of (001)-oriented GaN thin films grown on sapphire substrates by metalorganic chemical vapour deposition, using an in... This paper investigates the major structural parameters, such as crystal quality and strain state of (001)-oriented GaN thin films grown on sapphire substrates by metalorganic chemical vapour deposition, using an in-plane grazing incidence x-ray diffraction technique. The results are analysed and compared with a complementary out-of-plane x- ray diffraction technique. The twist of the GaN mosaic structure is determined through the direct grazing incidence t of (100) reflection which agrees well with the result obtained by extrapolation method. The method for directly determining the in-plane lattice parameters of the GaN layers is also presented. Combined with the biaxial strain model, it derives the lattice parameters corresponding to fully relaxed GaN films. The GaN epilayers show an increasing residual compressive stress with increasing layer thickness when the two dimensional growth stage is established, reaching to a maximum level of-0.89 GPa. 展开更多
关键词 in-plane grazing incidence x-ray diffraction gallium nitride mosaic structure biaxialstrain
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Evaluation of both composition and strain distributions in InGaN epitaxial film using x-ray diffraction techniques
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作者 郭希 王辉 +6 位作者 江德生 王玉田 赵德刚 朱建军 刘宗顺 张书明 杨辉 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第10期396-402,共7页
The composition and stain distributions in the InGaN epitaxial films are jointly measured by employing various x-ray diffraction (XRD) techniques, including out-of-plane XRD at special planes, in-plane grazing incid... The composition and stain distributions in the InGaN epitaxial films are jointly measured by employing various x-ray diffraction (XRD) techniques, including out-of-plane XRD at special planes, in-plane grazing incidence XRD, and reciprocal space mapping (RSM). It is confirmed that the measurement of (204) reflection allows a rapid access to estimate the composition without considering the influence of biaxial strain. The two-dimensional RSM checks composition and degree of strain relaxation jointly, revealing an inhomogeneous strain distribution profile along the growth direction. As the film thickness increases from 100 nm to 450 nm, the strain status of InGaN films gradually transfers from almost fully strained to fully relaxed state and then more In atoms incorporate into the film, while the near-interface region of InGaN films remains pseudomorphic to GaN. 展开更多
关键词 INGAN In-plane grazing incidence x-ray diffraction reciprocal space mapping biaxialstrain
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Nano structure evolution in P3HT:PC_(61)BM blend films due to the effects of thermal annealing or by adding solvent
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作者 樊星 赵谡玲 +6 位作者 陈雨 张杰 杨倩倩 龚伟 苑梦尧 徐征 徐叙瑢 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第7期582-589,共8页
Crystallographic dynamics of blend films of regioregular poly(3-hexylthiophene)(P3HT) mixed with [6-6-]-phenylC61-butyric acid methyl ester(PC61BM) treated by thermal annealing or by adding solvent 1,8-diiodooct... Crystallographic dynamics of blend films of regioregular poly(3-hexylthiophene)(P3HT) mixed with [6-6-]-phenylC61-butyric acid methyl ester(PC61BM) treated by thermal annealing or by adding solvent 1,8-diiodooctane(DIO) are characterized by 2D-grazing incidence x-ray diffraction(2D-GIXRD). The results show that the P3 HT chains are primarily oriented with the thiophene ring edge-on to the substrate, with a small fraction of chains oriented plane-on. The interplanar spacing becomes narrow after being treated by DIO, and the coherence length of the P3 HT crystallites increases after being treated by thermal annealing or DIO, which is accompanied by a change in the orientation angle of the P3 HT lamellae. The increased ordering of P3 HT packing induced by thermal annealing or adding DIO contributes to enhanced photovoltaic performance. 展开更多
关键词 polymer solar cell(PSC) ADDITIVE MORPHOLOGY grazing incidence x-ray diffraction(GIxRD)
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X射线掠入射法测定金刚石薄膜厚度的研究 被引量:1
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作者 方建锋 唐伟忠 +1 位作者 张晋远 郑毅 《物理测试》 CAS 2007年第4期8-11,共4页
本文研究了用近平行的入射X射线,以掠入射的方式,利用薄膜下基体某一晶面衍射强度随掠入射角的变化关系来测定薄膜厚的方法。导出了基体某一晶面的衍射强度的对数InIr与掠入射角函数f(r)之间的线性关系,发现该直线的斜率即为薄膜的线吸... 本文研究了用近平行的入射X射线,以掠入射的方式,利用薄膜下基体某一晶面衍射强度随掠入射角的变化关系来测定薄膜厚的方法。导出了基体某一晶面的衍射强度的对数InIr与掠入射角函数f(r)之间的线性关系,发现该直线的斜率即为薄膜的线吸收系数与其厚度的乘积。对WC-Co硬质合金上的金刚石薄膜厚度进行了测定,并对该方法的重复性进行了验证。结果表明,InIr与f(r)之间的具有很好的线性相关性,而且该方法具有较好的精确性。 展开更多
关键词 掠入射x射线衍射 金刚石薄膜 厚度测定
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宏观内应力掠入射衍射分析中X射线折射作用引入的误差 被引量:1
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作者 杜继实 唐兵华 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第7期1450-1456,1462,共8页
宏观内应力X射线掠入射衍射分析中,X射线折射作用引入的衍射角测定误差必然对分析产生影响。本文基于数值方法计算了Euler角定位及Hauk角定位的X射线掠入射衍射分析中因X射线折射作用引入的衍射角测定误差及其在几种宏观内应力测试方法... 宏观内应力X射线掠入射衍射分析中,X射线折射作用引入的衍射角测定误差必然对分析产生影响。本文基于数值方法计算了Euler角定位及Hauk角定位的X射线掠入射衍射分析中因X射线折射作用引入的衍射角测定误差及其在几种宏观内应力测试方法中引入的应变测定误差。在一定角度范围内采用侧倾法可避免X射线折射作用引入的应变测定误差,而采用侧倾法及固定X射线有效穿透深度的Ψ-Ω法测试时必须对测定结果进行数据修正。 展开更多
关键词 宏观内应力 掠入射x射线衍射(GIxRD) 折射 误差
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