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Si/GaP(111)界面生长及其形成过程
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作者 黄春晖 王迅 《福州大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1994年第1期26-31,共6页
研究用电子束蒸发方法把Si淀积在GaP表面的界面生长过程。用XPS在线测量Si/GaP(111)界面形成过程中各原子芯能级的移动趋势来研究界面原子间的成键情况;借助Ga3p峰强随Si覆盖厚度的变化确定Si的生长模式。... 研究用电子束蒸发方法把Si淀积在GaP表面的界面生长过程。用XPS在线测量Si/GaP(111)界面形成过程中各原子芯能级的移动趋势来研究界面原子间的成键情况;借助Ga3p峰强随Si覆盖厚度的变化确定Si的生长模式。还用LEED监测Si生长时的表面结构状态。 展开更多
关键词 异质界面 磷化镓 界面生长
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电子束气相沉积的研究进展 被引量:5
2
作者 赖奇 李俊翰 +3 位作者 吴恩辉 崔晏 李亮 廖先杰 《钢铁钒钛》 CAS 北大核心 2020年第4期76-81,共6页
介绍了电子束真空气相沉积(EBPVD)镀膜技术的优点、国内外发展现状,并对其关键技术:材料的高速电子束蒸发过程在真空和工艺参数控制下的物质的沉积、成分和组织结构的控制等方面进行了分析。简要论述了其硬件条件,以便为钢钛复合材料的... 介绍了电子束真空气相沉积(EBPVD)镀膜技术的优点、国内外发展现状,并对其关键技术:材料的高速电子束蒸发过程在真空和工艺参数控制下的物质的沉积、成分和组织结构的控制等方面进行了分析。简要论述了其硬件条件,以便为钢钛复合材料的制备提供解决思路。 展开更多
关键词 电子束气相沉积 镀膜 真空
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热处理态Ni-Cr-Al合金的拉伸性能及微观变形机理 被引量:2
3
作者 马李 何录菊 +1 位作者 莫才颂 盘茂森 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2019年第5期47-51,共5页
采用电子束气相沉积方法制备了Ni-Cr-Al合金,对试样进行了固溶及时效处理,考察了20~1000℃不同温度下合金的拉伸性能及位错结构特征。结果表明,随着试验温度升高,合金拉伸强度逐渐降低,断口形态大多为韧窝和准解理断裂构成。室温下,当... 采用电子束气相沉积方法制备了Ni-Cr-Al合金,对试样进行了固溶及时效处理,考察了20~1000℃不同温度下合金的拉伸性能及位错结构特征。结果表明,随着试验温度升高,合金拉伸强度逐渐降低,断口形态大多为韧窝和准解理断裂构成。室温下,当合金中的γ'粒子达到临界尺寸后,位错弯曲绕过γ'粒子; 400℃时,位错密度增加,缺陷界面形成外禀层错,而反相畴界的存在会使位错切过γ'粒子的阻力增大; 700℃时,位错能够沿着基体弯曲移动,并产生攀移和交滑移; 1000℃时,位错线变长并发生弯曲,最终形成包围γ'粒子的位错环。 展开更多
关键词 NI-CR-AL 高温合金 电子束气相沉积 时效 力学性能 断口 位错
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硅在红外光学薄膜中的应用研究 被引量:2
4
作者 王丽荣 石澎 《真空》 CAS 2013年第1期31-33,共3页
介绍了硅的理化特性以及在光学薄膜设计中的应用特点。对电子束沉积硅薄膜时的温度、真空度进行了确定,并对其沉积速率的稳定性以及石墨坩埚的使用方法进行了研究。利用分光光度法测定了硅膜在0.5μm~5μm波段范围内的折射率分布曲线。
关键词 电子束沉积 光学薄膜
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电子束反应蒸发制备高迁移率IMO薄膜及其性能研究 被引量:1
5
作者 陈新亮 韩东港 +3 位作者 张德坤 孙建 耿新华 赵颖 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期1022-1025,共4页
研究了掺杂剂含量对电子束反应蒸发技术生长掺钼氧化铟(In2O3:Mo,IMO)薄膜的微观结构以及光学和电学性能的影响。采用高纯度In2O3:MoO3陶瓷靶和O2作为源材料。随着MoO3掺杂剂含量的增加,IMO薄膜电阻率先降低而后增加,光学性能呈现... 研究了掺杂剂含量对电子束反应蒸发技术生长掺钼氧化铟(In2O3:Mo,IMO)薄膜的微观结构以及光学和电学性能的影响。采用高纯度In2O3:MoO3陶瓷靶和O2作为源材料。随着MoO3掺杂剂含量的增加,IMO薄膜电阻率先降低而后增加,光学性能呈现薄膜透过率下降的趋势。在1.0 wt.%MoO3掺杂剂含量时,获得最佳薄膜性能,薄膜电阻率ρ约为1.97×10^-4Ω.cm,方块电阻Rs约为18Ω/□,载流子浓度n约为6.85×1020cm^-3,电子迁移率μ约为46.3 cm2.V^-1.s^-1,可见光和近红外区域透过率T约为75%-85%(含玻璃衬底)。这种高迁移率的IMO薄膜有望应用于μc-Si:H薄膜太阳电池以及a-Si:H/μc-Si:H硅叠层薄膜太阳电池。 展开更多
关键词 电子束反应蒸发技术 掺钼氧化铟(In2O3:Mo IMO)薄膜 高迁移率 太阳电池
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Morphology and Field Emission of ZnO Nanomaterials at Different Positions
6
作者 Junzheng Wang Lijun Wang 《Journal of Applied Mathematics and Physics》 2022年第4期1028-1035,共8页
By simply adjusting the temperature and the number of materials, rod-like ZnO with different morphology, such as ZnO nanoneedles, were synthesized by a flexible thermal evaporation method. The ZnO nanorod array has th... By simply adjusting the temperature and the number of materials, rod-like ZnO with different morphology, such as ZnO nanoneedles, were synthesized by a flexible thermal evaporation method. The ZnO nanorod array has the lowest turn-on field, the highest current density, and the highest emission efficiency due to its good contact with the substrate and relatively weak field shielding effect. Experiments show that the morphology and orientation of one-dimensional ZnO nanomaterials have a great influence on its conduction field and emission current density, and the nanoarrays also contribute to electron emission. The research results have a certain reference value for the application of ZnO nanorod arrays as cathode materials for field emission devices. 展开更多
关键词 Field Emission ZnO Films Vacuum electron beam vapor Deposition
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金属膜场发射特性研究
7
作者 王丽军 郭媚媚 王小平 《有色金属材料与工程》 CAS 2019年第6期1-5,共5页
结合真空电子束气相沉积(electron beam evaporation deposition, EBVD)和磁控溅射(magnetron sputtering deposition, MSD)技术,分别在Al2O3陶瓷衬底上制备以Cu膜为发射层的单一Cu膜和Mo/Cu复合膜及Mo/Ni/Cu复合膜3种结构阴极薄膜。基... 结合真空电子束气相沉积(electron beam evaporation deposition, EBVD)和磁控溅射(magnetron sputtering deposition, MSD)技术,分别在Al2O3陶瓷衬底上制备以Cu膜为发射层的单一Cu膜和Mo/Cu复合膜及Mo/Ni/Cu复合膜3种结构阴极薄膜。基于二极管场发射器件结构,研究了各样品的场发射特性。利用场发射扫描电子显微镜(field emission scanning electron microscopy, FE-SEM)和能谱仪(energy dispersive spectrometry, EDS)对样品表面形貌和成分进行分析。结果表明:Mo/Ni/Cu复合膜的阈值电场为3.3 V·μm-1;最大电流密度为63.0μA·cm-2;比在相同条件下制备的单一Cu膜和Mo/Cu复合膜具有更好的场发射特性,表明金属复合膜结构有效的改善了单一Cu膜的场发射性能。 展开更多
关键词 金属复合膜 场发射 电子束气相沉积
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电子束蒸发法制备Co/Ru多层膜的微观结构与磁电阻
8
作者 郝安林 《粉末冶金材料科学与工程》 EI 北大核心 2014年第5期832-838,共7页
采用电子束蒸发法制备具有不同Co层厚度的Co/Ru多层膜。采用X射线衍射(XRD)、高分辨透射电镜(HRTEM)、扫描电镜(TEM)等对多层膜的微观结构进行观察与分析,研究多层膜微观结构对多层膜磁阻性能的影响,并探讨多层膜磁阻的产生机理。结果表... 采用电子束蒸发法制备具有不同Co层厚度的Co/Ru多层膜。采用X射线衍射(XRD)、高分辨透射电镜(HRTEM)、扫描电镜(TEM)等对多层膜的微观结构进行观察与分析,研究多层膜微观结构对多层膜磁阻性能的影响,并探讨多层膜磁阻的产生机理。结果表明:Co层的厚度tCo对于薄膜的微观结构和磁阻性能有很大影响,当tCo≥0.8 nm时Co/Ru多层膜以层状方式连续生长,且tCo越大,薄膜结晶越完整,薄膜呈现负磁阻效应;当tCo=0.5 nm时,Co/Ru多层膜为岛状生长,Co/Ru界面的不对称性使得薄膜出现正磁阻效应。 展开更多
关键词 多层膜 微观结构 磁电阻 电子束蒸镀
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电子束蒸发制备织构状纳米ZnO∶Al及其光电性能研究
9
作者 王丽军 孙义清 +1 位作者 李剑 王小平 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第21期21085-21088,共4页
采用真空电子束蒸发沉积设备在不同温度下(350-400 ℃)直接在玻璃基底上一次性生长400nm厚的织构状纳米掺铝ZnO 薄膜.研究了不同的基底温度对掺铝ZnO 薄膜的结构、电学性质以及光学性质的影响. 研究发现,其光学透过率在390-1100nm的... 采用真空电子束蒸发沉积设备在不同温度下(350-400 ℃)直接在玻璃基底上一次性生长400nm厚的织构状纳米掺铝ZnO 薄膜.研究了不同的基底温度对掺铝ZnO 薄膜的结构、电学性质以及光学性质的影响. 研究发现,其光学透过率在390-1100nm的整个波段都超过87%,在580-1100nm光谱范围内光学透过率超过93%. 当沉积温度为380℃时,掺铝ZnO 薄膜的电阻率最低,其值可达1.2×10^-4 Ω·cm. 展开更多
关键词 掺铝ZnO 电子束蒸发沉积 透明导电薄膜
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SiO_(2)/CeF_(3)复合薄膜的电致发光
10
作者 李贝贝 王小平 +1 位作者 王丽军 包建 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第6期956-960,968,共6页
采用真空电子束蒸发气相沉积技术在重掺杂n型硅衬底上制备了SiO_(2)/CeF_(3)复合薄膜电致发光器件。对器件中各膜层的微观结构和成分进行了表征,并研究了器件的电致发光特性。结果表明:器件在正反接时的电致发光光谱存在明显差异,相应... 采用真空电子束蒸发气相沉积技术在重掺杂n型硅衬底上制备了SiO_(2)/CeF_(3)复合薄膜电致发光器件。对器件中各膜层的微观结构和成分进行了表征,并研究了器件的电致发光特性。结果表明:器件在正反接时的电致发光光谱存在明显差异,相应的伏安特性曲线不对称。器件正接时,电致发光光谱在504 nm(绿光区)处和680 nm(红光区)处各出现一个发光峰;反接时,电致发光光谱除了在684 nm(红光区)处出现一个较弱的发光峰外,在434 nm处还出现了一个很强的蓝色发光峰。 展开更多
关键词 电致发光 氟化铈 二氧化硅 电子束气相沉积
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新型高温/超高温热障涂层及制备技术研究进展 被引量:57
11
作者 郭洪波 宫声凯 徐惠彬 《航空学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期2722-2732,共11页
简单介绍了先进航空发动机高温/超高温热障涂层(TBCs)的研究背景、意义和现状;简述了近年来国际上在新一代超高温TBCs方面的研究进展。重点介绍了近年来北京航空航天大学在新型高温/超高温TBCs方面的研究成果,包括新型超高温、高隔热陶... 简单介绍了先进航空发动机高温/超高温热障涂层(TBCs)的研究背景、意义和现状;简述了近年来国际上在新一代超高温TBCs方面的研究进展。重点介绍了近年来北京航空航天大学在新型高温/超高温TBCs方面的研究成果,包括新型超高温、高隔热陶瓷隔热层材料,1 150℃以上新型抗高温氧化金属粘结层材料,以及电子束物理气相沉积(EB-PVD)、等离子体激活EB-PVD(PA EB-PVD)和等离子物理气相沉积(PS-PVD)等新型制备工艺。最后对TBCs在未来高性能航空发动机上的应用及发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 航空发动机 热障涂层 陶瓷层 粘结层 等离子体激活 电子束物理气相沉积 等离子物理气相沉积
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热障涂层技术在航空发动机上的应用与发展 被引量:37
12
作者 牟仁德 陆峰 +2 位作者 何利民 贺世美 黄光宏 《热喷涂技术》 2009年第1期53-58,66,共7页
阐述了热障涂层在航空发动机部件上的应用和发展;对比分析了目前实际工程应用中最广泛采用的大气等离子喷涂(Air plasma spray,APS)和电子束物理气相沉积(Electron Beam Physical Vapor Deposition,EB-PVD)两种制备技术的技术原理、涂... 阐述了热障涂层在航空发动机部件上的应用和发展;对比分析了目前实际工程应用中最广泛采用的大气等离子喷涂(Air plasma spray,APS)和电子束物理气相沉积(Electron Beam Physical Vapor Deposition,EB-PVD)两种制备技术的技术原理、涂层材料体系和涂层性能;并简单介绍了TBCs制备技术的发展趋势和新型热障涂层材料研究的热点方向。 展开更多
关键词 热障涂层 航空发动机 等离子喷涂 电子束物理气相沉积
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电子束物理气相沉积热障涂层技术研究进展 被引量:34
13
作者 郭洪波 彭立全 +1 位作者 宫声凯 徐惠彬 《热喷涂技术》 2009年第2期7-14,共8页
介绍了电子束物理气相沉积设备的原理、结构及其工艺特点,并在此基础上综述了EB-PVD热障涂层近年来的研究进展。
关键词 电子束物理气相沉积 热障涂层 粘结层
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热障涂层的研究进展 被引量:14
14
作者 李晓海 陈贵清 +1 位作者 孟松鹤 韩杰才 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2004年第1期1-6,共6页
主要介绍了热障涂层在现阶段的研究和应用 ,以及它们的组成和性能。讨论了热障涂层现有的三种涂层制备工艺和寿命预测模型 ,并对等离子喷涂和电子束物理气相沉积作了详细的对比 。
关键词 热障涂层 等离子喷涂 电子束物理气相沉积 制备工艺 航空发动机 陶瓷材料
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热障涂层在航空发动机涡轮叶片上的应用研究 被引量:24
15
作者 张志强 宋文兴 陆海鹰 《航空发动机》 2011年第2期38-42,共5页
从热障涂层在涡轮叶片的应用需求出发,研究了陶瓷热障涂层的材料与制备方法,介绍了热障涂层的基本原理和主要工艺特点,解决了热障涂层在喷涂过程中所产生的堵塞气膜孔、减小排气面积、降低疲劳性能、遮挡等方面的难点问题,给出了热障涂... 从热障涂层在涡轮叶片的应用需求出发,研究了陶瓷热障涂层的材料与制备方法,介绍了热障涂层的基本原理和主要工艺特点,解决了热障涂层在喷涂过程中所产生的堵塞气膜孔、减小排气面积、降低疲劳性能、遮挡等方面的难点问题,给出了热障涂层叶片在试验和试车中的考核结果。 展开更多
关键词 热障涂层 涡轮叶片 航空发动机 等离子 电子束物理气相沉积
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梯度热障涂层的发展和未来应用 被引量:14
16
作者 高阳 梁勇 师昌绪 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第12期3-7,共5页
综述了梯度热障涂层的发展历史及工艺方法演变,并对其基本设计原理和国内外应用现状与前景作了阐述。
关键词 热障涂层 涡轮叶片 航空发动机
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电子束物理气相沉积技术研究进展 被引量:16
17
作者 张传鑫 宋广平 +2 位作者 孙跃 赵轶杰 赫晓东 《材料导报(纳米与新材料专辑)》 EI CAS 2012年第2期124-126,146,共4页
电子束物理气相沉积是真空蒸发技术的一种,具有蒸发速率高和无污染的特点,目前广泛应用于材料表面涂层的制备。将离子束辅助和等离子辅助与电子束物理气相沉积技术相结合,可以提高蒸发粒子入射能量和扩散能力,改善由于电子束物理气相沉... 电子束物理气相沉积是真空蒸发技术的一种,具有蒸发速率高和无污染的特点,目前广泛应用于材料表面涂层的制备。将离子束辅助和等离子辅助与电子束物理气相沉积技术相结合,可以提高蒸发粒子入射能量和扩散能力,改善由于电子束物理气相沉积工艺本身存在阴影效应和扩散能力低而引起的沉积材料的不致密等不足。介绍了电子束物理气相沉积技术的概况,并展望了该技术的未来应用及发展前景。 展开更多
关键词 电子束物理气相沉积 离子束辅助沉积 等离子辅助沉积
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纳米陶瓷涂层托槽的研制 被引量:14
18
作者 束嫘 丁寅 +3 位作者 曹勇 付善民 曹猛 史真 《实用口腔医学杂志》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期252-255,共4页
目的:研制纳米陶瓷涂层托槽,并对托槽涂层结构表面性能进行初步研究.方法:合成尺度均一的具有光化学活性的锐钛矿型纳米态二氧化钛靶材,采用电子束物理气相沉积技术在国产金属直丝托槽表面沉积纳米二氧化钛薄膜.使用X射线衍射法和电镜... 目的:研制纳米陶瓷涂层托槽,并对托槽涂层结构表面性能进行初步研究.方法:合成尺度均一的具有光化学活性的锐钛矿型纳米态二氧化钛靶材,采用电子束物理气相沉积技术在国产金属直丝托槽表面沉积纳米二氧化钛薄膜.使用X射线衍射法和电镜观察涂层的表面性状.结果:研制生产出纳米二氧化钛陶瓷涂层托槽,托槽表面沉积二氧化钛薄膜厚度约5~8 μm.二氧化钛晶粒尺寸均一,分布均匀,表面光洁度高.结论:托槽表面纳米二氧化钛镀膜对托槽槽沟尺寸几乎无影响,且具有良好表面性状及光化学活性,可以满足口腔正畸临床需要. 展开更多
关键词 正畸托槽 锐态矿 电子束物理气相沉积 透射电子显微镜 X射线衍射
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未来航空发动机热障涂层材料及制备技术 被引量:15
19
作者 郭双全 冯云彪 +1 位作者 何勇 付俊波 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期119-123,共5页
概述了未来航空发动机热障涂层最有前景的新材料、结构和制备工艺。新材料主要有改进型氧化钇稳定的氧化锆、A2B2O7型材料;新结构主要有双陶瓷层;新工艺主要为制备含垂直裂纹的热障涂层的改进大气等离子体喷涂、等离子喷涂-物理气相沉... 概述了未来航空发动机热障涂层最有前景的新材料、结构和制备工艺。新材料主要有改进型氧化钇稳定的氧化锆、A2B2O7型材料;新结构主要有双陶瓷层;新工艺主要为制备含垂直裂纹的热障涂层的改进大气等离子体喷涂、等离子喷涂-物理气相沉积、悬浮液等离子喷涂、电子束直接气相沉积。这些相互结合,必将促进高性能热障涂层的快速发展和应用,使其在未来航空发动机中发挥重要作用。 展开更多
关键词 热障涂层 航空发动机 等离子体喷涂 电子束物理气相沉积
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EB-PVD热障涂层高温氧化过程中的显微结构和相分析 被引量:10
20
作者 李美姮 孙晓峰 +4 位作者 宫声凯 张重远 管恒荣 胡望宇 胡壮麒 《中国腐蚀与防护学报》 CAS CSCD 2002年第2期105-110,共6页
采用磁控溅射方法在镍基单晶高温合金基体上沉积NiCrAlY粘结层 ,电子束物理气相沉积方法 (EB -PVD)沉积陶瓷层 (7mass%Y2 O3 -ZrO2 ) .用X -射线衍射 (XRD)、扫描电镜 (SEM )等研究了EB -PVD热障涂层热循环过程中的相变 ,同时观察了样... 采用磁控溅射方法在镍基单晶高温合金基体上沉积NiCrAlY粘结层 ,电子束物理气相沉积方法 (EB -PVD)沉积陶瓷层 (7mass%Y2 O3 -ZrO2 ) .用X -射线衍射 (XRD)、扫描电镜 (SEM )等研究了EB -PVD热障涂层热循环过程中的相变 ,同时观察了样品的形貌变化 .结果表明 ,EB -PVD方法沉积的陶瓷层 ,其柱状晶粒簇拥成团 ,表面比较致密 ,然而晶粒簇间存在间隙 ,允许柱状晶横向伸缩 ,使基体能在相对大的范围内自由膨胀 .经高温氧化后 ,陶瓷层表面变得疏松 ,柱状晶粒簇间距增大 ,随着热循环的继续进行 ,相邻较大的间隙互相连接而形成微裂纹 ,并逐渐横向及纵向扩展 .循环氧化比恒温氧化更易于产生显微裂纹 .10 5 0℃热循环过程中 ,ZrO2 正方相的c/a轴比值逐渐增加 ,Y2 O3 含量逐渐减少 ,非平衡正方相逐渐分解成平衡正方相和立方相 .循环 30 0次后 ,观察到少量从平衡正方相转变而来的单斜相 . 展开更多
关键词 高温氧化 电子束物理气相沉积 热障涂层 显微裂纹 相变
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