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非平衡磁控溅射及其应用 被引量:24
1
作者 董骐 范毓殿 《真空科学与技术》 CSCD 1996年第1期51-57,共7页
磁控溅射镀膜技术由于其显著的特点已经得到广泛的应用。但是常规磁控溅射靶表面横向磁场紧紧地束缚带电粒子,使得在镀膜区域的离子密度很低,一定程度上削弱了等离子体镀膜的优势。通过有意识地增强或削弱其中一个磁极的磁通量,使得... 磁控溅射镀膜技术由于其显著的特点已经得到广泛的应用。但是常规磁控溅射靶表面横向磁场紧紧地束缚带电粒子,使得在镀膜区域的离子密度很低,一定程度上削弱了等离子体镀膜的优势。通过有意识地增强或削弱其中一个磁极的磁通量,使得磁控溅射靶的磁场不平衡,可以大大提高镀膜区域的等离子体密度,从而改善镀膜质量。此外还讨论该项技术目前的发展状况。 展开更多
关键词 非平衡 磁控溅射 阴极电弧 离子镀
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真空镀膜技术的现状及发展 被引量:24
2
作者 王银川 《现代仪器》 2000年第6期1-4,共4页
本文介绍了真空下各种镀膜技术的基本概念,讨论了各种镀膜装置的镀膜方式、特点和应用及真空镀膜技术的发展现状及趋势。
关键词 真空镀膜技术 真空蒸发 溅射镀膜 离子镀膜
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钛合金表面电弧离子镀TiAlN涂层的抗高温氧化性能研究 被引量:21
3
作者 汝强 胡社军 +3 位作者 黄拿灿 赵灵智 邱秀丽 胡显奇 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期28-31,共4页
运用电弧离子镀技术,采用热等静压Ti0.5A l0.5合金靶在航空用钛合金TC11基片上制备了TiA lN防护涂层,并采用SEM、AES、XPS等方法研究了涂层在空气中的抗高温氧化性能。结果表明,涂层发生了选择性氧化,外层生成富A l层而内层形成富Ti层;... 运用电弧离子镀技术,采用热等静压Ti0.5A l0.5合金靶在航空用钛合金TC11基片上制备了TiA lN防护涂层,并采用SEM、AES、XPS等方法研究了涂层在空气中的抗高温氧化性能。结果表明,涂层发生了选择性氧化,外层生成富A l层而内层形成富Ti层;同时进行了涂层的室温干摩擦试验,结果表明,TC11钛合金基体同GCr15钢珠的磨损表现出黏着磨损的特征,磨痕宽度约100μm,而TiA lN涂层通过提高表面硬度改善了钛合金的黏着磨损状况。 展开更多
关键词 TIALN涂层 电弧离子镀 TC11钛合金 抗氧化性 磨掼洼能
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多弧离子镀TiN涂层在冲孔冲模上的应用 被引量:22
4
作者 胡树兵 张明 +1 位作者 葛顺兰 陈湘一 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 1997年第2期16-17,20,共3页
采用多弧离子镀法在螺帽冲孔冲模上进行了TiN涂层处理,并对涂层的显微硬度、耐磨性能、失效形式进行了分析和讨论。结果表明,TiN涂层冲头使用寿命比未涂层冲头可提高5倍。
关键词 离子膜 氮化钛 涂层 耐磨性 冲模 模具
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Cr对多弧离子镀TiN及其复合膜(Ti,Cr)N性能的影响 被引量:16
5
作者 史新伟 李春明 +1 位作者 邱万起 刘正义 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期1227-1232,共6页
通过改变Cr靶电流强度,在国产AIP 01型多弧离子镀膜机上制备不同Cr含量的(Ti,Cr)N复合薄膜。研究Cr的添加对薄膜硬度、薄膜相结构及晶格常数等性能的影响,探讨薄膜的硬化机理。结果表明:Cr的加入可显著提高复合薄膜的硬度,显微硬度可高... 通过改变Cr靶电流强度,在国产AIP 01型多弧离子镀膜机上制备不同Cr含量的(Ti,Cr)N复合薄膜。研究Cr的添加对薄膜硬度、薄膜相结构及晶格常数等性能的影响,探讨薄膜的硬化机理。结果表明:Cr的加入可显著提高复合薄膜的硬度,显微硬度可高达HV2665;复合薄膜是以TiN为基的(Ti,Cr)N薄膜,薄膜中没有独立的CrN和Cr2N相,同时由于Cr的加入,薄膜的择优取向从(111)晶面逐渐过渡到(200)晶面,随Cr靶电流的增大,所得(Ti,Cr)N复合膜中出现单质Cr。 展开更多
关键词 TIN (Ti Cr)N 离子镀 复合薄膜 硬度 相结构
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多元超硬膜TiAlN的制备及其组织性能研究 被引量:10
6
作者 刘德浚 王少刚 +1 位作者 姚正军 沈星 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 1999年第6期22-23,共2页
采用空心阴极离子镀方法,分别以Ti+ Al% 和TC4作为蒸发材料,在高速钢表面沉积TiAlN多元超硬膜。结果表明,该镀膜工艺可行,制备出的TiAlN膜层性能优异,即硬度高、膜层与基体之间结合良好。文中还对膜层的微观组... 采用空心阴极离子镀方法,分别以Ti+ Al% 和TC4作为蒸发材料,在高速钢表面沉积TiAlN多元超硬膜。结果表明,该镀膜工艺可行,制备出的TiAlN膜层性能优异,即硬度高、膜层与基体之间结合良好。文中还对膜层的微观组织结构进行了分析。 展开更多
关键词 离子镀 TIALN 制备 组织 性能 表面强化
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TiN薄膜的多元合金化强化 被引量:14
7
作者 谢致薇 王国庆 +1 位作者 蒙继龙 陈海燕 《材料科学与工程》 CAS CSCD 2000年第4期135-139,129,共6页
多元合金化是强化 Ti N膜的有效途径之一 ,也是目前研究的热点。本文介绍了几种多元氮化物薄膜的沉积技术及性能特点 ,重点分析了性能对工艺的依赖关系。
关键词 多元合金化 离子镀 多元锂 氮化钛薄膜 强化
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化爆材料瞬态切削温度的NiCr/NiSi薄膜热电偶温度传感器的研制 被引量:14
8
作者 曾其勇 孙宝元 +4 位作者 徐静 贾颖 崔云先 邓新禄 徐军 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期206-211,共6页
针对化爆材料的切削特点,研制出一种集切削和测温功能于一体的NiCr/NiSi薄膜热电偶快速响应温度传感器。用多弧离子镀将NiCr/NiSi热电偶薄膜直接镀于高速钢刀头内。薄膜热电偶电极与高速钢之间采用最先进的多层镀膜法绝缘,即用微波ECR... 针对化爆材料的切削特点,研制出一种集切削和测温功能于一体的NiCr/NiSi薄膜热电偶快速响应温度传感器。用多弧离子镀将NiCr/NiSi热电偶薄膜直接镀于高速钢刀头内。薄膜热电偶电极与高速钢之间采用最先进的多层镀膜法绝缘,即用微波ECR等离子体源增强射频反应非平衡磁控溅射技术首次成功在W18Cr4V高速钢基底上沉积绝缘性能良好的SiO2膜。对研制的薄膜热电偶温度传感器进行了静态和动态标定,结果表明传感器在0- 600℃测温范围内具有很好的线性和热稳定性,而且响应快,时间常数小于0.8 ms。热电偶薄膜与绝缘膜、绝缘膜与基体之间有足够的附着强度。该温度传感器已安装在现场使用,为国防工业部门的高效、安全生产提供了有力的保障。 展开更多
关键词 薄膜热电偶 切削温度 磁控溅射 离子镀 化爆材料
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用稀土钇提高离子镀TiN膜层与基体结合力的研究 被引量:10
9
作者 冯正 刘德浚 王少刚 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 1995年第2期20-22,共3页
研究了不同含量稀土钇对离子镀TiN膜与基体结合力的影响。结果表明,加入稀土钇后,大大提高TiN膜与基体的结合力,并使膜层内TiN相增加。此外,稀土钇能明显提高镀膜过程中钛料蒸发率,在相同镀膜时间内,能使TiN膜层加厚。
关键词 离子镀 结合力 稀土族 氮化钛 薄膜
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多弧离子镀TiN低温涂层的研究 被引量:14
10
作者 宋人娟 《金属热处理》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第6期17-20,共4页
研究了在多弧离子镀设备中,在低温(350℃以下)沉积的TiN涂层的特点、性能及应用。经X射线衍射分析和扫描电镜观察电子探针等测定,低温TiN涂层具有单相TiN结构,涂层表面有粒度大小不一的颗粒,断口呈细密纤维形貌。低温TiN涂层有良... 研究了在多弧离子镀设备中,在低温(350℃以下)沉积的TiN涂层的特点、性能及应用。经X射线衍射分析和扫描电镜观察电子探针等测定,低温TiN涂层具有单相TiN结构,涂层表面有粒度大小不一的颗粒,断口呈细密纤维形貌。低温TiN涂层有良好的耐磨性和使用性能。 展开更多
关键词 离子镀 氮化钛 低温涂层
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新型薄膜式热电偶切削温度测量传感器 被引量:11
11
作者 徐静 孙宝元 +1 位作者 曾其勇 贾颖 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2005年第6期1-2,5,共3页
研制了一种集成在刀头内的新型薄膜式热电偶。在切削的同时,能快速直接地测量切削温度。镀膜工艺采用了先进的磁控溅射和离子镀技术,成功地解决了绝缘、镀膜牢固性等问题。该热电偶测温接点位于刀尖,响应迅速,时间常数约为0 8ms;并且在0... 研制了一种集成在刀头内的新型薄膜式热电偶。在切削的同时,能快速直接地测量切削温度。镀膜工艺采用了先进的磁控溅射和离子镀技术,成功地解决了绝缘、镀膜牢固性等问题。该热电偶测温接点位于刀尖,响应迅速,时间常数约为0 8ms;并且在0~600℃的测温范围内具有良好的线性和热稳定性。详细论述了传感器的结构设计、薄膜热电偶的制作、静态标定、动态标定以及检测电路。当应用于现场切削试验时,传感器能快速响应瞬态切削温度。 展开更多
关键词 薄膜热电偶 溅射 离子镀 标定
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TiN薄膜厚度对耐磨性影响的研究 被引量:7
12
作者 关世瑛 《哈尔滨理工大学学报》 CAS 2003年第3期114-116,共3页
利用空心阴极离子镀膜机在碳钢上制备TiN薄膜,采用销—盘式磨损试验机,在润滑条件下,研究不同厚度TiN薄膜的耐磨性. 结果表明:TiN薄膜厚度低于1μm时薄膜易碎,高于2μm时耐磨性明显提高。
关键词 氮化钛薄膜 离子镀 碳钢 耐磨性 薄膜厚度 表面强化技术 磨损痕迹形貌
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Properties of TiAICrN coatings prepared by vacuum cathodic arc ion plating 被引量:11
13
作者 RU Qiang HU Shejun +3 位作者 HUANG Nacan ZHAO Lingzhi QIU Xiuli HU Xianqi 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2008年第3期251-256,共6页
TiAlCrN coatings were deposited by means of vacuum cathodic arc ion plating technique on TC 11 (Ti-6.5Al-3.5Mo-1.5Zr-0.3Si) titanium alloy substrates. The composition, phase structure, mechanical performance, and ox... TiAlCrN coatings were deposited by means of vacuum cathodic arc ion plating technique on TC 11 (Ti-6.5Al-3.5Mo-1.5Zr-0.3Si) titanium alloy substrates. The composition, phase structure, mechanical performance, and oxidation-resistance of the nivide coatings were investi- gated by scanning electron microscopy (SEM), atomic force microscope (AFM), X-ray diffraction (XRD), auger electron spectroscopy (AES), and X-ray photoelectron microscopy (XPS). A new process for preparing protective coatings of the titanium alloy is successfully ac- quired. The experimental results indicate that the added element chromium in the TiAlN coatings make a contribution to form the (220) pre- ferred direction. The phases of the coatings are composed of (Ti,Al)N and (Ti,Cr)N. After 700~C and 800~C oxidation, AES analysis shows that the diffusion distribution of the TiAlCrN coatings emerges a step shape. From the outside to the inner, the concentrations of O, Al, and Cr reduce, but those of Ti and N increase. The Al-rich oxide is formed on the surface of the coatings, and the mixed structure of Ti-rich and Cr-rich oxides is formed in the internal layer. The oxidation resistance of the TiAlCrN coatings is excellent at the range of 700 to 800~C. Adhesion wear is the dominant mechanical characteristic for the titanium alloy at room temperature, and the protective coatings with high hardness can improve the mechanical properties of the titanium alloy. The wear resistance of the TC 11 alloy is considerably improved by the TiAlCrN coatings. 展开更多
关键词 TiAlCrN coatings ion plating wear and friction oxidation resistance titanium alloy
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32Cr2MoV钢氮化后离子镀TiN的摩擦磨损研究 被引量:9
14
作者 李晖 许洪斌 +1 位作者 张津 黄奇 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2005年第2期32-33,共2页
对离子氮化后的32Cr2MoV钢进行离子镀TiN处理,并将其与离子氮化的32Cr2MoV试样在相同的条件下进行了滚动摩擦试验,比较了二者的磨损试验情况并分析了磨损机理。结果表明,离子氮化后表面沉积 TiN能够使32Cr2MoV表面获得硬度梯度更合理的... 对离子氮化后的32Cr2MoV钢进行离子镀TiN处理,并将其与离子氮化的32Cr2MoV试样在相同的条件下进行了滚动摩擦试验,比较了二者的磨损试验情况并分析了磨损机理。结果表明,离子氮化后表面沉积 TiN能够使32Cr2MoV表面获得硬度梯度更合理的高硬度层,降低表面的摩擦系数,耐磨性明显高于离子氮化的32Cr2MoV。 展开更多
关键词 离子镀 滚动摩擦 磨损
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对LY12铝合金离子镀氮化钛涂层的增强结合力的研究 被引量:9
15
作者 周慧 肖国珍 +2 位作者 黄春良 焦文强 任虹 《真空》 CAS 北大核心 2000年第2期45-47,共3页
在 L Y12铝合金上 ,用离子镀设备进行了增强氮化钛涂层结合力的研究。通过镀前表面处理工艺技术及镀膜过程中控制烘烤温度、加镀过渡层、延长沉积时间等主要工艺技术 ,最终得到了令人满意的。
关键词 LY12铝合金 离子键 氮化钛涂层 结合力
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基材温度对离子镀TiN膜性能的影响 被引量:8
16
作者 于力 刘技文 +3 位作者 赵杰 戴少侠 金柱京 王慧君 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1996年第12期1270-1274,共5页
利用空心阴极离子镀膜设备制备了不同基材加热温度(150,250,350和450℃)的TiN膜.对其硬度和耐磨性的检测结果表明,随着基材温度的升高,HV呈缓慢上升趋势;耐磨性基本一致.同时,通过X射线衍射及扫描电子显微... 利用空心阴极离子镀膜设备制备了不同基材加热温度(150,250,350和450℃)的TiN膜.对其硬度和耐磨性的检测结果表明,随着基材温度的升高,HV呈缓慢上升趋势;耐磨性基本一致.同时,通过X射线衍射及扫描电子显微镜的观察,探讨了基材温度对其性能及组织形貌的影响. 展开更多
关键词 离子镀膜 基材温度 氮化钛薄膜 镀膜
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Crack monitoring method based on Cu coating sensor and electrical potential technique for metal structure 被引量:10
17
作者 Hou Bo He Yuting +2 位作者 Cui Ronghong Gao Chao Zhang Teng 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第3期932-938,共7页
Abstract Advanced crack monitoring technique is the cornerstone of aircraft structural health monitoring. To achieve realtime crack monitoring of aircraft metal structures in the course of ser vice, a new crack monito... Abstract Advanced crack monitoring technique is the cornerstone of aircraft structural health monitoring. To achieve realtime crack monitoring of aircraft metal structures in the course of ser vice, a new crack monitoring method is proposed based on Cu coating sensor and electrical poten tial difference principle. Firstly, insulation treatment process was used to prepare a dielectric layer on structural substrate, such as an anodizing layer on 2AI2T4 aluminum alloy substrate, and then a Cu coating crack monitoring sensor was deposited on the structure fatigue critical parts by pulsed bias arc ion plating technology. Secondly, the damage consistency of the Cu coating sensor and 2A12T4 aluminum alloy substrate was investigated by static tensile experiment and fatigue test. The results show that strain values of the coating sensor and the 2A 12T4 aluminum alloy substrate measured by strain gauges are highly coincident in static tensile experiment and the sensor has excel lent fatigue damage consistency with the substrate. Thirdly, the fatigue performance discrepancy between samples with the coating sensor and original samples was investigated. The result shows that there is no obvious negative influence on the fatigue performance of the 2A12T4 aluminum alloy after preparing the Cu coating sensor on its surface. Finally, crack monitoring experiment was carried out with the Cu coating sensor. The experimental results indicate that the sensor is sensitive to crack, and crack origination and propagation can be monitored effectively through analyzing the change of electrical potential values of the coating sensor. 展开更多
关键词 Aluminum alloy Are ion plating Coating sensor Crack detection Electrical potential FATIGUE Structural health monitoring
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多弧离子镀制备TiAlCN和TiAlN涂层的结构和摩擦磨损性能 被引量:10
18
作者 段佳妮 李文正 +4 位作者 赵春蕾 赵远 董敏鹏 袁志威 李金龙 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第4期139-148,共10页
目的对比研究TiAlCN和TiAlN涂层的结构、塑韧性、结合力和摩擦磨损性能。方法采用多弧离子镀技术制备了TiAlCN和TiAlN涂层。利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和X射线光电子能谱仪(XPS)研究了涂层的微观形貌、元素和物相组成。通过... 目的对比研究TiAlCN和TiAlN涂层的结构、塑韧性、结合力和摩擦磨损性能。方法采用多弧离子镀技术制备了TiAlCN和TiAlN涂层。利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和X射线光电子能谱仪(XPS)研究了涂层的微观形貌、元素和物相组成。通过纳米压痕、纳米划痕、划痕测试仪和摩擦磨损实验研究了涂层的硬度、塑韧性、结合力和摩擦学性能。结果TiAlCN和TiAlN涂层表面均匀致密,有明显的柱状晶结构特征。TiAlN涂层的硬度(29.4±2.2)GPa大于TiAlCN涂层的硬度(22.5±1.1)GPa。TiAlCN涂层的H/E、H^(3)/E^(*2)、塑韧性和结合强度优于TiAlN涂层。大气环境摩擦时TiAlN和TiAlCN涂层的摩擦因数分别为0.80和0.38,TiAlCN涂层的摩擦因数远低于TiAlN。TiAlN和TiAlCN的磨损率分别为1.4×10^(‒5) mm^(3)/(N·m)和9.1×10^(‒6) mm^(3)/(N·m),TiAlCN涂层具有更低的磨损率。结论碳元素的掺入可以明显改善TiAlCN涂层的塑韧性和摩擦磨损性能,这主要归因于TiAlCN涂层优异的抗变形能力和无定形碳的润滑作用。 展开更多
关键词 离子镀 TiAlCN TIALN 结构 硬度 结合力 摩擦磨损
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钢表面钼沉积及渗硫复合改性层的摩擦学性能 被引量:7
19
作者 王海斗 庄大明 +2 位作者 王昆林 刘家浚 张弓 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期188-191,共4页
采用多弧离子镀及低温离子渗硫复合镀渗工艺在45#钢表面制备了含MoS2的钼基复合表面改性薄膜,在QP-100型球-盘式摩擦磨损试验机上考查了复合薄膜在油润滑条件下的摩擦学性能.用原子力显微镜及扫描电子显微镜观察分析了薄膜表面、截面和... 采用多弧离子镀及低温离子渗硫复合镀渗工艺在45#钢表面制备了含MoS2的钼基复合表面改性薄膜,在QP-100型球-盘式摩擦磨损试验机上考查了复合薄膜在油润滑条件下的摩擦学性能.用原子力显微镜及扫描电子显微镜观察分析了薄膜表面、截面和其磨损表面形貌及成分,用X射线衍射仪及俄歇电子能谱仪分析了薄膜的相结构及组成元素沿深度分布.结果表明,含MoS2的复合镀渗薄膜由Mo、MoS2及少量FeS组成,其在油润滑条件下同轴承钢对摩时表现出优良的摩擦学性能. 展开更多
关键词 离子镀膜 低温离子渗硫 二硫化钼 复合薄膜 摩擦磨损 表面钼沉积 复合改性层 摩擦学性能
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复合镀渗MoS_2薄膜及其组织性能分析 被引量:5
20
作者 王海斗 刘家浚 徐滨士 《金属热处理》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期29-32,共4页
采用多弧离子镀及低温离子渗硫相结合的复合镀渗工艺 ,在 4 5钢基体上制备了二硫化钼固体润滑薄膜。用AFM、SEM观察了薄膜表面及截面形貌 ,用XRD及XPS分析了薄膜相结构及表面化合价态。摩擦试验结果显示该薄膜具有优异的摩擦学性能。
关键词 离子镀 离子渗硫 二硫化钼 固体润滑 复合镀渗薄膜
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