|
1
|
硅基MEMS技术 |
郝一龙
张立宪
李婷
张大成
|
《机械强度》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2001 |
18
|
|
|
2
|
氧化钒非制冷红外焦平面探测器芯片工艺研究 |
袁俊
太云见
雷晓虹
何雯瑾
陈妞
|
《红外技术》
CSCD
北大核心
|
2009 |
5
|
|
|
3
|
用光致抗蚀剂作牺性层材料制作可动微机械 |
周明宝
崔铮
|
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
|
1998 |
0 |
|
|
4
|
用氧化多孔硅作牺牲层制备悬空微结构 |
宁瑾
刘忠立
刘焕章
葛永才
|
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
|
2003 |
1
|
|
|
5
|
低能气相腐蚀系统的建模与仿真 |
张红霞
杨旭辉
马芳兰
胡艳琴
徐武德
马宏伟
|
《自动化仪表》
CAS
|
2017 |
0 |
|
|
6
|
紫外荧光双马树脂基复合材料的制备及性能 |
王迎芬
潘翠红
周洪飞
孙占红
|
《材料科学与工艺》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2021 |
0 |
|
|
7
|
多孔泡沫牺牲层的动态压溃及缓冲吸能机理研究 |
范东宇
苏彬豪
彭辉
裴晓阳
郑志军
张建勋
秦庆华
|
《力学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2022 |
5
|
|
|
8
|
非制冷焦平面探测器牺牲层制备工艺研究 |
何雯瑾
杨培志
太云见
杨春丽
袁俊
杨宇
|
《红外技术》
CSCD
北大核心
|
2006 |
4
|
|
|
9
|
双牺牲层微测辐射热计最新研究进展 |
彭自求
王军
袁凯
蒋亚东
|
《电子器件》
CAS
|
2010 |
3
|
|
|
10
|
MEMS中的牺牲层技术 |
张永华
丁桂甫
李永海
蔡炳初
|
《微纳电子技术》
CAS
|
2005 |
10
|
|
|
11
|
简易低成本柔性神经微电极制作方法 |
周洪波
李刚
张华
孙晓娜
姚源
金庆辉
赵建龙
任秋实
|
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2007 |
12
|
|
|
12
|
RF/MW MEMS开关中聚酰亚胺的牺牲层技术研究 |
胡梅丽
赖宗声
茅惠兵
忻佩胜
沈德新
|
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
|
2005 |
9
|
|
|
13
|
表面微机械静电梳状驱动结构的研究 |
吴徽
刘理天
杨景铭
|
《清华大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
1999 |
7
|
|
|
14
|
MEMS单片集成新方法及关键技术的研究 |
王晓红
谭智敏
刘理天
李志坚
|
《微细加工技术》
|
2001 |
2
|
|
|
15
|
用于MEMS的叠层光刻胶牺牲层技术(英文) |
张永华
丁桂甫
姜政
蔡炳初
赖宗声
|
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
|
2006 |
6
|
|
|
16
|
微机械及微细加工方法的研究 |
于殿泓
魏正英
郭俊杰
卢秉恒
山本昌彦
|
《西安理工大学学报》
CAS
|
2001 |
2
|
|
|
17
|
基于微机械的多孔硅牺牲层技术 |
周俊
谢克文
王晓红
刘理天
|
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
|
2004 |
4
|
|
|
18
|
微半球谐振陀螺技术研究进展 |
汪红兵
林丙涛
梅松
江黎
蒋春桥
|
《微纳电子技术》
北大核心
|
2017 |
7
|
|
|
19
|
用于射频领域的高调节范围MEMS压控电容 |
梁雪冬
刘泽文
刘理天
李志坚
|
《压电与声光》
CSCD
北大核心
|
2003 |
6
|
|
|
20
|
电镀法制作活动微结构的牺牲层工艺 |
陈大鹏
刘刚
田扬超
胡一贯
阚娅
张新夷
|
《微细加工技术》
|
2000 |
3
|
|
