期刊文献+
共找到133篇文章
< 1 2 7 >
每页显示 20 50 100
软刻蚀及其应用 被引量:3
1
作者 王喆 邢汝博 +1 位作者 韩艳春 李滨耀 《化学通报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第9期606-613,共8页
软刻蚀是一类基于自组装和复制模塑等原理的非光刻微米和纳米加工方法。它为形成和制作微米、纳米图案提供了简便、有效、价廉的途径。在软刻蚀中 ,用一个表面带图案的弹性模板来实现图案的转移 ,其加工的分辨率可达 3 0nm~ 1 0 0 μm... 软刻蚀是一类基于自组装和复制模塑等原理的非光刻微米和纳米加工方法。它为形成和制作微米、纳米图案提供了简便、有效、价廉的途径。在软刻蚀中 ,用一个表面带图案的弹性模板来实现图案的转移 ,其加工的分辨率可达 3 0nm~ 1 0 0 μm。软刻蚀是微接触印刷、复制模塑、转移微模塑、毛细微模塑、溶剂辅助微模塑等的总称。本文将简介软刻蚀的原理、方法以及它们在微米和纳米加工、微电子学、材料科学、光学、微电子机械系统、表面化学等方面的应用。 展开更多
关键词 半导体 光刻 软刻蚀 微米加工 纳米加工 图案化 弹性模板 微电子技术 印章
原文传递
基于碳纳米管的微纳机电器件应用研究 被引量:4
2
作者 张冬至 夏伯锴 +1 位作者 王凯 童俊 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2012年第3期71-76,共6页
综述了近年来碳纳米管在微纳传感器、纳米发电机、纳米执行器、纳米电子器件、纳米收音机与薄膜扬声器等方面取得的瞩目成果及典型应用,介绍了基于碳纳米管的微纳机电器件的制造工艺、器件性能及其研究进展,指出了碳纳米管基微纳机电器... 综述了近年来碳纳米管在微纳传感器、纳米发电机、纳米执行器、纳米电子器件、纳米收音机与薄膜扬声器等方面取得的瞩目成果及典型应用,介绍了基于碳纳米管的微纳机电器件的制造工艺、器件性能及其研究进展,指出了碳纳米管基微纳机电器件在多元化发展、工艺多样化、材料复合化、产业化工程等方面的发展趋势。 展开更多
关键词 碳纳米管 微纳器件 综述 微纳传感器 制造工艺 纳米制造
下载PDF
压电陶瓷扫描管在纳米加工中的应用 被引量:3
3
作者 李志扬 刘武 +1 位作者 钟小丽 李兴教 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1998年第1期25-27,44,共4页
用一圆筒形压电陶瓷作三维微位移器,控制扫描隧道显微镜金属探针,利用场蒸发原理,实现了纳米加工。用Au、Cu和Ni等金属针尖在金表面制作了纳米尺寸的图案、汉字,其中组成这些图案和汉字的每个原子堆的直径约10~40nm。... 用一圆筒形压电陶瓷作三维微位移器,控制扫描隧道显微镜金属探针,利用场蒸发原理,实现了纳米加工。用Au、Cu和Ni等金属针尖在金表面制作了纳米尺寸的图案、汉字,其中组成这些图案和汉字的每个原子堆的直径约10~40nm。实验表现出非常好的可控性、重复性和稳定性。 展开更多
关键词 压电陶瓷 扫描管 扫描隧道显微镜 纳米加工 IC
下载PDF
用同步辐射光刻直接在有机玻璃板上制备高深宽比亚微米光栅 被引量:6
4
作者 李以贵 杉山进 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期1451-1454,共4页
为了将平面金属膜紧密耦合到纳米光栅形成的表面等离子体共振传感器,以提高灵敏度,以及利用亚微米光栅调整共振反射波长,需要制备亚微米结构光栅。介绍了一种基于X光光刻的亚微米结构光栅的制造技术。该结构光栅是利用日本立命馆大学的... 为了将平面金属膜紧密耦合到纳米光栅形成的表面等离子体共振传感器,以提高灵敏度,以及利用亚微米光栅调整共振反射波长,需要制备亚微米结构光栅。介绍了一种基于X光光刻的亚微米结构光栅的制造技术。该结构光栅是利用日本立命馆大学的同步辐射光源进行同步辐射光光刻,在有机玻璃(PMMA)板上直接得到亚微米光栅。用此纳米加工技术获得的光栅线宽为250 nm,周期为500 nm,深宽比为8的PMMA亚微米结构光栅。还优化了曝光近接间隔、曝光剂量和显影时间等同步辐射光刻参数。 展开更多
关键词 光栅 同步辐射光刻 亚微米光栅 高深宽比 纳米制造
原文传递
用X光光刻法制备亚波长抗反射结构 被引量:2
5
作者 李以贵 杉山进 《微细加工技术》 EI 2008年第1期14-16,34,共4页
为了提高太阳电池的转换效果,降低反射光栅的偏振敏感性,开发了一种新的抗反射结构的微细加工技术。首先用X光光刻在PMMA光刻胶上得到相应的亚微米级的线宽图形,再利用显影技术获得了高深宽比的立体亚波长纳米结构,即抗反射结构。设计... 为了提高太阳电池的转换效果,降低反射光栅的偏振敏感性,开发了一种新的抗反射结构的微细加工技术。首先用X光光刻在PMMA光刻胶上得到相应的亚微米级的线宽图形,再利用显影技术获得了高深宽比的立体亚波长纳米结构,即抗反射结构。设计了适用于可见光波段的二维亚波长抗反射光栅,用X光光刻制作工艺在硅衬底上进行了实验制备。用此纳米加工技术获得了线宽为150 nm、高度约为450 nm(即深宽比为3.0)的PMMA减反射结构。同时还优化了曝光近接间隔、曝光剂量、显影时间等X光光刻参数。 展开更多
关键词 X光光刻 抗反射结构 高深宽比 纳米制造
下载PDF
原子力显微镜电场辅助纳米沉积加工
6
作者 刘增磊 杨旭 +3 位作者 高爱莲 刘忠超 王栋 李密 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第12期910-916,共7页
主要研究了基于原子力显微镜(AFM)的场蒸发沉积加工方法,分析了影响沉积加工的因素。通过选择适当的针尖和样品间的距离、加工电压和探针运动速度等参数,实现了纳米点、纳米线及纳米字符等纳米结构的加工。纳米点加工中,加工参数保持... 主要研究了基于原子力显微镜(AFM)的场蒸发沉积加工方法,分析了影响沉积加工的因素。通过选择适当的针尖和样品间的距离、加工电压和探针运动速度等参数,实现了纳米点、纳米线及纳米字符等纳米结构的加工。纳米点加工中,加工参数保持不变,纳米点的高度变化不大,平均高度约为1.5 nm。纳米线加工中,通过改变加工电压和探针运动速度,加工得到了不同高度的纳米线,其高度最小约为1.5 nm,最高可达65 nm。总体上,沉积加工重复性、可控性较好。然而,沉积加工的起始位置容易产生高度过大的点,并且在纳米线与纳米字符的加工中,加工结果呈现规律性的偏移。分析表明,以上问题主要与探针形貌以及大气环境有关。此外,加工电压过高时也容易导致高度不均匀。 展开更多
关键词 原子力显微镜(AFM) 纳米焊接 纳米加工 场蒸发沉积 纳米器件
下载PDF
基于纤端超表面的多功能化纤上实验室器件制备研究进展
7
作者 刘银 廖启明 黄玲玲 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第15期1802-1814,共13页
多功能高集成化全光纤器件促进了纤上实验室技术(Lab on fiber)的发展。制造阶段的快速进步为多功能即插即用光纤平台开辟了新的途径,研究人员致力于探索和优化纤上实验室器件制备技术以展示纤上实验室元件在许多应用场景中的潜力。回... 多功能高集成化全光纤器件促进了纤上实验室技术(Lab on fiber)的发展。制造阶段的快速进步为多功能即插即用光纤平台开辟了新的途径,研究人员致力于探索和优化纤上实验室器件制备技术以展示纤上实验室元件在许多应用场景中的潜力。回顾了纤上实验室传感技术的分类并对纤端微纳结构的制备工艺进行了总结,包括物理和化学加工方法,随后讨论了基于纤端超表面的纤上实验室器件制备技术的研究进展以及技术发展过程中存在的难点和要点,阐明了构建多功能高集成度多应用场景的纤上实验室传感器件的策略。纤上实验室技术已经取得了显著的成果,这表明多功能高集成化全光纤器件未来能够在物理和生化参数监测、微粒捕获及光场调控等众多场景中发挥核心作用。 展开更多
关键词 光纤传感 超表面 纤上实验室技术 纳米制造
下载PDF
氯化铯纳米岛生长技术
8
作者 罗亮 伊福廷 张菊芳 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期189-192,共4页
氯化铯纳米岛光刻技术是一种分子自组装光刻技术,该技术利用氯化铯在一定湿度下的自组装特性来形成具有一定尺寸和分布的原始氯化铯纳米岛结构,通过调整工艺条件可以适度控制氯化铯岛结构的尺寸和覆盖率。氯化铯岛结构的尺寸和覆盖率主... 氯化铯纳米岛光刻技术是一种分子自组装光刻技术,该技术利用氯化铯在一定湿度下的自组装特性来形成具有一定尺寸和分布的原始氯化铯纳米岛结构,通过调整工艺条件可以适度控制氯化铯岛结构的尺寸和覆盖率。氯化铯岛结构的尺寸和覆盖率主要取决于氯化铯薄膜厚度、显影时间和相对湿度,其中膜厚的影响最大。通常在其他条件不变的情况下,薄膜越厚覆盖率越高,而显影时间越长覆盖率则可能越低。在厚度、相对湿度一定的情况下,显影时间较短时,岛结构以小直径为主,随着时间增加,该结构直径分布变得均匀,并且以大直径为主,两者都大致符合高斯分布。 展开更多
关键词 纳米岛 自组装技术 NEMS 纳米加工技术
原文传递
集成高分子光子学器件平台(英文)
9
作者 Aydin Yeniay 高任峰 +2 位作者 蔡永明 朱劲松 Anthony F.Garito 《影像科学与光化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期444-454,共11页
在高分子基板上制作成的单膜全氟高分子波导结构,具有非热敏感性、偏振无关的工作特点,同时,在1310nm、1550nm工作波长分别有<0.04和<0.05dB/cm的超低光损耗.本文研究了在器件制作过程中所产生的孔状结构对传输损耗的直接影响.实... 在高分子基板上制作成的单膜全氟高分子波导结构,具有非热敏感性、偏振无关的工作特点,同时,在1310nm、1550nm工作波长分别有<0.04和<0.05dB/cm的超低光损耗.本文研究了在器件制作过程中所产生的孔状结构对传输损耗的直接影响.实验证明,超低的传输损耗可以通过降低孔状结构的尺度至纳米范围来实现.这些波导结构可以成为新一代高性能集成高分子光子器件的技术平台. 展开更多
关键词 全氟高分子 纳米加工 光损耗 孔道波导
下载PDF
国际激光材料加工研究的主导领域与热点 被引量:60
10
作者 钟敏霖 刘文今 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第11期1653-1659,共7页
根据六届国际激光与光电子学应用会议和三届中国全国激光加工学术会议报告论文的统计数据,归纳总结出国际激光宏观材料加工的15个主导研究领域和激光微纳加工的7个主导研究领域。根据1247篇国际会议论文和231篇国内会议论文在22个主导... 根据六届国际激光与光电子学应用会议和三届中国全国激光加工学术会议报告论文的统计数据,归纳总结出国际激光宏观材料加工的15个主导研究领域和激光微纳加工的7个主导研究领域。根据1247篇国际会议论文和231篇国内会议论文在22个主导研究领域的分布,得出国际激光宏观加工的5个研究热点方向和激光微纳加工的4个研究热点方向。中国激光材料加工研究已覆盖国际激光材料加工研究的大部分主导研究领域,中国在激光表面强化特别是激光熔覆方面的大量深入研究已形成优势;中国在新型激光器和激光微纳加工领域的研究尚显薄弱,需要加强。 展开更多
关键词 激光材料加工 激光微纳加工 主导研究领域 热点研究方向
原文传递
飞秒激光制备微光学元件及其应用 被引量:25
11
作者 曹小文 张雷 +1 位作者 于永森 陈岐岱 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第1期46-58,共13页
近年来,微光学元件的制备与应用受到人们的广泛关注。微光学元件体积小、重量轻及制造成本低,并且易于与微机电系统相集成,能够实现普通光学元件难以实现的功能,在光纤通信、信息处理、航空航天、生物医学、激光技术、光计算等领域,突... 近年来,微光学元件的制备与应用受到人们的广泛关注。微光学元件体积小、重量轻及制造成本低,并且易于与微机电系统相集成,能够实现普通光学元件难以实现的功能,在光纤通信、信息处理、航空航天、生物医学、激光技术、光计算等领域,突显出重要的应用价值。飞秒激光因其超短的脉冲宽度和超高的瞬时功率,能够实现超高精度的微纳加工,轻松突破衍射极限。飞秒激光加工技术对材料没有选择性,加工过程也非常灵活,可以进行任意复杂结构的加工,丰富了微光学元件的制备种类。飞秒激光还能在现有结构或系统上进行集成加工,极大扩展了微光学元件的应用。简要概述了微光学元件的优点及一些常用的制备方法,同时对飞秒激光加工技术进行了简单概括,对近年来飞秒激光制备各种微光学元件的实验和应用研究进行了综述,最后对微光学元件未来的研究方向进行了预测和展望。 展开更多
关键词 微光学元件 飞秒激光 微纳加工 集成光学
原文传递
飞秒激光精密微纳加工的研究进展 被引量:9
12
作者 朱江峰 魏志义 《物理》 CAS 北大核心 2006年第8期679-683,共5页
飞秒激光由于其超快时间特性和超高峰值功率特性在精密微纳加工领域引起了人们广泛的重视.在与物质的相互作用中它能快速、准确地将能量作用在特定的区域内,从而可以获得极高的分辨率和加工精度.文章综述了飞秒激光精密微纳加工的最新... 飞秒激光由于其超快时间特性和超高峰值功率特性在精密微纳加工领域引起了人们广泛的重视.在与物质的相互作用中它能快速、准确地将能量作用在特定的区域内,从而可以获得极高的分辨率和加工精度.文章综述了飞秒激光精密微纳加工的最新研究进展,分别就飞秒激光烧蚀微加工和飞秒激光双光子聚合产生三维微纳结构进行了介绍,阐述了各自的物理机制.最后对飞秒激光微纳加工的研究前景做了初步探讨. 展开更多
关键词 飞秒激光 微纳加工 烧蚀 双光子聚合
原文传递
微米与纳米级加工技术 被引量:4
13
作者 朱荻 《航空制造技术》 北大核心 2002年第6期22-25,39,共5页
论述了微细刻蚀、LIGA、微细特种加工、纳米切削和基于扫描探针技术等微米、纳米级加工技术的原理。
关键词 微细加工 纳米加工 扫描探针技术 微细刻蚀
下载PDF
电子束光刻技术的原理及其在微纳加工与纳米器件制备中的应用 被引量:7
14
作者 张琨 林罡 +2 位作者 刘刚 田扬超 王晓平 《电子显微学报》 CAS CSCD 2006年第2期97-103,共7页
电子束光刻是微电子技术领域重要的光刻技术之一,它可以制备特征尺寸10nm甚至更小的图形。随着电子束曝光机越来越多地进入科研领域,它在微纳加工、纳米结构的特性研究和纳米器件的制备等方面都呈现出重要的应用价值。本文以几种常见的... 电子束光刻是微电子技术领域重要的光刻技术之一,它可以制备特征尺寸10nm甚至更小的图形。随着电子束曝光机越来越多地进入科研领域,它在微纳加工、纳米结构的特性研究和纳米器件的制备等方面都呈现出重要的应用价值。本文以几种常见的电子束曝光机为例,说明电子束光刻的工作原理和关键技术,并给出一些它在纳米器件和微纳加工方面的应用实例。 展开更多
关键词 电子束光刻 微纳加工 纳米器件
下载PDF
飞秒激光在金属钼表面诱导产生纳米量级周期条纹结构的研究 被引量:11
15
作者 王浩竹 杨丰赫 +2 位作者 杨帆 聂美彤 杨建军 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期99-105,共7页
针对近红外(800 nm)及其二倍频(400 nm)飞秒激光脉冲在金属钼表面诱导产生周期性条纹结构的情况进行了研究,分析比较了入射激光能量、脉冲重叠数、激光中心波长和加工氛围等实验参数对金属表面自组织形成的条纹结构空间周期的影响,并利... 针对近红外(800 nm)及其二倍频(400 nm)飞秒激光脉冲在金属钼表面诱导产生周期性条纹结构的情况进行了研究,分析比较了入射激光能量、脉冲重叠数、激光中心波长和加工氛围等实验参数对金属表面自组织形成的条纹结构空间周期的影响,并利用中心波长为400 nm的飞秒激光在水环境中于单晶钼表面制备出了空间周期仅约160 nm的条纹结构。同时针对水中加工的情况,在理论上提出了入射激光与表面等离子体波发生干涉和表面等离子体波形成驻波两种机制相互竞争的物理模型,很好地解释了实验现象,对于深入理解飞秒激光在金属表面进行纳米尺度的加工制备具有重要意义。 展开更多
关键词 超快光学 飞秒激光 微纳结构 表面等离子体波 干涉理论 纳米制备技术
原文传递
皮秒激光微纳加工研究进展 被引量:10
16
作者 杨冬冬 蔡京辉 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2017年第1期34-43,共10页
皮秒激光具有皮秒(10^(-12) s)量级的脉冲宽度,与电光弛豫时间(10^(-6)~10^(-12) s)相当或比电光弛豫时间更短。皮秒激光与材料作用时,由于电子来不及将能量传递给晶格,以至于整个加工过程中几乎没有热作用的存在,被称为"冷烧蚀&qu... 皮秒激光具有皮秒(10^(-12) s)量级的脉冲宽度,与电光弛豫时间(10^(-6)~10^(-12) s)相当或比电光弛豫时间更短。皮秒激光与材料作用时,由于电子来不及将能量传递给晶格,以至于整个加工过程中几乎没有热作用的存在,被称为"冷烧蚀"过程,因此皮秒激光在航空航天、国防、材料、医学、生物等领域的精密加工中有广泛的用途。简要介绍了研制适用于微纳加工的皮秒激光器的技术路线,综述了皮秒激光在高硬度金属精密制孔、硬脆性材料切割以及材料表面选择性去除方面的研究进展,探讨了目前皮秒激光微纳加工存在的问题,并展望了其可能的发展方向。 展开更多
关键词 激光技术 皮秒激光 再生放大 腔倒空 微纳加工
原文传递
激光微纳制造在传感领域中的应用 被引量:9
17
作者 邵长香 赵扬 +4 位作者 陈南 朱宏伟 王雷 孙洪波 曲良体 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第2期203-236,共34页
物联网和可穿戴器件的快速发展对传感器的制备和性能提出了更高的要求。由于加工速度快、精度高、可控性强、易集成、与材料兼容性高等优点,激光微纳制造已逐渐成为一种流行的材料制备和器件加工技术。通过激光诱导加热、反应和分离这... 物联网和可穿戴器件的快速发展对传感器的制备和性能提出了更高的要求。由于加工速度快、精度高、可控性强、易集成、与材料兼容性高等优点,激光微纳制造已逐渐成为一种流行的材料制备和器件加工技术。通过激光诱导加热、反应和分离这三种激光加工方式实现了对不同材料的激光处理,这为传感器的制备奠定了基础。近年来,研究人员利用激光微纳加工技术制备了应用于紫外线、气体、湿度、温度、应变/应力、生物、环境等信号监测的不同传感器。总结和归纳了目前存在的问题,展望了激光微纳制造在传感领域中的发展方向。希望文中对激光微纳制造应用于传感领域的介绍和总结能够为未来的研究和发展提供思路和参考。 展开更多
关键词 激光技术 激光-材料相互作用 微纳制造 功能性 传感器
原文传递
利用AFM探针机械刻划方法加工微纳米结构 被引量:4
18
作者 闫永达 孙涛 董申 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1451-1454,共4页
为了探索在纳米尺度加工微纳米结构,MEMS/NEMS器件的新的加工方法,采用基于AFM改造的微加工系统,研究了探针机械刻划机理,分析了工作台的定位精度,AFM的工作模式,探针形状等因素的影响.以复杂字体“哈工大”为例说明了微纳米结构轮廓坐... 为了探索在纳米尺度加工微纳米结构,MEMS/NEMS器件的新的加工方法,采用基于AFM改造的微加工系统,研究了探针机械刻划机理,分析了工作台的定位精度,AFM的工作模式,探针形状等因素的影响.以复杂字体“哈工大”为例说明了微纳米结构轮廓坐标的获得,并加工了实例.同时还给出了齿轮形状,各种复杂二维结构的加工实例.结果表明采用AFM探针机械刻划技术可以应用在微纳米尺度结构的加工领域. 展开更多
关键词 AFM 探针 机械刻划 微纳米加工
下载PDF
光学超构表面的微纳加工技术研究进展 被引量:7
19
作者 胡跃强 李鑫 +2 位作者 王旭东 赖嘉杰 段辉高 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2020年第9期88-106,共19页
超构表面由二维平面内精心排布的亚波长单元组成,为设计超紧凑型光学元件提供了新的范式,在微型化光学系统方面显示出了极大的潜力。在不到十年时间里,超构表面由于具有超轻、超薄且能够操纵光波的各种参量以实现多功能集成的优势在多... 超构表面由二维平面内精心排布的亚波长单元组成,为设计超紧凑型光学元件提供了新的范式,在微型化光学系统方面显示出了极大的潜力。在不到十年时间里,超构表面由于具有超轻、超薄且能够操纵光波的各种参量以实现多功能集成的优势在多学科领域引起了广泛的关注。然而,在光学波段,高自由度、非周期、排列密集的超构单元对其加工制备提出了很多极端的参数要求,如极小尺度、极高精度、高深宽比、难加工材料、跨尺度等,这使得超构表面从实验室走向实际应用面临极大的挑战。文中总结了近些年用于超构表面各类微纳加工方法的各类方法的原理、特点和最新进展,包括小面积直写方法、大面积模板转移方法以及一些新兴的加工方法。最后,针对超构表面在加工方面的目前的挑战和未来的发展趋势进行了总结和展望。 展开更多
关键词 超构表面 微纳加工 极端制造
下载PDF
飞秒激光制备非线性光子晶体研究进展 被引量:3
20
作者 黎隆富 张乐然 +4 位作者 徐力群 李欣 廖常锐 王义平 吴东 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第8期230-249,共20页
非线性光子晶体能够实现高效的非线性光学过程,其制备手段吸引了该领域研究者的高度关注。飞秒激光加工技术具有极高的精度、分辨率和灵活性,相比传统的非线性结构制备工艺具有独特的优势。总结归纳了利用飞秒激光加工技术构建非线性光... 非线性光子晶体能够实现高效的非线性光学过程,其制备手段吸引了该领域研究者的高度关注。飞秒激光加工技术具有极高的精度、分辨率和灵活性,相比传统的非线性结构制备工艺具有独特的优势。总结归纳了利用飞秒激光加工技术构建非线性光子晶体的研究进展,并对涉及的准相位匹配原理进行了简要介绍。讨论了飞秒激光反转铁电畴和擦除非线性系数的加工机理,论述了这两种方式在多种维度非线性光子晶体加工方面的实验成果和应用。最后分析了目前飞秒激光加工非线性光子晶体所遇到的挑战,并展望了未来的发展前景。 展开更多
关键词 激光光学 飞秒激光 微纳加工 非线性光子晶体 准相位匹配 非线性光束整形
原文传递
上一页 1 2 7 下一页 到第
使用帮助 返回顶部