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应用于磁控溅射镀膜生产线的计算机监控系统的设计 被引量:1
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作者 聂延森 《软件》 2007年第3期54-56,共3页
肇庆市大力真空设备有限公司生产的DJW(L)系列卧式(立式)磁控溅射镀膜生产线采用DC电源或中频电源控制平面靶、圆柱旋转靶或中频孪生靶在工件上溅射成膜.广泛应用于各种建筑玻璃、ITO透明导电玻璃、家电玻璃、高反射后视镜及亚克... 肇庆市大力真空设备有限公司生产的DJW(L)系列卧式(立式)磁控溅射镀膜生产线采用DC电源或中频电源控制平面靶、圆柱旋转靶或中频孪生靶在工件上溅射成膜.广泛应用于各种建筑玻璃、ITO透明导电玻璃、家电玻璃、高反射后视镜及亚克力镀膜等行业。该系列生产线在吸收欧洲同类生产线的先进技术和镀膜工艺的同时,融合了独特的操作人性化、使用简便化设计理念,在用户群体中得到了充分的肯定。 展开更多
关键词 磁控溅射镀膜 设计理念 计算机监控系统 生产线 应用 透明导电玻璃 建筑玻璃 电源控制
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应用于磁控溅射镀膜生产线的计算机监控系统的设计
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作者 聂延森 《国内外机电一体化技术》 2007年第5期37-39,共3页
介绍了一种成功应用的磁控溅射镀膜生产线计算机监控系统的设计,重点讨论了计算机监控系统的硬件配置、软件设计、通信协议、控制过程实现以及软件编程的控制算法。
关键词 磁控溅射镀膜生产线 计算机监控系统 易控(INSPEC) 通信协议 控制算法
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