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应用于磁控溅射镀膜生产线的计算机监控系统的设计
被引量:
1
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摘要
肇庆市大力真空设备有限公司生产的DJW(L)系列卧式(立式)磁控溅射镀膜生产线采用DC电源或中频电源控制平面靶、圆柱旋转靶或中频孪生靶在工件上溅射成膜.广泛应用于各种建筑玻璃、ITO透明导电玻璃、家电玻璃、高反射后视镜及亚克力镀膜等行业。该系列生产线在吸收欧洲同类生产线的先进技术和镀膜工艺的同时,融合了独特的操作人性化、使用简便化设计理念,在用户群体中得到了充分的肯定。
作者
聂延森
机构地区
肇庆市大力真空设备有限公司
出处
《软件》
2007年第3期54-56,共3页
Software
关键词
磁控溅射镀膜
设计理念
计算机监控系统
生产线
应用
透明导电玻璃
建筑玻璃
电源控制
分类号
TN305.92 [电子电信—物理电子学]
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软件
2007年 第3期
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