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离子束技术沉积羟基磷灰石薄膜的结构及溶解性能 被引量:7
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作者 李旭东 翁杰 +2 位作者 王培 赵纯培 张兴栋 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1998年第4期541-546,共6页
分别采用离子束溅射和离子束增强沉积技术,以烧结羟基磷灰石(HA)陶瓷为靶材,在纯钛金属基片表面沉积HA薄膜.X光电子能谱分析表明:薄膜中Ca、P、O元素的化学态与所用HA陶瓷靶材相接近;相比HA靶材,薄膜表面存在CO23-.X射线衍射... 分别采用离子束溅射和离子束增强沉积技术,以烧结羟基磷灰石(HA)陶瓷为靶材,在纯钛金属基片表面沉积HA薄膜.X光电子能谱分析表明:薄膜中Ca、P、O元素的化学态与所用HA陶瓷靶材相接近;相比HA靶材,薄膜表面存在CO23-.X射线衍射分析表明:沉积薄膜均为非晶态结构,经650℃退火处理转变为结晶磷灰石.在模拟体液中的溶解实验揭示:薄膜仅与溶液中Ca、P和O存在离子交换;薄膜易降解,浸泡10天,样品经历了降解、再沉积过程;相比离子束溅射沉积膜,离子束增强沉积膜具有加速沉积Ca、P的能力. 展开更多
关键词 HA薄膜 结构 溶解性 沉积 羟基磷灰石 生物材料
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纳米晶钛膜中氦注入的保持剂量 被引量:7
2
作者 郑思孝 罗顺忠 +5 位作者 刘仲阳 龙兴贵 王培 彭述明 廖小东 刘宁 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期555-560,共6页
在从室温到 5 0 0℃的温度范围内 ,用卢瑟福质子背散射技术分别测量了不同能量、不同剂量注入的纳米晶钛膜中氦的浓度分布 ,不同温度时的保持剂量及其释放浓度 .发现氦在这种纳米晶粒膜中其氦 -钛原子浓度比达到4 1%— 5 2 %时能在室温... 在从室温到 5 0 0℃的温度范围内 ,用卢瑟福质子背散射技术分别测量了不同能量、不同剂量注入的纳米晶钛膜中氦的浓度分布 ,不同温度时的保持剂量及其释放浓度 .发现氦在这种纳米晶粒膜中其氦 -钛原子浓度比达到4 1%— 5 2 %时能在室温到 10 0℃的温度下长期稳定保持 ,若其原子浓度达 5 2 %— 74 %时也能在室温环境有效保持 . 展开更多
关键词 离子注入 纳米晶粒钛膜 氦注入 保持剂量 卢瑟福质子背散射技术 纳米技术
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离子束辅助沉积MoS_2复合膜的XPS和ESR特性分析 被引量:6
3
作者 富均 杨传仁 +2 位作者 杨大本 王培 黄宁康 《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第2期85-88,共4页
通过IBAD技术制备了MoS2 +Ag(Cu)复合膜 ,并利用XPS和ESR考察了复合膜的氧化情况。发现在RH为 6 0 %的大气环境下 ,Cu的掺入加速了MoS2 的氧化 ,相反Ag的加入却使MoS2 的氧化受到抑制 ;XPS发现MoS2 +Cu复合膜中存在Mo6 + ,ESR却并没发... 通过IBAD技术制备了MoS2 +Ag(Cu)复合膜 ,并利用XPS和ESR考察了复合膜的氧化情况。发现在RH为 6 0 %的大气环境下 ,Cu的掺入加速了MoS2 的氧化 ,相反Ag的加入却使MoS2 的氧化受到抑制 ;XPS发现MoS2 +Cu复合膜中存在Mo6 + ,ESR却并没发现中间态Mo5+ ;而XPS没有检测到MoS2 +Ag膜中有Mo6 + ,ESR却发现Mo5+ 。这说明Mo5+ 展开更多
关键词 抗湿性能 离子束辅助沉积 复合膜 二硫化钼 氧化
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Tc4钛合金上离子束辅助沉积TiC_xN_y膜的微结构与机械性质研究 被引量:3
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作者 王培 刘仲阳 +2 位作者 孙官清 廖小东 郑思孝 《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第6期454-458,共5页
利用离子束辅助沉积技术在Tc4钛合金基体上制备了TiCxNy膜。TEM观察揭示膜呈多晶结构,具有(111),(200)和(220)择优取向,AES和XPS分析进一步证实TiCxNy膜呈含氧配置。膜的硬度和摩擦特性与N含量有关,N的含量过高,其硬度与摩... 利用离子束辅助沉积技术在Tc4钛合金基体上制备了TiCxNy膜。TEM观察揭示膜呈多晶结构,具有(111),(200)和(220)择优取向,AES和XPS分析进一步证实TiCxNy膜呈含氧配置。膜的硬度和摩擦特性与N含量有关,N的含量过高,其硬度与摩擦特性均会下降。在本实验条件下,N离子束的最佳辅助剂量为3×10(17)ions/cm2。干摩擦表明膜的抗氧化性能优良,其存在能有效抑制基体在摩擦过程中形成氧化层。又因腹的硬度高,润滑住良好,显著地改善了基体的磨损特性,特别是粘着磨损特性。 展开更多
关键词 离子束辅助沉积 氮碳化钛 摩擦 磨损 薄膜
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含氦纳米晶钛膜的PBS和XRD研究 被引量:2
5
作者 庞洪超 罗顺忠 +9 位作者 龙兴贵 安竹 刘宁 段艳敏 吴兴春 彭述明 杨本福 王培 宋应民 郑思孝 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期58-62,共5页
为研究不同晶粒尺寸纳米钛膜的储氦行为,在He-Ar混合气体下,用磁控溅射方法沉积纳米晶钛膜,利用PBS(proton backscattering)、XRD(X-ray diffraction)对膜的氦含量和微观结构及晶粒大小进行了研究。结果表明:在其它实验参数不变的情况下... 为研究不同晶粒尺寸纳米钛膜的储氦行为,在He-Ar混合气体下,用磁控溅射方法沉积纳米晶钛膜,利用PBS(proton backscattering)、XRD(X-ray diffraction)对膜的氦含量和微观结构及晶粒大小进行了研究。结果表明:在其它实验参数不变的情况下,当沉积温度从60℃升至350℃时得到均匀分布的含氦量(指原子百分比)从38.6%逐渐降至9.2%的钛膜,其平均晶粒由13.1nm增加到44.2nm;当He/Ar分压比分别为6、10、15、19时得到均匀分布的含氦量分别为17.6%、47.2%、48.3%和38.6%的钛膜。He的引入引起(002)晶面衍射峰向小角度移动,但(100)晶面衍射峰不变,即晶胞参数c增加,a不变化;随膜中He含量的增加,衍射峰展宽,晶粒变小,显示出氦的掺入有抑制纳米晶粒长大的趋势。 展开更多
关键词 磁控溅射 纳米晶钛膜 晶粒大小 氦含量
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惰性气体离子辅助产生Ca^+、He^+及其注入钛箔和纳米钛膜的微结构分析 被引量:1
6
作者 郑思孝 罗顺忠 +5 位作者 廖小东 龙兴贵 彭述明 王培 刘仲阳 刘宁 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第5期341-345,共5页
介绍了由弗里曼离子源在惰性气体辅助下产生Ca+、He+的研究及其分别注入钛箔和纳米钛膜的微结构分析。Ca+ 注入Ti箔样品的XPX分析表明:在1×1018/cm2注入剂量下,Ca的含量达到33﹪,注入Ca在钛表面主要形成CaTiO3、CaO和TiO2的化学结... 介绍了由弗里曼离子源在惰性气体辅助下产生Ca+、He+的研究及其分别注入钛箔和纳米钛膜的微结构分析。Ca+ 注入Ti箔样品的XPX分析表明:在1×1018/cm2注入剂量下,Ca的含量达到33﹪,注入Ca在钛表面主要形成CaTiO3、CaO和TiO2的化学结合的方式与钛基体连接;He+注入纳米钛样品的XRD的衍射谱在15—40°范围内明显分裂及变得较为尖锐,由谢乐公式计算出的纳米膜样品在(100)(101)晶面晶粒粒度大小分别为20.2nm和19.3nm,表明纳米钛膜注氦后仍保持纳米尺度。而AFM在微米视场下观察到纳米钛膜的表层粒子粒度虽有所长大,但在纳米视场却观察到大量的亚结构,结合AFM观察和XRD的分析结果证明在高剂量注入下,存在纳米钛膜表层粒子同时又被碎化成微晶使注氦纳米钛晶粒仍保持纳米尺度的重要现象。 展开更多
关键词 CA^+ He^+离子注入 纳米钛膜 微观结构
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铬、钽离子束表面冶金合金的抗腐蚀机制 被引量:1
7
作者 王培 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第2期78-82,共5页
根据离子束表面冶金的特点,从合金成分、结构、缺陷、元素性质以及表面污染等方面系统地讨论了Cr、Ta元素加入对金属腐蚀行为的影响。在此基础上,提出它们抑制腐蚀的综合模式,较好地解释了这类表面合金抗腐蚀的机制。
关键词 离子注入 腐蚀 表面合金化
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离子束抑制金属腐蚀的综合模式 被引量:1
8
作者 王培 刘仲阳 姜景云 《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 1994年第2期141-146,共6页
根据离子注入与混合的离子束工艺对金属腐蚀行为影响的实验研究,从该技术表面冶金的特点出发,较系统地论述了合金元素性质、合金表面结构、辐射损伤、表面污染、成分均匀性以及表面应力等物理化学效应可能对金属电化学行为造成的影响... 根据离子注入与混合的离子束工艺对金属腐蚀行为影响的实验研究,从该技术表面冶金的特点出发,较系统地论述了合金元素性质、合金表面结构、辐射损伤、表面污染、成分均匀性以及表面应力等物理化学效应可能对金属电化学行为造成的影响。在此基础上提出了离子束表面合金化抑制金属腐蚀的综合模式,较好地解释了在不同条件下,加入不同元素对金属腐蚀行为造成的不同影响。 展开更多
关键词 金属 腐蚀 离子注入 表面合金化
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载能团簇直接诱发硅单晶转变成纳米晶结构 被引量:1
9
作者 缪竞威 王培 +7 位作者 王虎 杨朝文 缪蕾 朱洲森 郑思孝 刘仲阳 廖小东 师勉恭 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期333-336,共4页
用扫描探针显微镜(SPM)观察了能量76keV、剂量1.7×10cm-2的N团簇离子注入Si(111)单晶表面的形貌。发现在此条件下,注入层已直接转化成具有一定粒度分布的纳米晶结构,并测量了形成晶粒的尺度及分布。用红外吸收实验检测了该实样的... 用扫描探针显微镜(SPM)观察了能量76keV、剂量1.7×10cm-2的N团簇离子注入Si(111)单晶表面的形貌。发现在此条件下,注入层已直接转化成具有一定粒度分布的纳米晶结构,并测量了形成晶粒的尺度及分布。用红外吸收实验检测了该实样的光学特性。实验表明,该试样对频带很宽的红外光产生了很强的均匀吸收,在红外光区,其透光度均保持在10%左右,表明其注入层已形成一种品质优良的吸光材料。 展开更多
关键词 氮团簇注入 硅单晶 纳米晶结构 红外吸收谱
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离子束合成表面微合金及其抗蚀性研究 被引量:1
10
作者 王培 刘仲阳 姜景云 《表面技术》 EI CAS CSCD 1993年第3期100-103,共4页
用Ar^-离子束溅时沉积制膜与高能Xe^-离子轰击相结合的离子束动态混合技术,直接在轴承钢GCr15基体上制备出富Ta微合金。经TEM、XPS、AES与EDAX分析确定在特定工艺条件下可获得一定组分的非晶态合金膜。分别在H_2SO_4、NaCl和FeCls_3溶... 用Ar^-离子束溅时沉积制膜与高能Xe^-离子轰击相结合的离子束动态混合技术,直接在轴承钢GCr15基体上制备出富Ta微合金。经TEM、XPS、AES与EDAX分析确定在特定工艺条件下可获得一定组分的非晶态合金膜。分别在H_2SO_4、NaCl和FeCls_3溶液中检验膜的抗均匀腐蚀与抗局部腐蚀的能力,证明所形成的非晶态微合金具有优良的抗腐蚀性。 展开更多
关键词 离子束 动态混合 微合金 腐蚀
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常温氦离子注入纳米钛膜的微结构分析 被引量:1
11
作者 郑思孝 罗顺忠 +5 位作者 刘仲阳 龙兴贵 王培 彭述明 廖小东 刘宁 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 2002年第4期388-392,共5页
在常温下 ,用 2 0 0、10 0keVHe离子按He Ti原子浓度比 0 1、0 3和 0 2的剂量注入纳米钛膜 ,采用现代表面分析技术对试样进行形貌观察与微观分析。测试分析结果表明 :注入前 ,沉积膜的原子力显微镜 (AFM )形貌像呈现从几十至 2 0 0n... 在常温下 ,用 2 0 0、10 0keVHe离子按He Ti原子浓度比 0 1、0 3和 0 2的剂量注入纳米钛膜 ,采用现代表面分析技术对试样进行形貌观察与微观分析。测试分析结果表明 :注入前 ,沉积膜的原子力显微镜 (AFM )形貌像呈现从几十至 2 0 0nm以上极不均匀的晶粒尺度 ;注入后 ,3个试样的晶粒均有所长大 ,且随着注入剂量的增加 ,其长大趋势更为明显。这些长大的晶粒中同时存在大量的亚结构 ,表明在高剂量氦离子注入下 ,导致出现表层晶粒细化现象 ;He离子注入后的试样在衍射角 15°~ 40°之间出现可辨的衍射峰 ,其膜层内的平均晶粒尺寸约 13 6nm ,说明经离子注入后 ,膜层内纳米粒子的结晶度得到进一步提高 ,晶粒度比注入前长大。 展开更多
关键词 氦离子注入 纳米钛膜 微结构分析 表面分析 贮氢材料
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离子束辅助沉积MoS_x膜的特性研究
12
作者 王培 刘仲阳 +1 位作者 姜景云 杨兴富 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 1995年第10期604-609,共6页
从轰击离子种类、辅助沉积方式、不同衬底材料以及存放环境湿度等因素对离子束辅助沉积的MoSx膜特性的影响作了研究。
关键词 二硫化钼 离子束辅助沉积 摩擦 磨损
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氮团簇离子注入单晶硅的光致发光谱研究
13
作者 缪竞威 王培 +8 位作者 朱洲森 袁学东 王虎 杨朝文 师勉恭 缪蕾 孙威立 张静 廖雪花 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期2174-2178,共5页
氮团簇离子N1+0注入单晶硅直接诱发其表层转化为纳米晶结构,导致光学性质发生显著变化.在250—320nm波段的紫外光激励下,在330—500nm光区出现明显的光发射带,并在360nm附近产生强度极高、单色性良好的发射峰,其强度达到N+注入试样或基... 氮团簇离子N1+0注入单晶硅直接诱发其表层转化为纳米晶结构,导致光学性质发生显著变化.在250—320nm波段的紫外光激励下,在330—500nm光区出现明显的光发射带,并在360nm附近产生强度极高、单色性良好的发射峰,其强度达到N+注入试样或基底的5倍,是N2+注入试样的1.5倍.在可见光区的730nm附近和近红外区的830nm附近也出现发光带.所有上述发光都非常稳定,可长时间保持其发光效率不变.这表明注入层已形成一种品质优良的光致发光材料. 展开更多
关键词 光致发光 团簇离子注入 硅单晶 纳米晶结构
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RigiScan药物PDE5i联合视听刺激模式与夜间模式的对比研究
14
作者 刘芸峰 曾政光 +2 位作者 王锦 王培 张蜀武 《中国科技期刊数据库 医药》 2022年第9期13-17,共5页
探讨用阴茎硬度测试仪(RigiScan Plus) 检查勃起障碍,进行夜间测量模式(NPTR)和口服药物PDE5i(枸橼酸西地那非)后视听性刺激模式(AVSS)两种检查方法的差异比较。方法 对门诊110例ED患者进行NPTR与药物AVSS检查,测量阴茎头部及根部的最... 探讨用阴茎硬度测试仪(RigiScan Plus) 检查勃起障碍,进行夜间测量模式(NPTR)和口服药物PDE5i(枸橼酸西地那非)后视听性刺激模式(AVSS)两种检查方法的差异比较。方法 对门诊110例ED患者进行NPTR与药物AVSS检查,测量阴茎头部及根部的最大勃起硬度(MR)、平均硬度(AvgR)、胀大比、硬度活力单位(RAU)、周径胀大活力单位(TAU)、结果判定等参数并进行对比。结果 两种检测方式经对比,TOP胀大比、BASE胀大比、BASEMR、BASEAvgR差异显著性小于0.05,AVSS组显著高于NPTR组,其他各组如TOPMR、TOPAvgR、TOPRAU、TOPTAU、BASERAU、BASETAU之间差异显著性大于0.05,不存在显著差异。AVSS、NPTR、最终检验结果三组之间差异显著性均大于0.05,因此三组之间不存在显著差异。结论:口服药物PDE5i后AVSS检测是一种简单、实用的检测手段,其检测准确性与NPTR检测具有可比性,应该成为一种ED初步病因筛查的选择方式。 展开更多
关键词 勃起功能障碍 RigiScan阴茎硬度测量仪 夜间测量模式 视听性刺激模式
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Effects of Substrate Temperature on Helium Content and Microstructure of Nanocrystalline Titanium Films 被引量:1
15
作者 庞洪超 罗顺忠 +7 位作者 龙兴贵 安竹 刘宁 段艳敏 吴兴春 杨本福 王培 郑思孝 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2006年第12期3238-3241,共4页
Helium-charged nanocrystalline titanium films have been deposited by HeAr magnetron co-sputtering. The effects of substrate temperature on the helium content and microstructure of the nanocrystalline titanium films ha... Helium-charged nanocrystalline titanium films have been deposited by HeAr magnetron co-sputtering. The effects of substrate temperature on the helium content and microstructure of the nanocrystalline titanium films have been studied. The results indicate that helium atoms with a high concentration are evenly incorporated in the deposited titanium films. When the substrate temperature increases from 60℃ to 350℃ while the other deposition'parameters are fixed, the helium content decreases gradually from 38.6 at.% to 9.2at.%, which proves that nanocrystalline Ti films have a great helium storage capacity. The 20 angle of the Bragg peak of (002) crystal planes of the He-charged Ti film shifts to a lower angle and that of (100) crystal plane is unchanged as compared with that of the pure Ti film, which indicates that the lattice parameter c increases and a keeps at the primitive value. The grain refining and helium damage result in the diffraction peak broadening. 展开更多
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离子束处理微型滚珠的表面和界面分析 被引量:1
16
作者 王培 刘仲阳 +2 位作者 姜景云 孙官清 杨兴富 《四川大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1997年第1期43-46,共4页
用EDAX和AES分析了离子束动态混合处理的1.57~1.60mm微型滚珠表面的均匀性和界面混合情况.在100keV的N离子束动态混合条件下,界面混合区达140nm以上;同一球面不均匀度小于13%,球间不均匀度小于... 用EDAX和AES分析了离子束动态混合处理的1.57~1.60mm微型滚珠表面的均匀性和界面混合情况.在100keV的N离子束动态混合条件下,界面混合区达140nm以上;同一球面不均匀度小于13%,球间不均匀度小于15%.结果表明,为提高这类轴承的使用寿命,在适当工艺条件下采用离子束表面强化处理。 展开更多
关键词 滚珠 表面 界面 离子束处理 表面处理 微型滚珠
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不同衬底上离子束辅助沉积MoS_x膜的研究
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作者 王培 蒲松 +1 位作者 姜景云 刘仲阳 《四川大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1994年第4期495-500,共6页
利用离子束辅助技术在黄铜与20 ̄#钢衬底上进行了沉积MoS_x膜的研究,对该膜在常温大气环境中的摩擦磨损特性用针-盘磨损试验进行了评价;用XRD和XPS检验了磨损前后膜的生成相、组分及Mo元素价态的变化,发现不同衬底... 利用离子束辅助技术在黄铜与20 ̄#钢衬底上进行了沉积MoS_x膜的研究,对该膜在常温大气环境中的摩擦磨损特性用针-盘磨损试验进行了评价;用XRD和XPS检验了磨损前后膜的生成相、组分及Mo元素价态的变化,发现不同衬底上的MoS_x膜在磨损中出现显著不同的结晶学变化,并对这一现象作了讨论。 展开更多
关键词 二硫化钼 离子束 沉积 薄膜
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蒸发与离子束溅射沉积Ni/Si膜的XRD和XPS研究
18
作者 王培 蒲松 《薄膜科学与技术》 1994年第2期165-170,共6页
关键词 蒸发 离子束溅射 硅化物 镍膜 硅膜
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离子束溅射沉积角对Ni/Si膜界面特性影响的研究
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作者 王培 刘仲阳 姜景云 《四川大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1994年第1期73-77,共5页
用Ar^+离子束溅射高纯多晶Ni靶,在Si(100)基面上沉积150nm的Ni膜。经400℃的真实退火1小时后,分别用XRD和XPS检验了两种大小不同角度上沉积试样的主成相及界面态。当沉积角≥66°时,试样退火后... 用Ar^+离子束溅射高纯多晶Ni靶,在Si(100)基面上沉积150nm的Ni膜。经400℃的真实退火1小时后,分别用XRD和XPS检验了两种大小不同角度上沉积试样的主成相及界面态。当沉积角≥66°时,试样退火后仅出现Ni膜择优取向晶化,无硅化物生成。而在接近0°的小角度处沉积的试样,在相同条件退火后则出现以NiSi为主的三种硅化物混合相。 展开更多
关键词 离子束 溅射 界面 硅化物 薄膜
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MoS_x FILMS DEPOSITED ON DIFFERENT MATRIXES BY ION BEAM TECHNIQUE
20
作者 王培 刘仲阳 +2 位作者 姜景云 苟富均 杨兴富 《Nuclear Science and Techniques》 SCIE CAS CSCD 1995年第3期178-182,共5页
MoSx (x = 1.79  ̄ 2.34) films of 200 nm thickness are deposited onto brass and C20 steel substrates by the ion beam assisted technique, respectively. Structures and compositions of these films, and changes in valence ... MoSx (x = 1.79  ̄ 2.34) films of 200 nm thickness are deposited onto brass and C20 steel substrates by the ion beam assisted technique, respectively. Structures and compositions of these films, and changes in valence states of the Mo element are examined by XRD and XPS before and after wear. The lubrication properties and wear resistances for two kinds of samples are evaluated using a pin-on-disk installation in atmosphere at the room temperature. Tribo-wear behaviours and the microstructures between two kinds of samples exhibit obvious differences. 展开更多
关键词 Molybdenum disulphide Ion beam assisted deposition FRICTION WEAR
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