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LaFeO_3　栅膜　FET　气体传感器的研究
1
作者 赵善麒 徐宝琨 +3 位作者 赵慕愚 彭作岩 才宏 邢建力 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第2期145-147,共3页
本文采用溶胶－凝胶技术制备ＬａＰｅＯ３纳米晶薄膜，并摸索出该薄膜的光刻方法，将这一成膜技术与集成电路平面工艺相结合，首次研制出了纳米晶薄膜作为栅极的场效应晶体管气体传感器，它对乙醇具有较高的灵敏度和良好的选择性．
关键词 气体传感器 纳米晶薄膜 晶体管
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纳米晶PLT薄膜的合成与表征
2
作者 彭作岩 李熙 +3 位作者 赵慕愚 孙中哲 刘国范 徐宝琨 《功能材料》 EI CAS CSCD 1995年第5期431-434,共4页
纳木材料的制备技术结合Ｓｏｌ－Ｇｅｌ工艺在（１００）单晶硅上制备了粒径在２０～８０ｎｍ的多晶ＰＬＴ（Ｐｂ＿（１－ｘ）Ｌａ＿ｘＴｉＯ＿３）纳采晶膜，并用ＩＲ、ＴＧＡ、ＸＲＤ、ＳＥＭ等对膜的制备过程及结果进行了研究。结果... 纳木材料的制备技术结合Ｓｏｌ－Ｇｅｌ工艺在（１００）单晶硅上制备了粒径在２０～８０ｎｍ的多晶ＰＬＴ（Ｐｂ＿（１－ｘ）Ｌａ＿ｘＴｉＯ＿３）纳采晶膜，并用ＩＲ、ＴＧＡ、ＸＲＤ、ＳＥＭ等对膜的制备过程及结果进行了研究。结果表明，所制各的ＰＬＴ纳米晶膜属多晶钙钦矿结构，薄膜表面平整致密，厚度均匀，约为１μ，颗粒为球形或椭球形，粒度呈对称分布。 展开更多
关键词 纳米晶膜 铁电薄膜
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LaFeO3纳米晶薄膜及其气敏特性的研究
3
作者 赵善麒 才宏 +4 位作者 彭作岩 赵纯 徐宝琨 赵慕愚 邢建力 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 1994年第4期409-412,共4页
关键词 氧化铁镧 纳米晶薄膜 气敏元件 气敏特性
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铁酸镧纳米晶薄膜制备及其在MOS场效应晶体管气敏元件上的应用
4
作者 赵善麟 赵纯 +3 位作者 才宏 徐宝琨 彭作岩 赵慕愚 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1993年第10期1437-1438,共2页
纳米晶固体材料是由粒径小于100nm的微晶颗粒聚集而成的块状或薄膜人工固体,它具有特殊性能。本文采用sol-gel法制备了LaFeO_3纳米晶薄膜,并与集成电路平面工艺相结合,首次研制出了用纳米晶薄膜作为栅控制极的MOS场效应晶体管乙醇敏感... 纳米晶固体材料是由粒径小于100nm的微晶颗粒聚集而成的块状或薄膜人工固体,它具有特殊性能。本文采用sol-gel法制备了LaFeO_3纳米晶薄膜,并与集成电路平面工艺相结合,首次研制出了用纳米晶薄膜作为栅控制极的MOS场效应晶体管乙醇敏感元件。 展开更多
关键词 铁酸镧 溶胶-凝胶法 纳米晶薄膜
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